DeWitt Kriegers
Transkript
DeWitt Kriegers
ZÁKLADY FOTONKY svazek 3 BAHAA E. A. SALEH MALVÍN CARL TEICH matfyzpress VYDAVATELSTVÍ MATEMATICKO-FYZIKÁLNÍ FAKULTY UNIVERSITY KARLOVY FUNDAMENTALS OF PHOTONICS BAHAA E. A. SALEH Department of Electrical and Computer Engineering University of Wisconsin - Madison Madison, Wisconsin MALVÍN CARL TEICH Department of Electrical Engineering Columbia University New York, New York AWILEY-INTERSCIENCE PUBLICATION JOHN WILEY & SONS, INC. NEW YORK / CHICHESTER / BRISBANE / TORONTO / SINGAPORE BAHAA E. A. SALEH je profesorem a vedoucím Department of Electrical and Computer Engineering na Wisconsinské univerzitě (Madison). Je vedoucím redaktorem časopisu Journal of tne Optical Society of America A a autorem knihy Photoelectron Statistics. Je členem IEEE, Optical Society of America a John Simon Guggenhem Foundation. Předmětem vědeckého zájmu dr. Saleha jsou oblasti zpracování obrazu, zpracování optického signálu, statistické optiky, optických komunikací a vidění. MALVÍN CARL TEICH je profesorem a byl také vedoucím Department of ElectricaJ Engineering na Columbijské univerzitě. Je rovněž členem Department of Applied Physics, Columbia Radiation Laboratory a Center for Telecommunications Research. Je redaktorem časopisu Quantum Optics. Dr. Teich je členem IEEE, AAAS, Optical Society a John Simon Guggenheim Foundation. Obdržel B. J. Thompsonovu pamětní medaily IEEE. Vědecky pracuje v kvantové optice, v optických komunikacích a ve výzkumu senzorového vnímání. © 1991 by John Wiley & Sons, Inc. All Right Reserved. Authorized translation from English language edition published by John Wiley & Sons, Inc. Translation © MATFYZPRESS, vydavatelství Matematicko-fyzikální fakulty University Karlovy ISBN 80-85863-05-7 ISBN 80-85863-00-6 (soubor) ISBN 80-85863-01-4 (1. sv.) ISBN 80-85863-02-2 (2. sv.) Orig.: ISBN 0-471-83965-5 (John Wiley & Sons, Inc. New York/Chichester/Brisbane/Toronto/Singapur) OBSAH SVAZEK 1 KAPITOLA 1 PAPRSKOVÁ OPTIKA KAPITOLA 2 VLNOVÁ OPTIKA 45 KAPITOLA 3 SVAZKOVÁ OPTIKA 87 KAPITOLA 4 FOURIEROVSKÁ O P T I K A 118 KAPITOLA 5 ELEKTROMAGNETICKÁ O P T I K A 170 DODATEK A FOURIEROVA TRANSFORMACE 208 DODATEK B LINEÁRNÍ SYSTÉMY 219 DODATEK C M O D Y LINEÁRNÍCH SYSTÉMŮ 225 SVAZEK 2 KAPITOLA 6 POLARIZACE SVĚTLA A KRYSTALOOPTIKA 227 KAPITOLA 7 VLNOVODNÁ OPTIKA 276 KAPITOLA 8 VLÁKNOVÁ OPTIKA 314 KAPITOLA 9 REZONÁTOROVÁ OPTIKA 357 KAPITOLA 10 STATISTICKÁ OPTIKA 1 392 VI OBSAH SVAZEK 3 SEZNAM SYMBOLŮ KAPITOLA 1 1 FOTONOVÁ OPTIKA 11.1 11.2 *11.3 Foton Fotonové proudy Kvantové stavy světla Literatura Úlohy KAPITOLA 12 FOTONY A ATOMY 12.1 12.2 12.3 12.4 KAPITOLA Atomy, molekuly a pevné látky Interakce fotonů s atomy Tepelné záření Luminiscence Literatura Úlohy KAPITOLA Laserový zesilovač Čerpání zesilovače Nelinearita a saturace zisku v zesilovači Šum zesilovače Literatura Úlohy 439 452 466 472 475 480 481 492 510 514 517 519 521 524 529 543 551 553 555 14 LASERY 14.1 14.2 14.3 437 13 LASEROVÉ ZESILOVAČE 13.1 13.2 13.3 *13.4 ix Teorie laserových oscilací Vlastnosti výstupního záření laseru Impulsní lasery Literatura Úlohy 559 562 568 589 604 607 OBSAH KAPITOLA 15 FOTONY V POLOVODIČÍCH 15. 1 15.2 Polovodiče Interakce fotonů s elektrony a dírami Literatura Úlohy KAPITOLA 1 6 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ 16.1 16.2 16.3 Luminiscenční diody Polovodičové laserové zesilovače Polovodičové injekční lasery Literatura Úlohy KAPITOLA 1 7 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 17.1 17.2 17.3 17.4 17.5 SVAZEK KAPITOLA 18 Vlastnosti polovodičových fotodetektorů Fotoodpory Fotodiody Lavinové fotodiody Sum fotodetektorů Literatura Úlohy 4 ELEKTROOPTIKA KAPITOLA 19 NELINEÁRNÍ OPTIKA KAPITOLA 20 AKUSTOOPTIKA KAPITOLA 21 FOTONICKÉ SPÍNÁNÍ A OPTICKÉ POČÍTAČE KAPITOLA 22 OPTICKÉ VLÁKNOVÉ KOMUNIKACE REJSTŘÍK vii 611 613 645 660 662 665 667 682 694 716 719 723 728 733 736 746 753 772 775 SEZNAM SYMBOLŮ Označení důležitých veličin a význam nejfrekventovanějších symbolů a zkratek Latinská abeceda a = Poloměr apertury nebo vlákna [m]; mřížková konstanta [m] a z= Normovaná komplexní amplituda optického pole (|a| 2 = počet fotonů) a = Amplituda (velikost) optické vlny; normovaná komplexní amplituda optického pole (\a\2 = hustota fotonového toku) A = Komplexní obálka monochromatické rovinné vlny A(r) = Komplexní obálka monochromatické vlny A„ = Komplexní obálka složky vlnění o frekvenci v A — Plocha [m2]; prvek matice ABCD ABCD = Přenosová matice paprsku Ac = Koherenční plocha [m2] .e/(r, í) = Komplexní obálka polychromatického (např. impulsního) vlnění A = Vektorový potenciál [V • s • m" 1 ] A = Einsteinův koeficient A [s -1 ] APD = Lavinová fotodioda (avalanche photodiode) ASE = Zesílená spontánní emise (amplified spontaneous emission) B = Komplexní amplituda magnetické indukce [Wb/m2]; šířka pásma [Hz] Bo = Rychlost přenosu diskrétního signálu [bity/s] 6 = Prvek matice ABCD ̧ = Magnetická indukce [Wb/m2]; šířka ekvivalentního výkonu [Hz] B = Einsteinův koeficient B [m3 • J " 1 • s~2] BER = Chybovost, pravděpodobnost chyby na 1 bit (bit error rate) c = Rychlost světla; fázová rychlost [m/s] SEZNAM SYMBOLŮ c o = Rychlost světla ve vakuu [m/s] C = (Elektrická) kapacita C(-) = Fresnelův integrál C = Prvek matice ABCD *£ = Vazební koeficient směrového vazebního členu [m" 1 ] cw = Kontinuální (continuous wave) d = Diferenciál dr = Infinitezimální objem [m3] ds = Infinitezimální změna délky [m] d = Vzdálenost; délka [m] d = Koeficient optické nelinearity druhého řádu [C • V~ 2 ] tfijk — Složka tenzoru optické nelinearity druhého řádu [C • V""2] e/ii,- = Složka tenzoru optické nelinearity druhého řádu (zkrácený zápis) [cv-2] y(013; ídi, W2) = Koeficient optické nelinearity druhého řádu (disperzní prostředí) [C-V- 2 ] D = Průměr [m]; komplexní amplituda elektrické indukce [C/m 2 ] Dw = Vlnovodná disperze [s • m~ 2 ] Dx, Dy = Příčná (laterální) šířka [m] D\ = Koeficient materiálové disperze [s • m~ 2 ] D„ = Koeficient materiálové disperze [s2 • m " 1 ] D = Prvek matice ABCD Q = Elektrická indukce [C/m 2 ] e = Velikost náboje elektronu [C] E = Komplexní amplituda intenzity elektrického pole [V/m] E = Energie [J] EA — Energie akceptorové hladiny [J] Ec = Energie dna vodivostního pásu [J] ED = Energie donorové hladiny [J] Ef = Fermiho energie (Fermiho mez) [J] Efc = Kvazi-Fermiho energie nosičů ve vodivostním pásu [J] Ef .„ = Kvazi-Fermiho energie nosičů ve valenčním pásu [J] Eg = Šířka zakázaného pásu [J] £„ = Energie vrcholu valenčního pásu [J] E„ = Spektrální hustota energie [J • Hz" 1 ] <S = Intenzita elektrického pole [V/m] SEZNAM SYMBOLŮ xi / = Ohnisková vzdálenost čočky [m]; frekvence [Hz] /(£) = Fermiho funkce fa = Pravděpodobnost, že jsou splněny podmínky pro absorbci /C(E) = Fermiho rozdělovači funkce pro vodivostní pás /coi = Četnost srážek (srážková rychlost) [s"1] / e = Pravděpodobnost, že jsou splněny podmínky pro emisi / g = Fermiho faktor inverze /„(£) = Fermiho rozdělovači funkce pro valenční pás f = Frekvence zvuku [Hz]; modulační frekvence [Hz] / = Ohnisková vzdálenost [m] F = Faktor zvýšení šumu lavinové fotodiody F# = Clonové číslo čočky & = Jemnost rezonátoru; síla [kg • m • s~2] FWHM = Šířka (celá) na úrovni poloviny maximální hodnoty (full-width at half-maximum) g = Parametr g rezonátoru s( r ii r 2,i") = Komplexní stupeň koherence g(v) = Funkce spektrální závislosti přechodu [Hz"1] g(r) = Komplexní stupeň časové koherence 50 = Faktor zesílení 9vo{v) = Spektrální profil rozšířený elektron-fotonovou interakcí v polovodičích [Hz-1] g = Stupeň degenerace ff = Vazební koeficient při parametrické interakci [m~3] G = Zisk zesilovače; zisk detektoru fotonů; vodivost [fi"1] G(ri,r2) = Vzájemná intenzita [W/m2] G(ri,r2,r) = Vzájemná koherenční funkce [W/m2] G{u) = Zesílení optického zesilovače G(T) = Časová koherenční funkce [W/m2] G = Rychlost fotoionizace ve fotorefraktivní látce [m~3 • s - 1 ] G„(-) = Hermiteovy-Gaussovy funkce Go = Rychlost tepelného generování párů elektron-díra v polovodiči [m- 3 • s-1] G = Koherenční matice [W/m2]; gyrační vektor opticky aktivního prostředí h = Planckova konstanta [J • s] h(t) = Funkce impulsové odezvy lineárního systému SEZNAM SYMBOLŮ h(x,y) = Funkce impulsové odezvy dvourozměrného lineárního systému h = h/2-n [J • s], redukovaná Planckova konstanta H = Komplexní amplituda intenzity magnetického pole [A/m] W„.() = Hermiteovy polynomy •W = Intenzita magnetického pole [A/m] Ti{y) = Přenosová funkce lineárního systému Ti'{v) = Reálná část přenosové funkce lineárního systému Ti"(v) = Imaginární část přenosové funkce lineárního systému iyxi vy) — Přenosová funkce dvourozměrného lineárního systému i = Elektrický proud [A]; celé číslo ie = Elektronový proud [A] ih = Děrový proud [A] ip = Fotoelektrický proud [A] i, = Závěrný proud polovodičové diody s přechodem p-n [A] it = Prahový proud laserové diody [A] ÍT = Propustný proud, při kterém je aktivní oblast laserového diodového zesilovače transparentní [A] / = Optická intenzita (plošná hustota zářivého toku) [W/m2] /., = Saturační optická intenzita zesilovače nebo absorbéru [W/m2]; akustická intenzita (plošná hustota toku akustického výkonu) [W/m2] /„ = Spektrální hustota intenzity [W • m~2 • Hz" 1 ] J^ = Moment setrvačnosti [kg • m2] j = \/—T; celé číslo J = Hustota elektrického proudu [A/m2] Jc = Hustota elektronového proudu [A/m2] Ji, = Hustota děrového proudu [A/m2] ./,„(•) = Besselova funkce prvního druhu řádu m Jv = Hustota fotoelektrického proudu [A/m2] Jt — Prahová hustota proudu laserové diody [A/m2] JT — Hustota proudu, při které je aktivní oblast laserového diodového zesilovače transparentní [A/m2] J = Jonesův vektor A; = Vlnové číslo [m""1]; celé číslo ^B = Boltzmannova konstanta [J/K] k„ = Vlnové číslo ve vakuu [m - 1 ] kj- = (A;2 + £2)1//2 = Příčná složka vlnového vektoru [m" 1 ] SEZNAM SYMBOLŮ kx, ky = Složky vlnového vektoru ve směrech i a j xiii : [m ] = Prostorové úhlové frekvence ve směrech i a t / [rad/m] /- = Ionizační poměr lavinové fotodiody 1 k = Vlnový vektor [m" ] 1 k , = Mřížkový vektor [m" ] -Km{-) — Modifikovaná Besselova funkce druhého druhu řádu m I = Vzdálenost [m]; celé číslo lc = Koherenční délka [m] L = Vzdálenost, délka [m]; elektrická indukce [H]; ztrátový faktor; celé číslo Lc = Koherenční vzdálenost při parametrické interakci [m] L„(-) = Laguerrovy polynomy L o = Tr/2'ff = Vazebná délka (délka potřebná k přenosu výkonu) směrového vazebního členu [m] LD = Laserová dioda LED = Luminiscenční dioda {light-emitting diodě) LP = Lineárně polarizovaný mod (lineary polarized mode) m = mo = Hmotnost elektronu nebo atomu [kg]; celé číslo; kontrast nebo modulační délka mc = Efektivní hmotnost elektronu ve vodivostním pásu [kg] mr = Redukovaná hmotnost atomu [kg]; redukovaná hmotnost elektronděrového páru v polovodiči [kg] m„ = Efektivní hmotnost díry [kg] m = Počet fotonů; počet fotoelektronů M = Zvětšení zobrazovací soustavy; počet modů; celé číslo M = Hmotnost atomu [kg] M(v) = Hustota modů v rezonátoru nebo v dutině [m~ 3 • H z " 1 v 3-D rezonátoru; m " 1 H z " 1 v 1-D rezonátoru] .// = Hustota magnetizace [A/m]; počet modů tepelného záření: míra akustooptického jevu (figuře of merit) [m 2 /W] M = Paprsková přenosová matice n = Index lomu; celé číslo n(r) = Index lomu nehomogenního prostředí n(6) = Index lomu mimořádné vlny, jejíž vlnový vektor svírá úhel 8 s optickou osou jednoosého krystalu nr = Mimofádný index lomu n„ = Rádný index lomu xiv SEZNAM SYMBOLŮ ri2 = Optická Kerrova konstanta (nelineární index lomu) [m2/W] n = Počet fotonů n = Hustota fotonů [m~3] us = Saturační hustota fotonů [m~3] n = Koncentrace elektronů v polovodiči [m~3] Tli = Koncentrace elektronů/děr ve vlastním polovodiči [m~3] N = Grupový index lomu; celé číslo; počet atomů; počet teček rozlišitelných skanerem NF = Presnelovo číslo N = Hustota částic [m~3]; N = No — Ni = Rozdíl hustot obsazení hladin 2 a 1 [m-3] Na = Hustota atomů [m~3] A/4 = Hustota ionizovaných akceptorových atomů v polovodiči [m~3] NJJ = Hustota ionizovaných donorových atomů v polovodiči [m~3] Nt = Prahová hustota inverzního obsazení laseru [m~~3] A/o = Stacionární hustota rozdílu obsazení hladin v nepřítomnosti zesilovaného záření [m~3] NA = Numerická apertura p = Pravděpodobnost; hybnost [kg • m • s" 1 ]; parametr příčného profilu indexu lomu gradientního vlákna p{n) = Pravděpodobnost, že dojde k n událostem p(x, y) = Aperturní nebo pupilová funkce pab = Pravděpodobnost absorbce za jednotku času (mod s jedním fotonem) psp = Pravděpodobnost spontánní emise za jednotku času (do jednoho 1 modu) [s" ] pst = Pravděpodobnost stimulované emise za jednotku času (mod s jedním fotonem) [s~J] p = Normovaná kvadraturní složka elektrické intenzity pole p = Dipólový moment [C • m] p = Koncentrace děr v polovodiči [m~3] p = Fotoelastická konstanta Piju = Složka fotoelastického tensoru p!K = Složka fotoelastického tensoru (zkrácený zápis) P = Komplexní amplituda elektrické polarizace [C/m2] v v P( x> y) = Fourierova transformace aperturní funkce p(x,y) Pab = Pravděpodobnost absorpce za jednotku času (mod s mnoha fotony) [s-1] PNI = Komplexní amplituda nelineární polarizace [C/m2] SEZNAM SYMBOLŮ xv Psp = Pravděpodobnost spontánní emise za jednotku času (do libovolného modu) [s -1 ] Pst = Pravděpodobnost stimulované emise za jednotku času (mod obsahuje mnoho fotonů) [s"1] P = Optický výkon [W] P„ = Spektrální výkonová hustota [W • Hz" 1 ] P-x = Půlvlnový optický výklon v kerrovském prostředí [W] iP = Hustota elektrické polarizace [C/m2]; optický výkon [dBm] ?Pi = Hustota lineární polarizace [C/m2] Hustota nelineární polarizace [C/m2] V = Stupeň polarizace q = Elektrický náboj [C]; vlnové číslo akustického vlnění; [m" 1 ] q(z) = Komplexní parametr gaussovského svazku [m] q = Vlnový vektor akustické vlny [m"1] Q = Elektrický náboj [C]; činitel jakosti (kvalita) optického rezonatoru r = Radiální vzdálenost ve sférických souřadnicích [m]; radiální vzdálenost v cylindrickém souřadném systému [m] r = Polohový vektor [m] r(i/) = Spektrální hustota rychlosti emise/absorbce fotonů v polovodiči [m-3] r = Komplexní amplitudová odrazivost; faktor amplitudového útlumu vlnění při jednom uzavřeném oběhu ve Fabryově a Perotově rezonatoru r = Parametr elektron-děrové rekombinace [m3/s] 3 r„r = Parametr nezářivé elektron-děrové rekombinace [m /s] r, = Parametr zářivé elektron-děrové rekombinace [m3/s] t = Lineární elektrooptická (Pockelsova) konstanta [m/V] tijt = Složka lineárního elektrooptického tensoru [m/V] xu, = Složka lineárního elektrooptického tensoru (zkrácený zápis) [m/V] R = Poloměr křivosti [m]; elektrický odpor [fi] R{z) = Poloměr křivosti gaussovského svazku [ni] -1 3 R = Čerpací rychlost [s • m"~ ]; rychlost rekombinace v polovodiči [s - 1 • m~3]; rychlost injekce elektronů a děr v polovodiči js"1 • m~3] 1 3 Rt = Prahová čerpací rychlost laseru [s" • m~ ] J? = Intenzitní nebo výkonová odrazivost 3í = Citlivost fotonového zdroje [W/A]; citlivost fotonového detektoru [A/W] 3ř,í = Diferenciální citlivost laserové diody [W/A] = Jonesova matice rotace souřadného systému o úhel 8 SEZNAM SYMBOLO rms(-) = střední kvadratická(-) (root-mean square) s — Délka nebo vzdálenost [m] s(ri, r2, v) = Normovaná vzájemná spektrální hustota s(x, t) = Vlnová funkce mechanického napětí SÍJ — Složka tensoru napětí s = Kvadratická elektrooptická (Kerrova) konstanta [m2/V2] Sijki = Složka kvadratického elektrooptického tensoru [m2/V2] SJK = Složka kvadratického elektrooptického tensoru (zkrácený zápis) [m2/V2] S = Intenzita přechodu (síla oscilátoru) [m2 • Hz] 5(r) = Komplexní amplituda zářivého zdroje [V/m3] S(-) = Fresnelův integrál S(r) = Eikonál [m] S(ri, r2, v) = Vzájemná spektrální hustota [W • m~2 • Hz" 1 ] S(u) = Výkonová spektrální hustota [W • m~2 • Hz" 1 ] y = Poyntingův vektor [W/m2] S = Spin fotonu [J • s] SNR = Poměr signálu k šumu (signal-to-noise ratio) t tsp / T T - Cas [s] = Střední doba spontánní emise [s] = Komplexní amplitudová propustnost = Teplota [K] = Doba průletu [s]; doba čítání [s]; doba sepnutí [s]; časový interval pro jeden bit [s]; rozlišovací doba (7 = 1/25, kde B = šířka pásma) [s]; perioda vlnění (T = 1/^, kde v = frekvence) [s] Tp = \/VF = Převrácená hodnota frekvenční vzdálenosti rezonátorových modů [s]; perioda sledu impulsů modově synchronizovaného laseru [s] 3f = (Intenzitní nebo výkonová) propustnost; poměr výkonové přeměny (transformace) nebo výkonového přenosu; vazební výkonový poměr T = Jonesova matice TE = Příčná elektrická vlna (transverse electric wave) TEM = Příčná elektromagnetická vlna (transverse electromagnetic wave) TM = Příčná magnetická vlna (transverse magnetic wave) u = Posunutí [m] u(r, t) = Vlnová funkce optického vlnění ů = Jednotkový vektor SEZNAM SYMBOLŮ xvii ř/(r) = Komplexní amplituda monochromatické optické vlny U(r, í) = Komplexní vlnová funkce optického vlnění (analytický signál) U:J(r) = Fourierova transformace vlnové funkce optického vlnění v = Grupová rychlost vlnění [m/s] vs = Rychlost šíření zvuku [m/s] v = Rychlost atomu nebo předmětu [m/s] vc = Rychlost elektronu [m/s] ví, — Rychlost díry [m/s] V = Objem [m3]; napětí [V]; Verdetova konstanta [m/Wb] Vc = Kritické napětí cely s kapalným krystalem [V] V,, = Půlvlnové napětí elektrooptické fázové destičky nebo modulátoru [V] Vo = Difuzní napětí přechodu p-n [V]; spínací napětí směrového vazebného prvku [V] V = Normovaná frekvence (parametr V vlákna) V(r) = Potenciální energie [J] 1' = Viditelnost V = Číslo V disperzního prostředí w = Šířka [m] Wd = Šířka absorpční oblasti lavinové fotodiody [m] wm = Šířka oblasti lavinového zesílení v lavinové fotodiodě [m] W = Práce [J] W(z) = Pološířka nebo poloměr gaussovského svazku v osové vzdálenosti z od středu svazku [m] WQ = Poloměr maximálního zúžení gaussovského svazku [m] 1 W = Pravděpodobnost absorpce čerpacího záření za jednotku času [s" ] W.) = Pravděpodobnost absorpce a stimulované emise za jednotku času [s"1] 1/' = Časově integrovaný optický výkon vyjádřený počtem fotonů x = Polohová souřadnice; posunutí [m] x = Normovaná kvadraturní složka intenzity elektrického pole ar(t) = Inverzní Fourierova transformace susceptibility disperzního prostředí y = Polohová souřadnice [m] z = Polohová souřadnice (v kartézských nebo válcových souřadnicích) [m] xviii SEZNAM SYMBOLŮ zo = Rayleighova vzdálenost Gaussovského svazku (polovina hloubky ohniska, neboli konfokálního parametru) [m], Rayleighova vzdálenost při průchodu gaussovského impulsu disperzním prostředím [m] Z = Atomové číslo Řecká abeceda 1 a = Koeficient útlumu nebo absorpce [m" ]; lámavý úhel hranolu; koefi1 cient stočení stočeného nematického kapalného krystalu [ni" ] 1 ae = Ionizační koeficient elektronů v polovodiči [m" ] 1 a.h — Ionizační koeficient děr v polovodiči [m" ] am 1 = Koeficient ztrát odpovídající ztrátám zrcadla rezonátoru [ni" ] -1 ar = Efektivní koeficient všech prostorově rozložených ztrát [ m ] 1 as = Koeficient ztrát laserového prostředí [m" ] oip = Střední hodnota p v koherentním stavu ax = Střední hodnota x v koherentním stavu a = Koeficient útlumu optického vlákna [dB/km] 1 /3 = kz = Konstanta šíření [m" ] /?' = První derivace /? podle OJ [m" 1 • s] P" = Druhá derivace /? podle OJ \m~1 • s 2 ] P(v) = Konstanta šíření v disperzním prostředí [m" 1 ] /3Q = /?(fo) = Hodnota konstanty šíření pro centrální frekvenci VQ [m" 1 ] 7 = Koeficient zesílení [m" 1 ]; vazební koeficient v parametrickém systému [m" 1 ]; nelineární koeficient v teorii solitonů; koeficient příčného profilu vlnovodu [m" 1 ]; Koeficient magnetooptické stáčivosti [m 2 /Wb] 7(f) = Koeficient zesílení optického zesilovače [ m - 1 ] •yp = Špičková hodnota koeficientu zesílení laserového diodového zesilovače [m-i] 7o(ť) = Koeficient zesílení signálu nízké úrovně optickým zesilovačem [m" 1 ] F = Fázové zpoždění; faktor prostorového omezení <5(-) = Delta funkce nebo impulsová funkce Sx — Změna x Sv = Spektrální šířka rezonátorového modu [Hz]; A = Tloušťka tenkého optického elementu [m]; relativní změna indexu lomu v optickém vlákně nebo ve vlnovodu Aa; = Přírůstek x i\n = Koncentrace nadbytečných párů elektron-díra [m~3] SEZNAM SYMBOLŮ xix = Koncentrace vstřikovaných nosičů v laserovém diodovém zesilovači, 3 při které je aktivní oblast transparentní [m~ ] = Spektrální šířka nebo šířka spektrální čáry [Hz] = 1/TC = Spektrální šířka [Hz] = Dopplerovská šířka čáry [Hz] AÍ/FWHM = Spektrální šířka v polovině maxima [Hz] Ai/S = Šířka pásma saturovaného zesilovače [Hz] e = Elektrická permitivita prostředí .[F/m]; chyba zaostření (rozostření) 1 [ni" ] e-ij = Složka tensoru permitivity [F/m] e o = Permitivita vakua [F/m] C(z) = Fázové zpoždění na ose gaussovského svazku r) = Impedance dielektrického prostředí [fi]; elektrická impermitivita rjij = Složka tenzoru elektrické impermitivity r\ = Kvantová účinnost; účinnost přenosu výkonu; účinnost přeměny výkonu (přístrojová účinnost) r\d = Vnější diferenciální kvantová účinnost přenosu •nc = Účinnost emise; celková účinnost přenosu •nCI = Vnější kvantová účinnost T|,,: = Vnitřní kvantová účinnost 9 = Úhel ě = 90° - 9 = Doplňkový úhel k úhlu 6 9a = Příjmový, aperturní úhel #B = Brewsterův (polarizační) úhel; Braggův úhel 6C = Mezní (kritický) úhel 0c = Doplňkový úhel k meznímu úhlu 6a = Deviace hranolu 9S = Úhlová velikost zdroje. 6o = Úhel divergence gaussovského svazku •0 = Práh K = Vazební konstanta harmonického oscilátoru [J/m 2 ] A = Vlnová délka [m] A^i = Vlnová délka odpovídající aktivační energii akceptoru [m] Xp = Vlnová délka odpovídající frekvenční vzdálenosti rezonátorových modů [m] XX SEZNAM SYMBOLŮ \g = Vlnová délka odpovídající šířce zakázaného pásu v polovodiči [m] Ao = Vlnová délka ve vakuu [m] A = Prostorová perioda mřížky nebo periodické struktury [m]; vlnová délka akustického vlnění [m] fi = Magnetická permeabilita [H/m]; pohyblivost nosičů v polovodiči 2 1 1 [m • s- • V" ] fie = Elektronová pohyblivost [m2 • s" 1 • V" 1 ] Hh — Děrová pohyblivost [m2 • s" 1 • V - 1 ] \io = Permeabilita vakua [H/m] v = Frekvence [Hz] vp = Frekvenční vzdálenost sousedních rezonátorových modů; volný spektrální interval Fabryova a Perotova spektrometru [Hz] vs = Šířka pásma prostorových frekvencí zobrazovací soustavy [m - 1 ] vq = Frekvence modu q [Hz] vx, v.y = Prostorové frekvence ve směrech u j [m" 1 ] vp = (v2 + Vy)1/2 — Radiální složka prostorové frekvence [m"1] vo = Frekvence maxima spektrální čáry [Hz] 4 = Vazební konstanta při čtyřvlnovém směšování p = Optická stáčivost opticky aktivního (chirálního) prostředí [m" 1 ]; p — 2 2 1 2 = (x +V ) / = radiální vzdálenost v cylindrické souřadné soustavě H pc = Koherenční vzdálenost [m] ps = Poloměr Airyho disku [m]; poloměr obrazu bodu vytvořeného zobrazovací soustavou, tzv. stopy [m] g — Hustota látky [kg • m~ 3 ]; hustota náboje [C • m~3] É>(fc) = Hustota stavů vfc-prostoru[m~2] 3 1 Q(V) = Spektrální hustota energie [J • m~ • Hz" ]; optická sdružená hustota 3 1 stavů [m~ Hz" ] QC(E) — Hustota stavů v blízkosti dna vodivostního pásu [m~3 • J " 1 v objemovém polovodiči] gv{E) = Hustota stavů v blízkosti vrcholu valenčního pásu [m~3 • J " 1 v objemovém polovodiči] a = Vodivost [fí~1 • m" 1 ]; konstanta tlumení harmonického oscilátoru a (v) = Účinný průřez přechodu [m2] aq = Parametr obvodového šumu SEZNAM SYMBOLŮ xxi ax = Směrodatná odchylka náhodné proměnné x; rms (střední kvadratická) šířka funkce x <7o = a(vo) = Velikost účinného průřezu přechodu na centrální frekvenci v0 r = (Střední) doba života [s]; (střední) doba rozpadu/dohasínání [s]; šířka časové funkce [s]; doba života/rekombinace nadbytečných elektronděrových párů v polovodiči [s] TC = Koherenční doba [s] Td = Zpoždění [s] TC = Doba průletu (tranzitní doba) elektronu [s] T;, = Doba průletu (tranzitní doba) díry [s] T„, = Charakteristický čas lavinového násobení v lavinové fotodiodě T„.r = Střední doba nezářivé elektron-děrové rekombinace [s] TP = (Střední) doba života fotonu v rezonátoru [s] ry = Střední doba zářivé elektron-děrové rekombinace [s] T, = Saturační časová konstanta laserového přechodu [s] i"2i = Střední doba přechodu mezi energetickými hladinami 2 a 1 [s] (j> = Úhel v cylindrické souřadné soustavě; hustota fotonového toku [m-2 • s"1] 1 2 1 2 1 2 4>(p) = Vlnová funkce v impulsové reprezentaci [s / • kg" ^ • m" '' ] 2 1 1 <f>„ = Spektrální hustota toku fotonů [m~ • s" • Hz" ] 2 1 4>s(u) = Saturační hustota toku fotonů [m~ • s" ] <p = Fáze (p(í/) = Koeficient fázového posunu v optickém zesilovači [m - 1 ] $ = Fotonový tok [s"1] -1 -1 $„ = Spektrální tok fotonů [s • Hz ] X = Elektrická susceptibilita; elektronová afinita [J] \' — Reálná část elektrické susceptibility x x" = Imaginární část elektrické susceptibility x x{v) = Elektrická susceptibilita disperzního prostředí Xij = Složka tenzoru elektrické susceptibility X<3) = Koeficient optické nelinearity třetího řádu [C • m • V~3] Xijíi = Složka tenzoru optické nelinearity třetího řádu [C • m • V~3] XIK = Složka tenzoru optické nelinearity třetího řádu (zkrácený zápis) 3 [C • m • V" ] 1 2 ip(x) = Vlnová funkce v souřadnicové reprezentaci [m" / ] xxii SEZNAM SYMBOLŮ \ř(r,ť) = Vlnová funkce částice [m 3 ^ 2 • s ll2] w = Úhlová frekvence [rad/s] fi = Úhlová frekvence akustického vlnění [rad/s]; úhlová frekvence harmonického elektrického signálu [rad/s]; prostorový úhel Matematické symboly 8 = Parciální derivace V = Gradient (operátor nabla) V- = (Operátor) divergence Vx = (Operátor) rotace V2 = d2/dx2 + d2/dy2 + 82/8z2 = Laplaceův operátor V|, = d2/dx2 + 82/dy2 = Příčný Laplaceův operátor oc = Úměrno ~ = Přibližně rovno = = Rovno nebližšímu většímu celému číslu = = Rovno nejbližšímu menšímu celému číslu ZÁKLADY FOTONIKY SVAZEK 3 K A P I T O L A 11 FOTONOVÁ OPTIKA 11.1 FOTON A. Energie fotonu B. Poloha fotonu C. Hybnost fotonu D. Polarizace fotonu E. Interference fotonu F. Časová lokalizace fotonu 11.2 FOTONOVÉ PROUDY A. B. C. D. Střední fotonový tok Náhodnost fotonového toku Fotonová statistika Náhodné dělení fotonových proudů •11.3 KVANTOVÉ STAVY SVĚTLA A. Koherentní stav B. Stlačené stavy Max Plaňek (1858-1947) přišel s myšlenkou, že emise a absorpce světla v látce se děje v kvantech energie. Albert Einstein (1879-1955) vyslovil hypotézu, že světlo samo sestává z kvant energie. 437 438 FOTONOVÁ OPTIKA Elektromagnetická optika (kap. 5) poskytuje nejkomplexnější popis světla v mezích klasické optiky. Obsahuje vlnovou optiku, která dále obsahuje paprskovou optiku (obr. 11.0-1). Přestože je elektromagnetická teorie, jak jsme se mohli přesvědčit v předchozích kapitolách této knihy, schopna vysvětlit značné množství optických jevů, v určitých případech selhává. Toto selhání, které začalo být patrné na začátku našeho století, nakonec vedlo k formulaci kvantové elektromagnetické teorie známé jako kvantová elektrodynamika. V souvislosti s optickými jevy je tato teorie také nazývána kvantovou optikou. Kvantová elektrodynamika (QED*) je obecnější než klasická elektrodynamika a je dnes uznávána jako teorie, jež se hodí k vysvětlení vlastně všech známých optických jevů. V rámci QED jsou elektrické a magnetické pole, E a H, matematicky popsána pomocí operátorů ve vektorovém prostoru. Předpokládá se, že vyhovují jistým operátorovým rovnicím a komutačním relacím, které určují jejich časovou dynamiku a vzájemnou závislost. Rovnice QED, podobně jako Maxwellovy rovnice klasické elektrodynamiky, musí správně popisovat interakce elektromagnetického záření s hmotou. Použití QED může vést k výsledkům, jež jsou charakteristické svou kvantovou podstatou a jež nemohou být vysvětleny klasicky. Formální výklad QED překračuje rámec této knihy. Nicméně je možné odvodit mnoho kvantově-mechanických vlastností světla a jeho interakce s látkou, doplníme-li elektromagnetickou optiku o několik jednoduchých výsledků QED zachycujících částicovost, lokalizaci a fluktuace elektromagnetických polí a energie. Tento soubor pravidel, který budeme nazývat fotonovou optikou, nám umožní zabývat se optickými jevy, které překračují rozsah klasické teorie. Klasickou optiku přitom zachováme jako limitní případ. Fotonová optika ovšem není teorií schopnou podat vysvětlení všech optických jevů. Kvantová optika Elektromagnetická optika Vlnová optika Paprsková optika Obrázek 11.0-1 Teorie kvantové optiky je schopna vysvětlit všechny známé optické jevy. Je obecnější než elektromagnetická optika, která — jak jsme ukázali dříve — zahrnuje vlnovou i paprskovou optiku. Z anglického Quantum Electrodynamics (pozn. překl.) FOTON 439 V odst. 11.1 zavedeme pojem fotonu a popíšeme jeho vlastnosti pomocí několika pravidel, která určují jeho energii, hybnost, polarizaci, polohu, časovou lokalizaci a interferenci. Tato pravidla vypadají zdánlivě jednoduše, mají však dalekosáhlé důsledky. V odst. 11.2 následuje diskuse vlastností fotonových proudů. Počet fotonů emitovaných světelným zdrojem v daném čase je téměř vždy náhodný; statistické vlastnosti závisí na povaze zdroje. Diskutována je fotonová statistika pro několik důležitých optických zdrojů včetně laseru a tepelných zářičů. Je vyšetřován i vliv jednoduchých optických komponent (jako je dělič svazku nebo filtr) na náhodnost fotonového proudu. V odst. 11.3 využíváme kvantovou optiku k diskusi náhodných fluktuací velikosti a fáze elektromagnetického pole. V tomto odstavci lze též nalézt stručný úvod do problematiky koherentních a stlačených stavů světla. Interakce fotonů s atomy je diskutována v kap. 12. 11.1 FOTON Světlo sestává z částic zvaných fotony. Foton má nulovou klidovou hmotnost, ale nese elektromagnetickou energii a hybnost. Má také vlastní moment hybnosti (spin), který souvisí s jeho polarizačními vlastnostmi. Foton se pohybuje ve vakuu rychlostí světla ve vakuu (co); v látce je jeho rychlost nižší. Foton má také vlnový charakter, jenž určuje možnosti jeho lokalizace v prostoru a pravidla, podle nichž interferuje a difraktuje. Představa fotonu původně vzešla z Planckova úsilí rozřešit dávnou hádanku týkající se spektra záření černého tělesa. Plaňek tento problém nakonec vyřešil kvantováním povolených hodnot energie každého z elektromagnetických modů, z nichž záření v dutině sestávalo (toto téma je diskutováno v kap. 12). V tomto odstavci zavedeme pojem fotonu a pravidla fotonové optiky pro světlo nacházející se uvnitř optického rezonátoru (uvnitř dutiny). Je to výhodná volba, protože omezuje uvažovaný prostor na jednoduché geometrické uspořádání. Přítomnost rezonátoru nepředstavuje podstatné omezení při prováděných úvahách. Lze ukázat, že výsledky jsou na jeho přítomnosti nezávislé. Elektromagnetická teorie světla v rezonátoru Podle elektromagnetické optiky je světlo v bezztrátovém rezonátoru o objemu V zcela charakterizováno elektromagnetickým polem, které lze vyjádřit ve tvaru součtu diskrétních ortogonálních modů s různými frekvencemi, různými prostorovými rozděleními a různými polarizacemi. Vektor elektrického pole je £(t,ť) = Re{E(r,í)}, kde E(r,í) = £A,ř/q(r)exp0-27rV)éq. q (11.1-1) Komplexní amplituda g-tého vidu^ je Aq, frekvence ^ q . Polarizován je ve směru jednotkového vektoru é q a jeho prostorové rozdělení je charakterizováno komplexní funkcí ť' q (r), která je normována tak, že Jv |£/q(r)|2 dr = 1. Výběr funkcí f/q(r) a é q není jednoznačný. Termíny vid a mod budou používány v ekvivalentním významu (pozn. překl.) 440 FOTONOVÁ OPTIKA V krychlovém rezonátoru o straně d je výhodné zvolit za funkce prostorového rozvoje systém stojatých vln 2\ 3 ' 2 3 s m dJ ^ r s m a kde qx, qy a qz jsou celá čísla značená souborně indexem q = (qx, qy, qz) [viz odst. 9.1 a obr. 11.1-1 (o)]. Energie obsažená v modu je V klasické elektromagnetické teorii může energie nabývat libovolných nezáporných hodnot bez ohledu na to, jak jsou malé. Celková energie je součtem energií ve všech videch. Fotonové teorie světla v rezonátoru Výše popsaná elektromagnetická optická teorie je ve fotonové optice zachována, ovšem s omezením kladeným na energii, která smí být obsažena v každém modu. Namísto spojité škály je nyní energie modu omezena na diskrétní množinu hodnot vzájemně vzdálených o pevnou hodnotu energie. Říkáme, že energie vidu je kvantována. Povoleny jsou pouze celočíselné násobky této pevné hodnoty energie. Každá taková jednotka energie je nesena jedním fotonem. Světlo v rezonátoru je tvořeno systémem modů, z nichž každý obsahuje celočíselný počet identických fotonů. Charakteristiky modu jako je jeho frekvence, prostorové rozdělení, směr šíření a polarizace jsou připsány fotonu. A. Energie fotonu Fotonová optika požaduje, aby energie elektromagnetického modu byla kvantována na diskrétní hladiny, vzdálené od sebe o energii fotonu (obr. 11.1-1). Energie fotonu v modu o frekvenci v je Energie fotonu E = hv = ňu>, (11.1-3) kde h = 6,63 x 10 3 4 J-s je Planckova konstanta a Ti = h/2ir. Energie může být do tohoto modu přidávána nebo z něho ubírána pouze v kvantech hv. Vid, který neobsahuje žádný foton, má nicméně energii Eo = \hu, která je nazývána energií nulových kmitů. Je-li tedy v modu n fotonů, má celkovou energii En=(n+^)hv, n = 0, 1, 2, . . . . (11.1-4) Ve většině experimentů není energie nulových kmitů přímo pozorovatelná, neboť se měří pouze energetické rozdíly [např. E„2 — Eni v (11.1-4)]. Existenci energie FOTON 441 6hvo 542- 32- 1 - 10- 0- Mod 2 Mod 1 Mod 3 (b) Obrázek 11.1-1 (a) T¥i mody s různými frekvencemi a směry v krychlovém rezonátoru. (b) Povolené energie tří modů s frekvencemi fi,f2 a "3- Plné kroužky označují počty fotonů v jednotlivých videch; vidy 1, 2 a 3 obsahují postupně 2, 0 a 3 fotony. nulových kmitů lze ovšem prokázat, je-li látka vystavena působení statického pole. Nulové kmity hrají rozhodující roli v procesech spontánní emise z atomu, což je diskutováno v kap. 12. Řádovou velikost energie fotonu lze snadno odhadnout. Infračervený foton s vlnovou délkou Ao — 1 /mi má frekvenci 3 x 1014 Hz, neboť ve vakuu Ao^ = co- Jeho energie je tedy hu = 1,99 x 10~10 J = 1,24 eV (elektronvoltů), což odpovídá kinetické energii elektronu urychleného potenciálovým rozdílem 1,24 V. Převodní vztah mezi vlnovou délkou (^m) a energií (eV) fotonu je proto jednoduše Ao(^ím) = l,24/E(eV). Jako další příklad lze vzít mikrovlny foton s vlnovou délkou 1 cm, jehož energie je 104 krát menší, hv = 1,24 x l(r 4 eV. K vyjádření energie je často užíván také vlnočet. Udává se v cm" 1 (1 cm" 1 odpovídá l,24xlO~ 4 eV a 1 eV odpovídá 8068,1 cm" 1 ). Vztahy mezi frekvencí fotonu, vlnovou délkou, energií a vlnočtem jsou ilustrovány na obr. 11.1-2. Protože fotony s vyšší frekvencí nesou větší energii, stává se částicová podstata světla výraznější se zvyšující se frekvencí záření. Naopak vlnové efekty, jako difrakce a interference, se stávají se zkracující se vlnovou délkou stále hůře postřehnutelné. Rentgenové a gama paprsky se téměř vždy chovají jako soubory částic na rozdíl od radiových vln, které se téměř vždy chovají jako vlny. Frekvence světla v optické oblasti je taková, že přichází v úvahu jak částicové tak vlnové chování. To vyvolává potřebu fotonové optiky. B. Poloha fotonu Každému fotonu je přidružena vlna popsaná komplexní vlnovou funkcí modu AU(r) x x exp(j27rí/í)é. Dopadne-li však foton na detektor tvořený malou ploškou dA umístěnou kolmo ke směru šíření v místě r, je — vzhledem ke své nedělitelnosti — buďto zcela pohlcen, nebo vůbec nedetekován. Místo, ve kterém je foton registrován, není přesně určeno. Závisí na optické intenzitě, /(r) tx |f/(r)| 2 , podle následujícího pravděpodobnostního zákona: 442 FOTONOVÁ OPTIKA Frekvence Vlnová délka " A 1 1015 (Hz) 1 100 nm ° Energie E Vlnočet -^-(cm-i) (eV) 1 10" 1 1 mm 1 nm 1 10 ^m 1 100 ^m | 1 10-1 10-2 10-3 1 1Q3 1 2 1 10 1 10 1 105 1 1Q12 1013 101" 10 4 1 1 1 cm 1 1 Obrázek 11.1-2 Vztahy mezi frekvencí fotonu v (Hz), vlnovou délkou Aoi energií E (eV) 1 1 a vlnočtem 1/Ao ( c m " ) . Foton o vlnové délce 1 cm má vlnočet 1 cm"" . Foton s frekvencí 14 1 v = 3 x 10 Hz má vlnovou délku AQ = 1 iaa, energii l,24eV a vlnočet 10000cm"" . Pravděpodobnost p(r) d>4, že foton bude v libovolném časeí pozorován na infinitezimální plošce dA v místě r, je úměrná lokální optické intenzitě /(r) oc 2 oc |ř/(r)| , tzn. Poloha fotonu í>(*) ^A oc 7(r) dA (11-1-5) Foton bude s větší pravděpodobností nalezen v těch místech, kde intenzita je vysoká. Například foton nacházející se v modu popsaném stojatou vlnou s rozložením intenzity I(x,y,z) oc sin2(7rz/c/), kde 0 < z < d, bude s největší pravděpodobností zaznamenán v z = d/2, nikdy však nebude detekován v z = 0 nebo z = d. Na rozdíl od vln, které jsou rozprostřeny v prostoru a na rozdíl od částic, jež jsou lokalizovány, se optický foton chová jako entita, která je rozprostřená i lokalizovaná. Tomuto chování se říká vlnově částicový dualismus. Lokální povaha fotonů vychází najevo při jejich detekci. Cvičení 11.1-1 Fotony v gaussovském svazku a) Uvažujte jediný foton popsaný gaussovským svazkem (tj. popsaný jako mod TEMo.o rezonátoru se sférickými zrcadly; viz odstavce 3.1B, 5.4A a 9.2B). Jaká je pravděpodobnost detekce fotonu uvnitř kruhu o poloměru rovném nejmenšímu poloměru svazku WQ (V rovině z = 0)? Uvědomte si, že v nejužším místě svazku (z = 0) je I(p, z = 0) oc oc exp(—2P2/WQ), kde p je radiální souřadnice. b) Je-li ve svazku větší počet N nezávislých fotonů, odhadněte střední počet fotonů uvnitř tohoto kruhu. FOTON 443 Průchod jediného fotonu děličem svazku Ideální dělič svazku je takový optický přístroj, který rozdělí svazek světla beze ztrát na dva svazky svírající pravý úhel. Je charakterizován intenzitní propustností 37 a odrazivostí d# — 1 — 37. Intenzitu prošlé vlny It i intenzitu odražené vlny /,. lze spočítat z intenzity dopadající vlny 1 za pomoci elektromagnetických vztahů /,. = (1 - .J)I 2,1, = 371. Protože je foton nedělitelný, musí si vybrat mezi dvěma možnými směry, které dělič svazku připouští. Foton dopadající na dělič bude sledovat jednu ze dvou možných cest v souladu s pravděpodobnostním zákonem o poloze fotonu (11.1-5). Pravděpodobnost, že foton projde, je úměrná /(, a je proto rovna propustnosti 37'. Pravděpodobnost, že bude odražen je 1 — 37'. Z hlediska teorie pravděpodobnosti se jedná o stejný problém, jaký představuje házení mincí. Popsaný proces je zachycen na obrázku 11.1-3. C. Hybnost fotonu Hybnost fotonu je svázána s vlnovým vektorem přidružené vlnové funkce následujícími pravidly: Foton v modu popsaném rovinnou vlnou E(r, t) = A exp(—jk • r) exp(j27ri^í)ě má vektor hybnosti p = 7ik. (11.1-6) Foton se pohybuje ve směru daném vlnovým vektorem a velikost hybnosti je p = tik = h2n/X, tj. P=\Elektromagnetická optika vede ke stejnému vztahu mezi energií a hybností rovinné vlny: p = (E/c)k, kde p je hybnost vlny obsažená v jednotce objemu, E je energie Dělič svazku ij i gi^ra^^^^rajraag^^^/ ^m^^mmĚĚ^m. •+~<<s**-*- Jeden foton pravděpodobností Jeden foton s pravděpodobností S% = 1 — ^ Obrázek 11.1-3 Pravděpodobnostní odraz nebo průchod fotonu děličem svazku. 444 FOTONOVÁ OPTIKA připadající na jednotku objemu a k je jednotkový vektor ve směru k. Pojem fotonu v elektromagnetické optice samozřejmě neexistuje, takže výrazy (11.1-6) a (11.1-7) obsahující h jsou charakteristické pro fotonovou optiku. *Hybnost lokalizované vlny Vlna popsaná komplexní vlnovou funkcí tvaru AU(r) exp( j2ni't)ě, která je obecnější než vlna rovinná, může být metodami fourierovské optiky (viz kap. 4) vyjádřena jako suma rovinných vln o různých vlnových vektorech. Složku s vlnovým vektorem k lze zapsat ve tvaru A(k) exp(—jk • r) exp(j'27ri/ť)ě, kde ^l(k) je její amplituda. Hybnost fotonu popsaného libovolnou komplexní funkcí AU(r) exp(j27n/č)é je neurčitá. S pravděpodobností úměrnou |>l(k)|2 nabývá hodnoty P = hk, přičemž ^4(k) je amplituda rovinné vlny představující Fourierovu komponentu funkce t/(r) s vlnovým vektorem k. Jestliže f(x, y) = U(x, y, 0) je komplexní amplituda v rovině z = 0, pak Fourierova komponenta tvořená rovinnou vlnou s vlnovým vektorem k = (kJ:,ky,kz) má amplitudu ^4(k) = F(kx/27r,ky/2T:), kde F(i/x,i/y) je dvourozměrná Fourierova transformace funkce f(x,y) (viz kap. 4). Protože funkce f(x,y) a F(i/X,i/V) tvoří fourierovský pár, jsou jejich šířky v reciprokém vztahu a splňují relaci mezi trváním a šířkou pásma (viz dodatek A, (A.2-6)). Relace neurčitosti mezi polohou fotonu a směrem jeho hybnosti se objevuje proto, že poloha fotonu v rovině z = 0 je pravděpodobnostně určena hodnotami |í/(r)| 2 = \f(x, y)\2 a směr jeho hybnosti je pravděpodobnostně určen hodnotami |/4(k)|2 = \F(kx/2ir,ky/2ir)\2. Tedy jestliže v rovině z = 0 je ox neurčitost polohy ve směru x a <T# = s\\\~l{<Jk..xlk) « (X/2n)ai:x je úhlová neurčitost kolem osy z (předpokládáme, že je <C 1), pak relace neurčitosti axaux > i je ekvivalentní oxoo > A/4TT. Foton odpovídající rovinné vlně má známou hybnost (s pevným směrem i velikostí), tedy ff# = 0. Jeho poloha je však zcela neurčitá (ax = oo); může být detekován se stejnou pravděpodobností kdekoli v rovině 2 = 0. Prochází-li takový foton aperturou, je jeho poloha lokalizována za cenu rozmazán! směru jeho hybnosti. V tomto smyslu tedy neurčitost polohy a hybnosti tvoří paralelu s teorií difrakce popsanou v kap. 4. Opačným extrémem než byl foton vázaný s rovinnou vlnou je foton odpovídající vlně kulové. Ten je dobře lokalizovaný pokud jde o polohu (ve středu vlny), ale směr jeho hybnosti je zcela neurčitý. Tlak záření Protože se hybnost zachovává, vede její spojení s fotonem k tomu, že atom emitující foton pocítí zpětný ráz o velikosti hv/c. Mimoto hybnost spojená s fotonem může být předána objektům konečné hmotnosti, dávajíc tak vzniknout síle a způsobujíc mechanický pohyb. Světelný svazek může být například použit k odklonění svazku atomů pohybujících se kolmo na fotony. K označení tohoto jevu se často užívá termínu tlak záření (tlak = síla/plocha). FOTON 445 Cvičení 11.1-2 Zpětný ráz při emisi fotonu. Spočtěte rychlost zpětného rázu atomu Hg při vyzáření fotonu s energií 4,88 eV. Srovnejte tuto rychlost se střední kvadratickou rychlostí v tepelného pohybu atomu při T = 300 K (získanou 2 porovnáním střední kinetické energie se střední tepelnou energií, ^mv — 198 = §*BT). D. Polarizace fotonu Jak bylo ukázáno dříve, světlo se popisuje jako součet vidů o různých frekvencích, směrech a polarizacích. Polarizace fotonu je určena polarizací odpovídajícího modu. Volba konkrétní množiny modů není ovšem jednoznačná. Nejlépe bude vyjasnit tento důležitý pojem vyšetřováním polarizačních vlastností světla z hlediska fotonové optiky. Lineárně polarizované fotony Představte si světlo popsané superpozicí dvou rovinných vln, šířících se ve směru z, z nichž jedna je lineárně polarizována ve směru x a druhá je lineárně polarizovaná ve směru y: E(r, í) = (A,x + A,ý) exp(-jkz) Zcela stejné elektromagnetické pole může být ovšem reprezentováno i v jiném souřadnicovém systému (x',y') (např. v takovém, který svírá s původním souřadnicovým systémem úhel 45°). To znamená, že můžeme stejně dobře uvažované pole popsat pomocí dvou modů nesoucích fotony polarizované ve směrech x' a j ' , tj. E(r,í) = (A,.'x' + Ayiý') exp(-jkz) exp(j2irvt), kde A.j/ = —T=(Ar. — Ay), Ay' = —r=(AX + Ay). Co můžeme říci o možnosti nalezení fotonu polarizovaného ve směru x', víme-li, že mod s a>ovou polarizací je obsazen fotonem a niod s y-ovou polarizací je prázdný? Tato otázka se ve fotonové optice řeší běžným pravděpodobnostním přístupem. Pravděpodobnost nalezení fotonu polarizovaného ve směru x, y, x' nebo y' je úměrná intenzitě |A,:|2, |A,| 2 , |A /; .| 2 , resp. \Ay-\2. V našem případě je |A,| 2 = 1, |A,,|2 = 0 , a tedy |A,.'|2 = l^y'12 = | . Proto, je Ti jediný foton polarizovaný ve směru x a žádný foton polarizovaný ve směru y, jsou pravděpodobnosti nalezení fotonu s polarizací ve směru a:' nebo y' obě rovny \. Schematicky je to znázorněno na obr. 11.1-4. 446 FOTONOVÁ OPTIKA Foton polarizovaný ve směru x' s pravděpodobností ^ Foton polarizovaný ve směru x * Foton polarizovaný ve směru y' s pravděpodobností \ Obrázek 11.1-4 Lineárně polarizovaný foton: pravděpodobnostní přístup. Příklad 11.1-1. Průchod lineárně polarizovaného fotonu polarizátorem. Uvažujme lineárně polarizovanou rovinnou vlnu, jejíž polarizační rovina svírá s osou x úhel 8, směřující na polarizátor, jehož osa propustnosti leží ve směru x (viz obr. 11.1-5). Polarizátor propouští světlo polarizované ve směru x, ale brání průchodu světla polarizovaného ve směru y. Jak víme z klasické polarizační optiky, intenzita propuštěného světla je 7( = /.,; cos2 9, kde /,; je intenzita dopadajícího světla (viz odst. 6.1B). Co se stane, když na polarizátor dopadne pouze jediný foton? Bude-li polarizován ve směru x, pak vždy projde. Bude-li polarizován v y-ovém směru, bude vždy zadržen. Pravděpodobnost průchodu fotonu je určována klasickou intenzitou It. Tedy pravděpodobnost průchodu fotonu polarizovaného pod úhlem 9 vzhledem k polarizátoru je p(6) = cos2 9. Pravděpodobnost, že foton bude zablokován je pak 1 - p(9) = sin2 9. Obrázek 11.1-5 Pravděpodobnost průchodu lineárně polarizovaného fotonu polarizátorem v závislosti na úhlu 6. FOTON 447 Kruhově polarizované fotony Lze použít i modový rozvoj podle dvou kruhově polarizovaných rovinných vln, z nichž jednaje pravotočivá a druhá levotočivá; tj. E(r, í) = [ARěR + ALéL] exp{-jkz) ex.p(J2irvt), kde é R = (l/\/2)(x + jý) a ěL = (l/\/2)(x - jý) (viz odst. 6.1B). Tyto mody nesou pravotočivé a levotočivé kruhově polarizované fotony. Pravděpodobnosti nalezení fo2 2 tonů s těmito polarizacemi jsou opět úměrné intenzitám \AR\ a \AL\ - Jak ukazuje obr. 11.1-6, lineárně polarizovaný foton odpovídá superpozici pravotočivého a levotočivého kruhově polarizovaného fotonu, každého s pravděpodobností \. A obráceně, prochází-li kruhově polarizovaný foton lineárním polarizátorem, je pravděpodobnost jeho detekce rovna \. Spin fotonu Foton má vlastní moment hybnosti (spin). Velikost spinu fotonu je kvantována do dvou hodnot Spin fotonu = ±h. (11.1-8) Pravotočivé (levotočivé) kruhově polarizované fotony mají vektory spinu orientované paralelně (antiparalelně) s vektorem hybnosti. U lineárně polarizovaných fotonů je stejně velká pravděpodobnost nalezení paralelního i antiparalelního spinu. Stejně jako mohou fotony předat nějakému objektu hybnost, mohou kruhově polarizované fotony působit na objekt momentem síly. Například kruhově polarizovaný foton bude torsně působit na půlvlnovou křemennou destičku. E. Interference fotonu Youngův interferenční experiment se dvěma malými otvory je všeobecně využíván k demonstraci vlnové podstaty světla (viz cvičení 2.5-2). Nicméně Youngův experiment může být uskutečněn i v případě, že v přístroji je v daný moment přítomen pouze jediný foton. V kontextu fotonové optiky lze výsledek takového experimentu •Je Lineárně polarizovaný foton Levotočivý kruhově polarizovaný foton s pravděpodobností | Je y. Pravotočivý kruhově polarizovaný foton s pravděpodobností | Obrázek 11.1-6 Lineárně polarizovaný foton odpovídá superpozici pravotočivého a levotočivého kruhově polarizovaného fotonu, přičemž každý je zastoupen s pravděpodobnostil. 448 FOTONOVÁ OPTIKA z Jediný dopadající foton S o Já ti O) ^O 15 Q Stínítko Rovina pozorování Obrázek 11.1-7 Youngův dvouotvorový experiment s jediným fotonem. Interferenční obrazec J(x) je úměrný hustotě pravděpodobnosti detekce fotonu v místě x. pochopit prostřednictvím pravidla o poloze fotonu. Pomocí elektromagnetické (vlnové) optiky se spočte intenzita v rovině pozorování a výsledek se převede na funkci hustoty pravděpodobnosti, která specifikuje náhodnou polohu detekovaného fotonu. Interference vzniká jako důsledek fázového rozdílu dvou drah. Uvažujme rovinnou vlnu osvětlující stínítko se dvěma malými otvory, jak ukazuje obr. 11.1-7. Vznikají dvě sférické vlny, které interferují v rovině pozorování. Ve Fresnelově aproximaci vytvářejí sinusový průběh intenzity daný vztahem (viz cvičení 2.5-2) (11.1-9) kde /o je intenzita každé z těchto vln v rovině pozorování, A je vlnová délka a 6 je úhlová vzdálenost otvorů při pohledu z roviny pozorování (obr. 11.1-7). Přímka spojující otvory určuje osu x. Vztah (11.1-9) popisuje rozložení intenzity, které je experimentálně pozorováno, když je dopadající světlo silné. Bude-li nyní v přístroji přítomen pouze jediný foton, bude pravděpodobnost jeho zaznamenání v místě x — v souladu s (11.1-5) — úměrná I(x). S největší pravděpodobností bude detekován v těch hodnotách x, v nichž je I(x) maximální. Nikdy nebude detekován v místech, kde I(x) = 0. Budeme-li experiment mnohokrát opakovat a sestavíme-li histogram poloh detekovaných fotonů, jak to učinil Taylor v roce 1909, dostaneme klasický interferenční obrazec, jaký bychom získali z jediného experimentu při osvětlení silným světelným svazkem. Interferenční obrazec představuje pravděpodobnostní rozdělení pro pozorování fotonu v různých místech stínítka. Existence interference je důsledkem rozprostřenosti fotonu, jež mu dovoluje projít oběma otvory zároveň. Foton tak získává úplnou informaci o uspořádání experimentu, i když v rovině pozorování je detekován jako jediná entita. Jestliže jeden otvor zakryjeme, interferenční obrazec zmizí, neboť foton bude nucen projít zbývajícím otvorem a nebude moci získat informaci o celém zařízení. Cvičení 11.1-3 Foton v Machově-Zehnderově interferometru. Uvažujte rovinnou světelnou vlnu o vlnové délce A, která je v děliči svazku rozdělena na dvě části FOTON 449 (viz odst. 11.1B) opět se sbíhající v Machově-Zehnderově interferometru, jak ukazuje obr. 11.1-8 [viz také obr. 2.5-3(o)]. Vyneste pravděpodobnost zaznamenání fotonu ideálním detektorem jako funkci d/X (pro 0 < d/X < 1), kde d je rozdíl optických drah, pro případ, že vlna obsahuje pouze jediný foton. Předpokládejte, že zrcadla i děliče svazku jsou dokonale rovinné a bezztrátové, a že děliče mají 50% odrazivost. Kde se může foton nacházet, když pravděpodobnost jeho dopadu na detektor není rovna jedné? V Foton Detektor Obrázek 11.1-8 Machův-Zehnderův interferometr. F. Časová lokalizace fotonu Modový rozvoj v (11.1-1) obsahuje monochromatické (jednofrekyenční) mody, které jsou „věčnými" harmonickými funkcemi času. Foton v monochromatickém modu může být se stejnou pravděpodobností detekován v kterémkoli čase. Nicméně, jak již bylo dříve zmíněno, je vidový rozvoj záření uvnitř (nebo vně) rezonátoru nejednoznačný. Lze provést i obecnější rozvoj podle polychromatických vidů (například časově lokalizovaných vlnových balíků). Pravděpodobnost detekce fotonu popsaného komplexní vlnovou funkcí ř/(r, í) (viz odst. 2.6A) v libovolném místě a v infinitezimálním časovém intervalu mezi ř a t + dí je úměrná 7(r, í) dí oc |í/(r, t)\2 dí. Pravidlo o poloze fotonu formulované v (11.1-5) lze tedy zobecnit tak, aby zahrnovalo i časovou lokalizaci fotonu: Pravděpodobnost pozorování fotonu v nějakém bodě r uvnitř infinitezimální plošky áA během infinitezimálního časového intervalu í až í + dť je úměrná intenzitě modu v r a í, tj. Poloha a časová lokalizace fotonu p(r,t)dAdťa/(r,ť)d/\dťoc|t/(r,í)| 2 d^dí. (11.1-10) 450 FOTONOVÁ OPTIKA Neurčitost času a energie Čas, během něhož může být foton nacházející se v monochromatickém modu o frekvenci v detekován, je zcela neurčitý, kdežto hodnota jeho frekvence v (a jeho energie hv) je naprosto určitá. Naproti tomu foton ve formě vlnového balíku s intenzitní funkcí I(t) časové šířky at musí být lokalizován uvnitř časového intervalu určeného touto šířkou. Z vlastností Fourierovy transformace vyplývá, že takové časové vymezení fotonu implikuje neurčitost frekvence (a energie) fotonu. Výsledkem je „polychromatický" foton. Neurčitost frekvence je determinována fourierovským rozvojem funkce U(ť) pomocí harmonických složek, U(t)= í V{v)exp(j2irvt)dv, J—oc (11.1-11) kde V(y) je Fourierova transformace funkce U(t) (viz odst. A.l, dodatek A). Závislost 2 na r pro jednoduchost neuvádíme. Šířka av funkce |V(i/)| představuje spektrální 2 šířku. Je-li at rms-šířka funkce |t/(ť)| (tedy výkonová rms-šířka), pak at a a„ musí splňovat reciproký vztah mezi časovou a spektrální šířkou avat > 1/4TT, nebo auat > 5 (viz odst. A.2, dodatek A, kde jsou uvedeny definice at aCT„,které vedou k těmto relacím neurčitosti). Energie fotonu tedy nemůže být určena s přesností větší, něž je at = hav. Neurčitost energie fotonu a doba, během níž lze foton detekovat, musí splňovat vztah Neurčitost času a energie aE<Jt h - r (11.1-12) který je znám jako relace neurčitosti času a energie. Tato relace je analogická vztahu mezi polohou a vlnovým číslem (hybností), který vymezuje přesnost, s níž lze určit zároveň polohu i hybnost fotonu. Střední energie E polychromatického fotonu je E = hu = fujj. Shrňme: Monochromatický foton (av —> 0) může být registrován v libovolném okamžiku (at —* oo). Naopak foton spojený s optickým vlnovým balíkem je lokalizován v čase, a je tudíž polychromatický s odpovídající neurčitostí energie. Takový foton si tedy lze představit jako omezený pohybující se balík energie. Cvičení 11.1-4 Jediný foton v gaussovském vlnovém balíku. Uvažujte vlnový balík s jediným fotonem, popsaný rovinnou vlnou (viz odst. 2.6A) s komplexní vlnovou funkcí kde t \ - — - ] expO'27ri/oí). V 4T-/ a) Ukažte, že jeho časová neurčitost ot = T a neurčitost 2-ové souřadnice a(t) = exp <7 Z = C<7(. ( FOTON 451 b) Ukažte, že neurčitosti jeho energie a hybnosti splňují minimální relace neurčitosti aEat = J , (11.1-13) \- (11-1-14) Rovnice (11.1-14) představuje mez minimální neurčitosti v Heisenbergově relaci neurčitosti polohy a hybnosti [viz (A. 2-7) v dodatku A]. Shrnutí Elektromagnetické záření lze zapsat jako součet modů, např. uniformních monochromatických rovinných vln: E(r, i) = ^2 Aq exp(-jk q • r) exp(j27ri/qť)éq. Každá rovinná vlna má dva ortogonální polarizační stavy (např. vertikální a horizontální lineární polarizace, pravotočivá a levotočivá kruhová polarizace apod.) representované vektory é q . Měříme-li energii vidu, dostaneme (obecně náhodný) celočíselný násobek energetického kvanta. Každý z fotonů spojených s videm q má následující vlastnosti: • Energii E = /ii/q. • Hybnost p = fik. • Spin 5 = ±TL, je-li kruhově polarizován. • Foton může být nalezen se stejnou pravděpodobností kdekoli v prostoru a kdykoli v čase, neboť vlnovou funkcí modu je monochromatická rovinná vlna. Výběr modů není jednoznačný. Je také možný modový rozvoj pomocí nemonochromatických (kvazimonochromatických), nerovinných vln Foton spojený s videm q má pak následující vlastnosti: • Výskyt fotonu na daném místě v daném čase se řídí komplexní vlnovou funkcí Uq(r, ť). Pravděpodobnost detekce fotonu v infinitezimálním časovém intervalu mezi t a t + dí a na infinitezimální plošce dA v místě r je úměrná hodnotě |í/ q (r, t)\2 dAdt. 452 FOTONOVÁ OPTIKA Pokud má funkce t/ q (r, č) omezenou časovou šířku at, tzn. je-li foton lokalizovaný v čase, pak energie fotonu hu^ má neurčitost hav > > / • Je-li funkce ř/q(r, i) v příčné rovině (z = 0) prostorově omezená, tedy je-li foton lokalizován například ve směru x, pak směr vektoru hybnosti fotonu je neurčitý. Rozmazání hybnosti fotonu lze určit z rozkladu funkce ř7q(r, í) do rovinných vln. Vlna s vlnovým vektorem k odpovídá fotonům s hybností tik. Lokalizace fotonu v příčné rovině způsobuje rozmazání směru hybnosti fotonu. 11.2 FOTONOVÉ PROUDY V kapitole 11.1 jsme se zaměřili na vlastnosti a chování jediného fotonu. Nyní budeme studovat vlastnosti souboru fotonů. V důsledku procesů, při nichž dochází ke vzniku fotonů, (jako je např. emise z atomů; viz kap. 12) je počet fotonů v modu obecně náhodný. Pravděpodobnostní rozdělení počtu fotonů je dáno kvantovým stavem modu, a ten je určen povahou světelného zdroje (viz odst. 11.3). Reálné fotonové proudy obsahují často nejrůznější postupné mody, z nichž každý nese náhodný počet fotonů. Provedeme-li experiment, při němž bude slabý proud fotonů dopadat na světlocitlivý povrch, budou fotony registrovány (detekovány) v náhodných časových okamžicích a v náhodných místech prostoru ve shodě s (11.1-10). Tento časoprostorový proces lze postřehnout pouhým okem při pozorování předmětu v šeru slabě osvětlené místnosti. Časový průběh takovéto registrace fotonů lze zvýraznit tím, že budeme časové a prostorové chování sledovat odděleně. Předpokládejme, že máme detektor, který integruje světlo přes nějakou konečnou plochu, jak ukazuje obr. 11.2-1. Pravděpodobnost detekce fotonu v infinitezimálním časovém intervalu mezi ť a t + dť je úměrná optickému výkonu P(ť) v čase t. Fotony budou registrovány v náhodných okamžicích. Na druhé straně, prostorové rozložení dopadajících fotonů lze snadno manifestovat pomocí detektoru integrujícího přes nějaký pevný expoziční čas T (tak se chová např. fotografický film). Ve shodě s (11.1-10) je pravděpodobnost pozorování fotonu na infinitezimální plošce áA obklopující bod r úměrná integrované lokální intenzitě / 0 I(r,t)dt. Takové situaci odpovídá „zrnitý" fotografický obraz Maxe Plancka Světlo Obrázek 11.2-1 Detektor Osciloskop Registrace fotonů v náhodných časových okamžicích. 453 FOTONOVÉ PROUDY na obr. 11.2-2. Snímek byl pořízen přefotografováním obrázku Maxe Plancka uvedeného na straně 437 za velmi špatných světelných podmínek. Každá ze světlých teček představuje náhodnou registraci fotonu; hustota dopadů byla určována lokální intenzitou. A. Střední fotonový tok Začneme tím, že uvedeme několik definic, které uvádějí střední fotonový tok do souvislosti s klasickou elektromagnetickou intenzitou, výkonem a energií. Tyto definice souvisejí se zákonem (11.1-10) určujícím pravděpodobnost pozorování fotonu v daném místě a čase. Poté budeme diskutovat náhodnost fotonového toku a fotonovou statistiku pro různé světelné zdroje. Nakonec se budeme zabývat náhodným dělením proudu fotonů. Střední hustota fotonového toku Střední hustota fotonového toku monochromatického světla o frekvenci v a klasické intenzitě /(r) (W/cm2) je Střední hustota fotonového toku (11.2-1) kde hv je energie každého z fotonů. Tato rovnice převádí klasickou míru (v jednotkách energie/s • cm2) na kvantovou míru (v jednotkách fotony/s • cm2). Pro kvazimonochromatické světlo se střední frekvencí v mají všechny fotony přibližně stejnou energii hv, takže střední hustota fotonového toku je přibližně *(r) = ^77- (H-2-2) Typické hodnoty </>(r) pro některé běžné zdroje světla jsou uvedeny v tabulce 11.2-1. Z těchto hodnot je zřejmé, že každou sekundu dopadá na každý čtvereční centimetr déšť bilionů fotonů. Obrázek 11.2-2 Registrace náhodně dopadajících fotonů; prostorová hustota je úměrná lokální optické intenzitě. Srovnejte tento obrázek Maxe Plancka pořízený slabým proudem fotonů s fotografií na str. 437, která byla získána při silném osvětlení. 454 FOTONOVÁ Tabulka 11.2-1 OPTIKA Střední hustota fotonového toku pro několik světelných zdrojů. Střední hustota fotonového toku (fotony/s • cm 2 ) Zdroj 106 108 1O 1 0 1012 1014 1022 Světlo hvězdy* Světlo Měsíce* Světlo za soumraku Denní světlo v místnosti Sluneční světlo* Světlo laseru (svazek 10 m W He-Ne laseru fokusovaný do oblasti o průměru 20 /mi; Ao = 633 n m ) * Na povrchu Země. Střední fotonový tok Střední fotonový tok $ (v jednotkách fotony/s) získáme integrací střední hustoty fotonového toku přes určitou plochu, Střední fotonový tok * -b (11.2-3) kde hv je opět střední energie fotonu a P = f I(r)dA JA (11-2-4) je optický výkon (W). Například 1 nW optického výkonu na vlnové délce Ao = 0,2 /mi odpovídá střednímu fotonovému toku $ ~ 109 fotonů za sekundu. Zhruba každou nanosekundu bude tedy na objekt dopadat jeden foton, tj. 1 nW na An = 0,2 /im —» 1 foton/ns. (11.2-5) Foton o vlnové délce Ao = 1 fivci nese jednu pětinu této energie, takže 1 nW odpovídá v průměru hodnotě 5 fotonů/ns. Střední počet fotonů Střední počet fotonů n detekovaných na ploše A v časovém intervalu T se získá násobením fotonového toku <ř délkou časového intervalu, Střední počet fotonů kde.E = PT je optická energie (J). n = $T = — , (11.2-6) FOTONOVÉ PROUDY 455 Shrnutí: Vztahy mezi klasickými a kvantovými veličinami jsou následující: Klasické Kvantové Optická intenzita /(r) Hustota fotonového toku Optický výkon P Fotonový tok Optická energie £ Počet fotonů <f>(r) = hv p $ = —3 hv n = —^ hv _ Spektrální hustota fotonového toku Pro polychromatické světlo s velkou šířkou pásma je užitečné definovat spektrální hustotu klasické intenzity, výkonu a energie a jejich kvantové protějšky: spektrální hustotu fotonového toku, spektrální fotonový tok a spektrální počet fotonů: Klasicky Kvantově 2 4>„ = ^- (fotonů/s • cm 2 • Hz) hv /„ (W/cm • Hz) P„ (W/Hz) £„ (J/Hz) * „ = ^ (fotonů/s • Hz) hv n„ = — (fotonů/Hz) hv Například P„ dv představuje optický výkon ve frekvenčním pásmu mezi v a v + dv; <J>7/ dv reprezentuje tok fotonů, jejichž frekvence leží mezi v a v + dv. Časově proměnné světlo Jestliže je intenzita světla časově proměnná, je hustota fotonového toku funkcí času, 4>(r,t)=1-^-. (11.2-7) Optický výkon a fotonový tok jsou pak také funkcemi času: Střední fotonový tok * ( í ) = / <*>(r, í) d4 = -f^, h v JA (11.2-8) kde P(t)= í I(T,t)dA. JA (11.2-9) 456 FOTONOVÁ OPTIKA Střední počet fotonů registrovaných v časovém intervalu mezi i = 0 a ť — T se také s časem mění. Získáme ho integrací fotonového toku, n= Střední počet fotonů ÍT E / <ř(ť)dí = — , h v Jo (11.2-10) kde E = / P(ť)dť= / Jo Jo í JA I{r,t)dAdt (11.2-11) je optická energie (intenzita integrovaná přes čas a plochu). B. Náhodnost fotonového toku Dokonce i když je klasická intenzita 7(r, ť) konstantní, řídí se čas dopadu a místo registrace jediného fotonu pravděpodobnostními zákony, jak jsme viděli v odst. 11.1 (viz obr. 11.2-1). Vyšle-li zdroj právě jeden foton, pak hustota pravděpodobnosti detekce tohoto fotonu v časoprostorovém bodě (r, ť) je podle (1.1-10) úměrná /(r, t). Uvidíme, že klasická elektromagnetická intenzita /(r, t) určuje chování proudů fotonů právě tak jako chování jednotlivých fotonů. Interpretace připisované 7(r, í) se však liší. V případě proudu fotonů určuje klasická intenzita /(r, t) střední hustotu fotonového toku (p(r,t). Vlastnosti světelného zdroje určují fluktuace <p(i,t). Mění-li se optický výkon P(í) s časem, je hustota počtu detekovaných fotonů, které dopadají v náhodných časových okamžicích, úměrná funkci P(č), což je schematicky znázorněno na obr. 11.2-3. Střední tok $(ť) je roven P(t)/hi>, ale konkrétní časové okamžiky, ve kterých jsou skutečně detekovány fotony, jsou náhodné. Tam kde je velký výkon, je v průměru více fotonů a naopak kde je výkon malý, tam je P(í)i Optický výkon lat Dopady fotonů I lili I I I I I l i l i I I lili III II11 Optický výkon Dopady fotonů M I i mii IBHIII nu i i MI i ni i i ii Obrázek 11.2-3 (a) Konstantní optický výkon a odpovídající náhodné dopady fotonů. (6) Časově proměnný optický výkon a odpovídající náhodné dopady fotonů. FOTONOVÉ PROUDY 457 lil IIIIII I I Obrázek 11.2-4 Náhodné dopady fotonů v intervalech délky T. Ačkoli je výkon P světelného svazku konstantní, počet n fotonů přicházejících v každém časovém intervalu je náhodný. fotonů méně. I když je výkon P konstantní, jsou fotony registrovány v náhodných okamžicích; statistika dopadů fotonů závisí na typu zdroje [obrázky 11.2-3(a) a 11.2-4]. Například na 1 nW na vlnové délce Ao = 1,24 //m připadá v průměru 6,25 fotonů/ns, neboli 0,00625 fotonu na každou pikosekundu. Samozřejmě, že lze detekovat pouze celé fotony, takže počet registrovaných fotonů je vždy celé číslo. Průměrná hodnota 0,00625 fotonu/ps vypovídá pouze o tom, že kdybychom prohlédli 105 časových intervalů délky T = 1 ps, pak by většina z nich byla prázdná (neobsahovaly by žádný foton), přibližně 625 intervalů by obsahovalo po jednom fotonu a jen velmi nepatrné množství intervalů by obsahovalo dva nebo více fotonů. Fotografie Maxe Plancka na obr. 11.2-2 ukazuje stejný efekt v prostorové oblasti. Hustota počtu detekovaných fotonů souvisí s rozdělením klasické intenzity. Hustota fotonů byla větší v místech s vyšší intenzitou a menší v místech s nižší intenzitou. Nicméně obraz je značně zrnitý (zašuměný). Fluktuace hustoty fotonového toku jsou nejvýraznější, když její střední hodnota je malá, jako je tomu v případě obr. 11.2-2. Jakmile se střední hustota fotonového toku zvětší, zrnitost zmizí a objeví se opět rozdělení klasické intenzity (jako na obrázku Maxe Plancka na str. 437). Studium fluktuací počtu fotonů je důležité pro aplikace, v nichž se setkáváme např. se šumem ve slabých obrazech nebo se šumem při optickém přenosu informací. Například v komunikačních systémech využívajících optických vláken je informace přenášena proudem fotonů (viz odst. 22.3). Vysílač moduluje pouze střední hodnotu počtu fotonů emitovaných zdrojem. Skutečný počet emitovaných fotonů se nedá předpovědět. Průběh náhodné emise je dán druhem zdroje. Nemožnost předpovědět přesný počet fotonů vede k chybám v přenosu informace. C. Fotonová statistika Statistické rozdělení počtu fotonů závisí na druhu světelného zdroje a musí být obecně studováno pomocí kvantové teorie světla, což je stručně provedeno v odst. 11.3. Nicméně za určitých okolností lze dopady fotonů považovat za nezávislé posloupnosti náhodných událostí, jejichž četnost je určována velikostí fotonového toku úměrnou optickému výkonu. Optický výkon může být deterministický (v případě koherentního světla) nebo náhodný (v případě světla částečně koherentního). Fluktuace výkonu částečně koherentního světla jsou korelovány, takže dopady jednotlivých fotonů již nejsou nezávislé. Fotonová statistika je pak výrazně odlišná. Koherentní světlo Uvažujme světlo o konstantním optickém výkonu P. Odpovídající střední fotonový tok $ = P jhv (fotony/s) je také konstantní, avšak konkrétní okamžiky registrace 458 FOTONOVÁ OPTIKA fotonů jsou náhodné, jak ukazuje obr. 11.2-4. Mějme časový interval délky T a počet detekovaných fotonů označme n. Víme již, že střední hodnota n je n = <J?T = = PT/hu. Nyní chceme nalézt výraz pro pravděpodobnostní rozdělení p(n), tzn. pravděpodobnost p(0), že nezaregistrujeme žádný foton, pravděpodobnost p(l), že zaregistrujeme jeden foton atd. Výraz pro pravděpodobnostní rozdělení p(n) lze odvodit za podmínky, že dopady fotonů jsou statisticky nezávislé. Výsledkem je Poissonovo rozdělení Poissonovo rozdělení p(n) = n"exp(—n) n! (11.2-12) n = 0, 1, 2, Toto rozdělení, známé jako Poissonovo rozdělení, je zobrazeno v semilogaritmickém měřítku na obr. 11.2-5 pro několik hodnot středního počtu fotonů n. Křivky se rozšiřují s rostoucím n. Odvození Poissonova rozdělení Rozdělme časový interval T na velký počet N podintervalů stejné, dostatečně malé délky TIN tak, aby každý interval obsahoval s pravděpodobností p = ň/N jeden foton a s pravděpodobností 1— p žádný foton. Pravděpodobnost nalezení n nezávislých fotonů v N intervalech se pak řídí binomickým rozdělením, podobně jako výsledky hodů nevyváženou mincí (p ^ 1/2), N\ \N-n N\ (nV n\{N -n)\ \Ň) V limitě N (11.2-12). 10 P(n) T/N í _ n_ V ~ ~Ň W oo, N\/{N-n)\Nn -> 1, [1 -(ň/N)] N-n V°A / V in-3 1 / \ 1 1 exp(—n) a dostaneme S^ň=10 10-2 I\ , v , i i i 10 n Obrázek 11.2-5 i i \ i t 1 15 i i Poissonovo rozdělení p(n) pro počet fotonů n. I 1 20 FOTONOVÉ PROUDY 459 Střední hodnota a variance Každá náhodná proměnná n je charakterizována dvěma důležitými parametry: střední hodnotou OG np ň = Y2 ("} (11.2-13) a variancí OC u\ = "Y^n - n)2p{n). (11.2-14) n=0 Variance (rozptyl) je průměrná hodnota kvadrátů odchylek od střední hodnoty. Směrodatná odchylka o„ (odmocnina z variance) je mírou šířky rozdělení. Veličiny p(n),ň a o„ se souborně nazývají fotonová statistika. Přestože funkce p(n) obsahuje více informace něž střední hodnota a variance, mají tyto dvě veličiny svou důležitost. Není těžké ukázat [užitím (11.2-12) v (11.2-13) a (11.2-14)], že střední hodnota Poissonova rozdělení je skutečně n a že jeho variance je rovna jeho střední hodnotě, •> o' = n. " Variance Poissonova ,„. , rozděleni ,,., „ ,_> (11.2-15) ' v Například pro n = 100 jeCT„= 10, tzn. že nepřesnost v počtu fotonů je přibližně ±10 fotonů. Poissonovo rozdělení počtu fotonů platí pro mnoho světelných zdrojů včetně ideálního laseru, jenž vysílá svazek monochromatického koherentního světla v jediném modu (viz kap. 14). Toto rozdělení odpovídá kvantovému stavu světla známému jako koherentní stav (viz odst. 11.3A). Poměr signálu k šumu Náhodnost počtu fotonů je základním zdrojem šumu, se kterým se setkáváme při přenosu signálu prostřednictvím světla. Užitečným ukazatelem schopnosti světla působit jako nosič informace je poměr signálu k šumu (SNRt), přičemž střední hodnota signálu je představována n a jeho šum je reprezentován <r„. SNR je definován vztahem SNR = (^edni hodnota)' = ^ Pro Poissonovo rozdělení platí Poměr signálu k šumu pro Poissonovo rozdělení SNR = ň, (11.2-17) tzn. že poměr signálu k šumu neomezené roste s rostoucím středním počtem fotonů. Z anglického signal-to-noise ratio (pozn. prekl.) 460 FOTONOVÁ OPTIKA Ačkoli je SNR dobrým měřítkem náhodnosti signálu, v některých případech je třeba znát přímo pravděpodobnostní rozdělení. Použijeme-li například při komunikaci střední počet fotonů n = 20, je podle (11.2-12) pravděpodobnost toho, že nebude přijat žádný foton, rovnap(0) ~ 2 x 10~9. To určuje pravděpodobnost výskytu chyby při přenosu informace. Podrobněji bude o tomto tématu pojednáno v kap. 22, Tepelné záření Jsou-li dopadající fotony korelovány, podléhá fotonová statistika jinému něž Poissonovu rozdělení. Tak je tomu v případě tepelného záření. Představte si optický rezonátor, jehož stěny jsou udržovány na teplotě T kelvinů (K), takže do jednotlivých modů rezonátoru jsou emitovány fotony. Podle zákonů statistické mechaniky je za podmínky tepelné rovnováhy pravděpodobnostní rozdělení energie £„ v jednom rezonátorovém modu dáno Boltzmannovým rozdělením Boltzmannovo rozdělení (11.2-18) Kde &B je Boltzmannova konstanta (ku = 1,38 x 10 2 3 J/K). Energie spojená s každým videm je náhodná. Vyšší energie jsou relativně méně pravděpodobné než nižší, jak vyplývá z jednoduchého exponenciálního zákona, v němž jako parametr vystupuje veličina k&T. Cím menší je hodnota k&T, tím méně pravděpodobné jsou vyšší energie. Při pokojové teplotě (T = 300 K) je kBT = 0,026 eV, což odpovídá 208 cm" 1 . Boltzmannovo rozdělení pro jeden mod je znázorněno na obr. 11.2-6 s teplotou jako parametrem. Ze vztahu pro kvantování energie fotonu En = (n + ^)hv a ze vzorce (11.2-18) plyne, že pravděpodobnost nalezení n fotonů v jednom rezonátorovém modu za te- Obrázek 11.2-6 na energii En. Boltzmannovo pravděpodobnostní rozdělení P{En) vynesené v závislosti FOTONOVÉ PROUDY 461 pelné rovnováhy je dána výrazem „ = 0,1,2, (11.2-19) S využitím podmínky, že pravděpodobnostní rozdělení musí mít jednotkový součet, tj. X ^ o P ( n ) = 1> dostáváme normovací konstantu [l — exp(—hv/ksT)]. Energie nulových kmitů Eo — \hv při normování vymizí a výsledky nijak neovlivní (v souhlasu s diskusí v odst. 11.1A). Výsledek lze jednoduše vyjádřit pomocí střední hodnoty ň: Boseovo-Einsteinovo rozdělení (11.2-20) kde 1 exp{hu/kBT) - (11.2-21) což plyne z (11.2-13). V jazyce teorie pravděpodobnosti se toto rozdělení nazývá geometrickým rozdělením, neboť p(n) klesá s rostoucím n geometricky. Ve fyzice je označováno jako Boseovo-Einsteinovo rozdělení. Boseovo-Einsteinovo rozdělení je zakresleno v semilogaritmicke formě na obrázku 11.2-7 pro několik hodnot ň (nebo, což je ekvivalentní, pro několik hodnot teploty T). Jeho exponenciální charakter je zřejmý z toho, že jednotlivé závislosti v uvedeném grafu jsou přímkové. Srovnání obrázků 11.2-7 a 11.2-5 ukazuje, že rozdělení počtu fotonů v případě tepelného záření je mnohem širší než v případě koherentního světla. Pro varianci dostaneme z (11.2-14) vztah Variance Boseova-Einsteinova rozdělení (11.2-22) Srovnáme-li tento výraz s variancí Poissonova rozdělení, jež je rovna pouze n, 1 10-1 =. 10-2 - P(n) 10Obrázek 11.2-7 Boseovo-Einsteinovo rozdělení p(n) počtu fotonů n. 462 FOTONOVÁ OPTIKA zjistíme, že tepelnému záření odpovídá vetší variance, což souvisí s větší neurčitostí a větším rozsahem fluktuací počtu fotonů. Poměr signálu k šumu v případě BoseovaEinsteinova rozdělení je ň+ i Tento výraz je vždy menší než jedna, bez ohledu na to, jak velký je optický výkon. Amplituda a fáze tepelného záření se chovají jako náhodné veličiny (viz kap. 10). Tato náhodnost způsobuje rozšíření rozdělovači funkce počtu fotonů. Tento druh světla obsahuje skutečně příliš mnoho šumu, než aby mohl být využit při přenosu dat vysokými přenosovými rychlostmi. Cvičení 11.2-1 Střední energie rezonátorového modu. Ukažte, že v případě tepelné rovnováhy při teplotě T je střední energie rezonátorového modu o frekvenci v dána vztahem Nakreslete závislost E na v pro několik hodnot ksT/h. Pomocí Taylorova rozvoje jmenovatele nalezněte zjednodušený přibližný výraz pro E platný v limitě hu/ksT <C 1. Vysvětlete fyzikální význam výsledku. *Další světelďé zdroje Jak již bylo dříve zmíněno, pro určitou třídu světelných zdrojů lze posloupnost dopadů přicházejících fotonů považovat za sled nezávislých událostí, jejichž četnost je úměrná optickému výkonu. V případě koherentního světla je výkon deterministický a počet fotonů se řídí Poissonovým rozdělením p(n) = )/'"e~' r /n!, kde W=^-{ nv Jo P(t)dt=^-[ í I(i,t)dAdt. h v Jo JA (11.2-24) Integrovaný optický výkon W vyjádřený počtem kvant energie (fotonů) je konstanta reprezentující střední počet fotonů n. Jestliže sama intenzita /(r, í) náhodně fluktuuje v čase nebo prostoru, podléhá fluktuacím i optický výkon P(ť) [viz obr. 11.2-3(6)], a jeho integrál W je pak také náhodný. To znamená, že náhodný je nejen počet fotonů, nýbrž i jeho střední hodnota W. Tento dodatečný zdroj náhodnosti způsobuje, že fotonová statistika částečně koherentního světla se liší od Poissonova rozdělení. Jsou-li fluktuace středního počtu fotonů popsány pravděpodobnostní rozdělovači funkcí p ( y ) , pak celkové pravděpodobnostní rozdělení pro částečně koherentní světlo získáme středováním podmíněného FOTONOVÉ PROUDY 463 : Poissonova rozdělení p{n\W) = W"a. "* j n\ přes všechny dovolené hodnoty 1f s váhovou funkcí rovnou hustotě pravděpodobnosti vW)- Výsledné rozdělení počtu fotonů je pak dáno vztahem Mandelova formule p(n) = / : p{W)AW (11.2-25) známým jako Mandelova formule. Rovnice (11.2-25) je také často označována jako dvojnásobně stochastické Poissonovo rozdělení, neboť do ní přispívají dva zdroje náhodnosti: samotné fotony (které se chovají poissonovským způsobem) a fluktuace intenzity, které jsou důsledkem nekoherentní povahy světla (jejich statistika musí být blíže specifikována). Poznamenejme, že tato teorie fotonové statistiky je použitelná pouze pro světlo určitého druhu (tzv. klasické světlo); obecnější teorie založená na kvantovém popisu stavu světla je stručně popsána v odst. 11.3. Pomocí vztahů (11.2-13) a (11.2-14) a rovnice (11.2-25) lze odvodit výrazy pro střední počet fotonů a pro varianci v případě částečně koherentního světla: ň=W (11.2-26) (11.2-27) kde <r|, značí varianci 1/'. Všimněte si, že variance počtu fotonů je tvořena součtem dvou příspěvků: první člen představuje základní příspěvek od Poissonova rozdělení, druhý, dodatečný příspěvek je důsledkem klasických fluktuací optického výkonu. Důležitým příkladem statistických fluktuací je případ, kdy hustota pravděpodobnosti normovaného integrovaného optického výkonu W je exponenciální funkce: (o, {) r "° w < o. (H-2-28) Toto rozdělení je použitelné pro kvazimonochromaticke prostorově koherentní světlo, pokud jsou reálná a imaginární část komplexní amplitudy nezávislé a mají normální (Gaussovo) rozdělení pravděpodobnosti. Spektrální šířka musí být dostatečně malá, aby koherenční doba TC byla mnohem delší než detekční interval T, a koherenční plocha Ac musí být mnohem větší než plocha detektoru A. Rozdělení počtu fotonů, jež odpovídá (11.2-28), lze získat dosazením do (11.2-25) a vypočtením integrálu. Výsledkem je Boseovo-Einsteinovo rozdělení dané vztahem (11.2-20). Optické pole s gaussovským rozdělením má tedy fotonovou statistiku stejnou jako jeden mod tepelného záření. Není-li plocha A dostatečně malá a časový interval T dost krátký, statistika se změní; popisuje mnohavidové tepelné záření (viz úlohy 11.2-5 až 11.2-7). 464 D. FOTONOVÁ OPTIKA Náhodné dělení fotonových proudů Říkáme, že proud fotonů se dělí, jestliže některé jeho fotony jsou z něho vyčleňovány. Vyčleněné fotony mohou být buď odkloněny nebo zničeny. Jsou-li fotony odkláněny, nazývá se proces náhodným dělením. Zanikají-li, nazývá se náhodným pohlcováním. Existuje mnoho způsobů realizace těchto procesů. Snad nejjednodušší příklad náhodného dělení představuje ideální bezztrátový dělič svazku. Fotony jsou náhodně vybírány a začleňovány do jednoho ze dvou výstupních proudů (viz obr. 11.2-8). Příkladem náhodného pohlcování může být působení optického absorpčního filtru na světelný svazek. Fotony jsou náhodně vybírány a buďto projdou filtrem nebo zanikají (jsou přeměněny na teplo). V našich úvahách se omezíme na situace, kdy možnost, že jednotlivý foton bude vyčleněn, je stejná jako při nezávislých náhodných (Bernoulliho) pokusech. V případě děliče svazku to znamená, že proud fotonů dopadá pouze na jednu vstupní bránu (obr. 11.2-8). Tím je vyloučena možnost interference, která obecně ruší předpoklad o nezávislosti pokusů. Přestože se ve výsledcích, které budou odvozeny níže, bude hovořit o náhodném dělení, lze je stejně dobře použít i pro náhodné pohlcování fotonů. Budeme uvažovat bezztrátový dělič svazku s intenzitní propustností & a odrazivostí ^ = 1 — 3f. V elektromagnetické optice je intenzita prošlé vlny It svázána s intenzitou dopadající vlny / vztahem /( = 5fl. Výsledek dopadu jediného fotonu na dělič svazku byl vyšetřován v odst. 11.1B. Ukázali jsme tam, že pravděpodobnost průchodu je rovna propustnosti &. Nyní přikročíme k řešení případu, kdy na dělič svazku dopadá proud fotonů o středním toku <ř, takže střední počet fotonů přicházejících během časového intervalu T je ň = $ T. Podle (11.2-6) je střední počet fotonů ve svazku úměrný optické energii. Střední počet prošlých fotonů proto musí být c?ň a střední počet odražených fotonů (1 — ď^)ň. Položme si nyní obecnější otázku: co se stane s fotonovou statistikou p(n) proudu fotonů při dělení děličem svazku? Jediný foton dopadající na dělič je propuštěn s pravděpodobností j7 a odražen s pravděpodobností 1 — & (viz obr. 11.1-3). Obsahuje-li dopadající svazek přesně n fotonů, pak pravděpodobnost p(m), že projde právě m fotonů, je stejná jako pravděpodobnost, že při n hodech mincí padne m krát hlava, pokud samozřejmě pravděpodobnost toho, že padne hlava, je rovna á 7 . Z elementární teorie pravděpodobnosti víme, že výsledkem je binomické rozdělení -0 p{m) Obrázek 11.2-8 Sm(\ - .^)"~m. m = 0, 1, Bezztrátový dělič svazku Náhodné dělení proudu fotonů děličem svazku. (11.2-29) FOTONOVÉ PROUDY 465 kde (^) = n\/m\(n — m)\. Snadno se ukáže, že střední počet prošlých fotonů je pak m = -Jn. (11.2-30) Variance binomického rozdělení je dána vztahem 5 > = (1 - 3ř)m. (11.2-31) Vztahy pro odražený svazek lze získat ihned díky symetrii problému. Zvětšuje-li se střední počet prošlých fotonů m, pak poměr signálu k šumu, daný vztahem TřT2fa2m — — 7ř7/(l — y), se také zvětšuje. Proto pro velké intenzity probíhá dělení proudu fotonů do dvou svazků v poměru, který je v dobré shodě s poměrem 5" a 1 - -J, což značí, že můžeme použít zákonů klasické optiky. Výše uvedené výrazy nám umožňují vypočítat vliv děliče svazku na fotony podléhající různým fotonovým statistikám. Řešení pro stochastické proudy fotonů nalezneme, když si uvědomíme, že v takových případech není počet fotonů n na vstupu děliče pevný, nýbrž náhodný. Nechť pravděpodobnost, že před děličem nalezneme právě n fotonů, je po(n). Budeme-li fotony považovat za nezávislé, bude pravděpodobnostní rozdělení počtu fotonů v prošlém svazku dáno váženým součtem binomických rozdělení přes všechny přípustné hodnoty n. Váhové faktory jsou rovny pravděpodobnostem výskytu daného počtu fotonů n. Pravděpodobnost nalezení m fotonů prošlých děličem svazku, když rozdělení počtu fotonů na vstupu je po(")> je tedy dána vztahem p(m) = TlnP(m\n)Po(n)i kde p{m\n) = (^)^m{l — .^)n~m je binomické rozdělení. Nebo explicitně Fotonová statistika nri P(mJ = 7 i U-i7 PoCJ) řT7 = U, 1, Z,. . . . [Ll.Z-ÓJ.) náhodném dělení Je-li po(") Poissonovo rozdělení (pro koherentní záření) nebo Boseovo-Einsteinovo rozdělení (pro tepelné záření), pak jsou výsledky zcela jednoduché: fotonová statistika p(m) má přesně stejný tvar jako po(n). Tato rozdělení nemění při náhodném dělení svůj tvar. Tedy záření jednomodového laseru prošlé děličem svazku zachovává Poissonovo rozdělení a tepelné záření zachovává Boseovo-Einsteinovo rozdělení, i když samozřejmě s menším středním počtem fotonů. Záření s určitým (přesně určeným, neboli ostrým) počtem fotonů (viz odst. 11.3B) fotonovou statistiku při náhodném dělení naopak nezachovává. Tato nešťastná vlastnost vysvětluje jeho malou životnost. Pro rozdělený nebo zeslabený proud fotonů lze snadno spočítat i poměr signálu k šumu. Pro koherentní záření a pro jeden vid tepelného záření dostáváme r ň -=z koherentní záření (11.2-33) tepelné záření (11.2-34) 466 FOTONOVÁ OPTIKA Protože 3T < 1, je zřejmé, že náhodné dělení zmenšuje poměr signálu k šumu. Řečeno jinými slovy, náhodné dělení zavádí šum. Tato skutečnost je nejmarkantnější v případě světla s určitým počtem fotonů. Uvedené výsledky lze aplikovat i na detekci fotonů. Jestliže každý foton má stejnou šanci být nezávisle detekován, pak z n dopadajících fotonů bude s pravděpodobností p(m) detekováno m fotonů, přičemž p(m) je svázáno s po(n) vztahem (11.2-32). Tento výsledek bude užitečný v teorii detekce fotonů (kap. 17). *11.3 KVANTOVÉ STAVY SVĚTLA Poloha, hybnost a počet fotonů v elektromagnetickém modu jsou obecně náhodné veličiny. V tomto odstavci ukážeme, že samo elektrické pole je také obecně náhodné. Uvažujme elektromagnetický mod v objemu V odpovídající monochromatické rovinné vlně, popsaný vektorem elektrické intenzity Re{E(r, í)}, kde E(r, ť) = A exp(—jk • r) exp(j27Ti4)é. Podle klasické elektromagnetické optiky je energie modu neměnná a rovná ^e|.A|2 V. Vztahem 5re|yl|2 V = hu\a\2 definujeme komplexní proměnnou a. Veličinu \a\2 můžeme potom interpretovat jako energii modu vyjádřenou počtem kvant energie (počtem fotonů). Intenzitu elektrického pole lze vyjádřit vztahem E(r, ť) = \-jr (11.3-1) kde komplexní proměnná a určuje komplexní amplitudu pole. V klasické elektromagnetické optice představuje aexp(j27ri/í) rotující fázor, jehož projekce na reálnou osu vytváří sinusové elektrické pole (viz obr. 11.3-1). Reálná a imaginární část, x = Re{a} a p = Im{a}, se nazývají kvadraturními složkami fázoru a, neboť jsou vzájemně fázově posunuty o čtvrtinu cyklu (o 90°). Určují amplitudu a fázi sinusové vlny, která popisuje časové chování elektrického pole. Rotujícím fázorem aexp(jj'27ri'í) se také popisuje pohyb harmonického oscilátoru; Obrázek 11.3-1 Reálná a imaginární část proměnné aexp(j2nut), jež určuje komplexní amplitudu klasického elektromagnetického pole o frekvenci v. časová dynamika je stejná jako v případě harmonického oscilátoru s kruhovou frekvencí u = 2-KV. KVANTOVÉ STAVY SVĚTLA 467 reálná složka x je úměrná poloze a imaginární složka p hybnosti. Z matematického hlediska je chování klasického monochromatického modu elektromagnetického pole totožné s chováním klasického harmonickáio oscilátoru. Podobně i chování kvantového morochromatického elektromagnetického modu je stejné jako chování jednorozměrného kvantově-mechanického harmonického oscilátoru. Proto dříve než budeme pokračovat, probereme stručně kvantovou teorii jednoduchého harmonického oscilátoru Kvantová teorie harmonického oscilátoru Částice o hmotnosti m, jejíž pciohu budeme značit x a hybnost p a jejíž potenciální energie je V(x) = \KX2, kda K je konstanta pružnosti, představuje harmonický oscilátor s celkovou energií ^p2/m+ | K X 2 a s oscilační frekvencí w = (/c/m) 1 / 2 . Podle kvantové mechaniky lze její chování popsat komplexní vlnovou funkcí ip(x) splňující bezčasovou Schoaingerovu rovnici (11.3-2) kde £ je energie částice. Řešení Schródingerovy rovnice pro harmonický oscilátor vede k diskrétním hodnotám energie: £„ = ín + ]- J hu, n = 0, 1, 2, ...; (11.3-3) sousední energetické hladiny jsou vzdáleny o kvantum energie hv = Tuv. Odpovídající vlastní funkce ip„.(x) jsou Hermitovy-Gaussovy funkce, exp / mwx- -• 2h kde H„.{x) je Hermitův polynom řádu n [viz (3.3-5) až (3.3-7) a (3.3-10)]. Libovolnou vlnovou funkci ip{x) lze rozvinout podle systému ortogonálních vlastních funkcí {ip.„,(x)}, tj. lze ji zapsat jako superpozici těchto funkcí: tp(x) = = 2 „ c„.^>.,,(z). Vlnová funkce ip{x) určuje stav systému. Chování částice z ní lze určit následujícím způsobem: • Pravděpodobnost p(n), že harmonický oscilátor nese n kvant energie, je dána koeficientem | c „ | 2 . • Hustota pravděpodobnosti nalezení částice v místě x je určena hodnotou ^ ( x ) ! 2 . • Hustota pravděpodobnosti, že hybnost částice je p, je dána hodnotou |^>(p)|2. Funkce ijli(p) je úměrná inverzní Fourierově transformaci funkce ip{x) při frekvenci Plh: (11.3-4) 468 FOTONOVÁ OPTIKA Skutečnost, že proměnné x a p/h jsou takto svázány Fourierovou transformací, je příčinou Heisenbergových relací teurčitosti mezi polohou a hybností — - > — neb^ axa„p > —. h ~ 4TT - 2 Analogie mezi optickým modem a harmonicrým oscilátorem Energie elektromagnetického modu je hw\a\2 = hv{x? + p2). Analogie s harmonickým oscilátorem o energii | ( p 2 / m + KX2) se zavede na základě substituce x = (2hv)~1/2ux, p = (2hv)-'l2p. Energie modu pak je | ( p 2 + ÍV2X2), COŽ odpovídá energii harmonického oscilátoru s hmotností m = 1 (přičemž u> = y/n)- Vzhledem k tomn, že analogie je úplná, můžeme učinit závěr, že energie kvantového elektromagnetického modu je, stejně jako energie kvantově-mechanického harmonického oscilátoru, kvantována na hodnoty (n + \)hv, jak bylo naznačeno dříve. Při použití vhodných škálovacích faktorů určuje chování polohy x a hybnosti p harmonického oscilátoru chování kvadraturních složek elektromagnetického pole x a p. Shrnutí Elektromagnetický mod o frekvenci v je popsán komplexní vlnovou funkcí V>(x), která určuje statistiku počtu fotonů v modu a neurčitosti kvadraturních složek x a p. • Pravděpodobnost p(n), že vid obsahuje n fotonů, je dána hodnotou |c,i|2,'kde c„ jsou koeficienty rozvoje V"(x) podle vlastních funkcí tp*(x): • Hustoty pravděpodobnosti pro kvadraturní složky x a p jsou dány funkcemi I^MI 2 a \(f>(p)\2, přičemž tp(-) a 4>{-) jsou vázány vztahem <t>{p) = 4 = / V-(x) ex P 02px) dx. (11.3-5) • Známe-li ^(x), pak můžeme vypočítat <j>(p) a nalézt hustoty pravděpodobnosti pro x a p. Komplexní vlnová funkce ip(x) proto určuje neurčitosti kvadraturních složek komplexní amplitudy. V odst. A.2 dodatku A je ukázáno, že vztah mezi ip(x) a 4>{p) daný Fourierovou transformací vede k relaci neurčitosti mezi výkonovými rms šířkami kvadraturních KVANTOVÉ STAVY SVĚTLA 469 složek vyjádřené vztahem Kvadraturní neurčitost * p ,^. , , . ^ ^ — A Reálná a imaginární složka elektrického pole nemohou být obě zároveň určeny s libovolnou přesností. A. Koherentní stav Součin axap charakterizující neurčitost nabývá minimální hodnoty rovné | , když funkce tp(x) je Gaussovou funkcí (viz odst. A.2 dodatku A). V takovém případě je 2 tp(x) oc exp [-(x - a x ) ] (11.3-7) a jeho Fourierova transformace je rovněž Gaussovou funkcí: 2 cj>{p) oc exp [-(p - ap) } . (11.3-8) Zde ax a ap jsou libovolné konstanty reprezentující střední hodnoty veličin x a p. 2 2 Kvadraturní neurčitosti určené z |V>(x)| a |(/>(p)| jsou pak ax = ap=1-. (11.3-9) Říkáme, že za těchto podmínek je elektromagnetické pole v koherentním stavu. Neurčitosti kvadraturních složek x a p v rozsahu jedné standardní odchylky a odpovídající neurčitosti komplexní amplitudy a a elektrické intenzity S(t) pro světlo v koherentním stavu jsou zobrazeny na obr. 11.3-2. Čtverec absolutní hodnoty |c„| 2 koeficientů rozvoje funkce ifi(x) podle Hermitovy-Gaussovy báze je roven n" exp(—ň)/n\, kde n = a2 + a2p. Fotopulsní pravděpodobnostní rozdělení p(n) je tedy poissonovské. Narozdíl od elektromagnetické optiky, není v kontextu fotonové optiky koherentní světlo deterministické. Neurčitost koherentního stavu je nejvýraznější, když ax a ap jsou malé. Časové chování elektrické intenzity v limitě ax = ap = 0 je zachyceno na obr. 11.3-3. Tento stav odpovídá případu, kdy vid obsahuje nula fotonů a má pouze zbytkovou energii nulových kmitů \hu. Takový stav se nazývá vakuovým stavem. B. Stlačené stavy Kvadraturně stlačené světlo I když součin neurčitostí axap nelze zmenšit pod jeho minimální hodnotu rovnou | , neurčitost jedné kvadraturní složky může být zmenšena (stlačena) pod ^ — samozřejmě za cenu zvětšení neurčitosti druhé složky. Říkáme pak, že světlo je kvadraturně stlačené. Jako příklad vezměme stav, jehož xp(x) je Gaussova funkce s (roztaženou) 470 FOTONOVÁ OPTIKA Obrázek 11.3-2 Neurčitosti v případě koherentního stavu. Průběhy <f (t) oc a exp(j2iri/t) jsou zakresleny pro náhodně vybrané body z kruhu vymezujícího neurčitosti. Koeficient úměrnosti je roven jedné. Obrázek 11.3-3 Znázornění neurčitostí v případě vakuového stavu. šířkou ax = s/2 (s > 1). Odpovídající <j>(p) je také Gaussova funkce se (stlačenou) šířkou op — l/2s. Součin ax<jp zachovává svoji minimální hodnotu j , avšak kruh, jenž vymezoval neurčitost fázoru a, je stlačen do tvaru elipsy, jak ukazuje obr. 11.3-4. Asymetrie v neurčitostech dvou kvadraturních komponent se projevuje v časovém průběhu elektrické intenzity. Její neurčitost se periodicky zvětšuje a každou další čtvrtperiodu opět zmenšuje. Pokud by se pole měřilo pouze v těch okamžicích, v nichž je jeho neurčitost minimální, mohl by být šum snížen pod úroveň dosažitelnou v případě koherentního stavu. Výběr takových časových okamžiků lze docílit heterodynním směšováním stlačeného světla s koherentním optickým polem odpovídající fáze (viz odst. 22.5). Díky této redukci šumu je stlačené světlo vhodné pro přesná měření a pro přenos informace. KVANTOVÉ STAVY SVĚTLA Obrázek 11.3-4 471 Znázornění neurčitostí v případě kvadraturně stlačeného stavu Světlo se stlačeným počtem fotonů Kvadraturně stlačené světlo se vyznačuje tím, že neurčitost jedné z jeho kvadraturních složek je menší než neurčitost této složky v případě koherentního stavu. Jiným druhem neklasického světla je světlo se stlačeným počtem fotonů neboli subpoissonovské světlo. Variance rozdělení počtu fotonů je v tomto případě stlačena pod hodnotu odpovídající koherentnímu stavu (pod hodnotu variance Poissonova rozdělení), tj. o2n < n. Fluktuace počtu fotonů vyhovující této nerovnosti jsou neklasické, protože vztah (11.2-27) pro ně nemůže být splněn. Světlo se stlačeným počtem fotonů se používá, stejně jako kvadraturně stlačené světlo, při přesném měření a při přenosu informace. Lze je generovat speciálními polovodičovými diodovými lasery. Jako příklad světla se stlačeným počtem fotonů vezmeme elektromagnetický vid odpovídající vlastnímu stavu harmonického oscilátoru ip(x) = ip„0(x). Takový stav se nazývá stavem s ostrým počtem fotonů, protože p(n) = |c„| 2 = 1 pro n = no a všechny ostatní koeficienty (c„ pro n / n0) jsou nulové. Tedy počet fotonů obsažených v modu je přesně n0. Tento stav má zcela určitý počet fotonů. Střední počet fotonů je zřejmě ň = ng a variance je rovna nule (nedochází k žádným fluktuacím v počtu fotonů). V případě no = 1 je přítomen právě jeden foton. Neurčitosti v případě světla s ostrým počtem fotonů jsou znázorněny na obrázku 11.3-5. Ačkoli kvadraturní složky, jakož i velikost fázoru a hodnota fáze, jsou neurčité, je počet fotonů v tomto stavu zcela určitý. Vyvstává otázka, zda-li je možné provést experimenty vyžadující pevný počet fotonů nějakým způsobem pomocí světla v koherentním stavu. Nešlo by to udělat například tak, že bychom v řadě následujících časových intervalů monitorovali fotony přicházející z koherentního zdroje, a použili pak fotony pouze z těch intervalů, v nichž bychom jich nalezli právě požadovaný počet? Problém u tohoto přístupu spočívá v tom, že je těžké pozorovat fotony, aniž bychom je zničili. Jednou z možností, jak tento problém obejít, je generovat fotony v korelovaných párech pomocí takových procesů jako je parametrická konverze do nižších frekvencí (viz odstavce 19.2C a 19.4C). Máme-li dvě „kopie" fotonového proudu, můžeme monitorováním jedné z nich určovat počet fotonů ve druhé. 472 FOTONOVÁ OPTIKA Obrázek 11.3-5 Znázornění neurčitostí v případě stavu s ostrým počtem fotonů. Tento stav je stlačen vzhledem k počtu fotonů, ale není kvadraturně stlačený. LITERATURA Knihy o kvantové mechanice L. E. Ballentine, Quantum Mechanics, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 1990. W. Greiner, Quantum Mechanics, Springer-Verlag, New York, 1989. A. Yariv, Introduction to the Theory and Aplications of Quantum Mechanics, Wiley, New York, 1982. L. I. Schiff, Quantum Mechanics, McGraw-Hill, New York, 3. vyd. 1968. R. P. Feynman, R. B. Leightpn a M. Sands, The Feynman Lectures on Physics, vol. 3, Quantum Mechanics, Addison-Wesley, Reading, MA, 1965. R. P. Feynman, Quantum Electrodynamics, W. A. Benjamin, New York, 1962. A. Messiah, Quantum Mechanics, vols. 1, 2, North-Holland/Wiley, Amsterdam/New York, 1961/1962. E. Merzbacher, Quantum Mechanics, Wiley, New York, 1961. R. M. Eisberg, Fundamentals of Modem Physics, Wiley, New York, 1961. P. A. M. Dirac, The Principles of Quantum Mechanics, Oxford University Press, New York, 4. vyd. 1958. L. D. Landau a E. M. Lifshitz, Quantum Mechanics, Addison-Wesley, Reading, MA, 1958. (Přepracované a doplněné ruské vydání Kvantovaja mechanika GIFML, Moskva, 1963) Knihy o kvantové optice J. Peřina, Quantum Statistics of Linear and Nonlinear Optical Phenomena, Reidel, Dordrecht, The Netherlands, 2. vyd. 1991. P. Meystre a M. Sargent III, Elements of Quantum Optics, Springer-Verlag, New York, 1990. W. H. Louisell, Quantum Statistical Properties of Radiation, Wiley, New York, 1973, 1990. LITERATURA 473 C. Cohen-Tannoudji, J. Dupont-Roc a G . Grynberg, Photons and Atoms, Wiley, New York, 1989. E. R. Pike a H. Walther, eds., Photons and Quantum Fluctuations, Adam Hilger, Bristol, England, 1988. F. Haake, L. M. Narducci a D . F. Walls, eds., Coherence, Cooperatíon, and Fluctuations, Cambridge University Press, New York, 1986. E. R. Pike a S. Sarkar, eds., Frontiers in Quantum Optics, Adam Hilger, Bristol, England, 1986. R. P. Feynman, QED, Princeton University Press, Princeton, NJ, 1985. J. Peřina, Coherence of Light, Reidel, Dordrecht, The Netherlands, 2. vyd. 1985. R. Loudon, The Quantum Theory of Light, Oxford University Press, New York, 2. vyd. 1983. R. L. Knight a L. Allen, Concepts of Quantum Optics, Pergamem Press, Oxford, 1983. E. Goldin, Waves and Photons: An Introduction to Quantum Optics, Wiley, New York, 1982. H. Haken, Light, vol. 1: Waves, Photons, Atoms, North-Holland, Amsterdam, 1981. D. Marcuse, Principles of Quantum Electronics, Academie Press, New York, 1980. B. Saleh, Photoelectron Statistics, Springer-Verlag, New York, 1978. H. M. Nussenzveig, Introduction to Quantum Optics, Gordon and Breach, New York, 1973. D. Marcuse, Engineering Quantum Electrodynamics, Harcourt, Brace & World, New York, 1970. J. R. Klauder a E. C. G. Sudarshan, Fundamentals of Quantum Optics, W. A. Benjamin, New York, 1968. C. DeWitt, A. Blandin a C . Cohen-Tannoudji, eds., Quantum Optics and Electronics, Gordon and Breach, New York, 1965. W. H. Louisell, Radiation and Noise in Quantum Electronics, McGraw-Hill, New York, 1964. W. Heitler, The Quantum Theory of Radiation, Clarendon Press, Oxford, England, 3. vyd. 1954. Zvláštní vydání časopisů Speciál issue on the statistical efřiciency of natural and artificial vision, Part II, Journal of the Optical Society of America A, vol. 5, no. 4, 1988. Speciál issue on the statistical efficiency of natural and artificial vision, Journal of the Optical Society of America A, vol. 4, no. 12, 1987. Speciál issue on squeezed states of the electromagnetic field, Journal of the Optical Society of America B, vol. 4, no. 10, 1987. Speciál issue on squeezed light, Journal of Modem Optics, vol. 34, no. 6/7, 1987. Speciál issue on quantum-limited imaging and image processing, Journal of the Optical Society of America A, vol. 3, no. 12, 1986. Speciál issue on the mechanical effects of light, Journal of the Optical Society of America B, vol. 2, no. 11, 1985. 474 FOTONOVÁ OPTIKA Články M. C. Teich a B. E. A. Saleh, Squeezed and Antibunched Light, Physics Today, vol. 43, no. 6, pp. 26-34, 1990. M. C. Teich a B. E. A. Saleh, Squeezed States of Light, Quantum Optics, vol. 1, pp. 153-191, 1989. M. C. Teich a B. E. A. Saleh, Photon Bunching and Antibunching, in Progress ín Optics, vol. 26, E. Wolf, ed., North-Holland, Amsterdam, 1988, pp. 1-104. R. E. Slusher a B. Yurke, Squeezed Light, Scientific American, vol. 258, no. 5, pp. 50-56, 1988. M. D. Levenson a R. M. Shelby, Deamplification of Quantum Noise and Quantum Nondemolition Detection in Optical Fibers, Optics News, vol. 14, no. 1, pp. 7-12, 1988. R. W. Henry a S. C. Glotzer, A Squeezed-State Primer, American Journal of Physics, vol. 56, pp. 318-328, 1988. G. Leuchs, Squeezing the Quantum Fluctuations of Light, Contemporary Physics, vol. 29, pp. 299-314, 1988. R. Loudon a P. L. Knight, Squeezed Light, Journal of Modem Optics, vol. 34, pp. 709-759, 1987. M.-A. Bouchiat a L. Pottier, Optical Experiments and Weak Interactions, Science, vol. 234, pp. 1203-1210, 1986. D. F. Walls, Squeezed States of Light, Nature, vol. 306, pp. 141-146, 1983. H. Paul, Photon Antibunching, Reviews of Modem Physics, vol. 54, pp. 1061-1102, 1982. E. Wolf, Einstein's Researches on the Nature of Light, Optics News, vol. 5, no. 1, pp. 24-39, 1979. S. Weinberg, Light as a Fundamental Particle, Physics Today, vol. 28, no. 6, pp. 32-37, 1975. M. O. Scully a M. Sargent III, The Concept of the Photon, Physics Today, vol. 25, no. 3, pp. 38-47, 1972. H. Risken, Statistical Properties of Laser Light, in Progress in Optics, vol. 8, E. Wolf, ed., North-Holland, Amsterdam, 1970. L. Mandel a E. Wolf, eds., Selected Papers on Coherence and Fluctuations of Light, vols. 1 a 2, Dover, New York, 1970. L. Mandel a E. Wolf, Coherence Properties of Optical Fields, Reviews of Modem Physics, vol. 37, pp. 231-287, 1965. L. Mandel, Fluctuations of Light Beams, in Progress in Optics, vol. 2, E. Wolf, ed., North-Holland, Amsterdam, 1963. Literatura v českém a slovenském jazyce S. Brandt a H. D. Dahmen, Kvantová mechanika v obrazoch, Alfa, Bratislava, 1990. R. P. Feynman, R. B. Leighton a M. Sands, Feynmanove přednášky z fyziky, díl 5, Alfa, Bratislava, 1989. J. Kvasnica, Matematický aparát fyziky, Academia, Praha, 1989. J. Pišút, L. Gomolčák a V. Černý, Úvod do kvantovej mechaniky, Alfa/SNTL, Bratislava/Praha, 2. vyd. 1983. ÚLOHY 475 J. Formánek, Úvod do kvantové teorie, Academia, Praha, 1983. B. Kvasil, Teoretické základy kvantové elektroniky, Academia, Praha, 1983. L. D. Landau a J. M. Lifšic, Úvod do teoretickej fyziky 2: Kvantová mechanika, Alfa/Mir, Bratislava/Moskva, 1982. J. Likeš, J. Machek, Počet pravděpodobností, MVŠT sešit X, SNTL, Praha, 1982. K. Rektorys a kol., Přehled užité matematiky, SNTL, Praha, 4. vyd. 1981. A. S. Davydov, Kvantová mechanika, SPN, Praha, 1978. A. Renyi, Teorie pravděpodobnosti, Academia, Praha, 1972. J. Peřina, Teorie koherence, SNTL, Praha, 1975. J. Kvasnica, Fyzikální pole, SNTL, Praha, 1964. ÚLOHY 11.1-1 Energie fotonu, (a) Jaké napětí je třeba k urychlení elektronu z nulové rychlosti, aby získal stejnou energii, jakou má foton o vlnové délce Ao = 0,87 /im? (b) Z fotonu o vlnové délce 1,06/mi a z fotonu o vlnové délce 10,6 //m byl vytvořen foton, jehož energie je rovna součtu energií těchto dvou fotonů. Jaká je vlnová délka výsledného fotonu? Interakce tohoto typu jsou diskutovány v kap. 19. 11.1-2 Poloha jediného fotonu na stínítku. Uvažujte svazek monochromatického světla o vlnové délce Ao dopadající na nekonečně rozlehlé stínítko v rovině z = 0. Intenzita svazku buď I(p) = IQ exp(—p/po), kde p = (x2 + y2)1!2. Představte si, že intenzita zdroje je snížena na úroveň, kdy na stínítko dopadá pouze jediný foton. (a) Najděte pravděpodobnost toho, že foton dopadne do oblasti stínítka vymezené kruhem o poloměru po kolem počátku. (b) Obsahuje-li svazek přesně 106 fotonů, kolik fotonů v průměru dopadne do kruhu o poloměru PQ! 11.1-3 Hybnost volného fotonu. Porovnejte celkovou hybnost fotonů v laserovém impulsu o energii 10 J s hybností lg hmoty pohybující se rychlostí 1 cm/s a s hybností elektronu pohybujícího se rychlostí co/10. *ll.l-4 Hybnost fotonu v gaussovském svazku, (a) Jaká je pravděpodobnost, že vektor hybnosti fotonu spojeného s gaussovským svazkem s minimálním poloměrem WQ leží uvnitř kužele o vrcholovém úhlu #o? Odkazujeme na definice v odst. 3.1. (b) Platí v tomto případě vztah p = /ř/co? 11.1-5 Levitace vlivem tlaku záření. Uvažujte izolovaný atom vodíku o hmotnosti 1,66 x 10" 27 kg. (a) Zjistěte jaká gravitační síla působí na tento vodíkový atom v blízkosti zemského povrchu (předpokládejte, že gravitační zrychlení na úrovni mořské hladiny je g = 9,8 m/s2). 476 FOTONOVÁ OPTIKA (b) Mějme nyní laserový svazek fotonů o energii 1 eV namířený směrem vzhůru a sfokusovaný tak, že veškerá hybnost každého jeho fotonu je předávána atomu. Nalezněte střední sílu tlačící atom vzhůru za předpokladu, že na něj každou sekundu dopadá jeden foton. (c) Určete počet fotonů, které musí dopadnout na atom za jednu sekundu, a odpovídající optický výkon, aby atom nepadal vlivem gravitace; uvažujte idealizované podmínky ve vakuu. (d) Jaký počet fotonů za sekundu by byl potřeba k udržení atomu, kdyby atom fotony dokonale odrážel? *ll.l-6 Jediný foton ve Fabryově-Perotově rezonátoru. Uvažujte FabryůvPerotův rezonátor délky d = 1 cm s dokonale odrazivými zrcadly vyplněný neabsorbujícím materiálem o indexu lomu n = 1,5. Předpokládejte, že v rezonátoru je právě jeden foton v modu popsaném stojatou vlnou sin(1057rz/c/). (a) Určete vlnovou délku fotonu a jeho energii (eV). (b) Odhadněte neurčitost polohy a hybnosti fotonu (velikosti i směru) a výsledek srovnejte se vztahem apax ss h/2. 11.1-7 Jednofotonové rázy (časová interference). Uvažujte detektor osvětlený polychromatickou rovinnou vlnou sestávající ze dvou rovnoběžných monochromatických vln s časovými závislostmi popsanými funkcemi a U2(t) = s frekvencemi v\ á v2 a intenzitami l\ a l2. Podle vlnové optiky (odst. 2.6B) platí pro intenzitu takové vlny 7(ť) = 7i + 12 + 2{I\I2)1/2 cos[27r(i/2 — v\)i\Předpokládejme, že obě dílčí rovinné vlny mají stejné intenzity (7i =72). Předpokládejme také, že vlna je tak slabá, že v časovém intervalu T = = l/\v2 — v\\ dopadá na detektor pouze jediný foton. (a) Vyneste závislost hustoty pravděpodobnosti p(í) detekce fotonu v čase t pro 0 < ť < l/|f2 — v\\- Ve kterém okamžiku z intervalu T je pravděpodobnost detekce fotonu nulová? (b) Aby bylo možno určit, ze které ze dvou dílčích vln foton pochází, bylo by třeba změřit energii s přesností lepší než <?E < h\v2 — v\\. Užitím relace neurčitosti mezi časem a energií ukažte, že čas nutný pro takové měření by byl srovnatelný s periodou rázů, takže takovéto měření by smazávalo interferenci. 11.1-8 Změna hybnosti fotonu při průchodu děličem svazku. Uvažujte jediný foton v modu popsaném rovinnou vlnou dopadající na bezztrátový dělič svazku. Jaký je vektor hybnosti fotonu předtím než dopadne na dělič? Jaké jsou možné hodnoty vektoru hybnosti a jaké jsou pravděpodobnosti pozorování těchto hodnot za děličem svazku? ÚLOHY 477 11.2-1 Fotonový tok. Ukažte, že výkon monochromatického optického svazku, který nese v průměru jeden foton na optickou periodu, je nepřímo úměrný kvadrátu vlnové délky. 11.2-2 Poissonovo rozdělení. Ověřte, že Poissonovo pravděpodobnostní rozdělení dané vztahem (11.2-12) je normované na jednotku a má střední hodnotu ň a varianci a\ = ň. 11.2-3 Fotonová statistika koherentního Gaussova svazku. Předpokládejte, že jednomodový He-Ne laser o výkonu 100 pW vysílá záření na vlnové délce 633nm v modu TEMo.o ve tvaru gaussovského svazku (viz kap. 3). (a) Jaký je střední počet fotonů, které projdou kruhem o poloměru rovném minimálnímu poloměru svazku W$ za čas T = 100 ns (z = 0)? (b) Jaká je variance počtu fotonů v případě (a)? (c) Jaká je v případě (a) pravděpodobnost, že kruhem neprojde žádný foton? 11.2-4 Boseovo-Einsteinovo rozdělení. (a) Ověřte, že Boseovo-Einsteinovo pravděpodobnostní rozdělení, dané vztahem (11.2-20), je normované a má střední hodnotu n a varianci a\ — n + n2. (b) Jaká je pravděpodobnost, že v časovém intervalu délky 20 ns nebude detekován žádný foton, je-li fotonový tok ve svazku fotonů řídících se Boseovou-Einsteinovou statistikou v průměru 1 foton za nanosekundu? *11.2-5 Záporné binomické rozdělení. V literatuře o teorii pravděpodobnosti je ukázáno, že součty *// náhodných proměnných s identickým geometrickým (Boseovým-Einsteinovým) rozdělením se řídí záporným binomickým rozdělením A {ni.ar n Ověřte, že v případě *// = 1 se negativní binomické rozdělení redukuje na Boseovo-Einsteinovo rozdělení a v případě ~/( —> co na Poissonovo rozdělení. *11.2-6 Fotonová statistika mnohamodového tepelného záření v dutině. Uvažujte .// modů tepelného záření vzájemně dostatečně frekvenčně blízkých, abychom mohli předpokládat, že jsou obsazeny podle Boseova-Einsteinova rozdělení o stejném středním počtu fotonů l/[exp(hf/kBT) — 1]. Ukažte, že variance celkového počtu fotonů n je svázána se střední hodnotou vztahem 2 naznačujícím, že mnohamodové tepelné záření má menší varianci než jednomodové tepelné záření. Přítomnost mnoha vidů zajišťuje středování, čímž se snižuje šum světla. *11.2-7 Fotonová statistika svazku mnohamodového tepelného záření. Zdroj mnohavidového tepelného záření obsahujícího «/( identických modů s exponenciálně rozděleným (náhodným) integrovaným výkonem má hustotu pravděpodobnosti p(^') popsanou rozdělením gama 478 FOTONOVÁ OPTIKA S využitím Mandelovy formule (11.2-25) ukažte, že výsledné rozdělení počtu fotonů má tvar záporného binomického rozdělení definovaného v úloze 11.2-5. *11.2-8 Střední hodnota a variance dvojnásobně stochastického Poissonova rozdělení. Dokažte (11.2-26) a (11.2-27). 11.2-9 Náhodné dělení koherentního světla, (a) Pomocí (11.2-32) ukažte, že rozdělení počtu fotonů náhodně děleného koherentního záření zachovává poissonovský tvar. (b) Ukažte přímým výpočtem, že střední počet fotonů ve světle odraženém od bezztrátového děliče svazku je (1 - 5f)l\. (c) Dokažte (11.2-33) pro koherentní světlo. 11.2-10 Náhodné dělení jednovidového tepelného záření, (a) Pomocí vztahu (11.2-32) ukažte, že rozdělení počtu fotonů náhodně děleného jednovidového tepelného záření zachovává Boseův-Einsteinův tvar. (b) Přímým výpočtem ukažte, že střední počet fotonů ve světle odraženém od bezztrátového děliče svazku je (1 — ^~)n. (c) Dokažte (11.2-34) pro jednovidové tepelné záření. *11.2-11 Exponenciální pokles středního počtu fotonů v absorbujícím prostředí, (a) Uvažujte absorbující materiál tloušťky d s absorpčním koeficientem a (cm" 1 ). Napište diferenciální rovnici umožňující určit střední počet fotonů n{x) v místě x, kde x je hloubka uvnitř filtru (0 < x < d). Střední počet fotonů dopadajících na materiál buď ňo(b) Řešte tuto diferenciální rovnici. Vysvětlete, proč váš výsledek odpovídá zákonu exponenciálního poklesu intenzity získanému pomocí elektromagnetické optiky (odst. 5.5A). (c) Napište výraz pro rozdělení počtu fotonů p(n) v libovolném místě x v absorbujícím prostředím, dopadá-li na něj koherentní světlo. (d) Jaká je pravděpodobnost průchodu jednoho fotonu absorbujícím prostředím? *11.3-1 Binomické rozdělení počtu fotonů. Binomické pravděpodobnostní rozdělení lze zapsat ve tvaru: p{n) = [M\/(M-n)\n\]pn(l-p)M~n. Toto rozdělení popisuje určitý druh světla se stlačeným počtem fotonů. (a) Navrhněte možný mechanismus přeměny světla ve stavu s ostrým (určitým) počtem fotonů na světlo popsané binomickou fotonovou statistikou. (b) Dokažte, že binomické pravděpodobnostní rozdělení je normované na jednotku. (c) Nalezněte střední hodnotu n a varianci a\ binomického pravděpodobnostního rozdělení vyjádřené pomocí parametrů p a M . (d) Nalezněte vztah pro SNR a zapište jej pomocí n a p . Vypočtěte SNR pro limitní případy p —* 0 a p —> 1. Jakým druhům světla odpovídají tyto dva krajní případy? ÚLOHY 479 *11.3-2 Šum hypotetického fotonového zdroje. Uvažujte hypotetický světelný zdroj, který produkuje proud fotonů s rovnoměrným diskrétním rozdělením počtu fotonů daným vztahem O jinde. (a) Ověřte, že toto rozdělení je normované na jednotku a má střední hodnotu n. Vypočtěte varianci počtu fotonů a\ a poměr signálu k šumu (SNR) a porovnejte je s hodnotami pro Boseovo-Einsteinovo a Poissonovo rozdělení se stejnými středními hodnotami. (b) Pomocí SNR rozhodněte, zda tento zdroj má větší či menší šum, než ideální jednomodový laser. Vyšetřete případy s ň < 2, ň = 2 a s ň > 2. (c) Kolikrát je SNR pro takovéto světlo větší než pro jednomodové tepelné záření? [Užitečné vzorce: K A P I T O L A 12 FOTONY A ATOMY 12.1 ATOMY, MOLEKULY A PEVNÉ LAŤKY A. Energetické hladiny B. Obsazení energetických hladin pn tepelné rovnováze 12.2 INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY A. Interakce jednomodového záření s atomem B. Spontánní emise C. Stimulovaná emise a absorpce D. Rozšíření čáry *E. Laserové ochlazování a zachycování atomů 12.3 TEPELNÉ ZÁŘENÍ A. Tepelná rovnováha mezi fotony a atomy B. Spektrum záření černého tělesa 12.4 LUMINISCENCE Niels Bohr (1885-1962) Albert Einstein (1879-1955) Bohr a Einstein položili teoretické základy popisu interakce záření s látkou. 480 Fotony interagují s látkou, protože obsahuje elektrické náboje. Elektrické pole záření silově působí na elektrické náboje a dipóly v atomech, molekulách a pevných látkách a způsobuje jejich kmitání nebo je urychluje. Naopak kmitající elektrické náboje vysílají záření. Atomy, molekuly a pevné látky mají specifické dovolené energetické hladiny, určené zákony kvantové mechaniky. Záření interaguje s atomem prostřednictvím změn potenciální energie, které mají původ v silách působících na elektrické náboje. Tyto síly jsou indukovány časově proměnným elektrickým polem záření. Foton může interagovat s atomem, jestliže jeho energie je rovna rozdílu mezi dvěma energetickými hladinami. Foton může svou energii odevzdat atomu a způsobit tak jeho přechod na vyšší energetickou hladinu. O fotonu pak říkáme, že byl absorbován (či anihiloval). Je možný i alternativní proces. Atom přejde na nižší energetickou hladinu, což má za následek emisi (či kreaci) fotonu s energií rovnou rozdílu mezi enegetickými hladinami. V látce dochází nepřetržitě k přechodům nahoru a dolů mezi dovolenými energetickými hladinami. Některé z těchto přechodů jsou způsobovány tepelnými excitacemi a vedou k emisi a absorpci fotonů. Výsledkem je generování elektromagnetického záření ze všech objektů, jejichž teplota se liší od absolutní nuly. S růstem teploty objektů jsou s rostoucí pravděpodobností obsazovány vyšší energetické hladiny, což působí posun spektra záření směrem k vyšším frekvencím (kratším vlnovým délkám). V důsledku těchto náhodných procesů fotonové emise a absorpce, doprovázených tepelnými přechody mezi dovolenými energetickými hladinami, se dosáhne tepelné rovnováhy mezi souborem fotonů a atomů. Emitované záření má spektrum, které je určeno výhradně touto podmínkou rovnováhy. Záření, vysílané atomy, molekulami a pevnými látkami za podmínky tepelné rovnováhy a za nepřítomnosti jiných externích energetických zdrojů, je známo jako tepelné záření. Emise fotonů může být také způsobena přítomností jiných vnějších energetických zdrojů, jakými jsou např. vnější zdroj záření, proud elektronů či chemická reakce. Excitované atomy pak mohou emitovat netermální záření, zvané luminiscence. Cílem této kapitoly je uvést zákony, jimiž se řídí interakce záření s látkou a které vedou k emisi tepelného a luminiscenčního záření. Kapitola začíná stručným přehledem (odst. 12.1) různých typů energetických hladin v atomech, molekulách a pevných látkách. V odst. 12.2 jsou uvedeny zákony interakce fotonu s atomem, tj. emise a absorpce fotonů. Interakce mnoha fotonů s mnoha atomy za podmínky tepelné rovnováhy je diskutována v odst. 12.3. Stručný popis luminiscenčního záření je uveden v odst. 12.4. 12.1 ATOMY, MOLEKULY A PEVNÉ LÁTKY Látka se skládá z atomů. Ty mohou existovat v relativní izolaci, jako v případě zředěného atomového plynu, nebo mohou vstupovat do interakcí se sousedními atomy 481 482 FOTONY A ATOMY a tvořit molekuly či látku v kapalném nebo pevném skupenství. Pohyb částic, z nichž se hmota skládá, podléhá zákonům kvantové mechaniky. Chování jediné nerelativistické částice o hmotnosti m (např. elektronu) s potenciální energií V(r, t) je popsáno komplexní vlnovou funkcí \P(r, ť) vyhovující Schrodingerově rovnici (12.1-1) Potenciální energie je určena prostředím obklopujícím částici a je odpovědná za velký počet různých řešení této rovnice. Systémy s mnoha částicemi, jako atomy, molekuly, kapaliny a pevné látky, podléhají složitější, nicméně podobné rovnici; potenciální energie pak obsahuje členy popisující interakci mezi částicemi a s přiloženým vnějším polem. Rovnice (12.1-1) je podobná paraxiální Helmholtzově rovnici [viz (2.2-22) a (5.6-18)]. Bornův postulát kvantové mechaniky stanoví, že pravděpodobnost nalezení částice uvnitř malého objemu dV v okolí polohy stanovené vektorem r a v časovém intervalu mezi t a t + dť je 2 p(r, ť) dV dí = | * ( r , í ) | dV dí. (12.1-2) Rovnice (12.1-2) je podobná rovnici (11.1-10), která udává pravděpodobnost nalezení fotonu v daném místě a daném čase. Jestliže chceme pouze určit dovolené energetické hladiny E částice za nepřítomnosti časově proměnných interakcí, můžeme v (12.1-1) užít techniku separace proměnných a psát í'(r ) ť) = ip(r)exp[—j(E/ň)t], kde ^(r) vyhovuje časově nezávislé Schrodingerově rovnici - ^ V ^ ( r ) + V(r)r/,(r) = Ef(i). (12.1-3) Systém mnoha částic podléhá zobecněné formě rovnice (12.1-3). Řešení poskytuje dovolené hodnoty energie systému E. Tyto hodnoty jsou někdy diskrétní (např. pro atom), íiěkdy spojité (pro volnou částici) a někdy též tvoří hustě uspořádané diskrétní hladiny zvané pásy (v polovodičích). Tepelná excitace nebo vnější pole, např. ozáření materiálu, mohou způsobit přechod systému z jedné z energetických hladin na druhou. Těmito pochody se uskutečňuje výměna energie mezi systémem a vnějším světem. A. Energetické hladiny Energetické hladiny molekulárního systému vznikají jednak následkem potenciální energie elektronů v přítomnosti atomových jader a ostatních elektronů, jednak v důsledku molekulárních vibrací a rotací. V tomto odstavci si uvedeme příklady různých typů energetických hladin pro určité vybrané atomy, molekuly a pevné látky. ATOMY, MOLEKULY A PEVNÉ LÁTKY 483 Vibrační a rotační energetické hladiny v molekulách Kmity (vibrace) dvouatomové molekuly. Kmity dvouatomové molekuly, jako např. N2, CO nebo HC1, si lze znázornit modelem dvou hmotností mi, m-i spojených pružinou. Intramolekulární soudržnost má za následek vznik pružné síly, která je zhruba přímo úměrná změně x vzdálenosti mezi atomy. Můžeme zavést molekulární 2 konstantu tuhosti pružiny K tak, že potenciální energie je V(x) = \nx . Molekulární vibrace probíhají tak, že jejich energie odpovídají hodnotám ze souboru dovolených energetických hladin příslušejících kvantově mechanickému harmonickému oscilátoru, (12.1-4) 1 2 kde w = (/í/nv) / je frekvence kmitů a mr = mim2/(mi + 7712) je redukovaná hmotnost systému. Energetické hladiny jsou ekvidistantní. Typické hodnoty ňu> leží mezi 0,05 a 0,5 eV, což odpovídá energii fotonu v infračervené spektrální oblasti (převody mezi různými energetickými jednotkami poskytuje obr. 11.1-2 a zadní strana obálky knihy). Dvě nejnižší vibrační energetické hladiny molekuly N2 jsou ukázány na obr. 12.1-1. Rovnice (12.1-4) je identická s výrazem pro dovolené energie modu elektromagnetického pole [viz. (11.1-4)]. Kmity molekuly CC>2- Molekula CO2 může vykonávat tři nezávislé typy kmitů: symetrické valenční kmity (SV), antisymetrické valenční kmity (AV) a (dvojnásobně degenerované) deformační kmity (D). Každý z těchto vibračních modů se chová jako harmonický oscilátor se svou vlastní pružinovou konstantou a tudíž se svou vlastní hodnotou ňui. Dovolené energetické hladiny se určí z (12.1-4) pomocí tří eV co 2 (050) .(200) (001) - 0.4 (040) - 0.3 ^9.6-//m laser (030) 10.6//m laser ^ (020) (010) - 0.2 - 0.1 (000) Antisymetrické Symetrické Deformační valenční valenční kmity kmity kmity Obrázek 12.1-1 Nejnižší vibrační energetické hladiny molekul N2 a CO2 (nulová hladina energie je vybrána při q = 0). Přechody označené šipkami představují energetické výměny odpovídající fotonům o vlnových délkách 10,6 /im a 9,6 ^m. Tyto přechody se využívají v laseru CO2, jak je diskutováno v kap. 13 a 14. 484 FOTONY A ATOMY modových kvantových čísel (91,92,93) odpovídajících modům SV, AV a D jak je ukázáno na obr. 12.1-1. Rotace dvouatomové molekuly. Rotace dvouatomové molekuly kolem jejích os jsou podobné rotacím tuhého rotátoru s momentem setrvačnosti ď. Rotační energie je kvantována na hodnoty )— , 9 = 0, 1, 2, (12.1-5) Tyto hladiny nejsou ekvidistantně rozložené. Typické rotační energetické hladiny jsou od sebe vzdáleny 0,001 až 0,01 eV, takže energetické rozdíly odpovídají fotonům v daleké infračervené oblasti spektra. Každá z vibračních hladin znázorněných na obr. 12.1-1 se ve skutečnosti štěpí na mnoho velmi blízkých rotačních hladin s energiemi danými přibližně vztahem (12.1-5). Elektronové energetické hladiny atomů a molekul Isolované atomy. Isolovaný atom vodíku má potenciální energii odpovídající energii Coulombovy přitažlivé síly mezi protonem a elektronem. Řešení Schródingerovy rovnice vede k nekonečnému počtu diskrétních hladin s energiemi 9 = 1, 2, 3, . . . , (12.1-6) kde ni,, je redukovaná hmotnost atomu, e je náboj elektronu a Z je počet protonů v jádru (Z = 1 pro vodík). Tyto hladiny jsou znázorněny na obr. 12.1-2 pro Z = 1 a Z = 6. Výpočet energetických hladin složitějších atomů je obtížný následkem interakcí mezi elektrony a působení elektronového spinu. Všechny atomy mají diskrétní energe- Obrázek 12.1-2 Energetické hladiny H(Z = 1) a CG+ (vodíkupodobný atom se Z = 6). Přechod z q = 3 na q = 2 označený šipkou odpovídá laserovému přechodu v rentgenové oblasti u 18,2 nm v C G +, o kterém se hovoří v kap. 14. Nulová hodnota energie je zvolena při 9 = 1. ATOMY, MOLEKULY A PEVNÉ LÁTKY 485 eV Ne 3.39>/m laser 21 20 19 18 17 16 Lichá parita Sudá parita Obrázek 12.1-3 Některé energetické hladiny atomů He a Ne. Přechody v Ne označené šipkami přísluší fotonům o vlnových délkách 3,39 /jm a 632,8 nm. Tyto přechody se využívají v laseru He-Ne, který je probírán v kap. 13 a 14. tické hladiny s energetickými rozdíly ležícími typicky v optické oblasti (až do několika eV). Některé z energetických hladin atomů He a Ne jsou ilustrovány na obr. 12.1-3. Molekuly barviv. Molekuly organických barviv jsou velké a složité. Může v nich docházet k elektronovým, vibračním a rotačním přechodům, takže molekuly mají typicky mnoho energetických hladin. Hladiny existují jak v singletním (S), tak i v tripletním (T) stavu. Singletní stavy mají excitovaný elektron, jehož spin je antiparalelní vzhledem ke spinu zbytku organické molekuly; tripletní stavy mají paralelní spiny. Energetické rozdíly odpovídají fotonům pokrývajícím širokou oblast optického spektra, jak je schematicky ilustrováno na obr. 12.1-4. Elektronové energetické hladiny v pevných látkách Isolované atomy a molekuly mají diskrétní energetické hladiny, jak je ukázáno na obr. 12.1-1 až 12.1-4. V pevných látkách jsou však atomy, ionty či molekuly uspořádány navzájem velmi těsně a nelze na ně pohlížet jako na jednoduchý systém isolovaných atomů; je nutno s nimi zacházet jako se systémem mnoha částic. 486 FOTONY A ATOMY Singletní stavy Tripletní stavy Obrázek 12.1-4 Schematické znázornění rotačních (tenké čáry), vibračních (silnější čáry) a elektronových energetických pásů typické molekuly barviva. Je vyznačen typický přechod v barvivovém laseru; lasery na organických barvivech jsou diskutovány v kap. 13 a 14. Energetická hladina vakua V7 3p 3s — — hO v c UJ ls Izolovaný atom Kov Polovodič Izolátor Obrázek 12.1-5 Rozšíření diskrétních energetických hladin isolovaného atomu do pásů v pevných látkách. ATOMY, MOLEKULY A PEVNÉ LÁTKY 487 Energetické hladiny isolovaného atomu a tří různých druhů pevných látek s rozdílnými elektrickými vlastnostmi (kov, polovodič, isolátor) jsou znázorněny na obr. 12.1-5. Nižší energetické hladiny v pevných látkách (označené v tomto příkladu ls, 2s a 2p) se podobají hladinám isolovaného atomu. Nejsou rozšířeny, protože jsou obsazeny vnitřními atomovými elektrony, které jsou dobře odstíněny od vnějších polí, tvořených sousedními atomy. Naopak energie výše ležících diskrétních atomových hladin jsou rozštěpeny do řady velmi hustě uspořádaných diskrétních hladin a tvoří pásy. Nejvyšší částečně obsazený pás se nazývá vodivostní pás, pod ním leží valenční pás. Jsou odděleny pásem zakázaných energií Eg. Nejníže ležící pásy se obsazují jako první. Vodivé pevné látky, jako kovy, mají při každé teplotě vodivostní pás částečně zaplněný. Dostupnost mnoha neobsazených stavů v tomto pásu (šedé oblasti na obr. 12.1-5) znamená, že se elektrony mohou volně pohybovat; to vede k vysoké vodivosti těchto látek. Vlastní polovodiče (při T = 0 K) mají zcela zaplněný valenční pás (plná oblast) a prázdný vodivostní pás. Protože ve valenčním pásu nejsou žádné volné stavy a ve vodivostním pásu nejsou žádné elektrony, vodivost je teoreticky nulová. S růstem teploty nad absolutní nulu je však stále více elektronů excitováno tepelně z valenčního do vodivostního pásu a přispívají k vodivosti. Isolátory, které mají také zaplněný valenční pás, mají širší zakázaný pás (typicky > 3eV) nežli polovodiče, takže získat tepelnou energii a přispívat k vodivosti může méně elektronů. Typické hodnoty vodivosti pro kovy, polovodiče a isolátory při pokojové teplotě jsou postupně 106 (fí • cm)" 1 , 10" 6 až 103 (Q • cm)- 1 a l ( r 1 2 (SI • cm)' 1 . Energetické hladiny některých pevných látek jsou uvedeny níže. Obrázek 12.1-6 Diskrétní energetické hladiny a pásy v krystalu rubínu (Cr3+:Al2C>3). Přechod označený šipkou přísluší vlnové délce 694,3 nm rubínového laseru, popsaného v kap. 13 a 14. 488 FOTONY A ATOMY eV Si eV GaAs Vodivostní pás Vodivostní pás [Laser E g 1.42 eVj -5 v bO LU -10 <u c LU -10 -15 Hluboké vnitřní hladiny Si -15 -80 -90 -100 -110 Ga. Hluboké vnitřní hladiny As Obrázek 12.1-7 Energetické pásy polovodičových krystalů Si a GaAs. Nulová hladina energie, kterou můžeme libovolně volit, je ztotožněná s vrcholem valenčního pásu. Polovodičový diodový laser na GaAs pracuje na elektronovém přechodu mezi vodivostním a valenčním pásem v blízké infračervené oblasti spektra (viz. kap. 16). Vodivostní pás LI a GaAs (=3 AlGaAs Valenční pás 20 40 60 80 100 1 120 Vzdálenost (nm) Obrázek 12.1-8 Kvantované energie v monokrystalické struktuře vícenásobných kvantových jam AlGaAs/GaAs. Šířky jam mohou být libovolné (jako na obrázku) nebo se mohou periodicky opakovat. -20 -30 -40 -50 ATOMY, MOLEKULY A PEVNÉ LÁTKY 489 Krystal rubínu. Rubín je isolátor. Je to oxid hlinitý (známý též jako safír, s chemickým vzorcem AI2O3), v němž je malý zlomek iontů Al 3+ nahrazen ionty Cr 3 + . Interakce iontů v tomto krystalu je taková, že některé energetické hladiny jsou diskrétní, zatímco jiné tvoří pásy, jak je ukázáno na obr. 12.1-6. Zelený a fialový absorpční pás (označené podle grupové teorie 4 Í2 a *Fi) dávají materiálu jeho charakteristickou růžovou barvu. Polovodiče. Polovodiče mají dovolené energetické hladiny velmi těsně u sebe, takže tvoří pásy, jak je ukázáno na obr. 12.1-7. Energetická šířka Eg zakázaného pásu, která odděluje valenční pás od vodivostního, činí při pokojové teplotě 1,11 eV pro Si a 1,42 eV pro GaAs. Vnitřní atomární hladiny Ga a As (3d) a vnitřní hladiny Si (2p) jsou velmi úzké, jak je vidět na obr. 12.1-7. Valenční pás Si je tvořen z 3s a 3p hladin (schematicky znázorněno na obr. 12.1-5), zatímco v GaAs je tvořen z hladin 4s a 4p. Vlastnosti polovodičů jsou podrobněji vyložené v kap. 15. Kvantové jámy a supermřížky. Některé metody pěstování krystalů, jako epitaxní růst z molekulárních svazků nebo epitaxe z plynné fáze, lze užít k přípravě materiálů se specielně upravenou pásovou strukturou. V polovodičových strukturách zvaných kvantové jámy je zakázaný pás navržen tak, že se mění specifickým způsobem v závislosti na souřadnici, což vede k materiálům s unikátními elektronickými a optickými vlastnostmi. Jako příklad slouží na obr. 12.1-8 struktura vícenásobných kvantových jam. Skládá se z ultratenkých (od 2 do 15 um) vrstev GaAs prokládaných tenkými vrstvami (20 nm) AlGaAs. Zakázaný pás GaAs je menší nežli zakázaný pás AlGaAs. Pro pohyb ve směru kolmém k vrstvě jsou dovolené energetické hladiny pro elektrony ve vodivostním pásu i pro díry ve valenčním pásu diskrétní a navzájem dobře oddělené, podobně jako u pravoúhlé potenciálové jámy v kvantové mechanice; v každé jámě jsou znázorněny nejnižší energie. Jestliže se bariérové oblasti z AlGaAs připraví také ultratenké, takže elektrony v sousedních jamách se mohou snadno vzájemně ovlivňovat prostřednictvím kvantově mechanického tunelování, rozšiřují se tyto diskrétní hladiny do miniaturních pásů. Takový materiál se pak nazývá supermřížka, protože tyto minipásy vznikají v mřížce, jejíž perioda je větší (super) nežli mřížková konstanta přirozené atomové struktury. Cvičení 12.1-1 Energetické hladiny nekonečné kvantové jámy. Reste Schródingerovu rovnici (12.1-3) a ukažte, že dovolené energie elektronů o hmotnosti m v nekonečně hluboké jednodimensionální pravoúhlé potenciálové jámě [V^(x) = 0 pro 0 < z < d a =00 jinde] jsou Eq = h2(qn/d)2/2m, q = 1, 2, 3, ..., jak je ukázáno na obr. 12.1-9(a). Porovnejte tyto energie s energiemi v konečné pravoúhlé kvantové jámě s parametry uvedenými na obr. 12.1-9(6). 490 FOTONY A ATOMY 1 = 78.9md 2 Kontinuum f 3= 44.4^ • 32.0 25.9 = 19.7 h2 \ h2 2 md 3 = 0.81V0 E 2 =O.37V O 11.9 md 2 2 h 49 El= ^2 -d/2 dIZ 3.2 md2 -d/2 dl2 (b) (a) Obrázek 12.1-9 Energetické hladiny (a) jednodimensionální nekonečné pravoúhlé potenciálové jámy a (6) konečné pravoúhlé potenciálové jámy s energetickou hloubkou Vo = 32H2/md2. Kvantové jámy lze realizovat moderními metodami přípravy polovodičových materiálů. B. Obsazení energetických hladin při tepelné rovnováze Jak již bylo řečeno, každý atom či molekula v souboru podstupuje neustále náhodné přechody mezi svými různými energetickými hladinami. Takovéto náhodné přechody jsou popsány zákony statistické fyziky, v nichž teplota hraje klíčovou roli při určování jak průměrného chování souboru, tak i fluktuací. Boltzmannovo rozdělení Uvažujeme soubor identických atomů (či molekul) ve zředěném plynu. Každý atom je na jedné z dovolených energetických hladin E\, £2, .... Jestliže se systém nachází v tepelné rovnováze při teplotě T (tzri. atomy jsou udržovány v kontaktu s velkou tepelnou lázní s teplotou T a jejich pohyb dosáhl ustáleného stavu, ve kterém jsou fluktuace — v průměru — nezávislé na čase), pravděpodobnost P(£,„) toho, že libovolný atom je na energetické hladině £ m , je dána Boltzmannovým rozdělením P(£,„) oc exp(-Em/kBT), m= 1, 2, ..., (12.1-7) ATOMY, MOLEKULY A PEVNÉ LÁTKY 491 \ V Energetické hladiny ^ ^ P<£»> Obrázek 12.1-10 Boltzmaimovo rozdělení určuje pravděpodobnost obsazení energetické hladiny ETn libovolného atomu; je exponenciálně klesající funkcí Em. kde ks je Boltzmannova konstanta a koeficient úměrnosti je takový, že = 1. Pravděpodobnost obsazení P(Em) je exponenciálně klesající funkcí E m (viz obr. 12.1-10). Jestliže N.,n je počet atomů na hladině £,„,, je pro velký počet atomů TV poměr Nm/N ss P(Em). Jestliže TVj atomů obsazuje hladinu 1 a iV2 atomů je na hladině 2, je střední poměr obsazení N ' - ( E >-E^ (12.1-8) Jde o totéž rozdělení pravděpodobností, jakým se řídí obsazení energetických hladin elektromagnetického modu fotony v tepelné rovnováze, jak bylo diskutováno v odst. 11.2C (viz. obr. 11.2-6). V tomto případě však elektronové energetické hladiny Em nejsou ekvidistantní. Boltzmaimovo rozdělení závisí na teplotě T. Při T = OK jsou všechny atomy na nejnižší energetické hladině (základní stav). Se vzrůstem teploty se zvyšuje obsazení vyšších hladin. V podmínkách rovnováhy je obsazení dané energetické hladiny vždy větší nežli obsazení výše ležících hladin. To však nemusí nutně platit v nerovnovážných podmínkách. Vyšší energetická hladina může být více obsazena nežli hladina nižší. Splnění této podmínky inverzního obsazení je nezbytné pro činnost laserů (viz kap. 13 a 14). Výše jsme předpokládali, že existuje jediný způsob, jak atom může obsadit jednu ze svých energetických hladin. Často se však stává, že několik různých kvantových stavů přísluší téže energii (např. různé stavy momentu hybnosti). Abychom vzali tuto degeneraci v úvahu, zapišme (12.1-8) v obecnějším tvaru E " ~E kBT A (12.1-9) Degenerační parametr gi představuje počet stavů odpovídající energetické hladině £;. 492 FOTONY A ATOMY E, Boltzmann //'(Em) E f Fermi-Dirac *^ nm 0 1/2 1 Obrázek 12.1-11 Fermiho-Diracovo rozdělení / ( £ ) lze dobře aproximovat Boltzmannovým rozdělením P ( £ m ) pro E ~S> Ej. Fermiho-Diracovo rozdělení Elektrony v polovodiči se řídí odlišným obsazovacím zákonem. Protože atomy jsou rozmístěny navzájem v těsném sousedství, musíme na takový materiál pohlížet jako na jediný systém se společnými elektrony. Existuje v něm velmi velký počet energetických stavů, tvořících pásy. V důsledku Pauliho vylučovacího principu může být každý stav obsazen nejvýše jedním elektronem. Stav je tudíž buď obsazený nebo prázdný, takže počet elektronů N.m ve stavu m je buď 0 nebo 1. Pravděpodobnost, že energetická hladina E je obsazena, je dána Fermiho-Diracovým rozdělením i exp[(E-Ef)/kBT]+ť (12.1-10) kde Ef je konstanta známá jako Fermiho energie. Toto rozdělení má maximální hodnotu rovnou jedné, což značí, že energetická hladina E je jistě obsazena. f(E) monotónně klesá s růstem E, přičemž nabývá hodnoty ^ při £ = Ef. Ačkoliv /(£) je rozložení (posloupnost) pravděpodobností a nikoliv hustota pravděpodobnosti, při E ^> Ef se chová jako Boltzmannovo rozdělení P(E) oc exp jak je zřejmé z (12.1-10). Fermiho-Diracovo a Boltzmannovo rozdělení jsou porovnána na obr. 12.1-11. O Fermiho-Diracově rozdělení bude pojednáno podrobněji v kap. 15. 12.2 A. INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY Interakce jednomodového záření s atomem Jak známo z atomové teorie, atom může emitovat (kreovat) či absorbovat (auihilovat) foton, přičemž uskutečňuje přechody dolů nebo nahoru mezi svými energetickými INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY 493 hladinami. V celém ději se tak zachovává energie. Zákony, jimiž se tyto procesy řídí, jsou vyloženy v tomto odstavci. Interakce mezi atomem a elektromagnetickým modem Uvažujeme energetické hladiny E\ a E2 atomu umístěného v optickém rezonátoru o objemu V, který může obsahovat velký počet elektromagnetických modů. Zajímáme se zejména o interakci mezi atomem a fotony předem zadaného zářivého modu na frekvenci v w i/0, kde hu0 = £2 — £i, protože energie těchto fotonů je rovna energetickému rozdílu mezi atomovými hladinami. Takové interakce se formálně studují pomocí kvantové elektrodynamiky. Hlavní výsledky jsou uvedeny bez důkazu níže. Jsou možné tři typy interakcí: spontánní emise, absorpce a stimulovaná emise. Spontánní emise. Je-li atom původně na horní energetické hladině, může spontánně přeskočit na nižší energetickou hladinu s uvolněním své energie ve formě fotonu (obr. 12.2-1). Energie fotonu hv se přidá k energii elektromagnetického modu. Tento proces se nazývá spontánní emise, protože přechod probíhá nezávisle na počtu fotonů, které již mod může obsahovat. Hustota pravděpodobnosti (za 1 sekundu) čili rychlost tohoto spontánního přechodu v dutině o objemu V závisí na v způsobem, který charakterizuje atomový přechod. Hustota pravděpodobnosti spontánní emise do jediného modu c PsP = y o {v). (12.2-1) Funkce o(v) je úzká funkce v v okolí atomové rezonanční frekvence I/Q; je známa jako účinný (efektivní) průřez přechodu. Smysl tohoto názvu se stane zřejmým zanedlouho, ale je jasné, že tato veličina má rozměr plochy (protože p s p má rozměr s - 1 ). V zásadě lze a(v) spočítat ze Schródingerovy rovnice; výpočty jsou obvykle tak složité, že cr(u) se obyčejně stanovuje experimentálně a nikoli výpočtem. Rovnice (12.2-1) platí odděleně pro každý mod. Protože mody mohou mít různé směry polarizace, může mít více modů tutéž frekvenci v. Termín „hustota pravděpodobnosti" značí, že pravděpodobnost emise v časovém intervalu mezi t a í + Ať je jednoduše pspAť. Protože jde o hustotu pravděpodobnosti, p s p může být větší než 1(5 - 1 ), ačkoliv samozřejmě pspA< musí vždy být menší než 1. Jestliže tedy máme velký počet N takovýchto atomů, zlomek atomů přibližně rovný Obrázek 12.2-1 Spoutání emise fotonu do modu o frekvenci v atomovým přechodem z energetické hladiny 2 na energetickou hladinu 1. Energie fotonu hu ~ Eo — E\. 494 FOTONY A ATOMY Obrázek 12.2-2 Spontánní emise do jednoho modu působí exponenciální pokles počtu excitovaných atomů s časovou konstantou l/p S p. AJV = (pspAt)N uskuteční přechod během časového intervalu Ač. Můžeme tudíž psát áN/át = —psvN, takže počet (excitovaných) atomů N(t) = iV(0)exp(— psl>í) klesá exponenciálně s časovou konstantou l/pSp, jak je ukázáno na obr. 12.2-2. Absorpce Je-li atom původně na dolní energetické hladině a v zářivém modu je obsažen foton, tento foton může být absorbovali, čímž se atom převede na horní energetickou hladinu (obr. 12.2-3). Tento proces se nazývá absorpce. Absorpce je přechod indukovaný fotonem. Může nastat jen tehdy, jestliže mod obsahuje foton. Hustota pravděpodobnosti absorpce fotonu daného modu o frekvenci v v dutině o objemu V je dána týmž zákonem, kterým se řídí spontánní emise do tohoto modu, Pal, = y°{v)- (12.2-2) Jestliže však máme v modu n fotonů, hustota pravděpodobnosti toho, že atom hv Obrázek 12.2-3 Absorpce fotonu hv vede v atomu k přechodu směrem nahoru z energetické hladiny 1 na energetickou hladinu 2. INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY 495 absorbuje jeden foton je n krát větší (protože jde o děje vzájemně se vylučující), tzn. Hustota pravděpodobnosti absorpce jednoho fotonu z modu obsahujícího n fotonů. c (12.2-3) Stimulovaná emise Konečně je-li atom na horní energetické hladině a mod obsahuje foton, atom může být stimulován k emisi jiného fotonu do téhož modu. Tento děj je znám jako stimulovaná (indukovaná) emise. Je to opak absorpce. Je-li v modu foton dané frekvence, směru šíření a polarizace, stimuluje emisi svého „duplikátu" — fotonu s přesně stejnými charakteristikami, jaké má původní foton (obr. 12.2-4). Tento proces fotonového zesílení je základem činnosti laserových zesilovačů a laserů, jak bude ukázáno v dalších kapitolách. Hustota pravděpodobnosti p s t tohoto procesu v dutině s objemem V je opět určena stejným účinným průřezem přechodu: R.t = £*(!/). (12.2-4) Jestliže mod původně nese n fotonů, pak — stejně jako v případě absorpce — hustota pravděpodobnosti, že atom bude stimulován k emisi dalšího fotonu, je Hustota pravděpodobnosti stimulované emise jednoho fotonu do modu s n fotony c (12.2-5) Po emisi nese zářivý mod n + 1 fotonů. Jelikož P s t = Pih, užíváme označení W; pro hustotu pravděpodobnosti jak stimulované emise, tak absorpce. Protože spontánní emise se vyskytuje navíc ke stimulované emisi, celková hustota pravděpodobnosti emise fotonu atomem do daného modu je pHV + P st . = (n + l)-x x (c/V)a(u). Vskutku, z hlediska kvantové elektrodynamiky lze na spontánní emisi pohlížet jako na stimulovanou emisi indukovanou nulbodovými fluktuacemi modu. Protože nulbodová energie je pro absorpci nedostupná, PA], je úměrná n a nikoli („4-1). Tři možné interakce mezi atomem a zářivým modem dutiny (spontánní emise, absorpce a stimulovaná emise) jsou popsány výše uvedenými základními vztahy. Na tyto vztahy lze pohlížet jako na zákony, jimiž se řídí interakce atomu s fotonem, Obrázek 12.2-4 Stimulovaná emise je proces, v němž foton hu stimuluje atom k emisi identického fotonu při přechodu shora dolů. 496 FOTONY A ATOMY zákony, jež doplňují pravidla fotonové optiky uvedená v kap. 11. Nyní probereme detailněji charakter a důsledky těchto docela jednoduchých vztahů. Funkce tvaru čáry Účinný průřez přechodu a(u) určuje charakter interakce atomu se zářením. Jeho plocha •= / Jo která má jednotku cm2 • Hz, se nazývá mohutnost přechodu nebo síla oscilátoru a představuje velikost interakce. Jeho tvai určuje relativní velikost interakce s fotony různých frekvencí. Tvar (profil) o{u) lze snadno oddělit od celkové síly definováním normované funkce g(u) = <j(u)/S v jednotkách Hz" 1 a s jednotkovou plochou /0°° g(u)du = 1, známé jako funkce tvaru čáry. Účinný průřez přechodu lze tudíž zapsat pomocí jeho mohutnosti a profilu jako a(u) = Sg(u). (12.2-6) Funkce tvaru čáry g{v) je soustředěna v okolí frekvence, při níž cr(u) je největší (rezonanční frekvence přechodu-fo) & rychle klesá pro v různá od VQ. Přechody jsou tudíž nejpravděpodobnější pro fotony s frekvencí u ~ v$. Šířka funkce g(u) je známa jako šířka čáry přechodu. Šířka čáry Au je definována jako plná šířka funkce g(y) v polovině její maximální hodnoty (FWHM). Obecně je šířka funkce g(u) nepřímo úměrná hodnotě této funkce v maximu (neboť její plocha je jednotková), (12.2-7) Av oc Je také užitečné definovat špičkový účinný průřez přechodu, který odpovídá rezonanční frekvenci, <7o = O{UQ). Funkce o(u) je tudíž charakterizována svou výškou oo, šířkou Aí/, plochou 5 a profilem g(u), jak ilustruje obr. 12.2-5. Plocha = 1 Obrázek 12.2-5 Účinný průřez přechodu a{u) a funkce tvaru čáry g{v). INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY B. 497 Spontánní emise Celková spontánní emise do všech modů Rovnice (12.2-1) udává hustotu pravděpodobnosti p s p spontánní emise do specifického modu s frekvencí v (nezávisle na tom, zda tento mod obsahuje fotony). Jak bylo ukázáno v odst. 9.1C, hustota modů v třírozměrné dutině je M(v) = 8TTI/2/C3. Tato veličina aproximuje počet modů (na jednotový objem dutiny a jednotkovou šířku pásma), které mají frekvenci v; roste kvadraticky s v. Atom může spontánně emitovat jeden foton o frekvenci v do libovolného z těchto modů, jak je schematicky ukázáno na obr. 12.2-6. Hustota pravděpodobnosti spontánní emise do jediného předepsaného modu musí být tudíž modifikována tak, že vezmeme v úvahu modovou hustotu. Celková hustota pravděpodobnosti spontánní emise je tedy Pro jednoduchost v tomto výrazu předpokládáme, že spontánní emise do modů o téže frekvenci v, ale s různými směry polarizace, je stejně pravděpodobná. Protože funkce cr(v) má tvar s ostrým maximem, je úzká ve srovnání s funkcí M{w). Protože o(v) je lokalizována v okolí J/O, M(u) je prakticky konstanta rovná M(VQ), takže může být vytknuta před integrál. Hustota pravděpodobnosti spontánní emise jednoho fotonu do libovolného modu je pak PBP = M{uo)cS = ~ , (12.2-8) kde A = C/VQ je vlnová délka v prostředí. Definujeme časovou konstantu tsv, známou <::zL Atom Optické mody Obrázek 12.2-6 Atom může spontánně emitovat foton do libovolného (ale pouze jednoho) z mnoha modů s frekvencí v ~ UQ. 498 FOTONY A ATOMY jako spontánní doba přechodu 2 —> 1, takovou, že l / í s p = Psp = M{VQ)CS. Tudíž Hustota pravděpodobnosti spontánní emise jednoho fotonu do libovolného modu p,„ = 1 * sp (12.2-9) Je důležité poznamenat, že tato veličina nezávisí na objemu dutiny V. Můžeme tedy vyjádřit S jako s= A2 (12.2-10) odtud vyplývá, že mohutnost přechodu se určí z experimentálního měření spontánní doby ť s p . To je užitečný poznatek, protože analytický výpočet S by požadoval znalosti o kvantově mechanickém chování systému a je obvykle příliš složitý, než aby mohl být realizován. 8 Typické hodnoty jsou í s l , «s 10~ s pro atomové přechody (např. první excitovaný stav atomárního vodíku); í s p se však může měnit ve velmi široké škále (od subpikosekund do minut). Cvičení 12.2-1 Frekvence spontánně emitovaných fotonů. Ukažte, že hustota pravděpodobnosti spontánní emise fotonu o frekvenci mezi v a v + dv z excitovaného atomu je Psp(v) dv = (l/ť.sp)<?(i/) dv. Vysvětlete, proč po emisi dostatečného množství fotonů je spektrum spontánní emise z atomu úměrné funkci tvaru čáry g(v). Vztah mezi účinným průřezem přechodu a spontánní dobou přechodu. Po dosazení (12.2-10) do (12.2-6) vidíme, že účinný průřez přechodu je svázán se spontánní dobou přechodu a tvarem čáry vztahem Účinný průřez přechodu o{v) = 87ríSI)- (12.2-11) Navíc je účinný průřez přechodu na centrální frekvenci VQ dán vztahem A2 ' 87TÍS]) (12.2-12) Protože g(va) je podle (12.2-7) nepřímo úměrné AÍ/, je špičková hodnota účinného průřezu přechoduCTOpro dané ťK,, nepřímo úměrná šířce čáry AIA INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY C 499 Stimulovaná emise a absorpce Přechody indukované monochromatickým světlem Uvažujme nyní interakci jednomodového světla s atomem, na nějž dopadá tok fotonů, ale tento atom, na rozdíl od předchozích úvah, není umístěn v rezonátoru o objemu V. Nechť monochromatické světlo o frekvenci v, intensitě / a střední hustotě toku fotonů 2 (foton/cm • s) interaguje s atomem majícím rezonanční frekvenci u0. Chceme určit hustotu pravděpodobnosti stimulované emise a absorpce Wj = Pai> = P st . v tomto uspořádání. Počet fotonů n, účastnících se interakce, vyplyne z konstrukce objemu ve tvaru válce o základně A a výšce c, jehož osa je rovnoběžná se směrem šíření světla (jeho vektorem k ). Válec má objem V = cA. Tok fotonů základnou válce je <j>A (fotonů za sekundu). Protože fotony letí rychlostí světla c, za jednu sekundu všechny fotony obsažené ve válci projdou jeho základnou. Odtud plyne, že válec obsahuje v libovolném čase n = <f>A fotonů, čili " = <(>-, (12.2-14) takže (j> = {c/V)n. Pro stanovení Wi dosadíme (12.2-14) do (12.2-3) a dostaneme (12.2-15) Je zřejmé, že cr{v) je koeficientem úměrnosti mezi hustotou pravděpodobnosti indukovaného přechodu a hustotou fotonového toku. Odtud název „účinný průřez přechodu": <fi je tok fotonů na cm 2 , cr{v) je efektivní plocha průřezu atomu (cm 3 ) a <t>o{v) je tok fotonů „zachycený" atomem za účelem absorpce či stimulované emise. Zatímco rychlost spontánní emise se zvyšuje existencí mnoha modů, do nichž může atom vysílat, stimulovaná emise zahrnuje pouze mody, které obsahují fotony. Její rychlost se zvyšuje možnou přítomností velikého množství fotonů v několika málo modech. Přechody způsobené širokopásmovým zářením Uvažujme nyní atom v dutině o objemu V obsahující mnohamodové polychromatické světlo o spektrální hustotě energie g{v) (energie na jednotkovou šířku pásma v jednotce objemu), která ve srovnání s atomovými čarami je širokopásmová. Průměrný počet fotonů v pásu v, v + áv je g{u)Vá.v/hu a každý z nich bude indukovat atomový přechod s hustotou pravděpodobnosti {c/V)o{v), takže celková pravděpodobnost absorpce nebo stimulované emise je 500 FOTONY A ATOMY Protože záření je širokopásmové, funkce Q(V) se mění pomalu ve srovnání s úzkým průběhem funkce a{v). Můžeme tudíž nahradit Q{y)lv v integrálu hodnotou g(i/o)/i>o a dostaneme : / a(v)áv = cS. hu0 Jo hv0 S použitím (12.2-10) máme A3 (12.2-17) kde A = C/VQ je vlnová délka (v prostředí) odpovídající centrální frekvenci v$. Postup, který jsme zde sledovali, je podobný postupu použitému při výpočtu hustoty pravděpodobnosti spontánní emise do mnoha modů, kterým jsme dostali P s p = M(vo)cS. Definujíce což představuje střední počet fotonů v modu, přepíšeme (12.2-17) do výhodného tvaru Wi = — . (12.2-18) Interpretace n vyplývá z poměru Wi/Psp = Q(vQ)/hvoM(va). Hustota pravděpodobnosti Wi je ň krát větší nežli u spontánní emise, protože každý z modů obsahuje v průměru n fotonů. Einsteinovy koeficienty A a B. Einstein nemohl znát vztah (12.2-17). Nicméně na základě analýzy výměny energie mezi atomem a zářením za podmínky tepelné rovnováhy dokázal postulovat určité vztahy pro hustoty pravděpodobností různých typů přechodů, které mohou probíhat v atomu při interakci se širokopásmovým zářením o spektrální hustotě energie ^(i-'). Obdržel následující výrazy: Einsteinovy postuláty VÍ = Be(n>). (12.2-19) (12.2-20) Konstanty A a B jsou známy jako Einsteinovy koeficienty A a B. Jednoduchým srovnáním s našimi výrazy (12.2-9) a (12.2-17) identifikujeme koeficienty A a B jako (12.2-21) (12.2-22) INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY 501 takže B A A3 8wh' (12.2-23) Je důležité poznamenat, že relace mezi A a B je výsledkem mikroskopických (nikoli makroskopických) pravděpodobnostních zákonů interakce mezi atomem a fotony z každého modu. V odst. 12.3 uvedeme analýzu podobnou Einsteinovu postupu. Příklad 12.2-1. Srovnání rychlostí spontánní a stimulované emise. Zatímco rychlost spontánní emise pro atom ve vzbuzeném stavu je konstanta (A = 1/ísp), rychlost stimulované emise v přítomnosti širokopásmového světla MQ(UQ) je úměrná spektrální hustotě energie záření ^(^o)- Obě rychlosti se rovnají když ^(^o) = A/B = 8TT/I/A3; pro větší spektrální hustoty rychlost stimulované emise převýší rychlost spontánní emise. Jestliže např. A = lpm, A/B = 1,66 x 10~ u J/m 3 • Hz. To odpovídá spektrální hustotě optické intensity cg(u0) K 5 X 10~6W/m2 • Hz ve vakuu. Tudíž pro šířku čáry Au = 107Hz je optická intensita, při které rychlost stimulované emise je rovna rychlosti spontánní emise, 50W/m2 či 5 mW/cm2. Shrnutí Atomový přechod je charakterizován svou rezonanční frekvencí UQ, dobou spontánní emise í s p a funkcí tvaru čáry g{v), jejíž šířka je šířkou čáry Au. Účinný průřez přechodu je (12.2-11) Spontánní emise • Jestliže atom v dutině o objemu V je na horní hladině, hustota pravděpodobnosti (za sekundu) spontánní emise do jednoho předepsaného modu o frekvenci u je Psp = T7aW (12.2-1) Hustota pravděpodobnosti spontánní emise do libovolného z dostupných modů je (12.2-9) 502 FOTONY A ATOMY • Hustota pravděpodobnosti emise do modů ležících pouze ve frekvenčním pásu mezi v a v + di/ je P sp (i/)di' = (l/tsp)g(i>)di'. Spektrum spontánně emitovaného světla je tudíž úměrné funkci tvaru čáry g{y). Stimulovaná emise a absorpce • Jestliže atom v dutině je na horní hladině a mod záření obsahuje n fotonů, hustota pravděpodobnosti emise fotonu do tohoto modu je i = n-o(v). (12.2-5) Jestliže je atom místo toho na dolní hladině a mod obsahuje n fotonů, pak pravděpodobnost absorpce fotonu z tohoto modu je také dána (12.2-5). Jestliže místo umístění v dutině je atom ozařován monochromatickým světelným svazkem o frekvenci v se střední hustotou toku fotonů (j> (foton za sekundu na jednotkovou plochu), je hustota pravděpodobnosti stimulované emise (je-li atom na horní hladině) nebo absorpce (je-li atom na dolní hladině) i = <j>o{u). (12.2-15) • Jestliže světlo ozařující atom je polychromatické leč úzkopásmové ve srovnání s atomovou šířkou čáry a má střední hustotu fotonového toku 4>v (foton za sekundu na jednotku plochy na jednotkovou frekvenci), hustota pravděpodobnosti stimulované emise/absorpce je (12.2-24) Jestliže světlo ozařující atom má spektrální hustotu energie Q(V), která je širokopásmová ve srovnání s atomovou šířkou čáry, je hustota pravděpodobnosti stimulované emisé/absorpce i = MQ{U0), (12.2-20) kde B = (\3/8irhtsp) je Einsteinův koeficient B. Ve všech těchto vzorcích c = co/n je rychlost světla, A = A0/n je vlnová délka světla v atomární látce a n je index lomu. INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY D. 503 Rozšíření čáry Protože funkce tvaru čáry g(v) hraje důležitou roli v interakci fotonu s atomem, věnujeme tento odstavec stručné diskusi jejího původu. Spontánní emisi, absorpci i stimulované emisi přísluší tatáž funkce tvaru čáry. Šířka spektrální čáry a doba života hladiny Atomy mohou uskutečňovat přechody mezi energetickými hladinami jak zářivým, tak i nezářivým procesem. Zářivé přechody jsou doprovázeny absorpcí a emisí fotonu. Nezářivé přechody dovolují přenos energie prostřednictvím mechanismů jakými jsou mřížkové vibrace, nepružné srážky mezi atomy a nepružné srážky se stěnami nádoby. Každá atomová hladina má dobu života T, která je převrácenou hodnotou rychlosti s jakou její obsazení ubývá —zářivě či nezářivě— a přesouvá se na nižší hladiny. Doba života T2 energetické hladiny 2 znázorněné na obr. 12.2-1 představuje převrácenou hodnotu rychlosti s jakou dochází ke změně obsazení této hladiny přechody na hladinu 1 a na všechny nižší energetické hladiny (žádná z nich na obrázku ukázána není) buď zářivým nebo nezářivým pochodem. Protože l/ťSp je rychlost zářivého přechodu z hladiny 2 na hladinu 1, celková rychlost přechodů z hladiny 2 musí být větší, tj. I/Y2 > l/ť sp , takže T2 < tsv. Doba života T\ hladiny 1 je definována podobně. Je-li hladina 1 nejnižší dovolenou energetickou hladinou (základní stav), zřejmě je T\ = 00. Šířka spektrální čáry je v podstatě projevem Fourierovy transformace. Doba života T energetické hladiny je spojena s neurčitostí doby obsazení této hladiny. Jak je ukázáno v Dodatku A, je Fourierova transformace exponenciálně klesající harmonické funkce času e ~ í / 2 T e J ' 2 7 r " 0 Í , jejíž energie doznívá jako e~'/T (s časovou konstantou T), úměrná 1/[1 + jA-K(y — UQ)T\. Plná šířka v polovině maxima (FWHM) kvadrátu této lorentzovské funkce frekvence je Ai/ = 1/2TTT. Tato spektrální neurčitost odpovídá energetické neurčitosti A£ = hč±v = /I/2TTT. Energetická hladina s dobou života r má tudíž energetické rozšíření AE = /I/2TTT za předpokladu, že proces tlumení můžeme modelovat jednoduchou exponenciálou. V rámci této představy můžeme na spontánní emisi pohlížet jako na zářen! tlumeného harmonického oscilátoru popsaného exponenciálně klesající harmonickou funkcí. Jestliže tedy energetické rozšíření hladiny 1 je AEj = h/2-KTi a hladiny 2 je A£2 = /i/27TT2, bude rozšíření energetického rozdílu, které odpovídá přechodu mezi oběma hladinami, rovno (12 .2-25) kde T~1 = (TI~1 +T2~l) a r je doba přechodu. Odpovídající frekvenční šířka přechodu, která se nazývá šířka spektrální čáry^ daná dobou života (lifetime-broadening), V případě, že se uplatňují pouze zářivé přechody (r = t. s p ), hovoříme o radiační době a o radiační nebo přirozené šířce spektrální čáry (viz např, Davydov §96). (P0211. překl.) 504 FOTONY A ATOMY je tedy Šířka spektrální čáry daná dobou života (12.2-26) Toto rozšíření je symetrické kolem frekvence UQ = (E2 — E\)/h a funkce tvaru čáry má lorentzovský profil Lorentzův tvar čáry (12.2-27) Šířku spektrální čáry, mající svůj původ v atomu nebo v souboru atomů, lze následovně zobecnit. Každý z fotonů emitovaných při přechodu představuje vlnový balík se střední frekvencí VQ (rezonanční frekvence přechodu) a s exponenciálně klesající obálkou s dobou tlumení 2T (tzn. s energetickou dobou doznívání rovnou době života přechodu T), jak je ukázáno na obr. 12.2-7. Vyzářené světlo je posloupností takovýchto vlnových balíků emitovaných náhodně v čase. Jak bylo diskutováno v příkladu 10.1-1, toto odpovídá náhodnému (částečně koherentnímu) světlu, jehož spektrální hustota výkonu je právě Lorentzova funkce daná (12.2-27) s Au = 1/2TTT. Obrázek 12.2-7 Emise vlnových balíků v náhodných časových okamžicích v atomárním systému s rozšířením spektrální čáry dobou života T. Vysílané světlo má lorentzovskou spektrální hustotu se šířkou Av = 1/2TTT. INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY 505 Hodnota Lorentzovy funkce tvaru čáry na centrální frekvenci J/0 je g(vo) = = 2/7rAi/, takže špičková hodnota průřezu přechodu, daná (12.2-12), je (12.2-28) Největší hodnotu průřezu přechodu dostaneme za ideálních podmínek, kdy doznívání je plně zářivé, takže T2 = í s p a 1/TI = 0 (což je případ, kdy hladina 1 je základním stavem bez další možnosti přechodu). Pak Au = l/2irtsv a 2 A (12.2-29) což ukazuje, že plocha špičkového průřezu je řádu čtverce vlnové délky. Pokud hladina 1 není základním stavem nebo pokud jsou významné nezářivé přechody, Au může být » 1/TS1, a v tom případě může být 00 mnohem menší než A2/2?r. Např. pro optické přechody v oboru A = 0,1 až 10 ^mi je A2/27r ~ 10~ n až 10~7cm2, zatímco typické hodnotyCTOP r 0 optické přechody spadají do intervalu 10~20 až 10~ u cm2 (viz např. Tab. 13.2-1 na str. 543) Srážkové rozšíření Nepružné srážky, při kterých dochází k výměně energie, vedou k přechodům mezi energetickými hladinami atomů. Tento příspěvek k rychlosti přechodů ovlivňuje, podle toho co bylo řečeno výše, doby života všech zúčastněných hladin a tudíž i šířku čáry zářivého pole. Na druhé straně při pružných srážkách nedochází k výměně energie. Při každé takové srážce dochází k náhodné změně fáze vlnové funkce příslušné energetické hladiny, což se projeví při každé srážce náhodnou změnou fáze vyzařovaného pole. Srážky mezi atomy jsou tak příčinou rozšíření spektrální čáry. Sinusová vlna, jejíž fáze se mění náhodnými posuvy v náhodných časových okamžicích (okamžiky srážek) tak jak je ukázáno na obr. 12.2-8, vykazuje spektrální rozšíření. Stanovení spektra takové náhodně rozfázované funkce je úloha, kterou lze řešit použitím teorie náhodných Obrázek 12.2-8 Sinusová vlna, přerušovaná náhodnými fázovými skoky způsobenými srážkami, které probíhají s frekvencí / ( o i, má Iorentzovské spektrum se šířkou Ať = 506 FOTONY A ATOMY Obrázek 12.2-9 Průměrná funkce tvaru nehomogenně rozšířené čáry souboru atomů. procesů. Ukazuje se, že spektrum má lorentzovský tvar s šířkou Au = fCo\/ft, kde /coi je frekvence srážek (střední počet srážek za sekundu).t Součet šířek majících svůj původ v době života a ve srážkách vede k výslednému lorentzovskému tvaru čáry se šířkou rAv^h.+2^- (12.2-30) Nehomogenní rozšíření Rozšíření dobou života i srážkové rozšíření jsou formy homogenního rozšíření vykazovaného atomy v látce. O všech atomech se předpokládá, že jsou identické a že mají identické funkce tvaru čáry. Mnohdy však různé atomy, z nichž se látka 3*N^N^V^ Směr pozorování Obrázek 12.2-10 Frekvence záření je závislá na směru pohybu atomu vzhledem ke směru pozorování. Záření atomu 1 má vyšší frekvenci nežli záření atomů 3 a 4. Záření atomu 2 má nižší frekvenci. ' Viz např. A. E. Siegman, Lasers, University Science Books, Milí Valley, CA. 1986, kap. 3.2. INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY 507 \f-g(». "0 Rychlost v Obrázek 12.2-11 Rozložení rychlostí a průměrný tvar čáry atomárního systému s dopplerovským rozšířením. skládá, mají různé funkce tvaru čáry či různé centrální frekvence. V tomto případě definujeme průměrnou funkci tvaru čáry M = (9íÁ")), (12.2-31) kde (•) značí středování vzhledem k proměnné (3 použité k označení těch atomů, které mají funkci tvaru čáry gn{v).Tudíž gfi{v) je vážena podílem počtu atomů majících vlastnost /3, jak je ukázáno na obr. 12.2-9. Jeden z mechanismů nehomogenního rozšíření je dopplerovské rozšíření. V důsledku Dopplerova jevu atom, pohybující se rychlostí v daným směrem, má při pohledu z tohoto směru spektrum frekvenčně posunuté o ±(v/c)i/o, kde VQ je centrální frekvence. Tento posuv je směrem k vyšším frekvencím (znaménko +) jestliže se atom pohybuje směrem k pozorovateli, a k nižším frekvencím (znaménko —) jestliže se pohybuje od pozorovatele. Pro libovolný směr pozorování je frekvenční posuv ±(v|l/c)i/o, kde vy je složka rychlosti rovnoběžná se směrem pozorování. Protože soubor atomů v plynu vykazuje jisté rozložení rychlostí, bude vyzařované světlo spektrálně vykazovat jistý interval frekvencí, vedoucí k dopplerovskému rozšíření, jak je ukázáno na obr. 12.2-10. V případě dopplerovského rozšíření tedy roli parametru (3 hraje rychlost v; g(v) = {gvi^))- Jestli tudíž p(v)dv je pravděpodobnost, že rychlost daného atomu leží mezi v a v + dv, pak výsledný tvar nehomogenně dopplerovsky rozšířené čáry bude (viz obr. 12.2-11) / (12.2-32) Cvičení 12.2-2 Tvar dopplerovsky rozšířené čáry a) O složce rychlosti v atomů v plynu do daného směru je známo, že má 508 FOTONY A ATOMY gaussovské rozdělení pravděpodobnosti kde al = k^T/M a M je hmotnost atomu. Jestliže každý atom má přirozený lorentzovský tvar čáry se šířkou Av a centrální frekvencí VQ, odvoďte výraz pro průměrnou funkci tvaru čáry g(u). b) Ukažte, že za předpokladu Au < uoav/c lze g(u) aproximovat gaussovským tvarem čáry f ^ ] (12.2-33) kde Plná šířka v polovině maxima (FWHM) dopplerovské čáry AUD je pak AuD = (8 ln 2)1/2aD ss 2,35^^. (12.2-35) c) Vypočítejte dopplerovskou šířku čáry pro přechod Ao = 632,8 nm v Ne a pro přechod Ao = 10,6 um v CO2 za pokojové teploty a za předpokladu, že Au <g vocTv/c. Tyto přechody se využívají v laserech s He-Ne nebo s CO2. d) Ukažte, že maximální hodnota průřezu přechodu pro gaussovský tvar čáry (12.2-33) je ao = £ (íhir 8TT V 7r / * «0,94A!-4_. fAi/£> 8n UAvD (12 . 2 .36) v ' Porovnejte s (12.2-28) pro lorentzovský tvar čáry. Mnoho interakcí mezi atomy a fotony vykazuje rozšíření, které lze charakterizovat jako intermediální, ležící mezi čistě homogenním a čistě nehomogenním. Takové smíšené rozšíření lze modelovat intermediální funkcí tvaru čáry známou jako Voightův profil. INTERAKCE FOTONŮ S ATOMY *E. 509 Laserové ochlazování a zachycování atomů Rozšíření spojené s Dopplerovým jevem často maskuje přirozenou funkci tvaru čáry; přirozený tvar čáry a její šířka nás však často zajímají. Jedním ze způsobů jak minimalizovat dopplerovské rozšíření je užití pečlivě kontrolovaných atomových svazků, ve kterých jsou rychlosti atomů spolehlivě regulovány. Pohyb atomů může být však také řízen tlakem záření (viz odst. 11.1C). Fotony z laserového svazku s úzkou šířkou čáry, frekvenčně naladěné nad střed atomové čáry, mohou být absorbovány svazkem atomů pohybujících se vstřícně k laserovému svazku. Po absorpci se atom může navrátit do základního stavu buď stimulovanou nebo spontánní emisí. Jestliže se vrací stimulovanou emisí, hybnost emitovaného fotonu je totožná s hybností absorbovaného fotonu, což vede k výsledné nulové změně hybnosti. Jestliže se na druhé straně vrací spontánní emisí, je směr emise fotonu náhodný, takže opakovaná absorpce vede k výslednému poklesu atomové hybnosti ve směru vstřícném k laserovému paprsku. Důsledkem je pokles rychlosti těchto atomů, jak je schematicky ukázáno na obr. 12.2-12. Nakonec změna hybnosti (a tudíž rychlosti) atomů má za následek, že atomy vypadnou z rezonance s laserovým svazkem a nadále světlo neabsorbují. Jestliže jsou atomy tímto způsobem ochlazeny, lze použít fotonové svazky k vytvoření optické pasti, ve které může být zachycen velký počet atomů v omezeném prostoru po velmi dlouhou dobu (mnoho sekund). Toho lze relativně snadno dosáhnout pro ionizované atomy vzhledem k jejich elektrickému náboji, ale je to možné realizovat i pro neutrální atomy. Aby však skutečně došlo k zachycení, musí být soubor atomů velmi chladný (jejich kinetická energie musí být dostatečně nízká, aby nemohly vyskočit z pasti). Soubor vzájemně kolmých laserových svazků může osvětlovat atomy takovým způsobem, že na ně bude působit výrazná brzdicí síla v libovolném směru jejich pohybu. Užitím takového chladícího a zachycujícího mechanismu bylo u neutrálních atomů dosaženo teplot až okolo 1/iK. Navíc bylo zjištěno, že se při zachycení E o o o a. Rychlost v Obrázek 12-2-12 Tepelné rozložení rychlostí (čárkovaná křivka) a rozložení po laserovém ochlazení (plná křivka). 510 FOTONY A ATOMY i jen několika málo iontů začíná v pasti tvořit struktura podobná krystalu. Změny v intenzitě laserového ochlazování pak mohou indukovat fázové přechody mezi uspořádaným „krystalickým" a neuspořádaným stavem. 12.3 TEPELNÉ ZARENI Světlo emitované atomy, molekulami a pevnými látkami za podmínky tepelné rovnováhy a v nepřítomnosti jakéhokoliv jiného vnějšího zdroje energie se nazývá tepelné záření. V tomto odstavci stanovíme vlastnosti tepelného záření pomocí studia interakce mezi fotony a atomy v rovnovážném stavu. A. Tepelná rovnováha mezi fotony a atomy Vztahy (12.2-9) a (12.2-18), jimiž se řídí interakce mezi fotony a atomy, použijeme k odvození makroskopických zákonů interakce mezi mnoha fotony a mnoha atomy v tepelné rovnováze. Uvažujme dutinu jednotkového objemu, jejíž stěny obsahují velký počet atomů, se dvěma energetickými hladinami označenými 1 a 2, jejichž energetická vzdálenost činí hv. V dutině je přítomno širokopásmové záření. Budiž A/2(ť) počet atomů v objemové jednotce na hladině 2 a A/i(í) na hladině 1. Spontánní emise vytváří záření v dutině za předpokladu, že některé atomy jsou na počátku na hladině 2 (to zajišťuje konečná vnější teplota). Toto záření indukuje absorpci a stimulovanou emisi. Tyto tři procesy koexistují a dosáhne se ustáleného stavu (rovnováhy). Předpokládáme, že každý mod záření, jehož frekvence leží uvnitř atomové šířky čáry, bude obsazen n fotony podle (12.2-18). Uvažujme nejprve spontánní emisi. Pravděpodobnost, že jeden atom na horní hladině bude spontánně emitovat v časovém intervalu od t do t + Aí do některého z modů je P s p Aí = Aí/í s p . Takových atomů je A/2(í). Průměrný počet emitovaných fotonů za Aí je tudíž A/2(í)Aí/ísp. To je zároveň počet atomů opouštějících hladinu 2 za časový interval Aí. Tedy rychlost přírůstku A/2(í) způsobená spontánní emisí je záporná a je dána diferenciální rovnicí at tsp jejíž řešení N2(t) = /V2(0)exp(—č/ísp) je exponenciálně klesající funkcí času, jak je ukázáno na obr. 12.3-1. Po dostatečně dlouhé době by tedy počet atomů W2 na horní hladině klesl k nule s časovou konstantou í s p . Energie je odnášena spontánně emitovanými fotony. Spontánní emise však není jedinou formou interakce. V přítomnosti záření přispívají ke změnám obsazení A/i(í) a A/2(í) také absorpce a stimulované emise. Uvažujeme nejprve absorpci. Protože máme Wi atomů schopných absorbovat, rychlost přírůstku populace atomů na horní hladině díky absorpci je podle (12.2-18) *£ = NlWi = M dí í (12.3-2) TEPELNÉ ZÁŘENÍ Obrázek 12.3-1 511 Ubývání obsazení horní hladiny způsobené samotnou spontánní emisí. Podobně stimulovaná emise má za následek rychlost přírůstku atomů v horním stavu (která je záporná) danou výrazem N2n d/V2 (12.3-3) Je zřejmé, že rychlosti atomové absorpce a stimulované emise jsou úměrné n, průměrnému počtu fotonů v každém modu. Nyní můžeme zkombinovat (12.3-1), (12.3-2) a (12.3-3) k sestavení rovnice pro rychlost změny hustoty obsazení W2(ť), následkem spontánní emise, absorpce a stimulované emise: d/V, —-— — = dť Rychlostní rovnice N, H1 ňN nN, (12.3-4) Tato rovnice nezahrnuje ty přechody na hladinu 2 či z této hladiny, které jsou důsledkem jiných efektů, jako interakcí s jinými energetickými hladinami, nezářivých přechodů a působení vnějších excitačních zdrojů. V ustáleném stavu je d/V2/dí = 0 a máme (12.3-5) kde n je průměrný počet fotonů v modu. Zřejmě je N2/ N\ < 1. Jestliže nyní využijeme skutečnosti, že atomy jsou v tepelné rovnováze, pak z (12.1-8) vyplývá, že jejich obsazení podléhají Boltzmannovu rozdělení, tj. N2 = exp hu kBTj (12.3-6) 512 FOTONY A ATOMY Dosazením (12.3-6) do (12.3-5) a řešením pro n dostaneme pro střední počet fotonů v modu o frekvenci v exp{hu/kBT) - 1' (12.3-7) Výše uvedené odvození vychází z interakce dvou energetických hladin, navzájem vázaných absorpcí stejně tak jako spontánní a stimulovanou emisí na frekvenci blízké v. Použitelnost (12.3-7) je však daleko širší. Uvažujeme dutinu jejíž stěny jsou z pevného materiálu a mají spojitě rozložené energetické hladiny se všemi možnými energetickými vzdálenostmi a tudíž se všemi možnými hodnotami v. Atomy ve stěnách spontánně emitují do dutiny. Emitované světlo následně interaguje s atomy a dochází k absorpci a stimulované emisi. Jestliže jsou stěny udržovány na teplotě T, pak kombinovaný systém atomů a záření dosáhne tepelné rovnováhy. Rovnice (12.3-7) je identická s (11.2-21), tj. s výrazem pro střední počet fotonů v modu tepelného záření [pro které obsazení modových energetických hladin splňuje Boltzmannovo či Boseovo-Einsteinovo rozdělení p(n) <x exp^—nhu/ksT)]. Tento výsledek ukazuje na selfkonsistenci našich postupů. Fotony interagující s atomy v tepelné rovnováze při teplotě T jsou samy o sobě v tepelné rovnováze při téže teplotě (viz. odst. 11.2C). B. Spektrum záření černého tělesa Střední energie E zářivého modu v situaci popsané v odst. 12.3A je jednoduše hhu, takže Střední energie modu v tepelné rovnováze (12.3-8) Závislost E na v je ukázána na obr. 12.3-2. Všimněte si, že pro hv <g k^T (tj. když energie fotonu je dostatečně malá) je exp(hvfkBT) « 1 + hvjk%T a £ « fcBT. To je E, Obrázek 12.3-2 Semilogaritmický graf závislosti průměrné energie E elektromagnetického modu v tepelné rovnováze při teplotě T jako funkce modové frekvence v. Při T = 300 K je knT/h = 6,25 THz, což odpovídá vlnové délce 48jum. TEPELNÉ ZÁŘENÍ 513 klasická hodnota pro harmonický oscilátor se dvěma stupni volnosti, jak vyplývá ze statistické mechaniky. Vynásobením tohoto výrazu pro střední energii v modu E hustotou modů M(v) = 8-KV2/C3 dostaneme spektrální hustotu energie (energie na jednotkový interval frekvencí a na jednotkový objem dutiny) g(v) = M(y)E, tj. Spektrální hustota energie záření černého zářiče (12.3-9) Tento vztah, známý jako zákon záření černého tělesa, je znázorněn na obr. 12.3-3. Závislost hustoty záření na teplotě je ukázána na obr. 12.3-4. Spektrum záření černého zářiče sehrálo důležitou roli při objevu kvantové (fotonové) podstaty světla (odst. 11.1). Z klasické teorie elektromagnetismu bylo známo, že hustota modů je dána vztahem M{y) uvedeným výše. Avšak klasická statistická mechanika (ve které elektromagnetická energie není kvantována) dávala průměrnou energii na mod £ = k^T. To vedlo k chybnému vztahu pro g(y) (jeho frekvenční integrál divergoval). V r. 1900 Max Plaňek ukázal, že pro obdržení kBT I I I Obrázek 12.3-3 Frekvenční závislost energie jednoho modu E, hustoty modů M(v) a spektrální hustoty energie í»(^) = M(u)E v lineárně-lineární závislosti. 514 FOTONY A ATOMY 10-15 6000K = 10-16 10-17 ml 1013 101" 1015 1016 Frekvence v (Hz) Obrázek 12.3-4 Závislost spektrální hustoty energie g(^) na frekvenci pro různé teploty v dvojitém logaritmickém měřítku. správného výrazu pro spektrum černého tělesa je třeba kvantovat energii každého modu a předložil správný kvantový výraz pro E daný (12.3-8). Cvičení 12.3-1 Frekvence maxima spektrální hustoty energie černého zářiče. S použitím zákona záření černého tělesa ukažte, že frekvence vv, při níž má spektrální hustota energie maximum, splňuje rovnici 3(1 — e~x) = x, kde x = hvp/k^T. Nalezněte přibližnou hodnotu a; a určete vv pro T = 300 K. 12.4 LUMINISCENCE Vnější zdroj energie může vyvolat přechody atomárního nebo molekulárního systému na vyšší energetické hladiny. V průběhu přechodů na nižší hladiny může systém emitovat optické záření. Takové „netermální" zářiče se obecně nazývají luminofory LUMINISCENCE 515 a zářivý děj se nazývá luminiscence. Luminiscenční zářiče lze klasifikovat podle zdroje excitační energie, jak ukazují následující příklady. • Katodoluminiscence je způsobena elektrony emitovanými z katody a urychlenými, které narážejí na atomy v terčíku. Příkladem je obrazovka, kde elektrony předávají energii luminoforu. Termín betaluminiscence se používá, když rychlé elektrony vznikají jako důsledek jaderného beta rozpadu a nikoliv elektronovým dělem, jako u obrazovky. • Fotoluminiscence je vyvolána energetickými optickými fotony. Příkladem je světélkování některých krystalů po ozáření, ultrafialovým světlem. Termín radioluminiscence se používá, když zdrojem energie jsou rentgenové paprsky nebo gamma záření nebo jiné ionizující záření. Pro detekci takových vysokoenergetických fotonů se právě často používají luminiscenční (scintilační) materiály jako Nal, speciální umělé hmoty či PbCO3 ve spojení s optickými detektory. • Chemiluminiscence získává energii z chemické reakce. Příkladem je světélkování látky při její oxidaci na vzduchu. Bioluminiscence, tj. světlo vysílané živými organismy (např. svatojánské mušky), slouží jako další příklad chemiluminiscence. • Elektroluminiscence vzniká v důsledku dodávání energie přiloženým elektrickým polem. Důležitým příkladem je injekční elektroluminiscence vysílaná polovodičovou diodou protékanou elektrickým proudem v propustném směru. Injektované elektrony padají z vodivostního do valenčního pásu a emitují fotony. Příkladem jsou luminescenční diody (LED). • Sonoluminiscence je vyvolána energií získanou ze zvukové vlny. Příkladem je světlo emitované vodou vystavenou působení silného ultrazvukového svazku. Injekční elektroluminiscence je diskutována v kap. 16 v souvislosti s polovodičovými zdroji fotonů. Následující odstavec je stručným úvodem do fotoluminiscence. Fotoluminiscence Fotoluminiscence nastává, je-li systém excitován na vyšší energetickou hladinu absorpcí fotonu a poté spontáně přechází na nižší energetickou hladinu, přičemž tento děj je doprovázen emisí fotonu. Z důvodu zachování energie nemůže mít emitovaný (dl Ib) Obrázek 12.4-1 Různé formy fotoluminiscence. 516 FOTONY A ATOMY foton větší energii nežli excitační foton, pokud ovšem nepůsobí v tandemu dva nebo více excitačních fotonů. Několik příkladů přechodů vedoucích k fotoluminiscenci je znázorněno schematicky na obr. 12.4-1. Jsou možné nezářivé mezipřechody směrem dolů, representované v (b) a (c) čárkovanými čarami. Tímto mechanismem lze převést ultrafialové světlo na viditelné. Elektron může zůstat zachycen na mezihladině či metastabilní hladině (např. past) po dlouhou dobu, což vede ke zpožděné .luminiscenci. Mohou se též vyskytnout nezářivé mezipřechody směrem dolů následované nezářivými přechody směrem nahoru, jak ukazuje příklad (ď). Jestliže jsou zářivé přechody spinově dovoleny, tzn. jestliže nastávají mezi dvěma stavy se stejnou multiplicitou (přechody singlet-singlet nebo triplet-triplet; viz např. obr. 12.1-4), luminiscenční proces se nazývá fluorescence. Jestliže naopak luminiscence vzniká spinově zakázanými přechody (např. triplet-singlet), nazývá se fosforescencí. Fluorescenční doby života jsou obvykle krátké (0,1-10 ns), takže luminiscenční foton je emitován velmi brzy po excitaci. Na rozdíl od toho fosforescence, protože je způsobena „zakázanými" přechody, má delší doby života (1 ms až 10 s) a tudíž značné zpoždění mezi excitací a emisí. S fotoluminiscenci se setkáváme u mnoha materiálů, včetně jednoduchých anorganických molekul (např. N2, CO2, Hg), vzácných plynů, anorganických krystalů (např. diamant, rubín, sirník zinečnatý) a aromatických molekul. Také polovodič může být fotoluminiscenčním materiálem. Takový děj je podobný procesu na obr. 12.4-l(c) a zahrnuje generaci elektron-děrového páru absorpcí fotonu, následovanou rychlou nezářivou relaxací na nižší energetické hladiny vodivostního pásu a posléze emisí fotonu, která doprovází mezipásovou rekombinaci elektron-děrového páru. Relaxace uvnitř pásu probíhá ve srovnání s mezipásovou rekombinaci velmi rychle. Frekvenční konverze nahoru Postupná absorpce dvou či více fotonů může mít za následek emisi jednoho fotonu s kratší vlnovou délkou, jak ukazuje obr. 12.4-2. Takový děj vskutku nastane, když v materiálu existují pasti, ve kterých elektron, excitovaný jedním fotonem, může setrvat dostatečně dlouho k tomu, aby mohl být dalším fotonem excitován výše. Materiály mající tuto vlastnost lze použít k detekci infračerveného záření. Tento jev se vyskytuje u různých luminoforů dotovaných ionty vzácných zemin jako jsou Yb 3+ a Er 3 + . V určitých materiálech mohou pasti zůstat obsazené až po dobu několika '\AAAA/V Obrázek 12.4-2 Detekce dlouhovlnného fotonu hv\ konverzí nahoru na krátkovlnný foton hi/3 = h{ui + v-i). Doplňkovou energii poskytuje pomocný foton /ii/2. LITERATURA 517 Emise ve viditelné oblasti Infračervená spektrální citlivost I • ni 11 ii .1 ii 11L 800 1000 1200 1400 1600 Vlnová délka (nm) ta) f> •3" O \n U"> in O ID O Aí> i£> ID f"^ (^ Vlnová délka (nm) tb) Obrázek 12.4-3 (a) Infračervená spektrální citlivost konverzní destičky s luminoforem. (!>) Spektrum emise ve viditelné oblasti. minut a to působením denního světla nebo fluorescenčního záření (poskytuje fotony hi/2 na obr. 12.4-2); infračervený signál (foton hvx na obr. 12.4-2) pak uvolní elektron z pasti a vyvolá emisi viditelného luminiscenčního fotonu \h{v\ + v^) na obr. 12.4-2]. Tyto užitečné přístroje mají často tvar malé (50 mm x 50 mm) destičky, kde je jemný prášek materiálu, v němž probíhá konverze, uzavřen mezi dvěma plastickými fóliemi. Prášek může být také dispergován ve třírozměrném polymeru pro třírozměrné zobrazování. Lze tak zviditelnit prostorové rozložení infračerveného paprsku vystupujícího např. z infračerveného laseru. Účinnost konverze je však obvykle mnohem menší než 1%. Relativní spektrální citlivost a emisní spektrum jedné z komerčně dostupných desek jsou ukázány na obr. 12.4-3. LITERATURA Knihy Viz též knihy o laserech v kap. 13. V. S. Letokhov, ed., Laser Spectroscopy of Highly Vibrationally Excited Molecules, Adam Hilger, Bristol, England, 1989. R. M. Eisberg, R. Resnick, D. O. Caldwell a J. R. Christman, Quantum Physics of Atoms, Molecules, Solids, Nuclei, and Practicles, Wiley, New York, 2. vydání 1985. R. Loudon, The Quantum Theory of Light, Oxford University Press, New York, 2. vydání 1983. R. G. Breene, Jr., Theories of Spectral Line Skape, Wiley, New York, 1981. C. Kittel, Thermal Physics, W. H. Freeman, San Francisco, 2. vydání 1980. L. Allen a J. H. Eberly, Optical Resonance and Two-Level Atoms, Wiley, New York, 1975. 518 FOTONY A ATOMY H. G. Kuhn, Atomic Spectra, Academie Press, New York, 1969. G. Herzberg, Electronic Spectra and Electronic Structure of Polyatomic Molecules, Van Nostrand Reinhold, Princeton, NJ, 1966. D. I. Livesey, Atomic and Nuclear Physics, Blaisdell, Waltham, MA, 1966. R. P. Feynman, R. B. Leighton a M. Sands, The Feynman Lectures on Physics, vol. 3, Quantum Mechanics, Addison-Wesley, Reading, MA, 1965. M. Garbuny, Optical Physics, Academie Press, New York, 1965. F. Reif, Fundamentals of Statistical and Thermal Physics, McGraw-Hill, New York, 1965. R. P. Feynman, R. B. Leighton a M. Sands, The Feynman Lectures on Physics, vol. 1, Mainly Mechanics, Radiation, and Heat, Addison-Wesley, Reading, MA, 1963. A. C. G. Mitchell a M. W. Zemansky, Resonance Radiation and Excited Atoms, Cambrige University Press, New York, 1961. J. C. Slater, Quantum Theory of Atomic Structure, vol. 1, McGraw-Hill, New York, 1960. E. U. Condon a G. H. Shortley, The Theory of Atomic Spectra, Cambridge University Press, New York, 1959. M. Born, Atomic Physics, Hafner Press, New York, 1959. C. Kittel, Elementary Statistical Physics, Wiley, New York, 1958. G. Herzberg, Molecular Spectra and Molecular Structure, vol. 1, Spectra of Diatomic Molecules, Van Nostrand, New York, 2. vydání 1950. G. Herzberg, Atomic Spectra and Atomic Structure, Dover, New York, 2. vydání 1944. Knihy o luminiscenci M. Pazzagli, E. Cadenas, L. J. Kricka, A. Roda a P. E. Stanley, eds., Bioluminescence and Chemiluminescence, Wiley, New York, 1989. J. Scholmerich, R. Andreesen, R. Kapp, M. Ernst a W. G. Woods, eds., Bioluminescence and Chemiluminescence: New Perspectives, Wiley, New York, 1987. W. Elenbaas, Light Sources, Macmillan, London, 1972. H. K. Henisch, Electroluminescence, Pergamon Press, New York, 1962. Speciální čísla časopisů Speciální výtisk věnovaný laserovému ochlazování a zachycování atomů, Journal of the Optical Society of America B, vol. 6, no. 11, 1989 Články C. Foot a A. Steane, The Coolest Atoms Yet, Physics World, vol. 3, no. 10, str. 25-27, 1990. R. Pool, Making Atoms Jump Through Hoops, Scince, vol. 248, str. 1076-1078, 1990. S. Haroche a D. Kleppner, Cavity Quantum Electrodynamics, Physics Today, vol. 42, no. 1, pp. 24-30, 1989. R. Bliimel, J. M. Chen, E. Peik, W. Quint, W. Schleich, Y. R. Shen a H. Walther, Phase Transitions of Stored Laser-Cooled Ions, Nature, vol. 334, str. 309-313, 1988. ÚLOHY 519 W. D. Phillips a H. J. Metcalf, Cooling and Trapping of Atoms, Scientific American, vol. 256, no. 3, str. 50-56, 1987. H. J. Metcalf, Laser Cooling and Electromagnetic Trapping of Atoms, Optics News, vol. 13, no. 3, pp. 6-10, 1987. E. Wolf, Einstehťs Researches on the Nature of Light, Optics News, vol. 5, no. 1, pp. 24-39, 1979. J. H. van Vleck a D. L. Huber, Absorption, Emission, and Linebreadths: A Semihistorical Perspective, Reviews of Modem Physics, vol. 49, pp. 939-959, 1977. V. F. Weisskopf, How Light Interacts with Matter, Scientific American, vol. 219, no. 3, pp. 60-71, 1968. A. Javan, The Optical Properties of Materials, Scientific American, vol. 217, no. 3, pp. 239-248, 1967. G. R. Fowles, Quantum Dynamical Description of Atoms and Radiative Processes, American Journal of Physics, vol. 31, pp. 407-409, 1963. A. Einstein, Zur Quantentheorie der Strahlung (On the Quantum Theory of Radiation), Physikalische Zeitschrift, vol. 18, pp. 121-128, 1917. Literatura v českém a slovenském jazyce A. Beiser, Úvod do moderní fyziky, Academia, Praha, 1978. P. T. Mathews, Základy kvantové mechaniky, SNTL (Populární přednášky o fyzice), Praha, 1976. A. S. Davydov, Kvantová mechanika, SPN, Praha, 1978. R. P. Feynman, R. B. Leighton a M. Sands, Feynmanove přednášky z fyziky, díl 1, Alfa, Bratislava, 1989. K. Pátek, Luminiscence, SNTL, Praha, 1962. ÚLOHY 12.2-1 Porovnání stimulované a spontánní emise. Atom se dvěma energe- tickými hladinami příslušejícími přechodu (Ao = 0,7 fim, í s p = 3ms, Af = = 50GHz, lorentzovský tvar čáry) je umístěn v rezonátoru o objemu V = 100 cm 3 a indexu lomu n = 1. Jsou vybuzeny dva zářivé mody (jeden na centrální frekvenci VQ a druhý s frekvencí fo + Ai/) a každý z nich obsahuje 1000 fotonů. Určete hustotu pravděpodobnosti stimulované emise (nebo absorpce). Jestliže je A/2 těchto atomů vybuzeno na hladinu 2, stanovte časovou konstantu ubývání A/2 následkem stimulované emise a spontánní emise. Kolik fotonů by mělo být přítomno, aby rychlosti ubývání A/2 stimulovanou emisí a spontánní emisí byly stejné? 12.2-2 Spontánní emise do předepsaných modů. (a) Je dána dutina o tvaru krychle o objemu 1 fim3 se středním indexem lomu n = 1. Jaká jsou modová čísla (?i,<72,?3) nejnižšího a nejblíže vyššího frekvenčního modu? (Viz. odst. 9.1C). Ukažte, že tyto frekvence jsou 260THz a 367THz. (6) Uvažujte jeden excitovaný atom v dutině bez fotonů. Nechť p s p i je hustota pravděpodobnosti ( s " 1 ) spontánní emise fotonu do modu (2,1,1) a nechť psp2 je hustota pravděpodobnosti spontánní emise fotonu s frekvencí 367 THz. Určete poměr psp2/Pspi- 520 FOTONY A ATOMY 12.3-1 Kinetické rovnice pro širokopásmové záření. Rezonátor o jednotkovém objemu obsahuje atomy se dvěma energetickými hladinami, označenými 1 a 2, příslušejícími přechodu s rezonanční frekvencí VQ a šířkou čáry Au. Na dolní hladině 1 je A/j atomů, na horní hladině 2 je A/2 atomů a v každém modu uvnitř širokého pásu v okolí vo je ň fotonů. Fotony unikají z rezonátoru s rychlostí l/rp v důsledku nedokonalé reflektivity stěn dutiny. Sestavte kinetické rovnice pro A/2 a n za předpokladu, že mezi hladinami 1 a 2 nedochází k nezářivým přechodům. 12.3-2 Zakázaná spontánní emise. Uvažujte hypotetické dvoudimenzionální černé těleso (např. čtvercovou destičku o ploše A) v tepelné rovnováze při teplotě T. (o) Určete hustotu modů M.(u) a spektrální hustotu energie (tj. energii připadající na frekvenční úsek mezi u a. v + du a, na. jednotkovou plochu) emitovaného záření Q(V) (viz. odst. 9.1C). (b) Nalezněte hustotu pravděpodobnosti spontánní emise Psp pro atom umístěný v dutině, která dovoluje záření pouze ve dvou směrech. 12.3-3 Srovnání stimulované a spontánní emise záření černého tělesa. Nalezněte teplotu, při níž se rovnají rychlosti stimulované a spontánní emise z atomů tvořících černé těleso ve tvaru dutiny. Spektrální hustota energie budiž Q(I>) a vlnová délka emise je Ao = 1 £im. 12.3-4 Wienův zákon. Odvoďte výraz pro spektrální hustotu energie Q\{\) [energie na jednotku objemu v intervalu vlnových délek mezi A a A + dA je g\(\)d\}. Ukažte, že vlnová délka \p, při které má spektrální hustota energie maximum, splňuje rovnici 5(1 — e~v) = y, kde y = hc/\pk^T. Platí tedy vztah \PT = konst (Wienův zákon). Nalezněte přibližně XPT. Ukažte, že \p / c/vp, kde vv je frekvence maxima spektrální hustoty energie g{v) (viz cvičení 12.3-1 na str. 514) a vysvětlete proč. 12.3-5 Spektrální hustota energie záření jednorozměrného černého tělesa. Uvažujte hypotetický jednorozměrný zářič s vlastnostmi černého tělesa, o délce L v tepelné rovnováze při teplotě T. (a) Jaká je hustota modů M(v) (počet modů na jednotkový frekvenční interval na jednotku délky) v jedné dimenzi. (í>) S použitím průměrné energie E modu s frekvencí v určete spektrální hustotu energie (tj. energie ve frekvenčním intervalu mezi v a v + dv na jednotku délky) záření černého tělesa g{v). Načrtněte závislost g(v) na v. *12.4-1 Statistika katodoluminiscenčního záření. Uvažujte svazek elektronů dopadajících na luminofor v obrazovce. Budiž Tfj střední počet elektronů dopadajících na jednotku plochy luminoforu za jednotku času. Jestliže počet m elektronů dopadajících za daný čas je náhodná veličina podléhající Poissonovu rozdělení a počet fotonů emitovaných na jeden elektron má také Poissonovské rozdělení, leč se střední hodnotou G, nalezněte výsledné rozdělení p(n) emitovaných katodoluminiscenčních fotonů. Výsledek se nazývá Neymanovo rozdělení typu A. Stanovte výrazy pro střední hodnotu n a variaci a\. Návod: Použijte podmíněnou pravděpodobnost. K A P I T O L A 13 LASEROVÉ ZESILOVAČE 13.1 LASEROVÝ ZESILOVAČ A. Zisk zesilovače B. Fázové posunutí v zesilovači 13.2 ČERPÁNÍ ZESILOVAČE A. Rychlostní rovnice B. Čtyřhladinové a tříhladinové schéma čerpání C. Příklady laserových zesilovačů 13.3 NELINEARITA A SATURACE ZISKU V ZESILOVAČI A. Koeficient zesílení B. Zisk *C. Zesílení zesilovačů s nehomogenním rozšířením přechodu *13.4 ŠUM ZESILOVAČE Charles H. Townes (narozen 1915) Nikolaj G. Basov (narozen 1922) Alexandr M. Prochorov (narozen 1916) Townes, Basov a Prochorov objevili princip zesilování světla stimulovanou emisí záření — LASER (Light Amplification by the Stimulated Emission oj Radiation). V roce 1964 obdrželi Nobelovu cenu. 521 522 LASEROVÉ ZESILOVAČE Koherentní optický zesilovač je zařízení, které zvětšuje amplitudu optického pole, přičemž zachovává jeho fázi. Je-li optické pole na vstupu takového zesilovače monochromatické, je na výstupu rovněž monochromatické se stejnou frekvencí. Výstupní amplituda je větší než vstupní, zatímco fáze se nezmění nebo posune o pevnou hodnotu. Zesilovač, který zvětšuje intenzitu optického vlnění a přitom naopak nezachovává fázi se nazývá nekoherentní optický zesilovač. V této kapitole se věnujeme koherentním optickým zesilovačům, které jsou důležité pro různé aplikace. Příkladem může být zesilování slabých optických impulsů poté, co projdou dlouhým optickým vláknem, nebo získávání velmi intenzivních optických impulsů potřebných k laserem řízené jaderné syntéze. Kromě toho je důležité pochopit principy činnosti optických zesilovačů dříve, než se budeme zabývat optickými oscilátory (lasery) v kap. 14. Základním principem koherentního zesilování světla je zesilování světla stimulovanou emisí záření, známé pod akronymem LASER nebo také jako laserový proces. Stimulovaná emise (viz odst. 12.2) umožňuje, aby foton určitého modu indukoval v atomu na vyšší energetické hladině přechod do stavu s nižší energií, přičemž je emitován foton do modu shodného s modem indukujícího fotonu (tj. foton stejného směru se stejnou frekvencí a polarizací). Tyto dva fotony dále mohou stimulovat emisi dalších dvou fotonů atd., přičemž se stále zachovávají jejich vlastnosti. Výsledkem je koherentní zesílení světla. Protože ke stimulované emisi dochází, když energie fotonu je téměř shodná s energetickým rozdílem přechodu v atomu, je tento proces omezený na pás frekvencí určený šířkou atomové čáry. Laserové zesilování se liší v mnoha ohledech od zesilování elektronického. Při elektronickém zesilování se využívá zařízení, ve kterém malá změna injektovaného elektrického proudu nebo přiloženého napětí má za následek velkou změnu toku nosičů náboje, jak je tomu s elektrony nebo dírami v polovodičovém polem řízeném tranzistoru (FET) nebo v tranzistoru s bipolárním přechodem. Laditelné elektronické zesilovače využívají rezonančních obvodů (tj. zapojení kondenzátorů a indukčností) nebo rezonátorů (kovových dutin), které vymezují požadované frekvenční pásmo zisku zesilovače. Naproti tomu laserové zesilovače atomové, molekulové či s pevnou látkou jsou závislé na rozdílech mezi energetickými úrovněmi, kterými se tak primárně vymezuje frekvence. Působí jako přirozené rezonátory určující pásmo zesilovače a jeho pracovní frekvenci. Optické rezonanční dutiny (rezonanční obvody) se často užívají k dodatečnému frekvenčnímu ladění. Světlo procházející látkou, která je v tepelné rovnováze, je více zeslabováno než zesilováno. Je to způsobené absorpcí velkým množstvím atomů ve stavu s nižší energií, která výrazně převažuje nad stimulovanou emisí velmi malého množství atomů s obsazenou horní hladinou. Základní podmínkou laserového zesílení je větší počet atomů na horní energetické hladině než na spodní, což je očividně nerovnovážný stav. Dosažení takovéhoto inverzního obsazení vyžaduje zdroj excitace (čerpám) LASEROVÉ ZESILOVAČE 523 _erpani Atomy / Výstupní fotony 7 Vstupní fotony Laserový zesilovač Obrázek 13.0-1 Laserový zesilovač. Vnější zdroj (zvaný čerpání) excituje aktivní prostředí (představované souborem atomů) a vytváří inverzní obsazení. Dochází k interakci mezi fotony a atomy; když stimulovaná emise převáží nad absorpcí, působí aktivní prostředí jako koherentní zesilovač. atomů na vyšší energetickou hladinu, jak ukazuje obr. 13.0-1. I když v celé této kapitole je výklad vedený v termínech „atomy" a „atomové hladiny", je třeba je chápat v širším smyslu jako „aktivní prostředí" a „energetické hladiny laserového přechodu". Vlastnosti ideálního (optického nebo elektronického) koherentního zesilovače jsou schematicky znázorněné na obr. 13.0-2(o). Je to lineární systém, který zvětšuje amplitudu vstupního signálu s pevným faktorem zvaným zisk zesilovače. Sinusový vstupní signál dává na výstupu sinusový signál stejné frekvence, ale se zvětšenou amplitudou. Zisk ideálního zesilovače je konstantní pro všechny frekvence uvnitř spektrálního pásma zesilovače. Zesilovač může způsobit fázové posunutí výstupního Výstupní amplituda Výstup Vstup Ideální zesilovač Zisk Fáze Vstupní amplituda Výstupní amplituda Vstup Reálný zesilovač Vstupní amplituda Obrázek 13.0-2 (a) Ideální zesilovač je lineární. Zvětšuje amplitudu signálů (jejichž frekvence leží uvnitř jeho pásma zesílení) s konstantním činitelem zisku a může zavádět lineární fázové posunutí, (b) Typické závislosti zisku a fázového posunutí na frekvenci pro reálný zesilovač. Při velkých vstupních signálech nastává saturace výstupního signálu; zesilovač se chová nelineárně. 524 LASEROVÉ ZESILOVAČE signálu vůči vstupnímu, které lineárně závisí na frekvenci, čemuž odpovídá časové zpoždění výstupu proti vstupu (viz dodatek B). Reálné koherentní zesilovače vykazují frekvenčně závislý zisk a frekvenčně závislé fázové posunutí s typickými průběhy znázorněnými na obr. 13.0-2(6). Zisk a fázové posunutí určují přenosovou funkci zesilovače. Při dostatečně velkých vstupních amplitudách mohou reálné zesilovače vykazovat ještě saturaci, což je projev nelineárních vlastností, kdy velikost výstupní amplitudy přestává růst lineárně se vstupním signálem. Saturace vede ke vzniku harmonických složek ve výstupním signálu, pokud frekvenční pásmo zesilovače je dostatečně široké, aby jím prošly. Reálné zesilovače vnášejí rovněž šum, takže bez ohledu na vstupní signál se vždy vyskytuje ve výstupním signálu náhodně fluktuující složka. Zesilovač charakterizují následující vlastnosti: • Zisk. • Frekvenční pásmo. • Fázové posunutí. • Zdroj čerpání. • Nelinearita a saturace zisku. • Sum. Postupně se budeme zabývat jednotlivými charakteristikami laserových zesilovačů. Teorie laserových zesilovačů, která umožňuje odvodit výrazy pro zisk zesilovače, jeho spektrální pásmo a fázové posunutí, je obsahem odst. 13.1. Odst. 13.2 je věnovaný způsobům dosažení inverzního obsazení pomocí čerpacích zdrojů. Odst. 13.3 pojednává o saturaci zisku a odst. 13.4 o šumu při zesilování. Tato kapitola vyžaduje znalost látky vyložené v kap. 12, zejména v odst. 12.2. 13.1 LASEROVÝ ZESILOVAČ Monochromatická optická rovinná vlna o frekvenci v se šíří ve směru osy z, má elektrické pole Re{£(z)exp(j27ri4)}, intenzitu I(z) — \E(Z)\2/2TJ a hustotu fotonového toku <f>(z) = I{z)/hv (fotonů za sekundu na jednotku plochy). Tato vlna bude v interakci s atomárním prostředím, o kterém předpokládáme, že jeho atomy mají dvě pro tento proces významné energetické hladiny, jejichž energetický rozdíl se téměř shoduje s energií fotonu hv. Objemová koncentrace atomů na dolní energetické hladině je /Ví a na horní hladině Ni- Vlna je zesilovaná s koeficientem zesílení -y(z) (na jednotku délky) a získává fázové posunutí <p(z) (na jednotku délky). Přistoupíme k odvození výrazů pro -y(i/) a <p(f). Kladné hodnoty i{u) odpovídají zesílení, záporné hodnoty 7(1/) zeslabení. A. Zisk zesilovače Mezi fotonem a atomem se uplatňují tři typy interakcí (viz odst. 12.2). Je-li atom na spodní energetické hladině, může foton být absorbován, zatímco když je na horní hladině, může být vyzářen další foton při stimulované emisi a dojde k zesílení. Třetí typ interakce — spontánní emise — při níž atom na horní hladině vyzáří foton LASEROVÝ ZESILOVAČ 525 nezávisle na dalších přítomných fotonech, způsobuje šum zesilovače, kterému bude věnován odst. 13.4. Hustota pravděpodobnosti (s" 1 ), tj. pravděpodobnost, že neexcitovaný atom absorbuje za jednotku času jeden foton, je podle (12.2-15) a (12.2-11) Wi = <t>cr{v), (13.1-1) kde o{w) = (A2/8irtsp)g(i/) je účinný průřez' přechodu na frekvenci v, g{v) je normovaná funkce průběhu spektrální čáry, ť sp je střední doba spontánní emise a A je vlnová délka světla v prostředí. Pravděpodobnost stimulované emise za jednotku času je dána stejným vztahem (13.1-1). Střední hustota absorbovaných fotonů (počet fotonů za jednotku času v objemové jednotce) je N\ Wi. Podobně střední hustota fotonů nově vzniklých stimulovanou emisí je W2 W;. Výsledný počet fotonů vzniklých za sekundu v jednotce objemu činí NWi, kde N = W2 — Ni je hustota rozdílu obsazení hladin. Je zvykem nazývat N jednoduše rozdíl obsazení či populace. Je-li N kladné, nastává inverzní obsazení, při kterém prostředí může působit jako zesilovač a hustota fotonového toku může vzrůstat. Jeli N záporné, prostředí absorbuje a hustota fotonového toku klesá. Při N = 0 je prostředí dokonale transparentní (průhledné). Protože dopadající fotony se šíří ve směru osy z, šíří se stimulované vyzářené fotony ve stejném směru, jak znázorňuje obr. 13.1-1. Vnější čerpání zajišťující inverzní obsazení (N > 0) je tak příčinou nárůstu hustoty fotonového toku (f>(z) s rostoucím z. Protože vyzářené fotony stimulují další akty emise, je zvětšení toku v libovolném místě z úměrné rozdílu obsazení v tomto místě; 1/1(2) proto poroste exponenciálně. Abychom si bezprostředně ukázali tento proces, budeme uvažovat válec se základnou jednotkové plochy a s infinitezimální výškou áz (viz obr. 13.1-1). Je-li <f>(z) hustota fotonového toku vstupujícího kolmo základnou do takového infinitezimálního válce a 4>(z) + á(f>{z) hustota fotonového toku na výstupu z válce, musí být d(f>(z) hustota fotonového toku emitovaná v objemu válce. Přírůstek počtu fotonů za jednotku času a na jednotku plochy d<fr(z) je jednoduše roven počtu fotonů, které vzniknou zesílením v jednotkovém objemu za jednotku času, tj. NWi, násobenému velikostí objemu, tj. tlouštkou válcové vrstvy áz: A<t> = NWiáz. (13.1-2) Zesilovač Vstupní záření I / \ I / \ 2 / Výstupní záření Obrázek 13.1-1 Hustota fotonového toku 4> (fotony/cm :>i procházejícího infinitezimálním válcem s excitovanými atomy vzroste na vzdálenosti áz na hodnotu <p +• d<?!>. 526 LASEROVÉ ZESILOVAČE Pomocí vztahu (13.1-1) lze přepsat (13.1-2) ve tvaru diferenciální rovnice — - — = j(u)é(z), áz (13.1-3) ve které Koeficient zesílení , -. - .laserového prostředí , . ., , . ., <> , . l(y) = Naiv) = N g(v). v ' °~* v . , _ , .. (13.1-4) ' Koeficient 7(1/) představuje celkové zesílení hustoty fotonového toku na jednotkové délce v aktivním laserovém prostředí. Řešením (13.1-3) je exponenciálně rostoucí funkce <f>(z) = 0(O)exp[7(i/)z]. (13.1-5) Protože optická intenzita I(z) = hv(f>(z), můžeme řešení (13.1-5) přepsat ve tvaru pro intenzitu I(z) = 7(0) exp[ 7 (í/)z]. (13.1-6) Koeficient ~i{v) tudíž charakterizuje také zesílení intenzity na jednotkové délce prostředí. Koeficient zesílení 7(f) je úměrný rozdílu obsazení hladin N = N2 — A/]. I když jsme v uvedeném případě předpokládali N kladné, platí výsledek nezávisle na znaménku N. Nenastane-li inverzní obsazení, je N záporné (A/2 < N\) a záporný je i koeficient zesílení. Prostředí bude tudíž zeslabovat (nikoliv zesilovat) světlo šířící se ve směru osy z podle exponenciálně klesající funkce <f>(z) = 0(0) exp[—a(^)z], přičemž koeficient zeslabení (absorpce) a{v) = —j(v) = -Wa(i^). Látkové prostředí v tepelné rovnováze tedy nemůže zesilovat světlo. Je-li délka interakční oblasti d (viz obr. 13.1-1), je celkový zisk laserového zesilovače G(v) definovaný jako poměr hustot fotonového toku na výstupu a na vstupu, tj. G(u) = 4>(d)/4>(0), takže Zisk zesilovače G(v) = (13.1-7) Frekvenční pásmo zesilovače Koeficient zesílení 7(1^) závisí na frekvenci dopadajícího světla v, protože podle (13.1-4) je úměrný funkci spektrálního tvaru čáry g(v). Spektrální profil čáry je charakterizovaný její šířkou Au a atomovou rezonanční frekvencí VQ = (£2 ~ Ei)/h, kde £2 a £1 jsou energie stavů atomu. Laserový zesilovač je tedy rezonančním systémem s rezonanční frekvencí a šířkou pásma určenou funkcí spektrálního profilu atomového přechodu. Šířka čáry Av se obvykle měří v jednotkách frekvence (Hz) nebo v jednotkách vlnové délky (um). Mezi šířkami vyjádřenými v těchto jednotkách platí LASEROVÝ ZESILOVAČ 527 Obrázek 13.1-2 Koeficient zesílení y(v) laserového zesilovače s lorentzovským spektrálním průběhem čáry. 2 12 vztah AA = |A(c o /i/)| = +{co/v )Av = (Ag/co)Ai/. Tak šířce čáry Ai/ = 10 Hz na vlnové délce Ao = 0,6 /jm odpovídá A A = 1,2 nm. V případě Lorentzova tvaru (12.2-27) spektrální čáry " ' 2 {v - */ 0 ) + (Ai,/2) 2 (13.1-8) má koeficient zesílení také lorentzovský průběh se stejnou šířkou, tj. (A^/2) 2 {v - ÍV 0 ) 2 + (Ai//2) 2 ' (13.1-9) jak ukazuje obr. 13.1-2, kde 7(^0) = A/(A2/47r2íspAi/) je koeficient zesílení na rezonanční frekvenci VQ. Cvičení 13.1-1 Útlum a zisk rubínového laserového zesilovače a) Uvažujme rubínový krystal se dvěma energetickými hladinami vzdálenými od sebe o energii odpovídající vlnové délce světla ve vakuu Ao = 694,3 nm a s lorentzovským spektrálním průběhem o šířce Av = = 60 GHz. Střední doba spontánní emise je í s p = 3 ms a index lomu rubínu je n = 1,76. Za předpokladu, že /Ví + A/2 = Wa = 10 2 2 c m " 3 , určete rozdíl obsazení hladin N = A/2 - A/i a koeficient absorpce ve středu čáry a(i^o) při tepelné rovnováze (tzn. když platí Boltzmannovo rozdělení) při teplotě T = 300 K. b) Jakou hodnotu musí mít inverzní obsazení N, aby koeficient zesílení ve středu čáry byl 7(^0) = 0,5 cm" 1 ? c) Jak dlouhý musí být krystal, aby při 7(1^0) = 0,5cm" 1 dosáhl celkový zisk ve středu čáry hodnoty 4? 528 B. LASEROVÉ ZESILOVAČE Fázové posunutí v zesilovači Protože zesílení rezonančního prostředí je frekvenčně závislé, je prostředím disperzním (viz odst. 5.5) a se zesílením musí být spojený frekvenčně závislý fázový posuv. Fázové posunutí vzniklé při průchodu laserovým zesilovačem lze určit snadněji, když budeme popisovat interakci záření s látkou pomocí elektromagnetického pole místo hustoty fotonového toku nebo optické intenzity. V dalším postupu zvolíme alternativní přiblížení, ve kterém k určení fázového posunutí využijeme matematických vlastností kauzálních systémů. V případě prostředí s homogenně rozšířenou spektrální čárou je koeficient fázového posunu y(v) (fázové posunutí vzniklé při průchodu jednotkovou vzdáleností v prostředí zesilovače) spojený s koeficientem zesílení 7C) Kramersovými-Kronigovými (Hilbertova transformace) vztahy (viz odst. B.l dodatku B a odst. 5.5). Známe-li hodnoty 7(1/) pro všechny frekvence, je jednoznačně určený průběh koeficientu <p(v). Mezi optickou intenzitou a elektrickým polem platí vztah /(z) = \E(z)\2 /2r]. Protože podle vztahu (13.1-6) I(z) = /(O) exp[7C)z], je optické pole popsané vztahem E(z) = E(0)exp[i7(«/)z] exp [ - J V C ) * ] . (13.1-10) ve kterém je <p(v) koeficient fázového posunu. Ve vzdálenosti z + Az dostaneme pro pole E(z + Az) = £ « E(z) [1 + ±7(")Az - J V O A Z ] , (13.1-11) když jsme exponenciální funkce aproximovali Taylorovou řadou. Pro přírůstek elektrického pole AE(z) = E(z + Az) — E(z) potom platí rovnice | ^ = £(2)[i7C)-jVC)]. (13.1-12) Na takový elementární zesilovač můžeme pohlížet jako na lineární systém se vstupním signálem E(z) a s výstupem AE(z)/Az, jehož přenosová funkce je Jř > C) = h ( " ) - J V ( " ) - (13.1-13) Protože takový elementární zesilovač představuje fyzikální systém, musí být kauzální. Mezi reálnou a imaginární částí přenosové funkce lineárního kauzálního systému platí Hilbertova transformace (viz dodatek B). To znamená, že — y>O je Hilbertovou transformací 57C) [viz (5.5-11)], takže funkce fázového posunutí v zesilovači je určena jeho koeficientem zesílení. Jednoduchým příkladem je prostředí s úzkou atomovou spektrální čárou Lorentzova průběhu s šířkou Aw -C vo, které odpovídá koeficient zesílení 7 O popsaný ČERPÁNÍ ZESILOVAČE 529 (a) ¥>(»)! Ib) Obrázek 13.1-3 (a) Koeficient zesílení 7(1/) a (6) koeficient fázového posunu <p(v) laserového zesilovače s lorentzovským profilem spektrální čáry. vztahem (13.1-9). Odpovídající koeficient fázového posunu <p(v) je určený vztahem (B.l-13) v dodatku B, Koeficient fázového posunu (lorentzovská čára) (13.1-14) Závislost koeficientů zesílení a fázového posunu na frekvenci v v případě lorentzovské spektrální čáry je na obr. 13.1-3. V rezonanci je koeficient zesílení maximální a koeficient fázového posunu je nulový. Koeficient fázového posunu je záporný pro frekvence menší než je frekvence rezonanční a kladný pro frekvence větší. 13.2 ČERPANÍ ZESILOVAČE Laserové zesilovače, stejně jako všechny ostatní zesilovače, musí mít vnější zdroj, ze kterého je dodávána energie ke vstupnímu signálu. Čerpací výkon se dodává excitací elektronového obalu atomů, při které atom přechází z nižších energetických úrovní na vyšší. Aby nastalo zesílení, musí se čerpáním dosáhnout inverzního obsazení hladin účastných na požadovaném přechodu (N = A/2 — A/j > 0). Do procesu čerpání se zapojují často další energetické hladiny odlišné od těch, které se podílejí přímo na zesilování. Čerpání atomů z hladiny 1 na hladinu 2 může být snadno dosažené např. excitací z hladiny 1 na hladinu 3 a následnou přirozenou relaxací z hladiny 3 na hladinu 2. Čerpat lze opticky (např. výbojkou nebo laserem), elektricky (např. výbojem v plynech, elektronovým nebo iontovým svazkem, nebo vstřikováním elektronů a děr, jak je tomu v polovodičových laserových zesilovačích), chemicky (např. při hoření) nebo dokonce jaderným výbuchem u laserů pracujících v oblasti rtg záření. Aby bylo dosaženo stacionárního inverzního obsazení na přechodu 1-2 při kontinuálním 530 LASEROVÉ ZESILOVAČE Obrázek 13.2-1 Energetické hladiny 1 a 2 a jejich doby přechodů. (cw — z ang. continuous-wave) provozu, musí být rychlosti excitace a deexcitace všech možných energetických hladin, které se procesu účastní, v rovnováze. Rovnice popisující rychlosti změn hustot obsazení A/i a W2 následkem čerpání, zářivých a nezářivých přechodů se nazývají rychlostní rovnice, někdy též kinetické rovnice. Jsou podobné rovnicím uvedeným v odst. 12.3, ale uplatňuje se v nich selektivní vnější čerpání, takže nejsou splněné podmínky tepelné rovnováhy. A. Rychlostní rovnice Uvažujme energetické hladiny uspořádané podle diagramu na obr. 13.2-1. Soustředíme se na hladiny 1 a 2, které mají celkové doby života T\ a T2, s dovoleným přechodem na spodní hladinu. Doba života hladiny 2 má dvě složky—jedna souvisí s přechody z hladiny 2 na hladinu 1 (T21) a druhá (T20) S přechody z hladiny 2 na všechny ostatní hladiny. Jestliže se uplatňuje několik mechanismů deexcitace, je celková rychlostní konstanta přechodů z určité hladiny rovná součtu jednotlivých rychlostních konstant. Protože rychlostní konstanty jsou nepřímo úměrné středním dobám přechodů a celková rychlostní konstanta je nepřímo úměrná střední době života hladiny, musí se sčítat převrácené hodnoty příslušných dob: ^2" 1 =T 2 - 1 1 +r 2 - 0 1 . (13.2-1) Další mechanismy deexcitace hladiny tudíž zkracují její celkovou střední dobu života (tj. způsobují ještě rychlejší deexcitaci). V T21 se může uplatňovat vedle zářivé spontánní emise (s časovou konstantou ťsp) také nezářivá složka TnT (původ může mít např. ve srážkách atomu se stěnami nádoby, které mají za následek deexcitaci), takže T 21 = ^sp + Tnr • Jestliže systém znázorněný na obr. 13.2-1 dosáhne stacionárního stavu, jsou hustoty obsazení /Ví a /V2 nulové, protože všechny elektrony relaxují na nejnižší energetické hladiny. Nenulového stacionárního obsazení hladin 1 a 2 však lze dosáhnout, jestliže jsou spojitě excitovány hladiny ležící nad hladinou 2 a z nich následují přechody dolů na hladinu 2, což vystihuje realističtější diagram energetických hladin na obr. 13.2-2. čerpáním mohou atomy přecházet z hladin jiných než 1 a 2 na hladinu 2 s rychlostí /?2 a z hladiny 1 na hladiny jiné než 2 s rychlostí /?i (na jednotku objemu a na jednotku času), jak je znázorněno na obr. 13.2-3. Následkem toho lze dosáhnout nenulového stacionárního obsazení hladin 1 a 2. ČERPÁNÍ ZESILOVAČE Obrázek 13.2-2 hladinami. 531 Energetické hladiny 1 a 2 společně s okolními výše a níže ležícími Nyní zformulujeme rychlostní rovnice takového systému jak v případě, že zesilované záření (které je v rezonanci s přechodem 1-2) není přítomné, tak i v případě, že přítomné je. Rychlostní rovnice bez účasti zesilovaného záření Rovnice popisující změny hustot obsazení hladin 2 a 1 následkem čerpání a deexcitace mají tvar A/2 r2 d/V2 d/Vj dť = -Ki (13.2-2) i 1 Ti A/22 T21 (13.2-3) . Za stacionárních podmínek (d/Vi/dí = d/V2/dí = 0) lze z rovnic (13.2-2) a (13.2-3) vypočítat A/i a W2 a nalézt vyjádření pro inverzní obsazení N = A/2 — A/i. Jestliže A/o označíme stacionární hodnotu inverzního obsazení N bez zesilovaného záření, je Stacionární rozdíl obsazení (bez účasti zesilovaného záření) = R-iTi ( 1 - — ) + J Rm. (13.2-4) K dosažení velkých hodnot koeficientu zesílení je nutný velký kladný rozdíl 2 i r- r 20 Obrázek 13.2-3 Energetické hladiny 1 a 2, jejich střední doby života TI a TI a možné přechody. Čerpáním vzrůstá hustota obsazení hladiny 2 s rychlostí /?2, zatímco hustota obsazení hladiny 1 klesá s rychlost! R\. 532 LASEROVÉ ZESILOVAČE obsazení, tj. velká kladná hodnota A/o- Z rovnice (13.2-4) je vidět, že toho lze dosáhnout tím, že • /?i a R2 budou velké, • hodnota TJ bude velká (ale doba tsp, která přispívá k TI prostřednictvím T21, musí být dostatečně krátká, aby byla velká rychlost zářivých přechodů, jak uvidíme později), • doba T\ bude krátká, pokud R\ < {T2/T2\)R2- Fyzikální význam těchto podmínek je zřejmý. Horní hladina by měla být silně čerpaná a vyprazdňovat by se měla pomalu, takže bude mít tendenci zachovat své obsazení. Spodní hladina by měla být silně odčerpávaná, takže její obsazení bude rychle klesat. V ideálním případě je žádoucí, aby T21 ~ tsp -C T20, takže TI ~ tsp a Ti <C tsp. Za těchto podmínek dostaneme zjednodušený výsledek No « R2tsp + Rm. (13.2-4a) Nedochází-li k odčerpávání (R\ = 0), nebo když /?i < (tsp/Ti)R2, jednodušší výsledek Wo ~ R2tsp. dostaneme ještě (13.2-4b) Cvičení 13.2-1 Optické čerpání. Předpokládejme, že R\ = 0 a R2 se uskutečňuje excitací atomů ze základního stavu E = 0 na hladinu 2 při absorpci fotonů o frekvenci E2/h s pravděpodobností přechodu W. Předpokládejme dále, že T2 ZS tsp a TI <C tsp, takže ve stacionárním stavu je /Ví ~ 0 a NQ ~ /?2Ísp. Je-li Na celkové obsazení hladin 0, 1 a 2, ukažte, že R2 ~ (No. — 2No)W a pro rozdíl obsazení dostaneme No w NatspW/(l + 2tspW). Rychlostní rovnice pro případ zesilovaného záření Je-li přítomné záření s frekvencí blízkou rezonanční frekvenci UQ, může docházet k přechodům mezi hladinami 1 a 2 a mohou se uplatňovat procesy stimulované emise a absorpce. Tyto procesy probíhají s hustotou pravděpodobnosti {s~1) Wi = = </x7(f) určenou vztahem (13.1-1), jak je znázorněné na obr. 13.2-4. Rychlostní rovnice (13.2-2) a (13.2-3) musíme rozšířit o tyto členy popisující nárůst a pokles obsazení obou hladin: ^!l = R2 - ^1 - N2Wi + NxWi, ^L = - dť dt (13.2-5) T2 R l _ ÍÍL + «L + N2Wi Ti T21 - NlWl. (13.2-6) Hustota obsazení hladiny 2 klesá následkem stimulované emise z hladiny 2 na hladinu 1 a vzrůstá absorpcí z hladiny 1 na 2. Vliv spontánní emise je obsažený ve členu s T I. 2 ČERPÁNÍ ZESILOVAČE r21 I T} l 533 I r t 20 Obrázek 13.2-4 Hustoty obsazení /Ví a /V2 (cm" 3 ) energetických hladin 1 a 2 atomů jsou určené třemi procesy: deexcitací (s rychlostními konstantami 1/TJ a I/T2 — druhá zahrnuje působení spontánní emise), čerpáním (s rychlostmi —/?i a R2) a absorpcí a stimulovanou emisí (s hustotou pravděpodobnosti Wi). Za stacionárních podmínek (dA/i/dč = dA/2/dť = 0) lze z rovnic (13.2-5) a (13.2-6) snadno nalézt A/i a A/2 a tudíž i rozdíl obsazení N — A/2 — N\. Označíme-li A/Q opět stacionární hodnotu inverzního obsazení v případě bez zesilovaného záření, která je daná rovnicí (13.2-4), dostaneme Stacionární inverzní obsazení (s účastí zesilovaného záření) (13.2-7) Saturační časová konstanta (13.2-8) Charakteristická doba r, je vždy kladná, protože T-I < T21. Pokud není přítomné zesilované záření, je W,: = 0 a z (13.2-7) dostaneme očekávaný výsledek N = NQ. Protože T, je kladné, má stacionární rozdíl obsazení v přítomnosti záření vždy menší absolutní hodnotu než v jeho nepřítomnosti, tj. \N\ < \NQ\. Je-li záření dostatečně slabé, takže TSW,; <g 1 (přiblížení malého signálu), můžeme brát N ~ A/o- Když záření sílí, tV; vzrůstá a N se blíží k nule bez ohledu na počáteční znaménko A/o, jak ukazuje obr. 13.2-5. Je to způsobené tím, že při velkých hodnotách VK jsou dominujícími interakcemi stimulovaná emise Wi Obrázek 13 2-5 Klesající závislost stacionárního rozdílu obsazení N = N2 toucí hustotě pravděpodobnosti absorpce a stimulované emise Wi. Když dosahuje N poloviční hodnoty ve srovnání s hodnotou při W, = 0. i na ros= 1/r,, 534 LASEROVÉ ZESILOVAČE a absorpce se stejnými hustotami pravděpodobnosti. Je zřejmé, že dokonce ani velmi silné záření nemůže přeměnit záporný rozdíl obsazení na kladný, nebo kladný na záporný. Jak je vidět na obr. 13.2-5 má veličina TS význam saturační časové konstanty. Cvičení 13.2-2 Saturační časová konstanta. Ukažte, že při tsp <C r„ r (nezářivá část střední doby T21 přechodu 2-1), tsp < T20 a současně tsp T\ je rs « tsp. Nyní přistoupíme k rozboru konkrétních uspořádání hladin (čtyřhladinových a tříhladinových systémů), která se v praxi užívají k dosažení inverzního obsazení. Cílem takového uspořádání je využití excitačního procesu ke zvýšení počtu atomů ve stavu 2, zatímco počet atomů ve stavu 1 se snižuje. B. Čtyřhladinové a tříhladinové schéma čerpání Čtyřhladinové schéma čerpání V tomto uspořádání, znázorněném na obr. 13.2-6, leží hladina 1 nad základním stavem (kterému je přiřazena nulová energie a jehož hladina je označená 0). Při tepelné rovnováze a při splnění podmínky Fi » kT je obsazení hladiny 1 zanedbatelné. Čerpání se uskutečňuje prostřednictvím hladiny (nebo více energetických hladin) nad hladinou 2, kterou označíme 3. Střední doba přechodu 3-2 je krátká (hladina 3 se rychle vyprazdňuje), takže hladina 3 je málo obsazená. Z důvodů, které se objasňují v úloze 13.2-1, je hladina 2 čerpána přes hladinu 3 a ne přímo. Hladina 2 má dlouhou dobu života, takže se na ní akumuluje obsazení, zatímco hladina 1 má dobu života krátkou, takže její obsazení je malé. Do celého procesu jsou zapojené čtyři energetické hladiny a rozhodující optická interakce nastává pouze mezi dvěma z nich (mezi hladinami 1 a 2). Hladina s krátkou dobou života Rychlé přechody j 2 Hladina s dlouhou 2 dobou života * r Laserový přechod .erpani w i Rychlé přechody T I i Hladina s krátkou dobou života Základní stav Obrázek 13.2-6 Energetické hladiny, jejich doby života a přechody mezi nimi ve čtyřhladinovém systému. ČERPÁNÍ ZESILOVAČE 535 Vnějším zdrojem energie (tj. fotonů s frekvencí Ez/h) jsou atomy čerpány z hladiny 0 na hladinu 3 rychlostí R. Je-li rychlostní konstanta přechodu z hladiny 3 na 2 dostatečně velká, můžeme přechod považovat za okamžitý a v tom případě bude čerpání hladiny 3 ekvivalentní čerpání hladiny 2 s rychlostí R2 = R. Při uvažovaném uspořádání hladin nedochází žádným způsobem k čerpání na hladinu 1 nebo z této hladiny, takže Rj = 0. V této situaci můžeme použít schéma znázorněné na obr. 13.2-4 a rovnice (13.2-7) a (13.2-8). V nepřítomnosti zesilovaného záření (Wi = <f> = 0) je stacionární inverze daná vztahem (13.2-4) s R\ = 0, tj. A/o = RT2 (l - —) . T V 2i/ (13.2-9) Ve většině čtyrhladinových systémů je nezářivá složka přechodu mezi hladinami 2 a 1 zanedbatelná (tsp 3> TnT) a T2Q ^> tsp ~^> T\ (viz cvičení 13.2-2), takže A/o ~ Rtsp, (13.2-10) r. « tsp (13.2-11) a tudíž N»Rta-p/(l + tapWi). (13.2-12) Při odvození jsme mlčky předpokládali, že čerpací rychlost R je nezávislá na rozdílu obsazení N = A/2 — Ni. To však přesně neplatí, protože hustoty obsazení základního stavu Ng a 3. hladiny A/3 závisí na Ni a A/2 vztahem Ní/ + Ni + N2 + N3 = Na, (13.2-13) přičemž celková koncentrace atomů Na je konstantní. Jestliže se uskutečňuje čerpání přechodem mezi základním stavem a hladinou 3 s pravděpodobností přechodu W, potom R = (Ng — A/3) W. Jestliže dále hladiny 1 a 3 mají velmi krátké doby života (A/i w A/3 w 0), potom Ng + N2~ Na, takže Ng « Na - N2 « Na - N. Za těchto podmínek lze čerpací rychlost aproximovat vztahem R»{Na-N)W. (13.2-14) Je zřejmé, že čerpací rychlost je lineárně klesající funkcí rozdílu obsazení N a jasně na něm není nezávislá. Po dosazení R = (Na — N) W do (13.2-12) a po následné úpravě dostaneme tapNaW ., N j ,.„, ň (13215) Konečně můžeme přepsat výraz pro inverzní obsazení v obvyklém tvaru (13.2-7), tj. No N = l+T„Wi' 536 LASEROVÉ ZESILOVAČE avšak A/o a TS budou nyní určeny rovnicemi A/o tspNaW (13.2-16) i + tspw (13.2-17) místo rovnic (13.2-10) a (13.2-11). Při slabém čerpání (W < l/í s p ) je No ~ tspNaW úměrné W (hustotě pravděpodobnosti čerpacího přechodu) a r s =s t s p , což vede k výsledkům získaným dříve. Když však čerpání vzrůstá, dochází k saturaci A/o a r s klesá. Tříhladinové schéma čerpání Na rozdíl od předchozího systému je při tříhladinovém uspořádání základní stav (Ei = 0) současně dolní hladinou laserového přechodu, jak znázorňuje obr. 13.2-7. Opět se účastní pomocná třetí hladina (označená 3). Rychlostní konstanta přechodu 3-2 je velká, takže nedochází k podstatnému obsazení hladiny 3. Přechod 3-1 je pomalý (tj. T32 <C T31), takže čerpací proces vede ke zvýšení obsazení horní laserové hladiny. Hladina 2 má dlouhou dobu života, takže její obsazení roste. Atomy jsou čerpané z hladiny 1 na hladinu 3 (např. absorpcí záření o frekvenci E3//1) rychlostí /?; rychlý (nezářivý) přechod na hladinu 2 má za následek, že čerpací rychlost R2 = RNení obtížné si uvědomit, že při rychlém přechodu 3-2 je tříhladinový systém znázorněný na obr. 13.2-7 speciálním případem systému na obr. 13.2-4 (předpokládá se, že R nezávisí na A/) s parametry R\ == R2 = n = 00, 1"2 = T 2 1 . Abychom se vyhnuli algebraickým problémům, které vznikají při dosazení T\ — 00, nedosadíme tyto konkrétní hodnoty do vztahů (13.2-7) a (13.2-8), ale vrátíme se Rychlé přechody | 7 3 2 R Čerpání 2 Laserový přechod * Hladina s krátkou dobou života Hladina s dlouhou dobou života .Základní stav Obrázek 13.2-7 Energické hladiny a přechody v tříhladinovém systému. ČERPÁNÍ ZESILOVAČE 537 k původním rychlostním rovnicím (13.2-5) a (13.2-6). Za stacionárních podmínek vedou obě rovnice (13.2-5) a (13.2-6) k jediné rovnici 0= R No T21 - N2Wf + N^Wi. (13.2-18) Z jedné rovnice není možné určit současně A/i a N2. Známe-li však celkovou koncentraci atomů Na v systému (na hladinách 1,2 a 3), máme pomocnou podmínku, která nám umožní určit A/i a A/2. Jelikož T32 je velmi krátká doba, zůstává stacionární obsazení hladiny 3 zanedbatelně malé; všechny atomy, které se na tuto hladinu dostanou přecházejí téměř okamžitě na hladinu 2. Za těchto okolností je A/j + N2 = Na (13.2-19) a tento vztah nám umožní řešit (13.2-18) pro A/i a A/2 a následně spočítat rozdíl obsazení N = A/2 — A/j a saturační dobu r,. Výsledek lze psát v obvyklém tvaru (13.2-7), N = A/0/(l + T„WÍ), přičemž nyní platí A/o = 2RT 2 I - Na, (13.2-20) (13.2-21) Jsou-li zanedbatelné nezářivé přechody z hladiny 2 na 1 (tsp nahradit dobou tsp a dostaneme tak <C rnr), můžeme T2\ A/o « 2/?ísp - A/o, (13.2-22) r, « 2í s p . (13.2-23) Připomeňme, že pro čtyřhladinové schéma čerpání je T, w tsp [viz (13.2-11)]. Je zajímavé srovnat tyto vztahy s analogickými výsledky (13.2-10) a (13.2-11) pro čtyřhladinové schéma čerpání. Dosažení inverzního obsazení (A/ > 0 a tudíž A/o > 0) ve tříhladinovém systému vyžaduje čerpací rychlost R > A/a/2ísp. Aby bylo dosaženo hustoty obsazení N2 právě rovné hustotě A/i (tj. A/o = 0), je zapotřebí značná hustota čerpacího výkonu EzNa/2tsí,. Přirozenou překážkou dosažení inverzní populace ve tříhladinovém systému je velké obsazení základního stavu (který je současně spodní hladinou laserového přechodu) proti čtyřhladinovému systému (ve kterém je hladina 1 obvykle prázdná). Při analýze tříhladinového systému vezmeme v úvahu závislost čerpací rychlosti R na rozdílu obsazení N, když vyjádříme R = (A/j — A/3) W a uvědomíme si, že A/3 ss 0 a A/i = |(A/a — A/), z čehož plyne R w |(A/a — N)W. Po dosazení do základní rovnice N = (2/?í„p - A/o.)/(l + 2tspWi) a úpravě dostaneme 1 + r, 538 LASEROVÉ ZESILOVAČE nyní však s NQ daným vztahem - 1) 1+ť.p W Na(tspW IVo — Ts 2tsp l + tsp (13.2-24) (13.2-25) Znamená to, že stejně jako u čtyřhladinového schématu čerpám jsou Wo a TS obecně nelineárními funkcemi hustoty pravděpodobnosti W čerpacího přechodu. Cvičení 13.2-3 Čerpací výkon ve tříhladinovém a čtyřhladinovém systému a) Určete velikost hustoty pravděpodobnosti čerpacího přechodu W nutnou k dosažení nulového rozdílu obsazení v tříhladinovém a čtyřhladinovém laserovém zesilovači. b) Ukažte, že při pravděpodobnosti W = 2/tsp v tříhladinovém systému a W = l/2í s p ve čtyřhladinovém je Wo = A/a/3. Porovnejte čerpací výkony potřebné k dosažení takovéhoto obsazení. Příklady způsobů čerpání Jak jsme již uvedli, čerpat lze různými metodami včetně elektrické, optické a chemické. Několik základních způsobů elektrického a optického čerpání je schematicky znázorněno na obr. 13.2-8. Je důležité si uvědomit, že /?i a /?2 představují počet atomů skutečně načerpaných v jednotkovém objemu za jednotku času. Obecně není čerpací proces dokonale účinný. Např. při optickém čerpání jsou některé z fotonů dodávaných čerpacím systémem nevyužité pro čerpání atomů na horní laserovou hladinu a jsou tudíž ztracené. C. Příklady laserových zesilovačů K laserovému zesilování může docházet v mnoha různých materiálech. Diagramy energetických hladin některých atomů, molekul a pevných látek, se kterými pracují lasery, byly uvedené v odst. 12.1A. Reálné laserové systémy obvykle obsahují mnoho interagujících energetických hladin, které ovlivňují obsazení N\ a A/2 hladin účastných na laserovém přechodu, jak znázorňuje obr. 13.2-2. Nicméně hlavní principy činnosti laserových zesilovačů lze pochopit na základě klasifikace laserů na tříhladinové a čtyřhladinové systémy. Tento přístup uplatníme při diskusi tří pevnolátkových laserových zesilovačů: tříhladinového rubínového laserového zesilovače, čtyřhladinového laserového zesilovače s yttrito-hlinitým granátem dotovaným neodymem a tříhladinového laserového ČERPÁNÍ ZESILOVAČE Katoda i 11 (a) Plyn / 1 š Anoda A (b) \ Výbrus z aktivního materiálu, / Id) Laserová dioda Čočka 539 / Plyn / ^ \ Výbojka Čočka Laserová dioda Vlákno z taveného křemene 3 Výbrus z Nd +:YAG 3+ dotované E r Obrázek 13.2-8 Příklady elektrického a optického čerpání, (a) K čeipáni plynových laserů se často užívá stejnosměrný proud. Proud může procházet buď ve směru osy laseru a způsobovat při tom podélný výboj nebo v příčném směru. Druhé uspořádání je obvyklé u vysokotlakých impulsních laserů, jako je příčně excitovaný laser s CO2 pracující při atmosférickém tlaku [TEA (transversely excited atmospheric) CO2 laser]. (6) K čerpání plynových laserů se využívá také radiofrekvenční výboj, (c) Rubínový laser a pevnolátkové lasery s ionty vzácných zemin lze účinně čerpat impulsními výbojkami. (d) Laser Nd "*":YAG nebo laser s vláknem z taveného křemene dotovaného Er3"^ lze opticky čerpat polovodičovým diodovým laserem (nebo maticí laserových diod). zesilovače s křemenným vláknem dotovaným erbiem. Ačkoliv nejvíce laserových zesilovačů a oscilátorů pracuje na bázi čtyřliladinového schématu čerpání, dvěma pozoruhodnými výjimkami jsou rubín a křemenné vlákno dotované Er 3 + . Na konci tohoto odstavce si krátce ukážeme, že laserového zesilování lze dosáhnout rovněž v plynových laserech a v kapalinových laserech. Všechny laserové zesilovače, které budeme probírat, pracují také jako laserové oscilátory (viz odst. 14.2E). Rubín Rubín (Cr3+:Al2C>3) je safír (AI2O3), v němž je malá část iontů hliníku nahrazena ionty chrómu Cr 3 + (viz odst. 12.1A). Stejně jako většina jiných materiálů může laserovat (tj.docházet k zesilování nebo generování laserového záření) na několika různých přechodech. Energetické hladiny, které se uplatňují při nejznámějším laserovém přechodu v rubínu, jsou znázorněné na obr. 13.2-9 (hladiny jsou označené podle pravidel grupové teorie). Právě v rubínu bylo poprvé pozorované generování laserového záření. V rubínu se uplatňuje v podstatě tříhladinový systém, ve kterém hladina 1 odpovídá základnímu stavu, hladina 2 je tvořená dvojicí těsně vedle sebe ležících diskrétních hladin (z nižší hladiny nastává laserový přechod s vlnovou délkou A = 694,3 nm v červené oblasti spektra) a třetí hladina zahrnuje dva pásy energií okolo 550 nm (zelená) a 400 nm (fialová). Právě tyto absorpční pásy mají za následek růžové zabarvení rubínu. Látku lze opticky čerpat z hladiny 1 na hladinu 3 tak, že rubínový výbrus umístíme do osy šroubovicové výbojky nebo ji vložíme spolu s lineární výbojkou do od- 540 LASEROVÉ ZESILOVAČE eV RUBÍN - 4 _- 3 •• \T 32 - 2 i Čerpání 1 6 9 4 3 n , m Laserový — přechod 01 Obrázek 13.2-9 Energetické hladiny, které se uplatňují v rubínu při laserovém přechodu o vlnové délce 694,3 nm v červené oblasti spektra. razného válce s eliptickou základnou, jak znázorňuje obr. 13.2-10. Výbojka emituje záření v širokém pásu spektra, část záření je absorbovaná a má za následek excitaci iontů Cr 3 + na hladinu 3. Širokopásmový charakter hladiny 3 je výhodný, protože je absorbována maximální část světla výbojky. Excitované ionty Cr 3 + přecházejí rychle z hladiny 3 na hladinu 2 (T32 je řádu pikosekund), zatímco střední doba spontánního přechodu 2-1 je relativně velká (tsp ~ 3 ms) v souladu s požadavky schématu na obr. 13.2-7. Nezářivé přechody jsou zanedbatelné (T21 ~ tsp). Přechod má Rubínový výbrus Výbojka Výbojka Vstupní fotony Rubínový výbrus Eliptické válcové zrcadlo Zdroj (a) (b) Obrázek 13.2-10 Rubínový laserový zesilovač, (a) Geometrické uspořádání prvního laserového generátoru realizovaného Maimanem v roce 1960 (viz kap. 14). (b) Schéma velmi účinného uspořádání s lineární výbojkou a s válcovým eliptickým reflektorem. ČERPÁNÍ ZESILOVAČE 541 homogenně rozšířený spektrální profil s šířkou Au = 60 GHz; rozšíření je způsobené převážně interakcí (elastickými srážkami) s mřížkovými fonony. V komerčně dostupných rubínových laserových zesilovačích se užívají výbrusy typické délky 5 až 20 cm. V impulsním režimu mohou dávat zisk signálu nízké úrovně okolo 20. Vlastnosti typického rubínového laserového generátoru jsou uvedené v tab. 14.2-1. Nd3+:YAGa Nd3+:sklo Široce užívaný čtyřhladinový laserový zesilovač pracující v blízké infračervené oblasti využívá neodymu substitučně zabudovaného ve formě iontu v krystalu yttritohlinitého granátu (Nd.TY3_xAl5Oi2, obvykle se užívá zkrácený zápis Nd3+:YAG). Krystal má bleděfialové zabarvení. Energetické hladiny významné pro přechod o vlnové délce Ao = 1,064 /wn jsou na obr. 13.2-11; je použité spektroskopické značení hladin. Hladina 1 má energii « 0,2 eV nad základním stavem. Tato energie je podstatně větší než k^T w 0,026 eV při pokojové teplotě, takže tepelné obsazení dolní hladiny laserového přechodu je zanedbatelné. Hladina 3 je souborem čtyř zhruba 30 nm širokých absorpčních pásů ležících u 810, 750, 585 a 525 nm. Přechod 2-1 je homogenně rozšířený (následkem interakce s mřížkovými fonony) s šířkou pásu A.v « 120 GHz při pokojové teplotě. Excitované ionty rychle přecházejí z hladiny 3 na hladinu 2 (T32 ~ 100 ns), střední doba spontánní emise tsp — 0,2 ms a doba T\ je velmi krátká (« 30 ns); jsou tak splněné požadavky čtyřhladinového schématu na obr. 13.2-6. Zisk je podstatně větší než u rubínu, protože se jedná o čtyřhladinový systém. Nd 3 + : YAG je možné opticky čerpat přímo na horní hladinu laserového přechodu; účinný laser s takovýmto schématem čerpání byl realizovaný nedávno: je čerpaný polovodičovým diodovým laserem [viz obr. 13.2-8(d)]. Nd3+:YAG eV v <u c _erpam Obrázek 13.2-11 Energetické hladiny významné pro laserový přechod s vlnovou délkou 1,064/im v Nd^^YAG. Rozložení energetických hladin Nd + :sklo je podobné, ale absorpční pásy jsou širší. 542 LASEROVÉ ZESILOVAČE Charaktristické vlastnosti laserového zesilovače s neodymem ve skle (Nd3+:sklo) jsou velmi podobné Nd3+:YAG s významným rozdílem, kterým je nehomogenní rozšíření pásů; je způsobené amorfní podstatou skla, která se projevuje různým uspořádáním bezprostředního okolí jednotlivých iontů neodymu. Nd3+:sklo má tudíž daleko větší šířku pásu při pokojové teplotě Au ss 3000 GHz, což je žádoucí v případě modově synchronizovaných impulsních laserů (viz kap. 14). Zesilovače s Nd3+:sklo lze vyrábět ve velmi velkých rozměrech a široce se využívají při experimentech s jadernou syntézou (např. desetisvazkový laserový systém NOVA v Lawrence Livermore National Laboratory v Kalifornii v USA, který dává 105 J v impulsu délky 1 ns nebo systém GEKKO na univerzitě v Osace v Japonsku). Charakteristiky typických laserových generátorů s Nd3+:YAG a s Nd3+:sklo jsou uvedené v tab. 14.2-1. : křemenné vlákno Velmi užitečným laserovým zesilujícím prostředím jsou křemenná vlákna dotovaná vzácnými zeminami, která využívají předností jednomodové vlnovodné optiky (viz kap. 7 a 8). Je důležité, že vykazují polarizačně nezávislý zisk a nízké vlastní ztráty. Jádro křemenného vlákna lze dotovat kterýmkoliv z řady iontů vzácných zemin (např. Nd, Er, Yb, Pr, Sm). Čerpání probíhá při šíření světla z laseru (např. světla z polovodičového diodového laseru, barvivového laseru, laseru s barevnými centry, laseru Ti3+:Al2C>3 nebo z iontového laseru Ar + ) vláknem [viz obr. 13.2-8(d)]. Lze vyrobit vláknové laserové zesilovače pracující v širokém oboru vlnových délek (např. na vlnových délkách 1,3 /zm; 1,55//m; 2 až 3/zm). Křemenná vlákna s Er 3 + mají široký laserový přechod (Au ~ 4000 GHz) blízko A = 1,55 /ím, což koinciduje s oblastí maximální propustnosti křemenných vláken (viz obr. 8.3-2). Pro svůj vysoký zisk jsou erbiem dotovaná křemenná vlákna nadějným materiálem pro optické zesilovače a opakovače v optických vláknových komunikačních systémech. V jedné z konfigurací čerpá polovodičový laser na vlnové délce 807 nm vlákno SiO2:GeO2 délky lni (typické jsou délky vláken od 0,5m do 10m) dotované erbiem v koncentraci ss 500 ppm (parts per million). Čerpání na uvedené vlnové délce, stejně jako na 980 nm, je výhodné, protože právě zde leží silné čerpací pásy Er 3 + . Avšak čerpání na 807 nm vede k nežádoucí absorpci excitovanými stavy. Místo toho lze laserový přechod čerpat přímo na vlnové délce 1,48/xm zářením polovodičového laseru InGaAsP a k absorpci z excitovaných stavů nedochází. Účinné zesilování záření je možné následkem frekvenčního posunutí mezifluorescenčníma absorpčním pásem tohoto přechodu. Běžně se dosahuje zisků okolo 30 dB při čerpacím výkonu ~ 5 mW (z diodového laseru, který pracuje na vlnové délce 980 nm nebo 1,48 /trn) do zhruba 50 m dlouhého vlákna obsahujícího « 300 ppm Er2O3. Lze dosáhnout šířky optického pásma ~ 30 nm, případně větší šířky při sníženém zisku. Systémy s křemenným vláknem dotovaným Er 3 + se chovají při T — 300 K jako tříhladinový laser a chlazené na T = 77 K jako čtyřhladinový laser. Rozšíření spektrálních pásů je směsí rozšíření homogenního (způsobeného fonony) a nehomogenního (pocházejícího od rozdílných lokálních polí ve skle). Další laserové zesilovače V tab. 13.2-1 jsou uvedené účinné průřezy přechodů, střední doby spontánní emise, spektrální šířky přechodů a indexy lomu pro několik laserových přechodů. V tabulce NELINEARITA A SATURACE ZISKU V ZESILOVAČI 543 Tabulka 13.2-1 Typické hodnoty parametrů důležitých laserových přechodů Laserové prostředí Vlnová délka přechodu \0 (/im) Účinný průřez přechodu (TQ (cm 2 ) Střední doba spontánní emise tSp He-Ne Rubín Nd3+:YAG Nd 3 +:sklo Er3"*": křemenné vlákno Rhodamin 6G Ti 3 +:A1 2 O 3 CO2 Ar+ 0,6328 0,6943 1,064 1,06 1,55 0,56-0,64 0,66-1,18 10,6 0,515 1 •1 0 - 1 3 0,7 ya 3,0 ms 2- 10 -20 4- 10-19 0,2 ms 0,3 ms 3- 1Q-2O 21 10,0 ms 6- 103,3 ns 2- 10-16 3- 10-19 3,2 MS • 2,9 s 3- 1 0 -18 12 10,0 ns 3- 1 0 - Spektrální šířka přechodu^ A;/ 1,5 GHz N 60GHz H 120 GHz H 3THz N 4THz H/N 5THz H/N 100 THz H 60MHz N 3,5 GHz N Index lomu n ss 1 1,76 1,82 1,5 1,46 1,33 1,76 ss 1 ~ ! f Symboly H a N označují, zda dominující mechanismus rozšíření je homogenní nebo nehomogenní. uvedená vlnová délka ve vakuu Ao odpovídá nejvíce užívanému přechodu v každém z aktivních prostředí. Např. laserový systém s plynovou náplní He-Ne obvykle pracuje na červenooranžové čáře 0,633 /an, široce užívané však jsou také přechody na vlnových délkách 0,543; 1,15 a 3,39/xm (tento systém vykazuje laserové přechody na několika stovkách dalších vlnových délek). Plyn CO2 se obvykle užívá jako aktivní prostředí laserového zesilovače ve střední infračervené oblasti spektra. Hodnoty uváděné v tabulce jsou charakteristické pro plynové náplně s nízkým tlakem (šířka spektrální čáry atomu v plynu závisí na tlaku následkem srážek, které vedou k homogennímu rozšíření čáry). Laditelný barvivový laser s rhodaminem 6G, který je obvykle čerpaný argonovým laserem, dává zisk ve spojitém frekvenčním pásmu od vlnové délky 560 nm do 640 nm. Další barviva pokrývají jiné spektrální intervaly. Barvivové laserové zesilovače nacházejí využití v mnoha aplikacích a jsou vhodné pro zesilování femtosekundových optických impulsů. Laser Ti3+:Al2C>3 je laditelný v ještě širším intervalu vlnových délek než barvivový laser s rhodaminem 6G a přitom pracuje daleko snadněji. K zesilování se také často užívají laserové systémy s volnými elektrony. Polovodičové laserové zesilovače jsou diskutované v kap. 16. 13.3 A. NELINEARITA A SATURACE ZISKU V ZESILOVAČI Koeficient zesílení Odvodili jsme již, že koeficient zesílení 7(1/) aktivního prostředí závisí na rozdílu obsazení N [viz (13.1-4)], že N závisí na rychlosti přechodu Wi [viz (13.2-7)] a že Wi dále závisí na hustotě fotonového toku záření <j> [viz (13.1-1)]. Z toho vyplývá, že koeficient zesílení aktivního prostředí závisí na hustotě fotonového toku, který má být zesilovaný. To je podstatou saturace zesílení a nelineárního chování laserového zesilovače, jak si ukážeme dále. 544 LASEROVÉ ZESILOVAČE Dosazením (13.1-1) do (13.2-7) dostaneme pro závislost rozdílu obsazení N na hustotě fotonového toku <j> vztah N = No (13.3-1) ve kterém Hustota saturačního toku fotonů (13.3-2) Dosadíme-li nyní (13.3-1) do výrazu pro koeficient zesílení (13.1-4), dostaneme přímo vztah pro saturovaný koeficient zesílení prostředí s homogenním rozšířením: Saturovaný koeficient zesílení (13.3-3) kde Koeficient zesílení malého signálu (13.3-4) Koeficient zesílení je klesající funkcí hustoty fotonového toku <f>, jak znázorňuje obr. 13.3-1. Veličina <t>s{v) — l/rsa(u) představuje hustotu fotonového toku, při které klesne koeficient zesílení na polovinu své maximální hodnoty; proto se nazývá hustota saturačního toku fotonů. Když T S ~ t„p, je interpretace </>„(&) prostá: přibližně jeden foton může být emitován během každé střední doby spontánní emise do každé plochy o velikosti účinného průřezu přechodu [cr{u)<fis{y)tSp = 1]. Obrázek 13.3-1 Závislost normovaného saturovaného koeficientu zesílení 7(i/)/7o(i') na normované fotonové hustotě <£/$..,. Když se rovná <j> saturační hodnotě <^.H(^), je koeficient zesílení právě poloviční. NELINEARITA A SATURACE ZISKU V ZESILOVAČI 545 Cvičení 13.3-1 Hustota saturačního toku fotonů v rubínu. Spočítejte hustotu saturačního toku fotonů a odpovídající saturačni optickou intenzitu pro laserový přechod Ao = 694,3 nm v rubínu pro v = VQ. Použijte hodnoty parametrů z tab. 13.2-1 na str. 543. V souladu s (13.2-23) předpokládejte, že T, a 2tsp. Cvičení 13.3-2 Spektrální rozšíření pásma saturovaného zesilovače. Uvažujte homogenně rozšířené zesilující prostředí s lorentzovským tvarem spektrální čáry šířky Aw [viz (13.1-8)]. Ukažte, že při hustotě fotonového toku <j> má průběh koeficientu zesílení i {v) zesilovače lorentzovský tvar se šířkou Šířka pásma saturovaného zesilovače (13.3-5) Saturace zesílení je tedy provázena zvětšením šířky pásma (tzn. snížením frekvenční selektivity), jak znázorňuje obr. 13.3-2. Koeficient zesílení Saturovaný koeficient zesílení Obrázek 13.3-2 Zmenšení koeficientu zesílení a zvětšení šířky pásma následkem saturace při (j> = 2<j>?(I/Q). B. Zisk Když známe vliv saturace na koeficient zesílení (zisk na jednotku délky), můžeme odvodit celkový zisk laserového zesilovače délky d s homogenním rozšířením. Pro jednoduchost nebudeme uvažovat závislosti 7(f) a <j>s{v) na frekvenci a použijeme pro ně označení 7 a <j>„. 546 LASEROVÉ ZESILOVAČE Je-li ve vzdálenosti z hustota toku fotonů 4>{z), je koeficient zesílení podle (13.3-3) rovněž funkcí z. "L rovnice (13.1-3) víme, že infinitezimální zvětšení hustoty fotonového toku ve vzdálenosti z je d0 = 70d2, což vede k diferenciální rovnici * t = ™ t . (13 .3-6) Přepíšeme-li tuto rovnici ve tvaru (1/0 + l/0 s )d0 = 7odz, dostaneme její integrací 7 o z Vztah mezi vstupní hustotou fotonového toku 0(0) a výstupní hustotou <j>(d) je tedy dán rovnicí [ln(Y) + Y] = [\n(X) + X] + 7orf, (13.3-8) ve které X = 0(O)/0S je vstupní a Y = <j>(d)/4>s výstupní hustota fotonového toku, obě normované na hustotu saturačního toku fotonů. Budeme se zabývat řešením pro zisk G — 0(c/)/0(O) = Y/X ve dvou limitních případech: • Když veličiny X a.Y jsou obě mnohem menší než jedna (tj. hustoty fotonových toků jsou mnohem menší než hustoty saturačních toků), potom X a Y jsou zanedbatelné ve srovnání s ln(X) a ln(y), takže dostaneme aproximativní vztah ln(Y) « ln(X) + 70c/, ze kterého plyne y Kjjfexpdotf)- (13.3-9) V tom případě je vztah mezi Y a X lineární se ziskem G = Y/X w exp(7oc/). Tento výsledek se shoduje s výsledkem (13.1-7) získaným v aproximaci malého signálu, která je oprávněná pokud koeficient zesílení nezávisí na hustotě fotonového toku, tj. 7 « 7o• Když X > 1 , můžeme zanedbat ln(^) ve srovnání s X a ln(Y) proti Y, načež neboli 4>(d) w 0(0) + 7o0sd « 0(0) + — . (13.3-10) Při vysokém stupni saturace jsou atomy prostředí zcela „zaměstnané" emitováním konstantního fotonového toku Nod/rs. Vstupní fotony tedy prostě projdou zesilovačem a na výstupu je jejich tok zvětšený o konstantní hodnotu hustoty fotonového toku, která nezávisí na velikosti toku vstupujícího do zesilovače. Pro hodnoty X a Y mezi oběma krajními hodnotami je nutné řešit rovnici (13.3-8) numericky. Na obr. 13.3-3(6) je takové řešení znázorněné plnou čárou. NELINEARITA A SATURACE ZISKU V ZESILOVAČI 547 Lineární závislost výstupního signálu na vstupním, která platí pro X <C 1, a vztah pro saturovaný režim při X > 1 jsou očividně limitními případy numerického řešení. Na obr. 13.3-3(c) je vynesen průběh zisku G = Y/X. Ten dosahuje maximální hodnoty exp(jod) pro malé hodnoty vstupní hustoty fotonového toku (X -C 1) a klesá k jedné, když X —• oo. Saturovatelná absorpční prostředí Je-li koeficient zesílení 70 záporný, tj. při obvyklém a'nikoliv invertovaném obsazení (A/o < 0), dochází v prostředí k zeslabování a nikoliv k zesilování záření. Koeficient útlumu a(v) = —*i(y) rovněž vykazuje saturaci podle vztahu ot{y) = = OIQ(V)I[\ + (j>/(f)s{u)}. Znamená to, že při větších hodnotách hustoty fotonového toku je absorpce menší. Látky s touto vlastností se nazývají saturovatelne absor- béry. Vztah mezi výstupní hustotou fotonového toku <f>(d) a vstupní hustotou 0(0) absorbéru délky d je dán rovnicí (13.3-8) se záporným 70- Výsledná propustnost absorbéru Y/X = cf>(d)/<fi(Q) v závislosti na X = ip(O)/(ps je znázorněná plnou křivkou Zesilovač Výstup Vstup to) 12 - ' Y 8 -- 1 1 - 1 1 -1 ]/ Y = X l , 1 ^ 2 4 6 Vstup X = <f>{O)/<t>s 0.01 I J_ 0.1 1 Vstup <p(0)/<ps 10 (b) Obrázek 13.3-3 (a) Nelineární (saturovatelný) zesilovač, (b) Vztah mezi normovanou výstupní hustotou fotonového toku Y = <j>(d)/rj>., a normovanou vstupní hustotou fotonového toku X = 4>(0)/tj>„. Pro X « 1 je zisk Y/X =5 exp(7Ocí). Pro X » 1 je Y =; X + 7oť- (c) Zisk vynesený jako funkce normované vstupní hustoty fotonového toku X pro zesilovač délky d, když 70^ — 2. 548 LASEROVÉ ZESILOVAČE na obr. 13.3-4. S rostoucím 0(0) vzrůstá propustnost a v limitě se blíží mezní hodnotě jedna. Tento jev nastává následkem toho, že rozdíl obsazení N —* 0, takže výsledkem je nulová celková absorpce. *C. Zesílení zesilovačů s nehomogenním rozšířením přechodu Prostředí s nehomogenním rozšířením spektrálních čar je tvořené souborem atomů rozdílných vlastností. Tímto problémem jsme se zabývali v odst. 12.2D. Podsoubor atomů označený /? má homogenně rozšířenou spektrální čáru s průběhem popsaným funkcí gp(v)- Funkce celkového spektrálního průběhu prostředí s nehomogenním rozšířením je popsaná funkcí g{v) = (gp{v)} a je výsledkem středování (•) přes všechny podsoubory /3. Protože koeficient zesílení malého signálu 7o(^) je úměrný g(v), jak je vidět / z (13.3-4), mají různé podsoubory /? atomů různé koeficienty zesílení 7o#(i )- Střední koeficient zesílení malého signálu je tudíž 7o = No A 2 (13.3-11) 87TÍ,, Odvodit vztah pro saturovaný koeficient zesílení je mnohem záludnější úlohou. Protože však saturační hustota fotonového toku 4>s(v) je podle (13.3-2) nepřímo úměrná g{v), musí sama záviset na tom, o jaký podsoubor 0 atomů se jedná. Střední koeficient zesílení můžeme definovat prostřednictvím rovnic (13.3-3) a (13.3-2) vztahem (13.3-12) ve kterém (13.3-13) Saturovatelné absorbční prostředí Vstupní fotony Výstupní fotony Vstup X = 4>(0)/4>s Obrázek 13.3-4 Závislost propustnosti Y/X = <p{d)/ip(U) siUuiovaU-luéhu ab.vjrbihu na normované hustotě fotonového toku X = tp(O)/(t>., pro hodnotu fod — —2. Propustnost vzrůstá s rostoucí hustotou vstupního fotonového toku. NELINEARITA A SATURACE ZISKU V ZESILOVAČI 2 549 2 a b = N0(X /8Trtsp), a? = {\ /8iv)(Ts/tsp). Výpočet střední hodnoty veličiny (13.3-13) musíme provést pozorně, protože střední hodnota zlomku není rovna zlomku středních hodnot. Prostředí s dopplerovským rozšířením spektrální čáry I když všechny atomy v dopplerovsky rozšířeném prostředí mají g(v) stejného tvaru, je frekvence středu čáry podsouboru atomů (5 posunutá o hodnotu vp úměrnou složce rychlosti vp do směru pozorování (taje pro všechny atomy podsouboru P stejná). Je-li g(v) lorentzovská funkce s šířkou Av, je podle (13.1-8) g(v) = (Av/2-n)/\(v — VQ)2 + + (Au/2)2] a gi)(v) = g(u - vp). Dosazením gp{u) do (13.3-13) dostaneme kde Rovnice (13.3-15) byla odvozená ve cvičení 13.3-2 [viz (13.3-5)] pro saturovaný zesilovač s homogenním rozšířením. Podsoubor atomů se složkou rychlosti vp zřejmě má saturovaný koeficient zesílení 7/j(^) lorentzovského tvaru s šířkou AZA,, která vzrůstá s rostoucí hustotou fotonového toku. Středování veličin ifi(u) daných vztahem (13.3-12) můžeme provést, když si uvědomíme, že frekvenční posunutí vp se řídí Gaussovou rozdělovači funkcí p(v/)) = = (27rff|))~1/'2exp(—Vp/2<j2D) s nulovou střední hodnotou a se směrodatnou odchylkou a č (viz cvičení 12.2-2). Potom *Í{V) = (7/j(^)) je dáno vztahem 7(")= í HÁ^viv^Aup. (13.3-17) J — oc Je-li rozdělení p(vp) mnohem širší než y/)(v) (tj. dopplerovské rozšíření je mnohem větší než Ai/„), můžeme při výpočtu 7(1^0) během integrování pohlížet na širokou funkci p(v/)} jako na konstantu. Po dosazení za v = v$ a vp = 0 do exponenciály dostaneme vztah ve kterém pro střední koeficient zesílení malého signálu 70 platí 7o = A / o ^ - ( 2 ^ ) " 1 / 2 . (13.3-19) 550 LASEROVÉ ZESILOVAČE Nehomogenní rozšíření Homogenní rozšíření 10-2 10-1 Obrázek 13.3-5 Porovnání koeficientů zesílení prostředí s homogenním a nehomogenním rozšířením spektrální čáry. Rovnice (13.3-18) vyjadřuje střední saturovaný koeficient zesílení prostředí s dopplerovským rozšířením na frekvenci středu čáry v = v$ jako funkci hustoty fotonového toku <f>. Při saturaci je koeficient zesílení nepřímo úměrný druhé odmocnině toku <f> Koeficient zesílení prostředí s nehomogenním rozšířením se tedy saturuje mnohem pomaleji než koeficient zesílení prostředí s homogenním rozšířením [viz (13.3-3)], jak znázorňuje obr. 13.3-5. Vypalování spektrálních zářezů Jestliže na prostředí s nehomogenním rozšířením čáry přechodu působí tok velké hustoty monochromatických fotonů o frekvenci v\, dochází k saturaci zesílení pouze pro ty atomy, jejichž spektrální čáry se překrývají s frekvencí v\. Ostatní atomy s fotony jednoduše neinteragují a zůstávají nesaturované. Jestliže saturované prostředí budeme zkoumat pomocí slabého zdroje monochromatického světla proměnné frekvence v, objeví se v profilu koeficientu zesílení zářez v okolí frekvence v\, jak je znázorněné na obr. 13.3-6. Tento jev je známý jako vypalování spektrálního zářezu (angl. hole burning). Protože koeficient zesílení 7/3(1^) má Lorentzův tvar s šířkou Aws urče- tu u Obrázek 13.3-6 Koeficient zesílení prostředí s nehomogenním rozšířením je lokálně saturovaný velkou hustotou toku monochromatických fotonů o frekvenci v\. ŠUM ZESILOVAČE 551 nou vztahem (13.3-15), bude i šířka zářezu Aus. S rostoucí hustotou toku saturujících fotonů o frekvenci 1/1 se zvětšuje hloubka i šířka zářezu. •13.4 ŠUM ZESILOVAČE Rezonanční prostředí, ve kterém dochází k zesílení stimulovanou emisí, vyzařuje světlo rovněž spontánní emisí. Světlo, které při tom vzniká, je nezávislé na záření vstupujícím do zesilovače a je hlavním zdrojem šumu laserového zesilovače. Zatímco zesilovaný signál má určitou frekvenci, směr a polarizaci, je šum způsobený zesílenou spontánní emisí (ASE) širokopásmový, všesměrový a nepolarizovaný. Následkem toho je možné odfiltrovat část tohoto šumu tím, že zesilovač na výstupu doplníme úzkopásmovým optickým filtrem, omezující aperturou a polarizátorem. Hustota pravděpodobnosti, že atom na horní laserové hladině spontánně emituje za sekundu foton o frekvenci mezi v a v + dv je dána vztahem (viz cvičení 12.2-1) (13.4-1) P,P(y) dt/ = —g{v) dv. Hustota pravděpodobnosti spontánní emise fotonu v celém frekvenčním oboru je Psp = 1/íjp. Je-li /V2 hustota atomů na horní energetické hladině, je střední hustota spontánně emitovaných fotonů za sekundu N2Psp(y). Střední výkon spontánní emise činí na jednotku objemu a na jednotku frekvence hvN2Psp(v). Tato hustota výkonu je vyzařována rovnoměrně do všech směrů a je stejně rozdělená mezi dva polarizační stavy záření. Jestliže ze zesilovače vystupuje záření v prostorovém úhlu dfi (viz obr. 13.4-1) a jenom jedné polarizace, obsahuje pouze část ^dfž/47r spontánně emitovaného výkonu. Je-li navíc přijímač citlivý pouze na fotony uvnitř úzkého frekvenčního pásu B okolo frekvence v zesilovaného signálu, je počet fotonů spontánní emise z malého objemu o jednotkové ploše základny a délce dz, které se přičtou Filtr a polarizátor \ Vstupní tok fotonů Výstupní "(_ I (j »-tok fotonů S umový tok fotonů Obrázek 13.4-1 Spontánní emise je zdrojem šumu zesilovače. Je vyzařovaná do všech směrů, je nepolarizovaná a širokopásová. Pouze optické záření spadající do úzkého spektrálního pásu, malého prostorového úhlu dfi a s určitou polarizací projde optickým systémem zesilovače na jeho výstup. 552 LASEROVÉ ZESILOVAČE k zesilovanému signálu, roven £íp(i/)dz a £,sp(u) = N2—g(y)B— (13.4-2) je hustota šumového toku fotonů na jednotku délky. Při výpočtu hustoty šumového toku fotonů z celého zesilovače je nesprávné prostě vynásobit hustotu šumového toku fotonů na jednotku délky délkou zesilovače. Spontánně emitovaný šum je sám laserovým prostředím zesilovaný; šum generovaný blízko vstupní plochy zesilovače vede k většímu příspěvku než 'šum generovaný v blízkosti výstupní plochy. Jedním způsobem umožňujícím započítat spontánně emitovaný šum je nahradit diferenciální rovnici pro hustotu fotonového toku (13.1-3) rovnicí — = -y(i/)^> + £Sp(f)- (13.4-3) Rovnice (13.4-3) umožňuje vypočítat hustotu fotonového toku, který má původ v zesilovaném signálu a ve spontánně emitovaných fotonech. Cvičení 13.4-1 Zesílená spontánní emise (ASE — Amplified Spontaneous Emission) a) Na základě rovnice (13.4-3) ukažte, že při nulovém vstupním signálu dostaneme na výstupu nesaturovaného zesilovače [y(v) ~ 7o(í/)] délky d následkem spontánní emise hustotu fotonového toku 4>(d) = = 0sp{exp[7o(i/)c/] - 1}, kde <psp = ŠspW/loi")b) Protože fsp(i^) i 7o('y) jsou úměrné g{v), je <j>„p nezávislé na g{y), takže frekvenční závislost 4>{d) určuje člen {exp^o^d] — 1}. Je-li spektrální průběh 70(1') lorentzovský se šířkou Ai>, tj. 7o(^) = = 7o(i'o)(Ai//2)2/[(^ — Í/O) 2 +(AI//2) 2 ], ukažte, že šířka pásu určeného členem {exp[7o(i/)c(] — 1} je menší než Ai^, tzii. že zesílení spontánní emise je provázené spektrálním zúžením. Při procesu zesilování se mění fotonová statistika vstupujícího záření (viz odst. 11.2C). V koherentním signálu na vstupu zesilovače je počet fotonů připadajících na časový interval T určený Poissonovou statistikou s variancí a\ rovnou střednímu počtu fotonů v signálu Tis- Na druhé straně fotony ASE se řídí Boseovou-Einsteinovou statistikou s a\SE = 7?ASE + "ÁSE a mají tedy podstatně větší šum než v případě Poissonovy statistiky. Po zesílení se řídí fotonová statistika světla, které obsahuje vedle signálu také spontánně emitovaný příspěvek, zákonem, který leží mezi těmito dvěma statistikami. Je-li doba čítání fotonů krátká a vystupující světlo je lineárně polarizované, lze tyto statistiky dobře aproximovat rozdělovacím zákonem fotonů ve tvaru Laguerrových polynomů (viz úloha 13.4-2) s variancí danou vztahem o\ = ns + ("ASE + "ASE) + 2ňsnASE- (13.4-4) LITERATURA 553 Fluktuace fotonů se tedy skládají z příspěvku od signálu samotného, od spontánní emise samotné a navíc obsahují fluktuace pocházející z interference obou složek. LITERATURA Knihy o teorii laseru A. Yariv, Quantum Electronics, Wiley, New York, 3. vyd. 1989. J. T. Verdeyen, Laser Electronics, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 2. vyd. 1989. O. Svelto, Principles of Lasers, Plenům Press, New York, 3. vyd. 1989. J. Wilson a J. F. B. Hawkes, Optoelectronics, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 2. vyd. 1989. P. W. Milonni a J. H. Eberly, Lasers, Wiley, New York, 1988. W. Witteman, The Laser, Springer-Verlag, New York, 1987. K. A. Jones, Introduction to Optical Electronics, Harper & Row, New York, 1987. J. Wilson a J. F. B. Hawkes, Lasers: Principles and Applications, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 1987. A. E. Siegman, Lasers, University Science Books, Milí Valley, CA, 1986. K. Shimoda, Introduction to Laser Physics, Springer-Verlag, Berlin, 2. vyd. 1986. B. B. Laud, Lasers and Nonlinear Optics, Wiley, New York, 1986. A. Yariv, Optical Electronics, Holt, Rinehart and Winston, New York, 3. vyd. 1985. H. Haken, Light, vol. 2: Laser Light Dynamics, North-Holland, Amsterdam, 1985. H. Haken, Laser Theory, Springer-Verlag, Berlin, 1984. R. Loudon, The Quantum Theory of Light, Oxford University Press, New York, 2. vyd. 1983. B. E. A. Saleh, Photoelectron Statistics, Springer-Verlag, New York, 1978. D. C. O'Shea, W. R. Callen a W. T. Rhodes, Introduction to Lasers and Their Applications, Addison-Wesley, Reading, MA, 1977. M. Sargent III, M. O. Scully a W. E. Lamb, Jr., Laser Physics, Addison-Wesley, Reading, MA, 1974. F. T. Arecchi a E. O. Schulz-Dubois, eds., Laser Handbook, vol. 1, North-Holland / Elsevier, Amsterdam / New York, 1972. A. E. Siegman, An Introduction to Lasers and Masers, McGraw-Hill, New York, 1971. B. A. Lengyel, Lasers, Wiley, New York, 2. vyd. 1971. A. Maitland a M. H. Dunu, Laser Physics, North-Holland, Amsterdam, 1969. W. S. C. Chang, Principles of Quantum Electronics, Addison-Wesley, Reading, MA, 1969. R. H. Pantell a H. E. Puthoff, Fundamentals of Quantum Electronics, Wiley, New York, 1969 D. Ross, Lasers, Light Amplifiers, and Oscillators, Academie Press, New York, 1969. E. L. Steele, Optical Lasers in Electronics, Wiley, New York, 1968. A. K. Levine, ed., Lasers, vols. 1-4, Marcel Dekker, New York, 1966-1976. G. Birnbaum, Optical Masers, Academie Press, New York, 1964. G. Troup, Masers and Lasers, Methuen, London, 2. vyd. 1963. 554 LASEROVÉ ZESILOVAČE Články R. Baker, Optical Amplification, Physics World, vol. 3, no. 3, pp. 41-44, 1990. D. O'Shea a D. C. Peckham, Lasers: Selected Reprints, American Association of Physics Teachers, Stony Brook, NY, 1982. M. J. Mumma, D. Buhl, G. Chin, D. Deming, F. Espenak a T. Kostiuk, Discovery of Natural Gain Amplification in the 10 fim CO2 Laser Bands on Mars: A Natural Laser, Science, vol. 212, pp. 45-49, 1981. F. S. Barnes, ed., Laser Theory, IEEE Press Reprint Series, IEEE Press, New York, 1972. A. L. Schawlow, ed., Lasers and Light — Readings from Scientific American, W. H. Freeman, San Francisco, 1969. J. H. Shirley, Dynamics of a Simple Maser Model, American Journal of Physics, vol. 36, pp. 949-963, 1968. J. Weber, ed., Lasers: Selected Reprints with Editorial Comment, Gordon and Breach, New York, 1967. C. Cohen-Tannoudji a A. Kastler, Optical Pumping, in Progress in Optics, vol. 5, E. Wolf, ed., North-Holland, Amsterdam, 1966. W. E. Lamb, Jr., Theory of an Optical Maser, Physical Review, vol. 134, pp. A1429-A1450, 1964. A. Yariv a J. P. Gordon, The Laser, Proceedings of the IEEE, vol. 51, pp. 4-29, 1963. T. H. Maiman, Stimulated Optical Radiation in Ruby, Nature, vol. 187, pp. 493-494, 1960. A. L. Schawlow a C. H. Townes, Infrared and Optical Masers, Physical Review, vol. 112, pp. 1940-1949, 1958. O historii laseru J. Hecht, ed., Laser Pioneer Interviews, High Tech Publications, Torrance, CA, 1985. A. Kastler, Birth of the Maser and Laser, Nature, vol. 316, pp. 307-309, 1985. M. Bertolotti, Masers and Lasers: An Historical Approach, Adam Hilger, Bristol, England, 1983. C. H. Townes, Science, Technology, and Invention: Their Progress and Interactions, Proceedings of the National Academy of Sciences (USA), vol. 80, pp. 7679-7683, 1983. D. C. O'Shea a D. C. Peckham, Resource Letter L-l: Lasers, American Journal of Physics, vol. 49, pp. 915-925, 1981. C. H. Townes, The Laseťs Roots: Townes Recalls the Early Days, Laser Focus Magazíne, vol. 14, no. 8, pp. 52-58, 1978. A. L. Schawlow, Masers and Lasers, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-23, pp. 773-779, 1976. A. L. Schawlow, From Maser to Laser, in Impact of Basic Research on Technology, B. Kursunoglu a A. Perlmutter, eds., Plenům Press, New York, 1973. W. E. Lamb, Jr., Physical Concepts in the Development of the Maser and Laser, in Impact of Basic Research on Technology, B. Kursunoglu a A. Perlmutter, eds., Plenům Press, New York, 1973. ÚLOHY 555 A. Kastler, Optical Methods for Studying Herzian Resonances, in Nobel Lectures in Physics, 1963-1970, Elsevier, Amsterdam, 1972. C. H. Townes, Production of Coherent Radiation by Atoms and Molecules, in Nobel Lectures in Physics, 1963-1970, Elsevier, Amsterdam, 1972. N. G. Basov, Semiconductor Lasers, in Nobel Lectures in Physics, 1963-1970, Elsevier, Amsterdam, 1972. A. M. Prokhorov, Quantum Electronics, in Nobel Lectures in Physics, 1963-1970, Elsevier, Amsterdam, 1972. C. H. Townes, Quantum Electronics and Surprise in the Development of Technology, Science, vol. 159, pp. 699-703, 1968. B. A. Lengyel, Evolution of Masers and Lasers, American Journal of Physics, vol. 34, pp. 903-913, 1966. R. H. Dicke, Molecular Amplification and Generation Systems and Methods, U. S. Patent 2, 851, 652, Sept. 9, 1958. J. P. Gordon, H. J. Zeiger a C. H. Townes, The Maser—New Type of Microwave Amplifier, Frequency Standard, and Spectrometer, Physical Review, vol. 99, pp. 1264-1274, 1955. N. G. Basov a A. M. Prokhorov, Possible Methods of Obtaining Active Molecules for a Molecular Oscillator, Soviet Physics-JETP, vol. 1, pp. 184-185, 1955 [Žurnál eksperimentalnoj i těoretičeskoj fiziki (SSSR), vol. 28, pp. 249-250, 1955]. V. A. Fabrikant, The Emission Mechanism of Gas Discharges, Trudy vsjesojuznogo elektrotěchničeskogo instituta (Reports of the AU-Union Electrotechnical Institute, Moscowj, vol. 41, Elektronnyje i ionnyje příbory (Electron and Ion Devices), pp. 236-296, 1940. Literatura v českém jazyce K. Pátek, Lasery — kvantové generátory světla, SNTL, Praha, 1964. J. Blabla, T. Šimeček a V. Trkal, Optické kvantové generátory a zesilovače (masery a lasery), SNTL, Praha, 1968. B. Kvasil, ed., Kvantová elektronika, Academia, Praha, 1968. B. Kvasil, Teoretické základy kvantové elektroniky, Academia, Praha, 1983. ÚLOHY 13.1-1 Zisk zesilovače a délka aktivního prostředí. Komerčně dostupný rubínový laserový zesilovač s výbrusem dlouhým 15 cm má zisk při zesílení malého signálu 12. Jaký bude zisk při zesílení malého signálu při délce výbrusu 20 cm? Saturaci zesílení zanedbejte. 13.1-2 Zisk laserového zesilovače a inverzní obsazení hladin. Laserový zesilovač má 15cm dlouhý výbrus z materiálu Nd3+:sklo a celkový zisk na vlnové délce Ao = 1,06/mi při zesílení malého signálu 10. S využitím údajů v tab. 13.2-1 na str. 543 spočítejte rozdíl obsazení N (počet iontů Nd 3 + najeden cm3) nutný k dosažení takového zisku. 556 LASEROVÉ ZESILOVAČE 13.1-3 Zesílení širokopásmového signálu. Přechod mezi dvěma energetickými hladinami má Lorentzův tvar spektrální čáry s centrální frekvencí vo = — 5 • 1014 Hz a s šířkou Av = 1012 Hz. Inverzní obsazení je tak velké, že maximální koeficient zesílení 7(^0) = 0,1 cm" 1 . Prostředí má koeficient frekvenčně nezávislých dodatečných ztrát as — 0,05 cm" 1 . Jak přibližně velké budou ztráty nebo zesílení světelné vlny s konstantní spektrální hustotou v intervalu vo ± Av? 13.2-1 Dvouhladinový čerpací systém. Napište rychlostní rovnice dvouhladinového systému a ukažte, že přímým optickým čerpáním mezi hladinami 1 a 2 nelze dosáhnout stacionární inverze obsazení. 13.2-2 Laser se dvěma čarami. Uvažujme atomový systém se čtyřmi hladinami: 0 (základní stav), 1, 2 a 3. Čerpání probíhá dvěma způsoby: mezi základním stavem a hladinou 3 rychlostí R3 a mezi základním stavem a hladinou 2 rychlostí R2. Může být dosaženo inverzního obsazení mezi hladinami 3 a 1, nebo mezi hladinami 2 a 1, anebo současně mezi hladinami 3 a 1 a mezi 2 a 1 (jako ve čtyřhladinovém laseru). Za předpokladu, že přechod z hladiny 3 na hladinu 2 není možný a že přechody z hladin 3 a 2 do základního stavu jsou zanedbatelné, zformulujte s pomocí T\, T31 a T21 rychlostní rovnice pro hladiny 1, 2, a 3. Spočítejte stacionární obsazení N\, /V2 a A/3 a zkoumejte možnost dosažení současné inverze obsazení mezi hladinami 3 a 1 a mezi 2 a 1. Ukažte, že s rostoucí hustotou záření o frekvenci odpovídající přechodu 2-1 se snižuje rozdíl obsazení na přechodu 3-1. 13.3-1 Význam saturační hustoty fotonového toku. V obecném dvouhladinovém atomovém systému na obr. 13.2-3 představuje T2 střední dobu života hladiny 2 pokud nadochází ke stimulované emisi. Rychlost přechodů z hladiny 2 stimulovanou emisí vzrůstá a efektivní doba života klesá. Nalezněte hustotu fotonového toku <j>, při které velikost doby života klesne na polovinu. Jak souvisí hustota tohoto toku se saturační hustotou fotonového toku? 13.3-2 Saturační optická intenzita. Určete saturační hustotu fotonového toku ýsi^o) a odpovídající saturační optickou intenzitu Is(vo) pro homogenně 3+ rozšířené přechody v laseru rubínovém a Nd :YAG. Použijte hodnot uvedených v tab. 13.2-1. 13.3-3 Vývoj hustoty fotonového toku v saturovaném zesilovači. Vztah (13.3-7) popisuje nárůst hustoty fotonového toku <f>(z) v laserovém zesilovači. Pomocí počítače vyneste závislost 4>(z)/4>s na 70Z pro 4>(0)/4>s = 0,05 Určete, kdy se začne uplatňovat v takovém zesilovači saturace. 13.3-4 Rezonanční absorpce prostředí při tepelné rovnováze. Prostředí s indexem lomu jedna o objemu 1 cm3 obsahuje Na = 1023 atomů v tepelné rovnováze. Základnímu stavu odpovídá energetická hladina 1; hladina 2 má energii 2,48 eV nad základním stavem (Ao = 0,5 /mi). Přechod mezi těmito dvěma hladinami charakterizuje střední doba spontánní emise tsp — 1 ms a Lorentzův tvar čáry šířky Au = 1 GHz. Uvažujte dvě teploty Ti a T2 takové, že kBTi = 0,026 eV a fcBT2 = 0,26 eV. a) Určete obsazení A/i a A/2. b) Určete počet fotonů emitovaných spontánně v každé sekundě. ÚLOHY 557 c) Určete koeficient zeslabení prostředí na vlnové délce Ao = 0,5 pm za přepokladu, že tok dopadajících fotonů je malý. d) Načrtněte závislost koeficientu zeslabení na frekvenci, když vyjdete ze schematického náčrtu průběhu důležitých parametrů. e) Nalezněte hodnotu hustoty fotonového toku, při kterém poklesne koeficient zeslabení na polovinu (tj. saturační hustotu fotonového toku). f) Načrtněte závislost hustoty prošlého fotonového toku <f>(d) na hustotě dopadajícího fotonového toku 0(0) pro v = i>$ a v = VQ + AÍ/, když <t>(0)/4>s < 1. 13.3-5 Zisk saturovaného zesilujícího prostředí. Uvažujte laserové zesilující prostředí délky d = 10 cm s homogenně rozšířeným přechodem a se saturační hustotou fotonového toku <f>s = 4 x 10 1 8 fotonů/cm 2 • s. Víme, že vstupní hustota fotonového toku 0(0) = 4 x 10 1 5 fotonů/cm 2 • s dává na výstupu hustotu fotonového toku (j>{d) = 4 x 10 1 6 fotonů/cm 2 • s. a) Určete zisk Go systému při zesílení malého signálu. b) Určete koeficient zesílení malého signálu 70 • c) Jak velká je hustota fotonového toku, při níž koeficient zesílení klesne 5-krát? d) Určete koeficient zesílení pro vstupní fotonovou hustotu <f>(0) = 4 x 10 1 9 fotonů/cm 2 • s. Je zisk systému za těchto podmínek větší, menší nebo stejný jako zisk určený v části (a) pro malý signál? *13.4-1 P o m ě r výkonu signálu k výkonu A S E . Nesaturovaný laserový zesilovač délky d s koeficientem zesílení 70(1-") zesiluje vstupní signál 0s(O) o frekvenci v a vnáší zesílenou spontánní emisi (ASE) s rychlostí £sp (na jednotku délky). Hustota fotonového toku zesíleného signálu je (f>s(d) a ASE na výstupu je 0ASE- Načrtněte závislost poměru <j>s(d)/4>ASE na součinu koeficientu zesílení a délky zesilovače 7o(^)cf. *13.4-2 Rozdělovači zákon fotonů zesíleného koherentního světla. Vhodným modelem světla vystupujícího z laserového zesilovače je lineárně polarizovaná superpozice interferujícího tepelného a koherentního záření. O takovém složeném záření je známé, že vykazuje náhodné fluktuace energie y/', pro něž platí necentrální x 2 ~P r a v < iěpodobnostní rozdělení >' ASE V I' ASE pokud je doba měření dostatečně krátká.^ Io označuje modifikovanou Besselovu funkci, y/^ASE je střední energie ASE a # 5 je (konstantní) energie zesilovaného koherentního signálu. a) Vypočítejte střední hodnotu a varianci (střední kvadratickou odchylku) veličiny y/'. t Viz např. B. E. A. Saleh, Photoelectron Statistics, Springei-Verlag, New York, 1978. 558 LASEROVÉ ZESILOVAČE b) Ze vztahů (11.2-26) a (11.2-27) určete střední počet fotonů n a varianci a\ a ověřte platnost vztahu (13.4-4). c) Ukažte s pomocí (11.2-25), že fotonové rozdělení je dáno vztahem "ASE eXP ( V "s v němž Ln představuje Laguerreův polynom a ns je střední počet fotonů signálu a OASE je střední počet fotonů zesílené spontánní emise. d) Pomocí počítače vyneste závislosti p(n) pro ňs/ň = 0; 0,5; 0,8 a 1, když ň = 5 a ukažte tak, že pro ňs/ň — 0 přechází p(n) na Boseovo-Einsteinovo rozdělení a pro ns/n = 1 na Poissonovo rozdělení. K A P I T O L A 14 LASERY 14.1 TEORIE LASEROVÝCH OSCILACI A. Optické zesílení a zpětná vazba B. Podmínky vzniku laserových oscilací 14.2 VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU A. Výkon B. Spektrální složení C. Prostorové rozložení a polarizace D. Modová selekce E. Charakteristiky nejběžnějších laserů 14.3 IMPULSNÍ LASERY A. Způsoby získávání impulsního záření laserů *B. Rozbor přechodových jevů *C. Spínání činitele jakosti Q rezonátoru D. Modová synchronizace Arthur L. Schawlow (narozen 1921) Theodore H. Maiman (narozen 1927) Schawlow a Charles Townes v roce 1958 ukázali, že princip maseru lze rozšířit do optické oblasti. V roce 1981 obdrželi společně s Nikolaasem Bloembergenem Nobelovu cenu. Maiman v roce 1960 experimentálně demonstroval první úspěšně pracující laser. 559 560 LASERY Laser je optický oscilátor. Skládá se z rezonančního optického zesilovače, jehož výstupní signál se vrací zpětnou vazbou sfázovaný znovu do vstupu (obr. 14.0-1). Pokud na vstupu není žádný signál, není ani výstupní signál, takže i signál zpětné vazby je nulový. Takový stav však je nestabilní. Sebenepatrnější šum (s frekvenčními složkami spadajícími do frekvenčního pásma zesilovače), který nevyhnutelně vždy existuje, může na vstupu iniciovat proces oscilací. Vstupní signál je zesílený a z výstupu je vedený zpět na vstup, načež je znovu zesilován. Tento proces se neustále opakuje až vznikne velký výstupní signál. Zvětšování signálu je omezeno saturací zisku zesilovače a systém dosahuje ustáleného stavu, ve kterém na rezonanční frekvenci zesilovače vzniká výstupní signál. Aby nastaly oscilace, musí být splněné dvě podmínky: • Zisk zesilovače musí být větší než ztráty systému zpětné vazby, takže při jednom oběhu smyčkou se zpětnou vazbou se dosahuje čistého zisku. • Celková změna fáze při jednom oběhu musí být celočíselným násobkem 2TT, takže signál zpětné vazby je sfázovaný s původním vstupním signálem. Jsou-li tyto podmínky splněné, systém se stává nestabilním a začíná oscilovat. S rostoucím výkonem oscilací se však začne uplatňovat saturace zesilovače a zisk klesne pod svoji počáteční hodnotu. Stabilních podmínek je dosaženo při poklesu zisku na hodnotu ztrát (obr. 14.0-2). Zisk právě kompenzuje ztráty, takže cyklus zesílení a zpětné vazby se beze změny opakuje a ustaví se stacionární oscilace. Protože zisk i změna fáze jsou funkcemi frekvence, jsou obě podmínky pro nasazení oscilací splněné pouze pro jednu, nebo několik frekvencí, které se nazývají rezonančními frekvencemi oscilátoru. Oscilátor jako celek se skládá z následujících částí: • ze zesilovače s mechanismem saturace zesílení, • ze systému zpětné vazby, Zpětná vazba Zesilovač MAM Napájení Obrázek 14.0-1 Oscilátor je zesilovačem s kladnou zpětnou vazbou. LASERY 561 Zisk Výkon Ustálený -výkon Obrázek 14.0-2 Je-li počáteční zisk zesilovače větší než jeho ztráty, mohou nastat oscilace. Potom se zesilovač saturuje a jeho zisk klesá. Když je jeho zisk právě rovný ztrátám, je dosaženo ustáleného stavu. • z mechanismu frekvenční selekce, • ze zařízení pro vyvedení výstupního signálu. Laser je optický oscilátor (obr. 14.0-3), jehož zesilovačem je čerpané aktivní prostředí (viz kap. 13). Saturace zisku je základní vlastností laserových zesilovačů. Zpětná vazba je zajištěná umístěním aktivního prostředí do optického rezonátoru, ve kterém dochází k odrazům mezi zrcadly a který byl diskutován v kap. 9. Frekvenční selekce je dosaženo rezonančním zesilovačem a také rezonátorem, který připouští pouze určité mody. Vyvedení výstupního záření z rezonátoru je zajištěné tím, že jedno ze zrcadel rezonátoru je částečně propustné. Lasery se široce využívají v nejrůznějších vědeckých a technických aplikacích včetně komunikační a počítačové techniky, zpracování obrazu, informačních pamětí, holografie, litografie, opracování materiálů, v geologii, metrologii, při měření vzdáleností, v biologii a v klinické medicíně. Tato kapitola je úvodem umožňujícím pochopit činnost laserů. V odst. 14.1 jsou shrnuté vlastnosti laserových zesilovačů a laserových rezonátoru a jsou odvozené podmínky vzniku oscilací v laseru. Vlastnosti výstupního záření laseru (výkon, spektrální složení, prostorové rozdělení a polarizace) jsou obsahem odst. 14.2, ve kterém jsou uvedené také typické parametry různých druhů laserů. Zatímco výklad v odst. 14.1 a 14.2 se soustřeďuje především na kontinuální (cw) lasery, je odst. 14.3 věnovaný funkci impulsních laserů. Zrcadlo Aktivní prostředí Částečně propustné zrcadlo Výstup laseru Obrázek 14.0-3 Laser se skládá z optického zesilovače (obsahujícího aktivní prostředí) umístěného uvnitř optického rezonátoru. Výstupní záření je vyváděné částečně propustným zrcadlem. 562 LASERY 14.1 TEORIE LASEROVÝCH OSCILACI Tuto část začneme shrnutím vlastností dvou hlavních částí laseru — zesilovače a rezonátoru. I když jsme se jimi podrobně zabývali v kap. 13 a 9, považujeme za účelné a vhodné zařadit přehled potřebných výsledků. A. Optické zesílení a zpětná' vazba Laserové zesílení Laserový zesilovač je úzkopásmový koherentní zesilovač světla. Zesílení se dosahuje stimulovanou emisí v atomárních nebo molekulárních systémech při přechodech mezi hladinami s inverzním obsazením (tj. s horní hladinou obsazenou více než dolní). Pásmo zesilovače je určené šířkou čáry atomového přechodu nebo mechanismem nehomogenního rozšíření, jakým může být Dopplerův jev v plynových laserech. Laserový zesilovač je zařízení s prostorově rozloženým ziskem, charakterizovaným koeficientem zesílení 7(1^) (přirozený logaritmus zisku na jednotkové délce), který určuje, jak rychle vzrůstá hustota fotonového toku (f> (nebo optická intenzita / = hi/<j>). Je-li hustota fotonového toku <f> malá, je koeficient zesílení Koeficient zesílení malého signálu . . . ,. 'To('') = No°('>) = No—g(»), (14.1-1) kde A/o = rovnovážná hustota inverzního obsazení hladin (koncentrace atomů v horním energetickém stavu minus koncentrace atomů v dolním energetickém stavu); A/o vzrůstá s rostoucí rychlostí čerpání, o(y) = (\2/8Trtsp)g(v) = efektivní průřez přechodu, tsp = doba spontánního přechodu, g(u) = funkce tvaru spektrální čáry přechodu, A = vlnová délka v prostředí = Ao/n, kde n = index lomu. Když hustota fotonového toku roste, přechází zesilovač do oblasti nelineárního režimu. Nastává saturace a jeho zisk klesá. V prostředí s homogenním rozšířením spektrálního přechodu se snižuje procesem zesilování počáteční inverze A/o až na N = = A/ o /[I + <t>l<t>A^)\, kde <t>a(y) = [ T s ( J ( í / ))~ 1 = saturační hustota fotonového toku, r, = časová konstanta saturace, která závisí na dobách života zúčastněných energetických hladin; v ideálním čtyřhladinovém systému je rs » txp, zatímco pro ideální tříhladinové schéma čerpání dostáváme r, « 2tsp. Koeficient zesílení saturovaného zesilovače se tudíž redukuje na 7(1/) = No(u), takže při homogenním rozšíření dostaneme Saturovaný koeficient zesílení n , ,= ' 7oH -><->•'•>• '•••>• ,-.. . , , • ; v Proces laserového zesílení přináší rovněž změnu fáze. Je-li tvar spektrální čáry TEORIE LASEROVÝCH OSCILACÍ 563 + (Ať/2)2] s šířkou Av, je změna fáze lorentzovský g(v) = (AI//2-K)/[(V — na jednotce délky v zesilovači Koeficient fázového posunu (Lorentzův tvar čáry) (14.1-3) Tento fázový posun je dodatečnou změnou fáze ke změně způsobené šířením v prostředí, ve kterém jsou laserové atomy. Koeficienty zesílení a fázového posunu jsou pro Lorentzův tvar čáry znázorněné na obr. 14.1-1. Zpětná vazba a ztráty: Optický rezonátor Optická zpětná vazba se dosahuje umístěním aktivního prostředí do optického rezonátoru. Ve Fabryově-Perotově rezonátoru tvořeném dvěma zrcadly vzdálenými od sebe d je aktivní prostředí (o indexu lomu n), v němž se nacházejí aktivní atomy zesilovače. Šíření vlnění prostředím vede ke změně fáze, která se na jednotce délky rovná vlnovému číslu Koeficient fázové změny k = 2-KV (14.1-4) Rezonátor rovněž přispívá ke ztrátám celého systému. Absorpce a rozptyl světla v prostředí způsobují prostorově rozložené ztráty charakterizované koeficientem zeslabení a s (ztráty na jednotku délky). Při jednom oběhu rezonátorem délky d je pokles hustoty fotonového toku vyjádřený faktorem d#\d#2 exp(—2aHď), kde &\ a J?2 j s °u odrazivosti zrcadel. Celkové ztráty při jednom oběhu lze popsat celkovým efektivně rozloženým koeficientem ztrát ar, jestliže položíme exp(-2ard) = J?iJ?2 exp(-2a,c/), Koeficient zesílení A") Koeficient fázového posunu () Obrázek 14.1-1 Spektrální závislost koeficientu zesílení a fázového posunu pro optické zesilovače s Lorentzovým tvarem čáry. 564 LASERY takže (14.1-5) Koeficient ztrát kde ami reprezentuje příspěvek prvního zrcadla ke ztrátám a a,„2 druhého zrcadla. Příspěvek obou zrcadel dohromady je 1 . 1 Jelikož aT reprezentuje celkovou ztrátu energie (nebo fotonů) na jednotku délky, arc představuje ztráty v počtu fotonů za sekundu. Potom (14.1-6) aTc je (střední) doba života fotonu v rezonátoru. V rezonátoru se udržuje vlnění pouze na frekvencích, pro něž je změna fáze při jednom oběhu celočíselným násobkem 2TT. V rezonátoru bez aktivních atomů (tj. pasivní nebo prázdný rezonátor) je změna fáze při jednom oběhu určená jednoduchým vztahem k2d = Aitvd/c = q2ir, což odpovídá modům s frekvencemi = \, 2, ..., (14.1-7) kde vp = c/2d je frekvenční vzdálenost rezonátorových modů a c = CQ/TI je rychlost světla v prostředí (obr. 14.1-2). Spektrální šířka (FWHM) těchto modů je 6" « ^ , H (14.1-8) 'r-s K- A - i A AA Odezva rezonátoru Obrázek 14.1-2 Rezonátorové mody jsou od sebe vzdálené o frekvenční rozdíl vp = c/2d a mají šířku Su = upj-^ = l/2irTj,. TEORIE LASEROVÝCH OSCILACÍ 565 kde & je jemnost rezonátoru (viz odst. 9.1A). Jestliže ztráty rezonátoru jsou malé, je jeho jemnost velká a platí & » ^ - = 2TTTPUF. (14.1-9) B. Podmínky vzniku laserových oscilací Aby laser osciloval (laseroval) musí být splněné dvě podmínky. Podmínka zesílení určuje minimální rozdíl obsazení hladin a tím prahovou hodnotu čerpání nutnou k laserování. Fázová podmínka určuje frekvenci (nebo frekvence), na níž laser osciluje. Podmínka zesílení: Práh laseru Nasazení laserových oscilací vyžaduje, aby koeficient zesílení malého signálu byl větší než koeficient ztrát, tj. Podmínka , ,, ,. , prahového zesíleni - . i/> 7o( ) > o;,•• , .. . „ . (14.1-10) / Podle (14.1-1) je koeficient zesílení malého signálu 7o(i ) úměrný rovnovážnému rozdílu hustot obsazení A/o, který — jak víme z kap. 13 — vzrůstá s rostoucí rychlostí čerpání R. Vztah (14.1-1) můžeme vskutku použít k převedení podmínky (14.1-10) na podmínku pro inverzní obsazení hladin, tj. A/o = lo{v)/a{v) > aT/o{v). Dostaneme tak podmínku A/o > Nu (14.1-11) A/, = Jfc (14.1-12) ve které veličina se nazývá prahový rozdíl obsazení nebo prahová inverze. Ten je úměrný a,, a určuje minimální rychlost čerpání Rt potřebnou pro nasazení oscilací laseru. Užitím (14.1-6) můžeme o r vyjádřit alternativně pomocí doby života fotonu, a,. = 1/cTp, takže (14.1-12) bude mít tvar Nt = ^^ r . (14.1-13) Prahový rozdíl hustot obsazení je tedy přímo úměrný ar a nepřímo úměrný TP. Vyšší ztráty (kratší doba života fotonu) vyžadují k dosažení oscilací laseru většího čerpání. Konečně známý vztah pro účinný průřez přechodu o(y) — (A2/8ntsp)g(v) vede k dalšímu vyjádření prahové inverze Prahová inverze 8TT ťs/, A2c r,, ; (14.1-14) ze kterého je zřejmé, že Nt je funkcí frekvence v. Práh je nejnižší a laser začne 566 LASERY nejsnadněji oscilovat na frekvenci odpovídající maximální hodnotě funkce tvaru čáry, tj. na centrální frekvenci v = WQ. Pro Lorentzův tvar čáry platí g{vo) = 2/TTAU, takže nejmenší prahovou inverzi nasazení oscilací dostaneme pro centrální frekvenci UQ: Á-C Tp *.. (H.l-15) Prahová inverze je přímo úměrná šířce čáry Av. Jestliže navíc je šířka čáry přechodu určená pouze dobou života í s p , nabývá šířka Ai/ hodnoty l/27rť sp (viz odst. 12.2D), takže (14.1-15) se zjednoduší na Tento vztah ukazuje, že nejmenší prahový rozdíl obsazení nutný k dosažení oscilací je jednoduchou funkcí vlnové délky A a doby života fotonu rp. Je zřejmé, že laserových oscilací se dosahuje tím obtížněji, čím kratší je vlnová délka, číselný příklad 7 3 s hodnotami Ao = 1 ^m, rp = 1 ns a s indexem lomu n — 1 dává Nt ~ 2,1 x 10 c m " . Cvičení 14.1-1 Práh rubínového laseru a) Absorpční koeficient rubínu ve středu čáry přechodu na vlnové délce Ao = 694,3 nm za tepelné rovnováhy (tj. bez čerpání) při T = 300 K je a(vo) = —7(fo) ~ 0,2 c m " 1 . Určete velikost efektivního průřezu přechodu co = &(vo), je-li koncentrace iontů C r 3 + , v nichž uvedený přechod nastává, No = 1,58 x 10 1 9 cm~ 3 . b) Na tomto přechodu s Ao = 694,3 nm pracuje rubínový laser s výbrusem z rubínu délky 10cm (indexu lomu n = 1,76) a průřezu l e m 2 . Oba konce výbrusu jsou vyleštěné a pokovené, takže mají stejnou reflektivitu 80%. Za předpokladu, že nedochází k žádnému rozptylu a neuplatňují se žádné další mechanismy ztrát, určete koeficient ztrát rezonátoru aT a dobu života fotonu v rezonátoru TP. c) Při čerpání laseru vzrůstá 7(^0) ze své počáteční hodnoty při tepelné rovnováze —0,2 c m " 1 a když změní znaménko stává se koeficientem zesílení. Určete prahovou inverzi Nt pro nasazení oscilací laseru. Fázová podmínka: Frekvence laseru Druhá podmínka oscilací vyžaduje, aby celková fázová změna světelné vlny vzniklá při jednom oběhu v rezonátoru byla celočíselným násobkem 2TT, tj. 2kd + 2ip(v)d = 2-Kq, q = 1, 2, . . . . (14.1-17) Je-li příspěvek od aktivních laserových atomů [2<p(v)d] zanedbatelně malý, dostaneme dělením rovnice (14.1-17) výrazem 2d stejný výsledek, jako jsme získali dříve pro pasivní rezonátor: v = vq = q(c/2d). TEORIE LASEROVÝCH OSCILACÍ 567 Je-li do rezonátoru vložené aktivní prostředí a uplatní se příspěvek 2(p(u)d, vede řešení rovnice (14.1-17) k hodnotám frekvencí oscilací v'q, které jsou nepatrně posunuté vůči frekvencím prázdného rezonátoru vq. Jak si ukážeme dále, frekvence modů prázdného rezonátoru jsou slabě stahované směrem k centrální frekvenci atomového přechodu. *Stahování frekvence Použijeme-li vztahu k = 2nv/c a výrazu (14.1-3) pro koeficient fázového posunu v případě Lorentzova tvaru čáry ve fázové podmínce (14.1-17), dostaneme (14.1-18) Řešením této rovnice jsou frekvence oscilací v = v'q odpovídající příslušným modům uq pasivního rezonátoru. Protože rovnice je nelineární, je vhodné ji řešit graficky. Závislost levé strany rovnice (14.1-18), označené rp(v), na frekvenci je vynesená na obr. 14.1-3 (je součtem přímkové závislosti odpovídající v a lorentzovskélio průběhu koeficientu fázového posunu schematicky znázorněného na obr. 14.1-1). Hodnoty v = v'q, při nichž ip(v) = vq, lze určit graficky. Z obrázku je zřejmé, že frekvence uq modů pasivního rezonátoru jsou vždy frekvenčně stahované směrem k centrální frekvenci VQ rezonančního prostředí. Můžeme také získat přibližné analytické řešení rovnice (14.1-18,). Přepíšeme ji ve tvaru Av ). (14.1-19) Jestliže v = v' a i/q, je druhý člen na pravé straně (14.1-19) malý, takže v něm Centrální frekvence atomového přechodu "q-l Frekvence oscilací Mody pasivního rezonátoru Ví w-i "b i i " Obrázek 14.1-3 Levá strana rovnice (14.1-18) označená ip{is) je vynesená v závislosti na i/. Řešením rovnice (14.1-18) jsou frekvence v, pro něž TI>(I>) = v,r Frekvenci v:] každého modu pasivního rezonátoru odpovídá frekvence v'q aktivního rezonátoru, která je posunutá směrem k frekvenci maxima rezonanční čáry atomového přechodu. 568 LASERY Koeficient zesílení zesilovače Mody pasivního rezonátoru Oscilační mody laseru Obrázek 14.1-4 Frekvence laserových oscilací leží blízko frekvencí modů pasivního rezonátoru; jsou slabě posunuté směrem k centrální rezonanční frekvenci fg atomu. můžeme v nahradit frekvencí vq, aniž bychom se dopustili velké nepřesnosti. Potom C Vq - (14.1-20) je explicitním vyjádřením závislosti oscilací v'q na frekvenci modů pasivního rezonátoru vq. Navíc při splnění stacionárních podmínek se rovná zesílení ztrátám, takže j(vq) = ar ~ n/.^d = (2-K/C)SV, kde 6v je spektrální šířka modů pasivního rezonátoru. Dosazením tohoto vztahu do (14.1-20) dostaneme (14.1-21) Frekvence laseru Frekvence pasivního rezonátoru vq jsou tedy stahovány k rezonanční frekvenci VQ atomu s faktorem Sv/Av ze svých původních poloh (vq — VQ) vůči centrální frekvenci, jak je znázorněné na obr. 14.1-4. Cím je mod rezonátoru ostřejší (jeho hodnota Sv je menší), tím méně se uplatňuje efekt stahování frekvencí. Naopak užší rezonanční •čára atomu (menší hodnota Av) vede k většímu stahování. 14.2 A. VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU Výkon Hustota vnitřního fotonového toku Laser čerpaný nad práh (No > Nt) vykazuje koeficient zesílení malého signálu 7o(i/) větší než koeficient ztrát ar (viz 14.1-10). Laser tedy může začít oscilovat, jestliže VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 569 je splněná fázová podmínka (14.1-17). S rostoucí hustotou toku fotonů <p uvnitř rezonátoru začne koeficient zesílení i(v) klesat v souladu s (14.1-2) pro prostředí s homogenním rozšířením čáry. Pokud koeficient zesílení je větší než koeficient ztrát, dále roste tok fotonů. Když je nakonec saturovaný koeficient zesílení rovný koeficientu ztrát (nebo N = Nt, což je ekvivalentní), přestává tok fotonů vzrůstat a oscilace dosahují ustáleného stavu. Výsledkem je nastavení zesílení na hodnotu ztrát. Hustota fotonového toku uvnitř laseru při stacionárním režimu je tudíž určena tím, že (saturovaný) koeficient zesílení velkého signálu se rovná koeficientu ztrát, tj. 7o(i/)/[l + <P/<t>s{i/)] — ot což dává (14.2-1) 7o(") < a r . Rovnice (14.2-1) udává stacionární hodnotu fotonového toku při laserových oscilacích. Je to střední počet fotonů procházejících za jednu sekundu jednotkovou plochou oběma směry, protože k saturaci přispívají fotony šířící se v obou směrech. Hustota toku fotonů postupujících jedním směrem je tudíž <p/2. Při tomto zjednodušeném postupu jsme zanedbávali spontánní emisi. Rovnice (14.2-1) určuje samozřejmě střední hodnotu hustoty fotonového toku; dochází k náhodným fluktuacím okolo této střední hodnoty (viz odst. 11.2). Jelikož 7o(f) = No<x{y) a ar = Nt,a(v), můžeme (14.2-1) přepsat ve tvaru Stacionární hustota fotonového toku uvnitř laseru (14.2-2) Zahájení činnosti . laseru Čas Ustálený stav ar Koeficient zesílení yW> Koeficient ztrát 10 Hustota fotonového toku Obrázek 14.2-1 Určení stacionární hustoty fotonového toku <f>. V okamžiku zahájení funkce laseru je (p ~ 0, takže 7(1^) = Jíii^)- J**k oscilace v čase vzrůstají, rostoucí tfr způsobuje následkem saturace zesílení pokles 7(1/). Když 7 dosáhne ar, hustota fotonového toku se přestane zvyšovat a je dosaženo stacionárních podmínek. Cím menší jsou ztráty, tím větší je hodnota <p. 570 LASERY cc Jo o A Nt N, Čerpací rychlost 2W, W Q —*• Čerpací rychlost Obrázek 14.2-2 Stacionární hodnoty rozdílu obsazení N a hustoty fotonového toku <p v laseru jako funkce A/o (rozdíl obsazení v nepřítomnosti záření; A/o se zvětšuje s rostoucí rychlostí čerpání /?). Laser začíná oscilovat, když No dosáhne Nt\ stacionární hodnota N 7 se potom saturuje a zakotvuje na hodnotě Nt [právě tak, jako 70ti ) je nastavené na aT]. Nad prahem je <j> úměrné Ng — Nt. Pod prahem je hustota fotonového toku v laseru nulová; jakékoliv zvýšení rychlosti čerpání se projeví vzrůstem toku spontánně emitovaných fotonů, nedochází však k řízeným oscilacím. Nad prahem je stacionární hustota fotonového toku v laseru přímo úměrná počátečnímu rozdílu obsazení No a tudíž vzrůstá s rychlostí čerpání R [viz (13.2-10) a (13.2-22)]. Je-li No dvojnásobkem prahové hodnoty Nt, rovná se hustota fotonového toku přesně saturační hustotě 0j(f) — hustotě fotonového toku, při němž koeficient zesílení klesne na polovinu své maximální hodnoty. Na obr. 14.2-2 jsou závislosti rozdílu obsazení N a hustoty fotonového toku <p na A/o. Výstupní hustota fotonového toku Pouze část hustoty fotonového toku uvnitř laseru určená vztahem (14.2-2) opouští rezonátor jako využitelné záření. Výstupní hustota fotonového toku 4>o je částí hustoty vnitřního fotonového toku šířícího se proti zrcadlu 1 (0/2), která jím projde ven z laseru. Je-li propustnost 1. zrcadla ď, je hustota výstupního fotonového toku 4>o = ^r- (14.2-3) Tomu odpovídá optická intenzita výstupního záření /o laseru (14.2-4) a výstupní výkon laseru potom je Po = /oA kde A je plocha příčného průřezu laserového svazku. Tyto rovnice spolu s (14.2-2) umožňují explicitně vyjádřit výkon laseru prostřednictvím <j>s(v), A/o, Nt, -3? a A. Optimalizace laseru na maximální hustotu výstupního fotonového toku Využitelná hustota fotonového toku na výstupu laseru snižuje hustotu vnitřního fotonového toku a přispívá tudíž ke ztrátám laserového oscilátoru. Každý zásah směřující ke zvýšení počtu fotonů vystupujících z rezonátoru (provedený v očekávání, že se zvětší použitelné záření na výstupu laseru) má za následek vzrůst ztrát, takže VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 571 se sníží stacionární hustota fotonového toku uvnitř rezonátoru. Konečným výsledkem může tedy být naopak snížení toku použitelného záření vystupujícího z laseru. Ukážeme si, že existuje optimální propustnost 5f (0 < & < 1), při které je intenzita na výstupu laseru maximální. Výstupní hodnota fotonového toku <f>o = 3?(f>/2 je součinem propustnosti zrcadla & a hustoty vnitřního fotonového toku <j>/2 (v jednom směru). S rostoucím & klesá <j> následkem větších ztrát. V prvním extrémním případě, když !7 = 0, má oscilátor nejmenší ztráty (maximální <j>), ale z laseru žádné záření nevystupuje (<j>o = 0). Ve druhém extrému, kdy propustnost zrcadla je & = 1, a zvýšené ztráty vedou k tomu, že ar > 7o(f) (Nt > No) znemožňují tak oscilace laseru. V tomto případě je <fi = 0, takže opět <f>o = 0. Optimální hodnota 8f leží někde mezi těmito dvěma extrémy. Abychom ji nalezli, musíme explicitně vyjádřit závislost <j>o na 3F. Budeme předpokládat, že záření vystupuje z laseru zrcadlem 1 s odrazivostí &i a propustností -j7 = 1 — df\. Koeficient ztrát ar vyjádříme jako funkci .j7, když do (14.1-5) dosadíme koeficient ztrát způsobených zrcadlem 1 ^ J ^ ^ ) 7 (14.2-5) > a tak získáme vztah ar = as+ am2 - ±- ln(l - 3T), (14.2-6) Za ve kterém pro koeficient ztrát způsobených druhým zrcadlem platí Rovnici pro hustotu výstupního toku fotonů <j>o v závislosti na propustnosti výstupního zrcadla získáme ze vztahů (14.2-1), (14.2-3) a (14.2-6) <Po = \<t>s-? [ L _ l n ( ° _ , ^ ) - l] ' 90 = 2lo{v)d, L = 2(as + amI)d. (14.2-8) Závislost if>o na 5f je vynesená na obr. 14.2-3. Za pozornost stojí, že hustota výstupního fotonového toku přímo souvisí s koeficientem zesílení malého signálu. Optimální propustnost -%p získáme, když derivaci (po podle S položíme rovnou nule. Je-li J < 1 , můžeme užít aproximace ln(l — 3F) ~ — & a dostaneme 2 - L. (14.2-9) 572 ' LASERY 0.1 0.2 0.3 0.4 Propustnost zrcadla Obrázek 14.2-3 Závislost výstupní hustoty stacionárního fotonového toku <po na propustnosti zrcadla 3?'• V tomto konkrétním případě byly zvolené hodnoty pro faktor zesílení go = 2-yod = 0,5 a pro ztráty L = 2(a,+am2)d = 0,02 (2%). Optimální propustnost ?op pak činí 0,08. Vnitřní hustota fotonů Stacionární počet fotonů v jednotce objemu uvnitř rezonátoru n souvisí se stacionární hustotou vnitřního toku fotonů (fotonů šířících se oběma směry) jednoduchým vztahem (14.2-10) Názornost tohoto vztahu si snadno ukážeme pomocí váfce o základně A, délce c a objemu cA (c je rychlost šíření světla v prostředí), jehož osa je rovnoběžná s osou rezonátoru. V rezonátoru obsahujícím n fotonů v jednotce objemu připadá na takový válec cAn fotonů. Tyto fotony postupují oběma směry rovnoběžně s osou rezonátoru a vždy polovina z nich projde za každou sekundu jednou základnou válce. Jelikož stejnou základnou válce projde také stejný počet fotonů v opačném směru, je hustota fotonového toku (počet fotonů prošlých oběma směry jednotkou plochy za sekundu) <j> = 2{\cAn)/A = cu, což dává právě vztah (14.2-10). Hustota fotonů odpovídající stacionární hustotě vnitřního toku fotonů (14.2-2) je Stacionární hustota fotonů (14.2-11) kde ns = <f>s(i/)/c je saturační hodnota hustoty fotonů. S použitím vztahů $.,(i/) = = [T»^( 1 / )]~ 1 . " r = 7("), Oír = l/ér,, a j(v) = No(v) = N,o(v) lze (14.2-11) přepsat VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 573 ve tvaru Stacionární hustota fotonů r=(A/o-W t ) —. 1~ No>Nt. (14.2-12) Tento vztah umožňuje jednoduchou a přímou interpretaci: (Wo — Nt) je rozdíl obsazení (v jednotce objemu) přesahující prahovou hodnotu, (Wo — Nt)/rs představuje počet fotonů vyzařovaných při stacionárnín režimu za jednotku času, který se rovná právě počtu ztracených fotonů za jednotku času^/rp. Zlomek TV/TS udává poměr rychlostí emise fotonů a jejich ztrát. Při ideálních podmínkách čerpání čtyřhladinového systému dostaneme ze vztahů 3 (13.2-10) a (13.2-11) relace TS m tsp a No « Rtap, kde R je rychlost ( s ^ ^ c n r ) čerpám atomů. Rovnici (14.2-12) lze pak přepsat ve tvaru - = (14.2-13) R> R-Rt, v němž Rt = Nt/tsp je prahová hodnota rychlosti čerpání. Při stacionárních podmínkách je tedy celková rychlost ztrát hustoty fotonů /I/TP přesně rovná rychlosti čerpání přesahující prahovou rychlost čerpání R — Rt. Výstupní fotonový tok a účinnost Jestliže jediným zdrojem ztrát rezonátoru (které jsou započtené v TP) je právě propustnost výstupního zrcadla laseru a V je objem aktivního prostředí, dostaneme z (14.2-13) pro celkový výstupní tok fotonů $o (fotony za sekundu) 0 (14.2-14) = (/? - Rt)V, Uplatňují-li se kromě ztrát spojených s výstupním zrcadlem laseru ještě jiné mechanismy ztrát, můžeme pro výstupní fotonový tok psát Výstupní tok fotonů z laseru - Rt)V, (14.2-15) kde vyzařovací účinnost r|e je poměr ztrát, které souvisejí s vyvedením využitelného světla a celkových ztrát rezonátoru a r . Jestliže světlo vystupuje z laseru pouze zrcadlem 1, můžeme r\c vyjádřit pomocí (14.1-6) pro ar a (14.2-5) pro Q,„I: <*ml C Oty Je-li navíc .y = 1 Vyzařovací účinnost 1 (14.2-16) 1, dostaneme z (14.2-16) (14.2-17) když jsme definovali 1/ 7> = c/2d. Vztah (14.2-17) ukazuje, že vyzařovací účinnost r\c 574 LASERY můžeme chápat jako poměr doby života fotonu a doby jeho jednoho oběhu v rezonátoru násobený propustností zrcadla. Výstupní výkon laseru potom činí Po = /w$o — = j]ehv(R — Rt)V. Pomocí několika algebraických úprav se snadno přesvědčíme, že tento výsledek souhlasí s výsledkem získaným z (14.2-4). Ztráty mohou nastávat i dalšími mechanismy, např. nižší účinností čerpacího procesu. Celková účinnost T| laseru (nazývaná také přístrojová účinnost či výkonová účinnost) různých typů laserů je uvedená v tab. 14.2-1. B. Spektrální složení Spektrální složení záření generovaného laserem je určené jak tvarem čáry atomového přechodu aktivního prostředí (včetně homogenního nebo nehomogenního rozšíření), tak mody rezonátoru. Vyplývá to z obou podmínek pro dosažení oscilací laseru: • Podmínka zesílení vyžadující, aby počáteční koeficient zesílení zesilovače byl větší než koeficient ztrát [70(v) > ar], je splněná pro všechny oscilace s frekvencemi spadajícími do spojitého spektrálního pásu šířky B okolo atomové rezonanční frekvence VQ [viz obr. 14.2-4(o)]. Šířka B roste s šířkou atomové čáry Ai/ / ; a s velikostí poměru 7o(t o)/o r; přesné vztahy závisí na průběhu funkce tvaru čáry 7oO>). • Fázová podmínka vyžaduje, aby frekvence oscilací byla frekvencí rezonátorového modu vq (při zjednodušujícím předpokladu, že stahování frekvencí je zanedbatelné). Šířka FWHM čáry každého modu je Su « vF/& [obr. 14.2-4(6)]. Z toho vyplývá, že jsou možné oscilace pouze na konečném počtu frekvencí (1/1, i/2, ..., VM)- Počet možných modů* oscilací laseru je tudíž r o <"> Zisk (a) <*r Ztráty Rezonátorové mody (b) V "1"2 • Mody možných oscilací Obrázek 14.2-4 (a) Laser může oscilovat pouze na frekvencích, na kterých je koeficient zesílení větší nez koeficient ztrát (tečkovaná oblast). (6) Oscilace mohou nastat pouze uvnitř šířky 8u rezonátořových modů (pro jednoduchost jsou znázorněné čarami). Podélných modů jedné polarizace. (Pozn. překl.) VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU Počet možných modů laseru M « —, "-' 575 (14 2-18) \ • J kde up — c/2d je přibližná vzdálenost mezi sousedními mody. Kolik modů z oněch M možných modů skutečně nese optický výkon závisí na mechanismu rozšíření atomové čáry. Dále uvidíme, že v prostředí s nehomogenním rozšířením osciluje všech M modů (nicméně s různými výkony), zatímco v prostředí s homogenním rozšířením tyto mody si do značné míry vzájemně konkurují, což stěžuje podmínky pro současné oscilace více modů. Dalo by se očekávat, že přibližná šířka FWHM každého laserového modu bude « 5u. Ukazuje se však, že je daleko menší. Je limitována tzv. Schawlowovou-Townesovou šířkou čáry, která klesá nepřímo úměrně s optickým výkonem. Následkem vnějších vlivů, jako jsou akustické a tepelné fluktuace zrcadel rezonátoru, jsou šířky čar téměř všech laserů mnohem větší než Schawlowova-Townesova limitní hodnota, lze se jí však přiblížit při pečlivě provedených experimentech. Cvičení 14.2-1 Počet modů plynového laseru. Plynový laser s Dopplerovým rozšířením má koeficient zesílení daný Gaussovým spektrálním průběhem (viz odst. 12.2D a cvičení 12.2-2) 70(1/) = 70(^0)exp[-(i/ - fo) 2 /2er|,], když AJ/£> = (8 ln 2)1/2<7£> je celá šířka v polovině maxima čáry (FWHM). a) Odvoďte výraz pro šířku pásma B možných oscilací v závislosti na Ai/£> a na poměru 7o(t/o)/a,-, kde a,, je koeficient rezonátorových ztrát. b) Laser He-Ne má šířku dopplerovsky rozšířené čáry Ai/p = 1,5 GHz a koeficient zesílení ve středu čáry 70(^0) = 2 • 1 0 " 3 c m ~ 1 . Délka rezonátoru laseru je d = 100 cm, odrazivosti zrcadel jsou 100% a 97% (ostatní ztráty rezonátoru lze zanedbat). Určete počet M modů laseru za předpokladu, že index lomu n = 1. Prostředí s homogenním rozšířením spektrální čáry Bezprostředně po nasazení oscilací se začnou vyvíjet všechny laserové mody, pro které je počáteční zesílení větší než ztráty [obr. 14.2-5(a)]. V M modech je dosaženo hustot fotonového toku <f>\, <j>2, •••, 4>M- Mody s frekvencí bližší k centrální frekvenci VQ se rozvíjejí mnohom rychleji a dosahují větších hustot fotonového toku. Tyto fotony interagují s prostředím a snižují zesílení tím, že zmenšují rozdíl obsazení hladin. Saturované zesílení je 7( „) = ^M , l + YUtMÁ) (14.2-19) kde <t>s(vj) je saturovaná hustota fotonového toku příslušná modu j . O platnosti vztahu (14.2-19) se můžeme přesvědčit rozborem podobným analýze, která vedla ke vztahu (13.3-3). Saturované zesílení je znázorněné na obr. 14.2-5(6). 576 LASERY Ib) (c) Obrázek 14.2-5 Vývoj oscilací v prostředí s ideálním homogenním rozšířením, (a) Bezprostředně po zahájení činnosti laseru začínají růst všechny mody s frekvencemi v V ro n \i 2i • • •) yjrfi P ěž koeficient zesílení převyšuje koeficient ztrát. Přitom nejrychleji rostou centrální mody. (b) Během krátké doby dojde k saturaci zesílení, takže centrální mody nadále rostou, zatímco okrajové, pro něž jsou ztráty větší než zisk, jsou tlumené a případně zanikají, (c) Nedochází-li k vypalování prostorových děr, zůstane pouze jediný mod. Protože koeficient zesílení se snižuje rovnoměrně v celém pásmu zesílení, stanou se ztráty modů hodně vzdálených od centrální frekvence větší než zisk; výkon v těchto modech klesá, zatímco výkon centrálních modů dále roste, i když s menší rychlostí. Nakonec zůstane pouze jediný mod (nebo v symetrickém případě dva), pro nějž je zisk rovný ztrátám a pro všechny ostatní mody jsou ztráty větší než zisk. Při splnění ideálních stacionárních podmínek zůstává výkon tohoto preferovaného modu stabilní a laserové oscilace na všech ostatních modech zanikají [obr. 14.2-5(c)]. Frekvence tohoto modu leží těsně u VQ; hodnoty zisku konkurenčních modů leží pod úrovní ztrát. Známe-li frekvenci preferovaného modu, můžeme spočítat hustotu jeho fotonového toku ze vztahu (14.2-2). Lasery s homogenním rozšířením ve skutečnosti však oscilují ve více modech, protože různé mody mají v aktivním prostředí různá prostorová rozložení. Když se ustaví oscilace v modu s frekvencí ležící nejblíže k frekvenci I/Q maxima čáry (viz. obr. 14.2-5), může koeficient zesílení ještě převýšit koeficient ztrát v těch místech aktivního prostředí, v nichž je elektrické pole stojaté vlny centrálního modu nulové. Tento jev se nazývá vypálení prostorové díry (spatial hole burning). Následkem tohoto jevu může laser začít oscilovat rovněž v dalším modu, jehož maxima prostorového rozložení pole leží v blízkosti nulových hodnot energie centrálního modu. Prostředí s nehomogenním rozšířením přechodu V prostředích s nehomogenně rozšířenými přechody představuje zesílení 7o(^) obálku, kterou dostaneme složením čar zesílení různých souborů atomů (viz odst. 12.2D), jak je znázorněné na obr. 14.2-6. Bezprostředně po zahájení činnosti laseru je situace stejná jako v případě homogenního rozšíření. Mody se ziskem větším než ztráty začínají vzrůstat a zesílení klesá. Je-li frekvenční vzdálenost mezi mody větší než šířka Au atomových čar VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 577 Obrázek 14.2-6 Průběh nehomogenně rozšířené spektrální čáry je výsledkem skládání velkého počtu atomových čar, které přísluší atomům s různými vlastnostmi nebo s různým okolím. jednotlivých složek, interagují různé mody s různými atomy. Atomy, jejichž spektrální čára nekoinciduje se žádným modem, nejsou ovlivněné fotony v rezonátoru. Jejich rozdíl obsazení tudíž zůstává nezměněný a jim příslušné zesílení zůstává na úrovni (nesaturovaného) zesílení malého signálu. Atomy, jejichž frekvence koincidují s mody, snižují inverzní obsazení a jim příslušné zesílení se saturuje — ve spektrálním průběhu zesílení vznikají zářezy [obr. 14.2-7(a)]. Tento proces se nazývá vypálení spektrálního zářezu nebo díry (spectral hole burníng). Šířka spektrálního zářezu roste s druhou odmocninou hustoty fotonového toku Ai/„ = Ai/(1 + <fr/<t>sy/2, jak jsme odvodili v (13.3-15). Proces saturace vypalováním zářezu postupuje nezávisle pro různé mody, dokud A 1,1 A Frekvence "9-1 (a) (b) Obrázek 14.2-7 (a) Laserové oscilace nastávají v prostředí s nehomogenním rozšířením přechodu v každém modu, který nezávisle vypaluje zářez v celkovém spektrálním profilu zesílení. Zesílení jednoho modu prostředím neovlivňuje zesílení ostatních modů. Centrální mody využívají příspěvků většího počtu atomů a proto obsahují více fotonů než mody okrajové. (6) Spektrum typického mnohamodového plynového laseru s nehomogenním rozšířením. 578 LASERY !•(.' 1 Zesílení Obrázek 14.2-8 Vypálení zářezů v prostředí s Dopplerovým rozšířením. Vlnění frekvence vq saturuje obsazení atomů s rychlostmi v = ±c(fg/fo — 1) na obou stranách od centrální frekvence a vede k vypálení dvou zářezů v profilu zesílení. není dosaženo ustáleného stavu, kdy pro každý mod je zesílení rovné ztrátám. Mody si nemohou konkurovat, protože výkon získávají od různých a nikoliv od společných atomů. Mnoho modů osciluje nezávisle, přičemž centrální mody vypalují nejhlubší zářezy a následkem toho nejvíce vzrůstají, což znázorňuje obr. 14.2-7(o). Spektrum typického mnohamodového plynového laseru s nehomogenním rozšířením je na obr. 14.2-7(6). Počet modů je obvykle větší než v prostředí s homogenním rozšířením, protože vypalování prostorové díry se uplatňuje u menšího počtu modů než spektrální vypalování. *Vypalování spektrálního zářezu v prostředí s Dopplerovým rozšířením Spektrální průběh čáry plynu při teplotě T je určený všemi dopplerovsky posunutými emisemi jednotlivých atomů, které se pohybují různými rychlostmi (viz odst. 12.2D a cvičení 12.2-2). Atom v klidu interaguje se zářením o frekvenci VQ. Atom pohybující Ztráty aT Mody rezonátoru Výkon modu q Obrázek 14.2-9 Výkon jednomodove'ho laseru o frekvenci vH s dopplerovsky rozšířeným prostředím, jehož koeficient zesílení je rozložený okolo centrální frekvence fo- Při frekvenci vH = 1/Q vykazuje místo maximálního výkonu Lambův zářez. VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 579 se rychlostí v proti směru šíření záření interaguje se zářením o frekvenci i/0(l 4- v/c), zatímco atom pohybující se ve směru šíření záření interaguje se zářením o frekvenci WQ(\ — v/c). Protože radiační mody o frekvenci vq se šíří následkem odrazů mezi zrcadly rezonátoru v obou směrech, interagují se dvěma soubory atomů: s atomy, které se pohybují rychlostí +v a s atomy s rychlostí —v takovou, že vq — I/Q = ±i/ov/c. To znamená, že mod vq saturuje obsazení atomů na obou stranách od centrální frekvence a vypaluje dva zářezy v profilu zesílení, jak je znázorněné na obr. 14.2-8. Jestliže vq = I/Q, je ovšem vypálen jediný zářez ve středu čáry. Stacionární výkon modu roste s hloubkou zářezu (nebo zářezů) v profilu zesílení. Jestliže měníme frekvenci vq směrem k VQ, hloubka zářezu vzrůstá tak, jak roste výkon modu. Když se začne přibližovat modová frekvence vq k v0, začne však mod interagovat s jedinou skupinou atomů místo se dvěma, takže oba zářezy splynou do jednoho. Nižší počet využitelných aktivních atomů při vq = VQ má za následek mírné snížení výkonu modu. Následkem toho má výkon modu v závislosti na frekvenci vq tvar zvonové křivky s centrální prohlubní, která je známá pod názvem Lambův zářez (obr. 14.2-9). C. Prostorové rozložení a polarizace Prostorové rozložení Prostorové rozložení světla vyzařovaného laserem závisí na geometrickém uspořádání rezonátoru a na tvaru aktivního prostředí. Při teoretickém popisu laseru jsme až dosud nebrali v úvahu příčné prostorové jevy, protože jsme předpokládali, že rezonátor je tvořený dvěma rovnoběžnými, rovinnými a nekonečně velkými zrcadly a že celý prostor mezi nimi je vyplněný aktivním prostředím. Při takovémto idealizovaném geometrickém uspořádání vystupuje z laseru ve směru osy rezonátoru rovinná vlna. Jak ale vyplývá z kap. 9, je rezonátor s rovinnými zrcadly vysoce citlivý na geometrické nastavení. Rezonátory laserů jsou obvykle tvořené kulovými zrcadly. V odst. 9.2 jsme viděli, že rezonátory se sférickými zrcadly dávají gaussovské svazky (které byly podrobně probrané v kap. 3). Laser s rezonátorem tvořeným sférickými zrcadly může generovat záření ve tvaru gaussovského svazku. Rovněž jsme si ukázali (v odst. 9.2D), že rezonátor se sférickými zrcadly zajišťuje hierarchii maži transversálními elektrickými a magnetickými mody označovanými TEM/.,n..,. Každá dvojice indexů (I, m) definuje příčný mod s příslušným prostorovým rozdělením. Transversální mod (0,0) je gaussovský svazek (obr. 14.2-10). Mody s vyššími hodnotami l a m tvoří hermiteovské-gaussovské svazky (viz odst. 3.3 a obr. 3.3-2). Pro dané (l,m) definuje index q řadu podélných (axiálních) modů stejného příčného prostorového rozdělení, ale různých frekvencí vq (mezi kterými je vždy frekvenční vzdálenost podélných modů rovná vq = c/2d bez ohledu na / a m). Rezonanční frekvence dvou souborů podélných modů příslušných dvěma různým příčným modům jsou obecně vůči sobě posunuté o určitý zlomek modové vzdálenosti up [viz (9.2-28)]. Následkem rozdílného prostorového rozložení vykazují různé příčné mody různé hodnoty zesílení a ztrát. Např. gaussovský mod (0,0) je nejvíce soustředěný okolo optické osy a vykazuje tudíž nejmenší difrakční ztráty na okrajích zrcadel. Mod (1,1) 580 LASERY Intenzita laseru Kulové zrcadlo Kulové zrcadlo Obrázek 14.2-10 Výstupní záření příčného modu (0,0) laseru s rezonátorem tvořeným sférickými zrcadly má tvar Gaussova svazku. má nulovou intenzitu v bodech na optické ose (viz obr. 3.3-2); jestliže tedy zakryjeme centrální část laserového zrcadla malým stínítkem, podstatně to neovlivní mod (1,1), zatímco ztráty modu (0,0) podstatně vzrostou. Mody vyšších řádů jsou rozložené ve větším objemu a mohou tudíž mít větší zesílení. Tato rozdílnost mezi ztrátami a zesílením různých příčných modů při různých geometrických uspořádáních je důvodem jejich konkurenčního uplatnění při vzniku laserových oscilací, jak znázorňuje obr. 14.2-11. V laserech s homogenním rozšířením má nejsilnější mod tendenci potlačit zesílení všech ostatních modů, ale prostorové vypalování děr může způsobit, že osciluje několik podélných modů. Příčné mody mohou mít podstatně odlišná prostorová rozdělení, takže mohou snadněji oscilovat současně. Mody, jejichž energie je soustředěná do určité příčné prostorové oblasti, v ní saturují atomární zesílení a tím v ní vypalují prostorové díry. Dva příčné mody, které se prostorově nepřekrývají, mohou TEMOiO Mody (1,1 Mody (0,0) Výstupní záření laseru Obrázek 14.2-11 TEM, Zesílení a ztráty dvou příčných modů, v našem případě modů (0,0) mody příslušné vždy určitému příčnému modu. VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 581 existovat současně, aniž by si konkurovaly, protože svou energii získávají od různých atomů. Částečné prostorové překrytí různých příčných modů a pohyb atomů (jaký je v plynech) vedou k modové konkurenci. Často potřebujeme, aby lasery pracovaly v jediném příčném modu; obvykle to bývá Gaussův mod (0,0), protože má nejmenší průměr svazku a lze jej fokusovat na nejmenší plochu (viz kap. 3). Oscilace v modech vyšších řádů mohou být na druhé straně požadované při generování velkých optických výkonů. Polarizace Každý mod (/, m, q) má dva stupně volnosti odpovídající dvěma nezávislým ortogonálním polarizacím. Na tyto dvě polarizace pohlížíme jako na dva nezávislé mody. Následkem válcové symetrie rezonátorů s kulovými zrcadly mají oba polarizační mody se stejnými hodnotami / am stejné prostorové rozložení. Jestliže vlastnosti rezonátorů a aktivního prostředí vedou ke stejným hodnotám zesílení a ztrát pro obě polarizace, bude laser oscilovat v obou modech současně, nezávisle a se stejnou intenzitou. Výstupní záření laseru je v tom případě nepolarizované (viz odst. 10.4). Nestabilní rezonátory Ačkoliv dosavadní výklad byl zaměřený na konfigurace laserů se stabilními razonátory (viz obr. 9.2-3), skýtají nestabilní rezonátory řadu předností v případě, že lasery generují velké výkony. Patří mezi ně: (1) Následkem většího modového objemu přispívá k výstupnímu výkonu laseru větší část objemu zesilujícího prostředí; (2) Větší výstupní výkon je dosahován v příčných modech vyšších řádů oproti příčným modům nižších řádů, jak tomu bývá v případě stabilních rezonátorů; (3) Větší výstupní výkon při minimálním poškození zrcadel rezonátorů následkem toho, že se užívají úplně odrážející zrcadla a záření z laseru vystupuje kolem jejich okrajů (toto uspořádání rovněž umožňuje chladit optické elementy vodou a dosáhnout tak větších optických výkonů bez jejich poškození). D. Modová selekce Mnohamodový laser může generovat záření v jednom modu, jestliže do rezonátorů vložíme element, který vnese dostatečně velké ztráty, aby nedošlo k oscilacím v nežádoucích modech. Výběr laserového přechodu Aktivní prostředí s více přechody (atomovými čarami), na nichž je čerpáním dosaženo inverze obsazení, bude dávat na výstupu laseru záření na více čarách. Určitou čáru oscilací lze vybrat, když do rezonátorů vložíme hranol, jak je schematicky naznačeno na obr. 14.2-12. Hranol je nastavený takovým způsobem, že pouze světlo požadované vlnové délky dopadá na zrcadlo s velkou odrazivostí přesně kolmo a může se tudíž odrazit zpět a podílet se na procesu zpětné vazby. Natáčením hranolu lze vybrat požadovanou vlnovou délku. Např. iontový argonový laser je často v rezonátorů vybavený otočným hranolem umožňujícím vybrat jednu ze šesti obvyklých čar, které leží mezi 488 nm v modré a 514,5nm v modrozelené oblasti spektra. Hranolu lze užít pouze v případech, kdy od vybrané čáry jsou ostatní dostatečně frekvenčně vzdálené. 582 LASERY Zrcadlo s vysokou odrazivostí \ Hranol .... . Eliminovaná čára Výstupní zrcadlo „ \ ,, Aktivní prostředí Clona f 1 Výstup laseru Obrázek 14.2-12 Určitou atomovou čáru lze vybrat pomocí hranolu umístěného do rezonátoru. Selekci příčných modů je možné provést prostorovou clonou přesného tvaru a velikosti. Nelze jej použít např. pro selekci jednoho podélného modu; sousední mody leží tak blízko, že disperze při lomu hranolem je neumožňuje rozlišit. Selekce příčných modů Protože různé příčné mody mají různá prostorová rozdělení, lze nežádoucí mody selektivně potlačit vložením clony určitého tvaru do rezonátoru (obr. 14.2-12). Rovněž zrcadla lze vyrobit tak, aby preferovala určitý příčný mod. Výběr polarizace Z nepolarizovaného světla lze získat světlo polarizované polarizátorem. Přitom je výhodnější vložit polarizátor do rezonátoru, než mimo něj. Při užití vnějšího polarizátoru se ztrácí polovina výkonu vyzařovaného laserem. Světlo vystupující z externího polarizátoru může také obsahovat šum pocházející z výkonových fluktuací mezi oběma polarizačními mody (modové přeskoky). Vnitřní polarizátor vnáší vysoké ztráty pro jednu polarizaci, takže v odpovídajícím modu oscilace vůbec nezačnou. Zesílení aktivního prostředí je zcela využité právě pro preferovanou polarizaci. Vnitřní polarizátor se obvykle realizuje Brewsterovými okénky (viz odst. 6.2 a cvičení 6.2-1) způsobem znázorněným na obr. 14.2-13. Brewsterovo okénko odrazivostí Aktivní prostředí Brewsterovo okéako Polarizované výstupní záření laseru Výstupní zrcadlo Obrázek 14.2-13 Brewsterova okénka v plynovém laseru zajišťují lineárně polarizované záření laserového svazku. Světlo polarizované v rovině dopadu (vlna TM) prochází okénkem skloněným pod Brewsterovým úhlem bez reflexních ztrát. Kolmo polarizovaný mod (TE) má ztráty způsobené odrazem a následkem toho nezačne oscilovat. VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 583 Selekce podélných modů Lze vybrat také jediný podélný mod. Počet podélných modů laseru s nehomogenním rozšířením (např. plynový laser s Dopplerovýni rozšířením) je roven počtu rezonátorových modů připadajících na frekvenční pásmo B, ve kterém je zesílení aktivního prostředí větší než ztráty (viz obr. 14.2-4). Existují dva způsoby dosažení oscilací laseru v jediném podélném modu: • Zvýšení ztrát na takovou úroveň, že osciluje pouze mod s největším ziskem. To má ovšem za následek, že mod, na němž laser osciluje, je sám slabý. • Zvětšení frekvenční vzdálenosti podélných modů vp = c/2d zmenšením délky rezonátoru. S tím je ovšem spojené zkrácení délky aktivního prostředí, tím i jeho objemu a tudíž i zmenšení dosažitelného výkonu laseru. V některých případech je tonto postup nepoužitelný. Např. v iontovém argonovém laseru je Ai/p = = 3,5 GHz. Je-li potom B = AVQ a n = 1, je M = AVD/(C/2CI), takže k tomu, aby laser pracoval na jediném podélném modu by musel být rezonátor kratší než zhruba 4,3 cm. Aby bylo možné měnit frekvenční vzdálenost rezonátorových modů, byla vyvinutá řada způsobů využití frekvenčně selektivních elementů v dutině rezonátoru: Etalon Hř- Zrcadlo s vysokou odrazivostí Aktivní prostředí Výstupní zrcadlo Zisk Rezonátorové ztráty I H 1 1 1 I ! I I I I I 1 1Rezonátorové mody A A A Mody etalonu Výstupní záření laseru Obrázek 14.2-14 Výběr podélných modů etalonem umístěným v rezonátoru. Oscilace nasadí na frekvencích koincidence rezonátorového a etalonového modu; oba mody musí samozřejmě ležet uvnitř spektrálního oboru, v němž zesílení prostředí převyšuje ztráty. 584 LASERY • Modovou selekci umožňuje v rezonátoru umístěný nakloněný etalon (Fabryův-Perotův rezonátor) mezi jehož zrcadly je vzdálenost d\ mnohem menší (je velmi tenký) než mezi zrcadly laserového rezonátoru (obr. 14.2-14). Frekvenční vzdálenost mezi mody etalonu c/2d\ > B, takže pouze jediný mod etalonu může ležet v pásmu zesílení laseru. Etalon je provedený tak, že jeden z jeho modů koinciduje s podélným modem rezonátoru a vykazuje největší zesílení (nebo to platí pro některý jiný požadovaný mod). Etalon lze jemně ladit mírným nakláněním, změnou jeho teploty nebo malými změnami jeho tloušťky d\ piezoelektrickým nebo jiným měničem. Mírné sklonění etalonu vůči ose rezonátoru zabraňuje, aby světlo odražené od jeho povrchů nedopadlo na zrcadla rezonátoru a nevznikaly tak nežádoucí dodatečné rezonance. Aby byla zajištěná frekvenční stabilita, je etalon obvykle teplotně stabilizovaný. • K výběru modů lze též využít složených (vícezrcadlových) rezonátoru. Několik konfigurací je znázorněno na obr. 14.2-15. Modové selekce lze dosáhnout prostřednictvím dvou vázaných rezonátoru různých délek [obr. 14.2-15(a)]. Rezonátor na obr. 14.2-15(6) se skládá ze dvou vázaných dutin s vlastním zesilujícím prostředím — v podstatě jde o dva vázané lasery. Je to konfigurace použitá v tzv. uspořádání C 3 (cleaved-coupled-cavity) polovodičového laseru, který bude probíraný v kap. 16. Další způsob využívá rezonátor vázaný na interferometr [obr. 14.2-15(c)]. Teorie vázaných rezonátoru a rezonátoru vázaného na interferometr není předmětem našeho výkladu. E. Charakteristiky nejběžnějších laserů Laserové zesilování a oscilace jsou široce rozšířené. Nastávají v nejrůznějších prostředích zahrnujících pevné látky (krystaly, skla a vlákna), plyny (atomů, iontů, molekul a excimerů), kapaliny (organické a anorganické roztoky) a plasmu (lasery pracující v rtg oblasti). Aktivní prostředí lze vytvořit také prostřednictvím energetických hladin elektronů v magnetickém poli, jak je tomu v případě laserů s volnými elektrony. (a) (b) í Obrázek 14.2-15 Selekce podélných modů prostřednictvím (a) dvou vázaných rezonátoru (jeden je pasivní a druhý aktivní); (b) dvou vázaných aktivních rezonátoru; (c) vázaného rezonátoru a interferometru. VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 585 Pevnolátkové lasery V odst. 13.2C jsme se poněkud podrobněji zabývali některými pevnolátkovými laserovými zesilovači: rubínem, Nd3+:YAG, Nd3+:sklo a Er3+:křemenné vlákno. Jestliže tato aktivní prostředí jsou vložena do optického rezonátoru, který zajišťuje zpětnou vazbu, začnou se chovat jako laserové oscilátory. Široce užívaný je zejména Nd3+:YAG (energetické hladiny Nd3+:YAG jsou na obr. 13.2-11). Protože se v něm uplatňuje čtyřhladinový systém, je jeho práh řádově menší než u rubínu. Lze jej opticky čerpat na jeho horní laserovou hladinu polovodičovou laserovou diodou, jak ukazuje schéma na obr. 13.2-8, a Nd3+:YAG tak slouží jako účinný kompaktní zdroj laserového záření vlnové délky 1,064 ^m napájený z baterie. Krystaly Nd 3 + : YAG velmi malých délek zhruba desetin milimetru pracují jako jednofrekvenční (mikročipové) lasery. Navíc záření neodymového laseru může při průchodu krystalem pro generování druhé harmonické (viz odst. 19.2A) zdvojnásobit svoji frekvenci; výsledkem je silný zdroj záření v zelené oblasti spektra na vlnové délce 532 nm. Protože přechody v Nd 3 + pocházejí od vnitřních elektronů, které jsou dobře stíněné od vlivů okolí, lze dosáhnout laserových oscilací v blízkosti vlnové délky 1,06/mi při jeho zabudování (jako nečistoty) do nejrůznějších hostitelských materiálů včetně skel různých typů, fluoridu ytrito-litného (LÍYF4 = YLF) a ytrito-skandio-galitého granátu (YSGG). Nahrazení hliníku skaiidiem v YAG vede přibližně ke dvojnásobnému zvětšení účinnosti; gallium se přidává pro zlepšení podmínek při pěstování krystalu. Ionty Nd 3 + lze dokonce rozpustit v oxichloridu selenu (SeOCl2) a dostaneme tak laser, jehož aktivním prostředím je kapalina s Nd 3 + . Přechody v ostatních iontech vzácných zemin vykazují podobné vlastnosti. Křemenné vlákno dotované vzácnou zeminou může při zvláštním uspořádání rezonátoru pracovat jako laser v jediném podélném modu (viz obr. 13.2-8). Příkladem je laser s 5 m dlouhým Er3+:křemenným vláknem pracující ve Fabryově-Perotově konfiguraci. V uspořádání se zrcadlem s odrazivostí 99% na jednom konci a 4% na druhém (pouze Fresnelův odraz) je na výstupu výkon přibližně 8mW při čerpání polovodičovou diodou s výkonem 90 mW na vlnové délce 1,46 /zm. Je možné konstruovat také dutiny ve tvaru vláknového kruhového rezonátoru nebo s vláknovými smyčkovými odražeči. Lasery s dotovaným křemenným vláknem mohou pracovat v impulsním režimu v konfiguracích se spínáním jakosti Q nebo s modovou synchronizací (viz odst. 14.3). Při teplotě 300 K se tento systém chová jako tříhladinový, zatímco při 77 K je čtyřhladinový. Toto rozlišení je důležité, protože v tříhladinovém systému existuje pro dosažení minimálního prahu optimální délka vlákna, kdežto ve čtyřhladinovém systému je prahový výkon nepřímo úměrný délce aktivního vlákna. Vedle rubínu, Nd 3 + a Er 3 + se často setkáváme s opticky čerpanými pevnolátkovými zesilovači a oscilátory využívajícími alexandrit (Cr3+:Al2BeO4), který umožňuje ladění ve vlnovém intervalu od 700 nm do 800 nm; Ti3+:Al2C>3 (Ti:safír) laditelný v ještě širším pásu od 660 nm do 1180 nm a Er3+:YAG pracující často na vlnové délce 1,66/zm. Plynové lasery Pravděpodobně nejrozšířenějším typem laserového oscilátoru je plynový laser. Cervenooranžové, zelené a modré svazky plynových laserů s náplní He-Ne nebo 586 LASERY Ar+ nebo He-Cd jsou již všeobecně známé (energetické hladiny He a Ne jsou na obr. 12.1-3). Laser s náplní Kr + dává snadno stovky miliwatů optického výkonu na vlnových délkách rozložených od 350 nm v ultrafialové do 647 nm v červené spektrální oblasti. Může pracovat současně na několika frekvencích a vyzařovat „bílé laserové světlo". Plynové lasery mohou pracovat na nesčetném množství dalších čar. Malé lasery He-Ne jsou tak všedním a laciným zařízením, že se užívají jako ukazovátka při přednáškách a v obchodech ve čtecích zařízeních čárového kódu. Molekulární plynové lasery, jako je CO2 (energetické hladiny CO2 jsou na obr. 12.1-1) a CO, které pracují ve střední části infračervené oblasti spektra, vykazují vysokou účinnost a mohou vyzařovat velkou energii. Navíc mohou laserovat na většině molekulárních přechodů v infračervené oblasti; dokonce obyčejná voda v plynném stavu (H2O) laseruje na několika frekvencích v daleké infračervené části spektra. Nejdůležitějšími plynovými lasery pro ultrafialovou oblast jsou excimerové lasery. Excimery (např. KrF) existují pouze v excitovaných elektronových stavech, protože v základním stavu se jejich složky odpuzují. Dolní laserová hladina je tudíž vždy neobsazená, což má za následek snadné vytvoření inverzního obsazení. Halogenidy vzácných plynů ve vzbuzeném stavu vznikají snadno, protože chemické vlastnosti excitovaného atomu vzácného plynu jsou podobné atomu alkalického kovu, který se snadno slučuje s halogeny. Kapalinové lasery Význam kapalinových barvivových laserů spočívá především v jejich laditelnosti. Aktivním prostředím barvivového laseru je roztok organického barviva v alkoholu nebo ve vodě (na obr. 12.1-4 je schéma energetických hladin molekuly barviva). Polymethinová barviva umožňují generovat záření v červené nebo blízké infračervené oblasti (~ 0,7 až 1,5 fJ-m), xanthenová barviva laserují ve viditelné části (500 až 700nm), kumarinová barviva vyzařují v modrozelené oblasti (400 až 500 nm) a scintilátorová barviva laserují v ultrafialové části spektra (< 400 nm). Např. rhodamin-6G lze ladit v intervalu vlnových délek od 560 nm do 640 nm. Plasmové rentgenové lasery V posledním desetiletí se podařilo realizovat několik různých typů rentgenových laserů. Dosažení laserové činnosti v rentgenové části spektra je obtížné z několika důvodů. Prahový rozdíl obsazení Nt podle (14.1-14) je úměrný 1/\2TP. S klesající vlnovou délkou \ je tedy stále obtížnější dosáhnout prahu. Dále je technicky obtížné vyrobit pro rtg oblast vysoce kvalitní zrcadla, protože indexy lomu různých materiálů se mezi sebou příliš neliší. Proto se musí dielektrická zrcadla připravovat z velkého počtu vrstev a přitom je koeficient rezonátorových ztrát aT velký a doba života fotonu v rezonátoru r p malá. V blízké budoucnosti však lze očekávat zdokonalení optických elementů pro rtg spektrální oblast. První přesvědčivé laserové činnosti v rentgenové oblasti bylo dosaženo při dramatickém experimentu, který provedli v r. 1980 vědci v Lawrence Livermore National Laboratory (LLNL). Podzemní jaderný výbuch byl zdrojem rentgenových paprsků, které pak sloužily k čerpání atomů v soustavě kovových tyčí. Rentgenový laserový impuls byl vyzářený dříve než následkem výbuchu došlo k odpaření celé aparatury. VLASTNOSTI VÝSTUPNÍHO ZÁŘENÍ LASERU 587 V Princeton Plasma Physics Laboratory (PPPL) v New Jersey bylo aktivní prostředí rentgenového laseru tvořené pevným uhlíkovým terčem. Bylo tak možné provádět série kontrolovaných experimentů. Impuls trvající 50 ns s energií 300 J z laseru CO2 pracujícího na vlnové délce 10,6 ^/m byl fokusován na uhlíkový terč. Infračervený laserový impuls je zdrojem tak velkého tepla, že z některých atomů uhlíku jsou odtržené všechny elektrony, takže vzniká plasma úplně ionisovaných c+ uhlíků ( C ) , která slouží k čerpání. Plasma je radiálně udržovaná magnetickým polem. Ochlazování plasmy po skončení laserového impulsu má za následek zachycení 5+ elektronů na orbitách 9 = 3 vodíkupodobného iontu C . Protože současně jsou málo obsazené orbity q = 2, je výsledkem inverzní obsazení hladin (viz obr. 12.1-2). Jak vyplývá z (12.1-6) je přechod elektronů z q = 3 na q = 2 spojený s emisí rentgenového fotonu o energii 2/i 2 V 2 2 32 Pro Z = 6 dostaneme energii fotonu 68 eV a vlnovou délku Ao = (1,24/68) //m = = 18,2 nm. Tyto spontánně vyzářené fotony způsobují stimulovanou emisi rentgenových fotonů z dalších atomů a výsledkem je zesílená spontánní emise (ASE - amplified spontaneous emission). Při těchto experimentech bylo dosaženo hodnoty součinu koeficientu zesílení a délky odpovídající jednomu průchodu jd KS 6, takže podle (13.1-7) G byl zisk G ~ e . Výsledkem bylo generování 20 ns trvajícího impulsu měkkého rentgenového záření ASE s výkonem 100 kW, energií 2mJ a s divergencí 5mrad. V LLNL byl později použit gigantický laserový systém NOVA s N d 3 + ve skle k odpaření tenkých folií z tantalu nebo wolframu, takže vznikly niklupodobné ionty T a 4 5 + nebo W 4 0 + a výsledkem byl 250 ps dlouhý laserový impuls rentgenového záření o vlnových délkách kratších než Ao = 4,3 nm. Rentgenové lasery mají aplikační využití v rentgenové mikrolitografii při přípravě další generace polovodičových čipů s ještě větší hustotou a při dynamickém zobrazování a holografii jednotlivých buněčných struktur v biologických systémech. Lasery s volnými elektrony Lasery s volnými elektrony (FEL - free electron laser) využívají magnetického pole ondulátoru, tvořeného periodickou soustavou magnetů střídavé polarity. Aktivním prostředím je svazek relativistických elektronů, které se pohybují v poli ondulátoru. Elektrony nejsou vázané na atomy, ale nejsou ani úplně volné, protože jejich pohyb je ovlivňovaný polem ondulátoru. Vlnovou délku emise lze v širokém oboru ladit změnou energie elektronů ve svazku a změnou periody magnetického pole. V závislosti na konkrétním provedení mohou FEL emitovat záření o vlnových délkách od vakuové ultrafialové až do daleké infračervené oblasti spektra. Uvedeme jen několik příkladů FEL: ultrafialový FEL na Pařížské Univerzitě pracuje v okolí vlnové délky 0,2 /xm; do viditelné oblasti zasahuje FEL na Stanford University (Kalifornie), který pracuje v oboru vlnových délek od 0,5 do 10 fim; ve střední infračervené oblasti (od 9 do 40/LÍIB) pracuje FEL v Los Alarnos National Laboratory (LANL) v Novém Mexiku; konečně v daleké infračervené oblasti (od 400 do 1000/um) pracuje FEL na Kalifornské Univerzitě (Santa Barbara). 588 LASERY Přehled vybraných laserových přechodů V tabulce 14.2-1 jsou uvedené v pořadí podle rostoucí vlnové délky typické parametry a charakteristiky některých nejznámějších laserových přechodů. Jsou uvedené také intervaly vlnových délek, v nichž dochází k laditelným laserovým přechodům, celkové účinnosti a výstupní výkony různých laserů. Efektivní průřez přechodu, spontánní doba života a šířka atomové čáry řady těchto laserových přechodů jsou obsažené v tab. 13.2-1. Spektrální šířka výstupního záření laseru je obecně o mnoho řádů menší než šířky atomových čar uvedené v tab. 13.2-1; příčinou je dodatečná frekvenční selektivita rezonátoru. V některých laserových systémech nelze spojitě udržet inverzní obsazení a pracují proto pouze v impulsním režimu. Tabulka 14.2-1 Typické charakteristiky a parametry některých nejznámějších plynových (g), pevnolátkových (s), kapalinových (I) a plasmových (p) laserových přechodů Laserové prostředí Přibližná Jedno- (S) nebo Kontinuální hodnota více- (M) (cw) nebo celkové Výstupní Vlnová délka modový impulsní účinnosti výkon nebo Schéma přechodu Ao režim režim" T)(%)'' energiec energ. hladin 18,2 nm C 5 +(p) Excimer ArF (g) 193 nm Excimer KrF (g) 248 nm He-Cd (g) 442 nm Ar+ (g) 515 nm Barvivo rhodamin-6G (1) 560-640 nm He-Ne (g) 633 nm Kr+_(g) 647 nm Rubín (s) 694 nm 3+ Ti :A1 2 O 3 (s) 0,66-1,18 /mi 3 Nd +:sklo (s) 1,06 /im Nd3+:YAG (s) 1,064/xm Barevná centra v KF (s) 1,25-1,45^111 He-Ne (g) 3,39 iim FEL (LANL) 9-40 lim CO 2 (g) 10,6/im H 2 O (g) 118,7 ^m HCN (g) 336,8 iun M M M S/M S/M S/M S/M S/M M S/M M S/M S/M S/M M S/M S/M S/M impuls impuls impuls cw cw cw cw cw impuls cw 10"° 1 1 0,1 0,05 0,005 0,05 0,01 0,1 0,01 cw 1 0,5 cw cw 0,005 0,05 impuls impuls cw cw cw 0,5 10 0,001 0,001 2mJ obr. 12.1-2 500 mJ 500 mJ 10 mW 10W 100 mW lmW 500 mW obr. 12.1-4 obr. 12.1-3 5J 10W obr. 13.2-9 50 J obr. 13.2-11 obr. 13.2-11 10W 500 mW lmW lmJ obr. 12.1-3 100W 10/iW obr. 12.1-1 lmW "Lasery označené „cw" mohou pracovat rovněž v impulsním režimu; lasery označené „impuls" obvykle pracují v impulsním režimu. ''Celková (nebo též přístrojová) účinnost je poměr výkonu výstupního záření a vstupního elektrického příkonu (v případě impulsních laserů poměr výstupní energie a vstupní elektrické energie). Rekordně vysoké celkové účinnosti (~ 65%) dosahují polovodičové diodové lasery, o nichž pojednává kap. 16. '-Výstupní výkon (pro cw režim) a výstupní energie v jednom impulsu (pro impulsní režim) konkrétních laserů leží v širokém intervalu hodnot (Často proto, že se v širokém rozmezí mění délky impulsů); jsou uvedené typické hodnoty. IMPULSNÍ LASERY 14.3 A. 589 IMPULSNÍ LASERY Způsoby získávání impulsního záření laserů Nejprostším způsobem, jak získat impulsy záření z laseru, je použití kontinuálního (cw) laseru a externí uzávěrky nebo modulátoru, který propustí záření pouze během požadovaného krátkého časového intervalu. Tato jednoduchá metoda však má dvě zřejmé nevýhody. První nevýhodou je nízká účinnost, protože v době mezi jednotlivými impulsy se energie vyzařovaná laserem blokuje (a tudíž se ztrácí). Druhou pak je skutečnost, že špičkový výkon impulsů nemůže přesáhnout hodnotu stálého výkonu kontinuálního zdroje, jak ukazuje obr. 14.3-l(a). Účinnější metodou získávání impulsů je zapínání a vypínání samotného laseru vnitřní modulací, takže energie nashromážděná v době mezi impulsy je vyzářená během impulsu. Energie se může hromadit buďto v rezonátoru ve formě světla, které je periodicky vypouštěné ven, nebo v atomárním systému ve formě inverzního obsazení a energie se periodicky uvolňuje, když systém může oscilovat. Tyto způsoby umožňují generovat krátké laserové impulsy se špičkovým výkonem větším než je konstantní výkon kontinuálních laserů, jak ukazuje obr. 14.3-1(6). Pro vnitřní modulaci laserového záření se nejčastěji užívá některý ze čtyř následujících způsobů: spínání zisku, spínání jakosti Q dutiny, otevírání dutiny a modová synchronizace. Těmi se budeme postupně zabývat. Spínání zisku Tato poměrně jednoduchá metoda je založená na kontrolovaném zapínání a vypínání čerpání (obr. 14.3-2). Např. v impulsním rubínovém laseru čerpaném výbojkou je čerpání (výbojka) periodicky zapínané na krátkou dobu elektrickým impulsem. Během zapnutého čerpání přesáhne koeficient zesílení hodnotu koeficientu ztrát a je generované laserové záření. Většina impulsních polovodičových laserů využívá spínání zisku, protože lze snadno modulovat čerpací elektrický proud (viz kap. 16). Doby náběhu a dosvitu laserového impulsu dosahované při spínání zisku jsou odvozené v odst. 14.3B Modulátor Modulátor Špičkový výkon Špičkový výkon "JI Průměrný výkon r cw výkon (a) Ib) Obrázek 14.3-1 Porovnání výstupního záření impulsních laserů (a) s vnějším modulátorem a (6) s vnitřním modulátorem. 590 LASERY JUUL Zisk Ztráty .erpani 'JULJLJL Výstupní záření laseru Obrázek 14.3-2 Spínání zisku. Spínání jakosti Q dutiny V této metodě jsou laserové oscilace periodicky znemožňované zvyšováním ztrát rezonátoru (zhoršováním činitele jakosti Q rezonátoru) pomocí modulované absorpce uvnitř rezonátoru (obr. 14.3-3). Spínání Q se tedy realizuje spínáním ztrát. Protože čerpání probíhá stále s konstantním výkonem v čase, hromadí se v době velkých ztrát energie v atomech ve formě akumulované inverzní populace. Když se při sepnutí sníží ztráty, uvolní se velká akumulovaná inverzní populace vyzářením intenzivního (obvykle krátkého) impulsu záření. Rozbor této metody je v odst. 14.3C. Otevírání dutiny. Tato technika získávání impulsů je založená na hromadění fotonů (místo rozdílu obsazení) v rezonátoru během doby, kdy laser nemá vyzařovat a na jejich uvolnění během doby vyzařování laseru. Od spínání jakosti Q, kdy jsou modulované ztráty, se liší tím, že se mění propustnost zrcadla (viz obr. 14.3-4). Systém pracuje podobně jako nádoba, do níž se konstantní rychlostí nalévá hadicí voda. Když se nádoba naplní vodou, odstraní se náhle její dno, takže všechna voda je naráz vypuštěná. Dno nádoby se hned vrátí zpět a proces se může opakovat. Konstantní tok vody se tím převádí na impulsní tok. V případě laseru s otvíráním dutiny odpovídá nádobě rezonátor, hadici s vodou konstantní čerpání a dnu nádoby výstupní zrcadlo rezonátoru. V době, kdy laser nemá vyzařovat je znemožněné jakékoliv unikání světla, včetně světla užitečného, z rezonátoru. Výsledkem jsou zanedbatelné ztráty rezonátoru mající za následek rostoucí optický výkon uvnitř laserového rezonátoru. Fotony se hromadí v rezonátoru a nemohou z něj unikat. Zrcadlo je náhle úplně odstraněné (např. stočením z osy rezonátoru) a tím se na dobu vyzařování zvětší jeho Modulovaný absorbér Ztráty -.. . Zisk ~JLA_A_A_. Výstupní záření laseru Obrázek 14.3-3 Spínání činitele jakosti Q rezonátoru. IMPULSNÍ LASERY 591 Zisk I L Ztráty lil Propustnost zrcadla 1 Výstupní záření laseru Obrázek 14.3-4 Otevírání dutiny. Odstraněním jednoho ze zrcadel jsou nashromážděné fotony z rezonátoru vypuštěné jako užitečné záření. propustnost na 100%. Když akumulované fotony opouštějí rezonátor, náhlé zvýšení ztrát zastavuje oscilace. Výsledkem je silný impuls laserového záření. Rozbor metody otevírání dutiny zde nebudeme provádět, jelikož těsně souvisí se spínáním jakosti Q: časové změny zesílení a ztrát jsou podobné, o čemž se lze přesvědčit porovnáním obr. 14.3-4 a 14.3-3. Modová synchronizace Synchronizace modů se liší od tří předchozích způsobů. Generování laserových impulsů se dosahuje vazbou modů laseru a jejich vzájemným sfázováním. Takovým způsobem se mohou chovat např. podélné mody mnohamodového laseru, který osciluje na frekvencích ekvidistantně rozložených s mezimodovou frekvencí c/2d. Jestliže tyto složky jsou sfázované, mají vlastnosti Fourierových složek periodické funkce a tvoří tudíž sled periodických impulsů. Vazba mezi mody se dosahuje periodickou modulací ztrát uvnitř rezonátoru. Modová synchronizace bude probraná v odst. 14.3D. *B. Rozbor přechodových jevů Analytický popis činnosti impulsních laserů vyžaduje pochopení dynamiky procesu laserových oscilací, tj. jejich časového průběhu při zahájení a ukončení laserových oscilací. Stacionární řešení získaná v předchozích kapitolách nejsou pro tyto účely adekvátní. Proces laserování je závislý na dvou veličinách: na počtu fotonů v jednotce objemu v rezonátoru n{ť) a na objemové hustotě rozdílu obsazení hladin atomů N(t) = A/2(í) - N-í(t); obě jsou funkcí času t. Rychlostní rovnice hustoty fotonů Pro hustotu fotonů n platí rychlostní (kinetická) rovnice (14.3-1) 592 LASERY První člen na pravé straně představuje ztráty fotonů způsobené jejich unikáním z rezonátoru, které probíhají s rychlostní konstantou rovnou převrácené hodnotě doby života fotonu v rezonátoru 1/TP. Druhý člen představuje celkový zisk fotonů, který probíhá s rychlostí NW{ a má původ ve stimulované emisi a absorpci. Wi = = 4><?(y) = cno(y) je hustota pravděpodobnosti indukované absorpce nebo emise. Předpokládáme, že spontánní emise je zanedbatelně malá. Pomocí vztahu Nt = = aT/a(v) = l/crpo(v), ve kterém Nt je prahová inverzní populace [viz (14.1-3)], můžeme psát cr(v) = l/crpNt a dostaneme Dosazením do rovnice (14.3-1) dostaneme jednoduchou diferenciální rovnici pro hustotu n Rychlostní rovnice pro hustotu fotonů án n N n dť T„ N, To (14.3-2) Pokud je N > Nt, bude dsz/dt kladné a n poroste. Při dosažení stacionárního stavu (d^/dť = 0) je N = Nt. Rychlostní rovnice pro rozdíl obsazení Dynamické chování rozdílu populace /V(ť) závisí na způsobu čerpání. V této části se budeme zabývat tříhladinovým schématem čerpání (viz odst. 13.2B). Rychlostní rovnice pro obsazení horní energetické hladiny přechodu je podle (13.2-5) (14.3-3) když předpokládáme, že TI = tsp. R je rychlost čerpání, o níž předpokládáme, že nezávisí na rozdílu obsazení N. Jestliže celkovou koncentraci atomůrt/2+ A/i označíme symbolem Na, takže A/j = (Na — N)/2 a W2 = (A/a + /V)/2, dostaneme diferenciální rovnici pro rozdíl obsazení N = A/2 — A/j dí tsp (14.3-4) tsp ve které A/o = 2Rtsp — A/a [viz (13.2-22)]. Dosazením výše odvozeného vztahu Wi = = /z/NtTp do (14.3-4) dostaneme Rychlostní rovnice pro rozdíl obsazení hladin (tříhladinový systém) d/V dí A/n N *sp N n Nt - 2— (14.3-5) Třetí člen na pravé straně rovnice (14.3-5) je až na znaménko dvojnásobkem druhého členu na pravé straně (14.3-2). To odpovídá skutečnosti, že generováním jednoho IMPULSNÍ LASERY 593 fotonu při indukovaném přechodu se snižuje obsazení hladiny 2 o jeden atom a současně se zvyšuje obsazení hladiny 1 o jeden atom, takže rozdíl obsazení se sníží o dva atomy. Rovnice (14.3-2) a (14.3-5) jsou vázané nelineární diferenciální rovnice, jejichž řešením dostaneme přechodové vlastnosti hustoty fotonů n(ť) a rozdílu populace N(t). Jestliže položíme d/V/dí = 0 a d^/dť = 0, dostaneme N — Nt &n — {N0-Nt)(Tp/2tsp). To jsou právě stacionární hodnoty N a n, které jsme získali již dříve, což zřejmě potvrzuje vztah (14.2-12), když dosadíme TS = 2tsp, jak pro tříhladinové schéma čerpání vyžaduje rovnice (13.2-23). Cvičení 14.3-1 Rychlostní rovnice pro rozdíl obsazení ve čtyřhladinovém systému. Odvoďte rychlostní rovnici pro rozdíl populace čtyřhladinového systému, ve kterém platí n tsp. Vysvětlete, proč vymizí faktor 2, který vystupuje v rovnici (14.3-5). Spínání zisku Spínání zisku se provádí zapínáním a vypínáním rychlosti čerpání R; to je zase ekvivalentní modulaci rozdílu obsazení při malém signálu A/o = 2Rtsp - Na. Schematický obrázek typického časového vývoje rozdílu obsazení N(t) a hustoty fotonů n{ť) při impulsním režimu laseru způsobeném změnami A/o je na obr. 14.3-5. V celém procesu je zřejmých několik stádií: • Při ť < 0 je rozdíl populace N(t) = Noa menší než prahová hodnota inverze A/ť a oscilace nemohou nastat. _erpani "o* N(t) Rozdíl obsazení Ztráty N, Mtt Hustota fotonů Obrázek 14.3-5 Časový vývoj rozdílu obsazení W(í) a hustoty fotonů «(t) při čerpání pravoúhlým impulsem, kterým se /Vy náhle nejdříve zvětší z nízké hodnoty A/ou na vysokou hodnotu NQI, a potom se sníží zpět na nízkou hodnotu Wy,,. 594 LASERY • Čerpání se zapne v čase í = O a tím se skokem zvětší NQ Z podprahové hodnoty Noa na hodnotu A/o<, nad prahem. Následkem toho začne vzrůstat rozdíl obsazení N(t). Pokud však bude N(t) < Nt, bude hustota fotonů n = 0. V této oblasti bude mít rovnice (14.3-5) tvar d/V/dť = (No — N)/tsp, což ukazuje, že N(t) bude exponenciálně růst s časovou konstantou tsp k rovnovážné hodnotě Nob• Jakmile v čase t = t\ dosáhne N{i) prahové hodnoty Nt, začnou laserové oscilace a^(í) vzrůstá. Následkem toho se bude inverzní obsazení snižovat a N(t) poroste s menší rychlostí. S rostoucím niť) proces snižování N(t) převládne a N(t) začne klesat k hodnotě Nt. Nakonec dosáhne hodnoty Nt, při níž n[í) dosáhne stacionární hodnoty. • Čerpání se přeruší v okamžiku t = Í2 a tím se sníží A/o na původní hodnotu NoaN(ť) klesá k hodnotě Nga a 7z{i) klesá k nule. Přesný průběh nárůstu a poklesu n(t) získáme numerickým řešením rovnic (14.3-2) a (14.3-5). Závisí na hodnotách tsp, TP, Nt stejně jako na A/o0 a A/0(, (viz úloha 14.3-1). *C. Spínání činitele jakosti Q rezonátoru Impulsní režim laseru při spínání činitele jakosti rezonátoru se dosahuje přepínáním koeficientu ztrát rezonátoru ar z velké hodnoty v časovém intervalu, kdy laser nemá vyzařovat, na malou hodnotu v době, kdy vyzařovat má. Toho lze dosáhnout různými způsoby, např. umístěním modulátoru, který periodicky zvyšuje ztráty, v rezonátoru. Jelikož prahová inverze Nt laseru je úměrná koeficientu ztrát rezonátoru ar [viz (14.1-12) a (14.1-5)], je výsledkem přepnutí aT na nižší hodnotu snížení Nt z vysoké hodnoty Nta na nízkou hodnotu Ntb, jak ukazuje obr. 14.3-6. Při spínání Q je tedy modulované Nt, zatímco NQ zůstává neměnné, oproti spínání zisku, kdy je modulované A/o a neměnné zůstává Nt (viz obr. 14.3-5). Rozdíl obsazení a hustota fotonů se v čase chovají následujícím způsobem: • V čase í = 0 je zapnuté čerpání, takže se skokem změní A/o. Ztráty jsou udržované • Ztráty —No Čerpání Nit) Inverzní obsazení Hustota fotonů Obrázek 14.3-6 činnost laseru se spínáním činitele jakosti Q. Průběhy prahové inverze Nt (je úměrná rezonátorovým ztrátám), parametru čerpán! A/o, rozdílu obsazení N(t) a hustoty fotonů /^(í). IMPULSNÍ LASERY 595 na dostatečně vysoké úrovni (Nt = Nta > No), aby laser nemohl začít oscilovat. Rozdíl obsazení N(t) tudíž vzrůstá (s časovou konstantou tsp). Ačkoliv se tak prostředí stane zesilovačem s velkým ziskem, jsou ztráty dostatečně velké, aby nedošlo k oscilacím. • V okamžiku t = t\ se náhle sníží ztráty, takže Nt se zmenší na hodnotu Nti < ft/g. Oscilace tedy mohou začít a hustota fotonů prudce vzrůstá. Přítomnost záření způsobí snižování inverzní populace (saturace zisku), takže A/(í) začne klesat. Když A/(í) klesne pod hodnotu A/tt, převládnou znovu ztráty nad ziskem a hustota fotonů rychle poklesne (s časovou konstantou řádově rovnou době života fotonu v rezonátoru). • Při ť = Í2 se znovu nastaví velké ztráty a během následujícího dlouhého časového intervalu se tak může vytvořit inverzní obsazení pro další impuls. Celý proces se periodicky opakuje, takže je generovaná periodická řada optických impulsů. Nyní budeme řešit úlohu, jak určit špičkový výkon, energii, šířku a tvar optického impulsu generovaného laserem se spínáním Q v ustáleném impulsním režimu. Vyjdeme ze dvou základních rychlostních rovnic (14.3-2) pro/z(t) a (14.3-5) pro N(t), které budeme řešit v časovém intervalu od i; do íy, kdy laser vyzařuje, jak je vyznačeno na obr. 14.3-6. Úlohu lze samozřejmě řešit numericky. Jestliže však předpokládáme, že první dva členy na pravé straně rovnice (14.3-5) jsou zanedbatelné, úloha se podstatně zjednoduší a lze získat analytické řešení. Takový přepoklad je oprávněný, jestliže čerpání i spontánní emise jsou zanedbatelné ve srovnání s působením indukovaných přechodů během krátkého časového intervalu od i; do tf. Tato aproximace je použitelná, je-li šířka generovaných optických impulsů mnohem kratší než í.VJ). Za těchto okolností mají (14.3-2) a (14.3-5) tvar (14.3-6) (14.3-7) Jsou to dvě vázané diferenciální rovnice pro n(ť) a A/(í) s počátečními podmínkami » = 0a)V = IViV čase č = í;. V době od i; do í/ je Nt nastavené na pevnou nízkou hodnotu Na. Dělením (14.3-6) rovnicí (14.3-7) dostaneme jedinou diferenciální rovnici spojující n a N dW~2\N '' (14.3-8) jejíž integrací získáme (14.3-9) 596 LASERY Při počátečních podmínkách n = 0, když N = /V,;, nakonec dostaneme (14.3-10) Impulsní výkon Podle rovnic (14.2-10) a (14.2-3) je hustota vnitřního fotonového toku (zahrnující oba směry šíření) daná vztahem ^ = « c a hustota vnějšího toku fotonů vystupujících zrcadlem 1 (s propustností -3?) je pak <J>Q = \3fnc. Za přepokladu, že hustota fotonového toku je konstantní na celé ploše A průřezu výstupního svazku, je výstupní optický výkon Po = hvAfo = -hvc^An = hv&Ž-Vn, (14.3-11) kde V = Ad je objem rezonátoru. Podle (14.2-17) za předpokladu, že & <g 1, je podíl rezonátorových ztrát spojených s vyvedením použitelného světla na výstupu laseru, roven r\e w S^(c/2d)rp, takže dostaneme „y Po = r\chv—. (14.3-12) Interpretace této rovnice je snadná: činitel nV/Tp je počet fotonů, které se ztrácejí za jednotku času z rezonátoru. Špičkový výkon impulsu Jak jsme ukázali v předešlém textu a na obr. 14.3-6 dosahuje^ špičkové hodnoty/z,,, když N = Nt = Ntb- Tento závěr můžeme potvrdit dosazením á/z/át = 0 do rovnice (14.3-6), což vede bezprostředně ke vztahu N = Nt. Jeho dosazením do (14.3-10) pak získáme Spojením tohoto výsledku s (14.3-11) dostaneme pro špičkový výkon PP = huSr±VM„. (14.3-14) Je-li Ni 7$> Nt, což platí v případě impulsů s velkým špičkovým výkonem, je Ni <C 1, načež z rovnice (14.3-13) dostaneme (14.3-15) IMPULSNÍ LASERY 597 Špičková hustota fotonů je tedy rovná jedné polovině počáteční hodnoty rozdílu hustot obsazení hladin. V tom případě je špičkový výkon vyjádřený zvlášť jednoduchým vztahem Špičkový výkon impulsu (14.3-16) Energie impulsu Energie impulsu je určená vztahem E= Podí, který lze s pomocí rovnice (14.3-11) přepsat ve tvaru 2d Jt. d/V. 2d (14.3-17) Využijeme-li při úpravě (14.3-17) vztahu (14.3-7), dostaneme " dW (14.3-18) a po integraci (14.3-19) Konečný rozdíl obsazení Nf určíme dosazením n = 0 a N = Nf do (14.3-10) a získáme /V, _ Ni - Nf (14.3-20) Dosazením tohoto výsledku do (14.3-19) dostaneme Energie impulsu při spínání Q (14.3-21) Je-li Ni > Nf, E ss \hvST{cj1d)VrvNi, jak lze očekávat. Zbývá vypočítat Ns z rovnice (14.3-20). Můžeme postupovat tak, že ji přepíšeme ve tvaru Y exp(—Y) = = Xexp{-X), kde X = N:/Nt a Y = Nf/N,. Při daném X = A/,://V( můžeme Y snadno určit numericky nebo pomocí grafu na obr. 14.3-7. 598 LASERY Obrázek 14.3-7 Grafický postup určení Ns ze zadaného /V;; X = Ní/Nt a Y = Nf/Nt. Při daném X — X\ je na svislé ose hodnota Xi exp(—Xi). Protože hledané řešení Y\ splňuje rovnici Ví exp(—Ví) = X\ exp( —Xi), musí mu příslušet stejná hodnota na svislé ose. Šířka impulsu Hrubý odhad doby trvání impulsu (jeho délky nebo také šířky) získáme dělením energie impulsu jeho špičkovým výkonem. Vyjdeme-li z (14.3-13), (14.3-14) a (14.3-21), dostaneme Šířka impulsu Timi>uls " r í ) A/,;/A/ ( -ln(A/,;/A/ ( )-ť (14.3-22) Když je Ni > Nt a N-, > Nf je 7i m p „i 8 « TV. Tvar impulsu Tvar optického impulsu, stejně jako všechny parametry impulsu uvedené výše, lze získat numerickou integrací rovnic (14.3-6) a (14.3-7). Příklady výsledných průběhů impulsů jsou na obr. 14.3-8. Cvičení 14.3-2 Impulsní rubínový laser. Uvažujte rubínový laser diskutovaný ve cvičení 14.1-1 na str. 566. Jestliže tento laser nyní pracuje v režimu se spínáním Q takovým, že na konci čerpacího cyklu (tj. v čase í = í; na obr. 14.3-6) je rozdíl obsazení A/,; = 6/V(, určete pomocí obr. 14.3-8 přibližný tvar laserového impulsu a přibližné hodnoty jeho šířky, špičkového výkonu a celkové energie. D. Modová synchronizace Laser může oscilovat v mnoha podélných modech, jejichž frekvence jsou ekvidistantně rozložené s mezimodovou vzdáleností up — c/2d. I když tyto mody obvykle oscilují nezávisle (tzv. režim volně oscilujících modů), lze vnějším zařízením dosáhnout jejich svázání a sfázování. Na jednotlivé mody se potom můžeme dívat jako na složky IMPULSNÍ LASERY 599 Obrázek 14.3-8 Typické tvary impulsů při spínání jakosti Q získané numerickým integrováním aproximativnícli rychlostních rovnic. Hustota fotonů r/(ť) je normovaná vzhledem k prahovéhu rozdílu obsazení Nt = Nftj a čas í je normovaný vůči době života fotonu rp. S rostoucím poměrem Ni/Nt se impulsy zužují a dosahují větších špičkových hodnot. V limitním případě Ni/Nt S> 1 se blíží špičková hodnota«(í) hodnotě i/Vj. Fourierova rozvoje periodické funkce s periodou 7> = l/vp = 2tf/c, která v tomto případě představuje řadu periodicky se opakujících impulsů. Po vyšetření vlastností takového pravidelného sledu impulsů generovaného při modové synchronizaci se věnujeme metodám sfázování modů mezi sebou. Vlastnosti sledu impulsů při modové synchronizaci Budeme-li každý laserový mod aproximovat uniformní rovinnou vlnou postupující ve směru osy z rychlostí c = CQ/U, můžeme vyjádřit celkovou komplexní vlnovou funkci pole ve tvaru součtu (14.3-23) U(z, t) = kde = v$ + qvF, 9 = 0, ±1, ±2, (14.3-24) je frekvence modu q a Aq je jeho komplexní obálka. Pro jednoduchost budeme předpokládat, že mod q = 0 koinciduje s centrální frekvencí VQ atomové čáry. Velikost \Aq\ můžeme určit ze známého spektrálního průběhu zesílení a rezonátorových ztrát (viz odst. 14.2B). Jelikož v prostředí s nehomogenním rozšířením mody interagují s odlišnými skupinami atomů, jsou jejich fáze arg{ Aq } náhodné a statisticky nezávislé. 600 LASERY Dosazením (14.3-24) do (13.3-23) dostaneme U(z, ť) = £/ t exp c í - c (14.3-25) kde komplexní obálka £/{i) je funkcí (14.3-26) 7> = ^ = ^ . (14.3-27) Komplexní obálka .c/(í) V (14.3-26) je periodickou funkcí s periodou Tp a x/(í — z je) je periodickou funkcí z s periodou cT> = 2rf. Jestliže vhodně vybereme velikosti a fáze komplexních koeficientů Aq, může mít £/(<) tvar periodické řady úzkých impulsů. Uvažujme např. M modů (q = 0, ±1, ±2, ..., ±5, takže M = 25+1) se stejnými komplexními koeficienty Aq = A, q = 0, ±1, ±2, ..., ± 5 . Potom platí _ = s = A- V kde x = exp(j2nt/Tp) (podrobněji viz odst. 2.6B). Po několika algebraických úpravách lze s/(t) vyjádřit ve tvaru sin( sm Pro optickou intenzitu I(z,t) = |x/(i — z/c)\2 potom dostaneme Na obr. 14.3-9 je vidět, že se jedná o periodickou funkci času. Průběh sledu laserových impulsů generovaných při modové synchronizaci tedy závisí na počtu modů M, který je úměrný šířce atomové čáry Ai>. Délka impulsu r imi>uis je tudíž nepřímo úměrná spektrální šířce atomové čáry Au. Jestliže M ~ « AV/VF, je Timpuis = Tp/M « 1/AiA Protože šířka Av může být značně velká, lze při modové synchronizaci generovat velmi úzké laserové impulsy. Poměr mezi špičkovou a střední intenzitou se rovná počtu modů M, který může být rovněž velký. Perioda impulsů v řadě za sebou je Tp = Id je. Je to právě doba jednoho oběhu při dvou odrazech v rezonátoru. Na světlo generované laserem s modovou synchronizací se můžeme vskutku dívat jako na jediný úzký impuls fotonů, který se odráží mezi zrcadly rezonátoru (viz obr. 14.3-10). Při každém odrazu na výstupním zrcadle část fotonů vystupuje z rezonátoru ve tvaru světelného impulsu. Výstupní IMPULSNÍ LASERY 601 Intenzita Obrázek 14.3-9 Průběh intenzity periodické řady impulsů, která je výsledkem součtu M laserových modů stejných velikostí a fází. Každý impuls má šířku A/-krát menší než je perioda Tp a špičkovou intenzitu M-krát větší než je průměrná intenzita. impulsy jsou v prostoru od sebe vzdálené c(2d/c) = 2d a jejich šířka je c/impuis = = 2d/M. Vlastnosti laserových impulsů generovaných při modové synchronizaci jsou shrnuté v tab. 14.3-1. Konkrétním příkladem pro nás bude laser s Nd 3 + :sklo pracující na vlnové délce Ao = 1,06/im. Má index lomu n = 1,5 a šířku spektrální čáry Ai/ = = 3 x 10 1 2 Hz. Šířka impulsu tedy vychází Ti m , ni i s = 1/ Aw ~ 0,33 ps a jeho prostorová délka </i,npUis zz 67/im. Je-li délka rezonátoru d = 10 cm, je vzdálenost mezi mody vp = c/2d = 1 GHz, což znamená, že počet modů M = Av/vp = 3000. Špičková intenzita je tudíž 3000-krát větší než střední intenzita. V prostředí se širokými spektrálními čarami je k získání krátkých impulsů modová synchronizace obecně výhodnější než spínání jakosti Q. Na druhé straně plynové lasery mají většinou úzké atomové čáry, takže v nich modovou synchronizací nelze získat ultrakrátké impulsy. Optická závěrka "impuls Rezonátor -T- •2d- Obrázek 14.3-10 Impuls v modově synchronizovaném laseru se odráží mezi zrcadly rezonátoru. Při každém dopadu na výstupní zrcadlo jím část záření projde ve tvaru krátkého optického impulsu. Prošlé impulsy jsou v prostoru od sebe vzdálené Id a šíří se rychlostí c. Závěrka se otevírá, pouze když impuls dopadá na zrcadlo a právě na dobu trvání impulsu. Za těchto okolností není sled periodických impulsů optickou závěrkou vůbec ovlivňovaný. Každému jinému rozložení vlnění v rezonátoru odpovídají větší ztráty a proto laser nemůže oscilovat. 602 LASERY Tabulka 14.3-1 Charakteristické vlastnosti sledu impulsů při modové synchronizaci Časová perioda Šířka impulsu Prostorová perioda Délka impulsu Střední intenzita Špičková intenzita Tp = — """impuls = = " M Mvp 2rf 2d_ impuls = c T i l n p u l s = — M 2 / = M\A\ 2 2 Ip = M \A\ = Ml I když výše získané vztahy byly odvozené pro speciální případ, kdy mody mají stejné amplitudy a fáze, podobné výsledky dostaneme i výpočtem založeným na realističtějších vlastnostech laseru. Cvičení 14.3-3 Modelování vzniku impulsů při modové synchronizaci. Napište počítačový program pro grafické znázornění závislosti intenzity I(t) = |x/(í)| 2 vlnění, jehož obálka £/(i) je určená součtem (14.3-26). Předpokládejte, že počet modů M = 11 a komplexní koeficienty Aq volte postupně následujícími způsoby: a) Koeficienty stejných velikostí a stejných fází (výsledek by měl být stejný s výsledkem předchozího příkladu). b) Koeficienty s velikostmi podle Gaussova spektrálního průběhu 1^4,1 = = exp[— j(<?/5)2] a se stejnými fázemi. c) Koeficienty stejných velikostí a a náhodných fází (hodnoty fází získejte pomocí generátoru náhodných čísel tak, že budou náhodně rozložené rovnoměrně mezi 0 a 2n). Metody modové synchronizace Již jsme si ukázali, že při sfázování velkého počtu M modů vzniká v rezonátoru úzký obří impuls fotonů, který se odráží mezi zrcadly. Prostorová délka impulsu je M-krát menší než dvojnásobek rezonátorové délky. Otázkou zůstává, jak lze synchronizovat mody, aby měly stejnou fázi (sfázovat mody). Nyní si ukážeme, že toho lze dosáhnout pomocí modulátoru nebo závěrky, které se umístí v rezonátoru. Předpokládejme, že uvnitř rezonátoru je umístěná optická závěrka (např. elektrooptická nebo akustooptická závěrka, o kterých pojednávají kap. 18, 20 a 21), která v zavřeném stavu blokuje světlo po celou dobu až na časový úsek, v němž jí prochází impuls a kdy je zcela otevřená (obr. 14.3-10). Protože impuls může projít, nemá na něj vložená závěrka žádný vliv a celý sled impulsů prochází bez jakéhokoliv rušení. Jestliže jednotlivé mody nejsou sfázované, mají různé fáze dané náhodnými podmínkami v okamžiku nasazení oscilací. Jestliže se náhodou stane, že fáze budou mít stejné hodnoty, vznikne složením modů obří impuls, který vloženou závěrkou IMPULSNÍ LASERY 603 nebude ovlivňován. Každá jiná kombinace fází by vedla k rozložení pole, které by bylo závěrkou úplně nebo částečně blokované a tím by se zvětšily ztráty systému. Znamená to, že při vložení závěrky s výše uvedeným režimem činnosti mohou začít laserovat pouze mody se stejnými fázemi. Laser tedy bude čekat na příznivé nastavení takových fází a jakmile oscilace začnou, budou pokračovat ve stavu sfázovaných modů. Celý problém lze objasnit také matematicky. Optické pole musí splňovat vlnovou rovnici a okrajové podmínky kladené rovněž vloženou závěrkou. Mnohamodové optické pole (14.3-23) skutečně splňuje vlnovou rovnici při libovolné kombinaci fází. V případě stejných fází splňuje současně okrajovou podmínku tvořenou závěrkou; musí tedy být jediným řešením. K modové synchronizaci lze užít také pasivní závěrku tvořenou saturovatelným absorbujícím prostředím. Látka se saturovatelnou absorpcí (viz odst. 13.3B) je prostředím, jehož absorpční koeficient klesá, když roste intenzita světla, které jím prochází; znamená to, že intenzivní impulsy propouští s relativně malou absorpcí a absorbuje slabé impulsy. Oscilace pak mohou nastat, když fáze různých modů jsou vzájemně uspořádané tak, že mody tvoří intenzivní impuls, který je schopen projít pasivní závěrkou. Aktivní a pasivní závěrky se užívají také pro modovou synchronizaci v aktivních prostředích s homogenním rozšířením. Příklady laserů s modovou synchronizací V tab. 14.3-2 je přehled některých laserových prostředí, v nichž lze dosáhnout režimu modové synchronizace; jsou řazené podle rostoucí šířky impulsu. Tabulka dokumentuje velký rozsah šířek generovaných impulsů, které se mohou i při použití stejného aktivního prostředí podstatně lišit — závisí na metodě modové synchronizace. Např. lasery s rhodaminem 6G mohou být konstruované v konfiguraci s kruhovým rezonátorem při tzv. kolizním impulsním režimu (CPM—colliding pulse mode). Vstřícně postupující ultrakrátké laserové impulsy se setkávají právě ve velmi tenkém proudu barviva, které slouží jako saturovatelné prostředí. Pouze během krátké doby, kdy impulsy současně procházejí tenkým absorpčním prostředím je intenzita zvýšená a ztráty jsou minimalizované. Při správném umístění aktivního prostředí vůči Tabulka 14.3-2 Typické šířky impulsů některých modově synchronizovaných laserů s homogenním (H) a nehomogenním (N) rozšířením šířka čáry přechodu" Au Aktivní prostředí laseru Ti 3 +:A1 2 O 3 Rhodamin-6G Nd 3 +:sklo Er3"^ :křemenné vlákno Rubín Nd3+:YAG Ar+ He-Ne CO2 H H/N N H/N H H N N N 100 THz 5THz 3 THz 4THz 60GHz 120 GHz 3,5 GHz 1,5 GHz 60MHz "Šířky čar přechodů Au jsou převzaté z tab. 13.2-1. Teoretická šířka impulsu TjIupuis = X/Au 10 fs 200 fs 333 fs 250 fs 16 ps 8ps 286 ps 667 ps 16ns Experimentálně dosažená šířka impulsu 30 fs 500 fs 500 fs 7ps 10 ps 50 ps 150 ps 600 ps 20 ns 604 LASERY saturovatelnému prostředí lze dosáhnout šířky impulsu menší než 25 fs. V běžných uspořádáních se dosahuje mnohem větších šířek impulsů ( « 500fs). LITERATURA Knihy a články věnované teorii laseru Viz také seznam literatury ke kapitole 13. Knihy o laserech C. A. Brau, Free-Electron Lasers, Academie Press, (Mando, FL, 1990. F. P. Schafer, ed., Dye Lasers, Springer-Verlag, New York, 3. vyd. 1990. R. C E l t o n , X-Ray Lasers, Academie Press, Orlando, FL, 1990. N. G. Basov, A. S. Bashkin, V. I. Igoshin, A. N. Oraevsky a A. A. Shcheglov, Chemical Lasers, Springer-Verlag, New York, 1990. P. K. Das, Lasers and Optical Engineering, Springer-Verlag, New York, 1990. A. A. Kaminskii, Laser Crystals, Springer-Verlag, New York, 2. vyd. 1990, N. G. Douglas, Millimetre and SubmilUmetre Lasers, Springer-Verlag, New York, 1989. P. K. Cheo, ed., Handbook of Solid-State Lasers, Marcel Dekker, New York, 1988. P. K. Cheo, ed., Handbook of Molecular Lasers, Marcel Dekker, New York, 1987. L. F. Mollenauer a J. C. White, eds., Tunable Lasers, Springer-Verlag, Berlin, 1987. T. C. Marshall, Free Electron Lasers, Macmillan, New York, 1985. P. Hammerling, A. B. Budgor a A. Pinto, eds., Tunable Solid State Lasers, Springer-Verlag, New York, 1985. C. K. Rhodes, ed., Excimer Lasers, Springer-Verlag, Berlin, 2. vyd. 1984. G. Brederlow, E. Fill a K. J. Witte, The High-Power Iodine Laser, Springer-Verlag, Berlin, 1983. D. C. Brown, High Peak Power Nd:Glass Laser Systems, Springer-Verlag, Berlin, 1981. S. A. Losev, Gasdynamic Laser, Springer-Verlag, Berlin, 1981. A. L. Bloom, Gas Lasers, R. E. Krieger, Huntington, NY, 1978. E. R. Pike, ed., High-Power Gas Lasers, Institute of Physics, Bristol, England, 1975. C. S. Willett, Introduction to Gas Lasers: Population Inversion Mechanisms, Pergamon Press, New York, 1974. R. J. Pressley, Handbook of Lasers, Chemical Rubber Company, Cleveland, OH, 1971. D. C. Sinclair a W. E. Bell, Gas Laser Technology, Holt, Rinehart and Winston, New York, 1969. L. Allen a D. G. C. Jones, Principles of Gas Lasers, Plenům Press, New York, 1967. C. G. B. Barrett, Gas Lasers, McGraw-Hill, New York, 1967. W. V. Smith a P. P. Sorokin, The Laser, McGraw-Hill, New York, 1966. LITERATURA 605 Knihy věnované aplikacím laserů F. J. Duarte a L. W. Hillman, Dye Laser Principles with Applications, Academie Press, Orlando, FL, 1990. P. G. Cielo, Optical Techniques for Industrial Inspection, Academie Press, New York, 1988. W. Guimaraes, C. T. Lin a A. Mooradian, Lasers and Applications, Springer-Verlag, Berlin, 1987. H. Koebner, Industrial Applications oj Lasers, Wiley, New York, 1984. W. W. Duley, Laser Processing and Analysis oj Materials, Plenům Press, New York, 1983. H. M. Muncheryan, Principles and Practice oj Laser Technology, Tab Books, Blue Summit, PA, 1983. F. Durst, A. Mellino a J. H. Whitelaw, Principles and Practice oj Laser-Doppler Anemometry, Academie Press, New York, 1981. L. E. Drain, The Laser Doppler Technique, Wiley, New York, 1980. M. J. Beesley, Lasers and Their Applications, Halsted Press, New York, 1978. J. F. Ready, Industrial Aplications oj Lasers, Academie Press, New York, 1978. W. E. Kock, Engineering Applications oj Lasers and Holography, Plenům Press, New York, 1975. F. T. Arecchi a E. O. Schultz-Dubois, eds., Laser Handbook, vol. 2, North-Holland/Elsevier, Amsterdam/New York, 1972. S. S. Charschan, ed., Lasers in Industry, Van Nostrand Reinhold, New York, 1972. J. W. Goodman a M. Ross, eds., Laser Applications, vols. 1-5, Academie Press, New York, 1971-1984. S. L. Marshall, ed., Laser Technology and Applications, McGraw-Hill, New York, 1968. D.Fishlock, ed., A Guide to the Laser, Elsevier, New York, 1967. Zvláštní vydání časopisů Speciál issue on laser technology, Lincoln Laboratory Journal, vol. 3, no. 3, 1990. Speciál issue on novel laser systém optics, Journal oj the Optical Society oj America B, vol. 5, no. 9, 1988. Speciál issue on solid-state lasers, IEEE Journal oj Quantum Electronics, vol. QE-24, no. 6, 1988. Speciál issue on nonlinear dynamics of lasers, Journal oj the Optical Society oj America B, vol. 5, no. 5, 1988. Speciál issue on lasers in biology and medicíně, IEEE Journal oj Quantum Electronics, vol. QE-23, no. 10, 1987. Speciál issue on free electron lasers, IEEE Journal oj Quantum Electronics, vol. QE-23, no. 9, 1987. Speciál issue on the generation of coherent XUV and soft-X-ray radiation, Journal oj the Optical Society oj America B, vol. 4, no. 4, 1987. Speciál issue on solid-state laser materials, Journal oj the Optical Society of America B, vol. 3, no. 1, 1986. 606 LASERY Speciál issue: "Twenty-five years of the laser", Optica Acta (Journal of Modem Optics), vol. 32, no. 9/10, 1985. Speciál issue on ultrasensitive laser spectroscopy, Journal of the Optical Society of America B, vol. 2, no. 9, 1985. Third speciál issue on free electron lasers, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-21, no. 7, 1985. Speciál issue on infrared spectroscopy with tunable lasers, Journal of the Optical Society of America B, vol. 2, no. 5, 1985. Speciál issue on lasers in biology and medicine, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-20, no. 12, 1984. Centennial issue, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-20, no. 6, 1984. Speciál issue on laser materials interactions, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-17, no. 10, 1981. Speciál issue on free electron lasers, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-17, no. 8, 1981. Speciál issue on laser photocliemistry, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-16, no. 11, 1980. Speciál issue on excimer lasers, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-15, no. 5, 1979. Speciál issue on quantum electronics, Proceedings of the IEEE, vol. 51, no. 1, 1963. Články E. Desurvire, Erbium-Doped Fiber Amplifiers for New Generations of Optical Communication Systems, Optics & Photonics News, vol. 2, no. 1, pp. 6-11, 1991. K.-J. Kim a A. Sessler, Free-Electron Lasers: Present Status and Future Prospects, Science, vol. 250, pp. 88-93, 1990. G. New, Femtofascination, Physics World, vol. 3, no. 7, pp. 33-37, 1990. P. F. Moulton, Ti:Sapphire Lasers: Out of the Lab and Back In Again, Optics & Photonics News, vol. 1, no. 8, pp. 20-23, 1990. R. D. Petrasso, Plasmas Everywhere, Nature, vol. 343, pp. 21-22, 1990. S. Suckewer a A. R. DeMeo, Jr., X-Ray Laser Microscope Developed at Princeton, Princeton Plasma Physics Laboratory Dígest, May 1989. H. P. Freund a R. K. Parker, Free-Electron Lasers, Scientific American, vol. 260, no. 4, pp. 84-89, 1989. P.Urquhart, Review of Rare Earth Doped Fibre Lasers and Amplifiers, Institution of Electrical Engineers Proceedings - Part J, vol. 135, pp. 385-407, 1988. D. L. Matthews a M. D. Rosen, Soft X-Ray Lasers, Scientific American, vol. 259, no. 6, pp. 86-91, 1988. C. A. Brau, Free-Electron Lasers, Science, vol. 239, pp. 1115-1121, 1988. R. L. Byer, Diodě Laser-Pumped Solid-State Lasers, Science, vol. 239, pp. 742-747, 1988. J, A. Pasour, Free-Electron Lasers, IEEE Circuits and Devices Magazíne, vol. 3, no. 2, pp. 55-64, 1987. ÚLOHY 607 J. G. Eden, Photochemical Processing of Semiconductors: New Applications for Visible and Ultraviolet Lasers, IEEE Circuits and Devices Magazíne, vol. 2. no. 1, pp. 18--24, 1986. J. F. Holzricher, High-Power Solid-State Lasers, Nature, vol. 316, pp. 309-314, 1985. W. L. Wilson, Jr., F. K. Tittel a W. Nighan, Broadband Tunable Excimer Lasers, IEEE Circuits and Devices Magazíne, vol. 1, no. 1, pp. 55-62, 1985. P. Sprangle a T. Coífey, New Sources of High-Power Coherent Radiation, Physics Today, vol. 37, no. 3, pp. 44-51, 1984. A. L. Schawlow, Spectroscopy in a New Light, (Nobel lecture), Reviews of Modem Physics, vol. 54, pp. 697-707, 1982. P. W. Smith, Mode Selection in Lasers, Proceedings of the IEEE, vol. 60, pp. 422-440, 1972. L. Allen a D. G. C. Jones, Mode Locking in Gas Lasers, in Progress in Optics, vol. 9, E. Wolf, ed., North-Holland, Amsterdam, 1971. P. W. Smith, Mode-Locking of Lasers, Proceedings of the IEEE, vol. 58, pp. 1342-1359, 1970. D. R. Herriott, Applications of Laser Light, Scientific American, vol. 219, no. 3, pp. 141-156, 1968. C. K. N. Patel, High-Power Carbon Dioxide Lasers, Scientific American, vol. 219, no. 2, pp. 22-33, 1968. A. Lempicki a H. Samelson, Liquid Lasers, Scientific American, vol. 216, no. 6, pp. 80-90, 1967. Literatura v českém jazyce Viz literaturu ke kap. 13. M. Vrbová a kol., Lasery a moderní optika, Prométheus, Praha, 1994. ÚLOHY 14.2-1 Počet podélných modů. Rezonátor argonového laseru je dlouhý 100 cm. Index lomu n = 1. a) Určete frekvenční vzdálenost i/p mezi rezonátorovými mody. b) Určete počet podélných modů, ve kterých může oscilovat laser, je-li FWHM dopplerovsky rozšířené čáry Aurj = 3,5 GHz a koeficient ztrát je rovný polovině špičkové hodnoty koeficientu zesílení malého signálu. c) Jaká by měla být délka d rezonátoru, aby laser pracoval v jediném podélném modu? Jaká by měla být tato délka pro laser CO 2 , který má mnohem menší šířku dopplerovsky rozšířené čáry ÁV£> = 60MHz, při stejných ostatních podmínkách? 14.2-2 Nestabilita frekvence laserových modů. Laser He-Ne má následující parametry: (1) Rezonátor se zrcadly odrazivostí 97% a 100% a se zanedbatelnými vnitřními ztrátami; (2) Dopplerovsky rozšířený atomový přechod s šířkou AI/D = 1,5 GHz; (3) Špičkový koeficient zesílení při malém signálu 70(i/()) = 2,5 x 10~ 3 cm~'. Následkem malých teplotně indukovaných změn 608 LASERY délky rezonátoru se posouvají v čase frekvence podélných modů. Nalezněte přípustné intervaly délek rezonátoru, při nichž laser bude vždy oscilovat v jednom nebo dvou (ne však ve více) podélných modech. Index lomu n = 1. 14.2-3 Výběr modů pomocí etalonu. Plynový laser s Dopplerovým rozšířením pracuje na vlnové délce 515 nm s rezonátorem, jehož zrcadla jsou od sebe vzdálená 50 cm. Doba života fotonu v rezonátoru je 0,33 ns. Spektrální interval, ve kterém laser může oscilovat, má šířku B = 1,5 GHz. Index lomu n — 1. Aby bylo možné vybrat jeden mod, prochází světlo etalonem (pasivní Fabryův-Perotův rezonátor), jehož zrcadla jsou vzdálená od sebe d a který má jemnost 3?. Etalon působí jako filtr. Navrhněte vhodné hodnoty d a &. Je lepší umístit etalon dovnitř nebo vně laserového rezonátoru? 14.2-4 Modové výkony mnohamodového laseru. Laser He-Ne pracující v mnohamodovém režimu na vlnové délce Ao = 632,8 nm dává na výstupu mnohamodový výkon 50 mW. Má nehomogenně rozšířený profil čáry zesílení s Dopplerovou šířkou AI^D = 1,5 GHz a index lomu n — 1. Rezonátor je dlouhý 30 cm. a) Určete počet podélných modů laseru, jestliže maximální hodnota koeficientu zesílení při nízkém signálu je dvojnásobkem koeficientu ztrát. b) Určete výkon nejsilnějšího modu, jestliže zrcadla jsou nastavena tak, aby jeho intenzita byla maximální. 14.2-5 Výstupní záření jednomodového plynového laseru. Uvažujme 10 cm dlouhý plynový laser pracující ve středu čáry na vlnové délce 600 nm v jediném podélném a jediném příčném modu. Odrazivosti zrcadel jsou 3t-\ = 99% a 3?2 = 100%. Index lomu n = 1 a efektivní plocha průřezu výstupního 2 1 svazku je l m m . Koeficient zesílení při malém signálu 70(^0) = 0,1 cm" 19 2 a saturační hustota fotonového toku <j>s = 1,43 x 10 fotonů/cm • s. a) Určete koeficienty prostorově rozložených ztrát am\ a a,„2 příslušné každému ze zrcadel. Za předpokladu, že as = 0, určete koeficient ztrát rezonátoru aT. b) Nalezněte dobu života fotonu TP. c) Určete velikost výstupní hustoty fotonového toku <po a výstupní výkon Po14.2-6 Prahový rozdíl obsazení hladin argonového laseru. Laser s ionty Ar + má rezonátor délky 1 m se zrcadly odrazivosti 98% a 100%. Jiné ztrátové mechanizmy jsou zanedbatelné. Vlnová délka maxima čáry atomového přechodu je Ao = 515 nm, spontánní doba života tsp = 10 ns a šířka čáry A A = 0,003 nm. Dolní energetická hladina má velmi krátkou dobu života, takže její obsazení můžeme považovat za nulové. Průměr oscilujícího modu je 1 mm. Určete (a) dobu života fotonu a (b) prahový rozdíl obsazení pro nasazení laserových oscilací. 14.2-7 Propustnost laserového rezonátoru. Monochromatické světlo z laditelného zdroje záření prochází optickým rezonátorem laseru, který není čerpán. Frekvenční závislost změřené propustnosti je na obr. P14.2-7. ÚLOHY 609 (••-200 MHz-*| 2 MHz 5xlO 1 4 Hz Obrázek P14.2-7 " Propustnost laserového rezonátoru. a) Určete délku rezonátoru, dobu života fotonu a prahový koeficient zesílení laseru. Předpokládejte, že index lomu n = 1. b) Předpokládejte, že centrální frekvence laserového přechodu je 5 x 10 1 4 Hz a vyneste frekvenční závislost propustnosti, když laser nyní bude Čerpaný, ne však dostatečně, aby nastaly laserové oscilace. 14.2-8 Rychlostní rovnice čtyřhladinového laseru. Uvažujte čtyřhladinový laser s aktivním objemem V = 1 cm 3 . Hustota obsazení horní hladiny je A/2 a dolní /Ví a N = N2 — N\. Rychlost čerpání je taková, že stacionární rozdíl obsazení A/, když nenastává stimulovaná emise a absorpce, je A/o. Hustota fotonů je n a doba života fotonu je TP. Napište rychlostní rovnice pro N2, A/i, N &/i prostřednictvím A/o, efektivního průřezu přechodu a(v) a časových veličin tsp, TI, T2, T21 a TV. Určete stacionární hodnoty N a/z. *14.3-1 Přechodové vlastnosti laseru se spínaným zesílením. a) Zaveďte nové proměnné X — njrp, Y = N/Nt a normovaný čas s = t/rp a ukažte, že rychlostní rovnice (14.3-2) a (14.3-5) budou mít tvar ^ = a(Y0 -Y)~ as 2XY, kde a — Tp/tsp a YQ = A/0/A/t. b) Napište počítačový program pro řešení těchto dvou rovnic při zapnutí a vypnutí. Předpokládejte, že Yó j e přepnuté z 0 na 2, aby laser pracoval a z 2 na 0, aby pracovat přestal. Dále předpokládejte, že oscilace zahájí v čase t = 0 počáteční velmi malý fotonový tok odpovídající X — 10~ 5 . Přemýšlejte o možném původu tohoto toku. Určete přechodové doby, ve 3 3 kterých probíhá spínání pro a = 10~~ , 1 a 10 . Vysvětlete význam získaných výsledků. * 14.3-2 Výkon rubínového laseru se spínáním Q. Rubínový laser se spínáním jakosti Q pracuje s rubínovým výbrusem délky 15 cm o příčném prů2 řezu 1 cm v rezonátoru délky 20 cm. Odrazivosti zrcadel činí J?i = 0,95 3+ 10 3 a ^ 2 = 0,7. Hustota iontů C r je 1,58 x 10 atomů/cm a efektivní prů2O 2 řez přechodu <r(vo) = 2 x 10~ cm . Laser je čerpaný tak, že počáteční 610 LASERY obsazení horní hladiny je 1019 atomu/cm3 a obsazení spodní hladiny je zanedbatelné. Čerpací pás (hladina 3) leží u w 450 nm a přechod z hladiny 3 na hladinu 2 probíhá rychle. Doba života hladiny 2 je ~ 3ms. a) Při jakém čerpacím výkonu je obsazení horní hladiny 1019 cm" 3 ? b) Jaký je výkon spontánního záření před tím, než dojde k sepnutí Q? c) Určete špičkový výkon, energii a šířku impulsu generovaného při sepnutí Q. *14.3-3 Činnost laseru s otvíráním dutiny. Nakreslete průběhy prahového rozdílu obsazení W< (který je úměrný ztrátám), rozdílu obsazení N(t), vnitřní hustoty fotonů n{ť) a vnější hustoty toku fotonů <po(t) v průběhu dvou cyklů činnosti impulsního laseru s otevíráním dutiny. 14.3-4 Modová synchronizace při lorentzovském rozložení amplitud. Předpokládejte, že obálka modů modově synchronizovaného laseru je q = —co, ..., co a jejich fáze jsou stejné. Odvoďte výrazy pro následující parametry generovaného sledu impulsů: a) Střední výkon. b) Špičkový výkon. c) Šířka impulsu (FWHM). 14.3-5 Generování druhé harmonické. K získání záření druhé harmonické frekvence se často užívají krystaly s nelineárními optickými vlastnostmi, jak bude vysvětleno v kap. 19. V tomto procesu se mění dva fotony o frekvenci v na jeden foton o frekvenci Iv. Předpokládejme, že takový krystal je umístěný uvnitř laserového rezonátoru společně s aktivním prostředím zesilujícím na frekvenci v. Frekvence v a Iv odpovídají dvěma modům rezonátoru. Je-li rychlost přeměny na druhou harmonickou C,n{s"1 • m~3) a rychlost vzniku fotonů při laserovém procesu (čistý výsledek procesů stimulované emise a absorpce) je £^(s~ x • m~3), kde ( a £ jsou konstanty, napište rychlostní rovnice pro hustoty fotonů n na frekvenci v a no, na frekvenci 2v. Předpokládejte, že doba života fotonů o frekvenci v je rv a fotonů o frekvenci 2v je TP2- Nalezněte stacionární hodnoty n K A P I T O L A 15 FOTONY V POLOVODIČÍCH v /• 15.1 POLOVODIČE A. B. C. D. E. F. *G. Energetické pásy a nosiče náboje Polovodičové materiály Koncentrace elektronů a děr Generování, rekombinace a injekce Přechody Heteropřechody Kvantové jámy a supermřížky 15.2 INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI A. Mezipásová absorpce a emise B. Rychlosti absorpce a emise C. Index lomu William P. Shockley (1910-1989), vlevo, Walter H. Brattain (1902-1987), uprostřed a John Bardeen (1908—1991), vpravo, se podíleli v roce 1956 na Nobelově ceně za objev využití polovodičů k zesilování elektrických signálů (tranzistorový jev). 611 612 FOTONY V POLOVODIČÍCH Elektronika je založena na procesech, které umožňují kontrolované řídit tok elektronů, kdežto fotonika využívá procesů, které umožňují ovládat tok fotonů. Ke vzájemnému spojení elektroniky a fotoniky dochází v optoelektronických polovodičových prvcích, ve kterých fotony generují pohyblivé elektrony a elektrony generují a kontrolují tok fotonů. Kompatibilita polovodičových optoelektronických a elektronických prvků vedla v posledních letech k podstatnému pokroku jak v optoelektronice tak elektronice. Polovodiče jsou užívány jako optické detektory, zdroje (luminiscenční diody a lasery), zesilovače, vlnovody, modulátory, senzory a nelineární optické prvky. Polovodiče absorbují a emitují fotony při přechodech mezi dovolenými hladinami energie v souladu s obecnou teorií interakce mezi fotony a atomy popsanou v kapitole 12. Jak jsme tam stručně naznačili, polovodiče mají vlastnosti, které jsou v určitém smyslu jedinečné: • Polovodičový materiál si nelze představit jako skupinu navzájem se neovlivňujících atomů, z nichž každý má své vlastní energetické hladiny. Výsledkem uspořádání atomů do kondenzovaného stavu je vytvoření souboru energetických hladin reprezentujícího celý systém. • Energetické hladiny polovodičů se shlukují do skupin těsně uspořádaných hladin, které tvoří pásy. Neuplatňují-li se tepelné excitace (při T = OK), jsou tyto pásy buď plně obsazeny nebo jsou úplně prázdné. Nejvyšší zaplněný pás se nazývá valenční a prázdný pás nad ním je nazýván vodivostním. Oba tyto pásy jsou vzájemně odděleny zakázaným pásem. • Při tepelné nebo optické excitaci může elektron získat energii, která způsobí jeho přeskok z valenčního pásu přes zakázaný pás do vodivostního pásu (elektron po sobě zanechá prázdný stav nazývaný díra). Rovněž může existovat opačný proces. Elektron může klesnout z vodivostního do valenčního pásu a zaplnit tam prázdný stav (za předpokladu, že existuje). Tento proces se nazývá rekombinace elektronu a díry. Máme tedy dva druhy částic, které mohou přenášet elektrický náboj a které mohou interagovat s fotony: elektrony a díry. Pro činnost téměř všech polovodičových optoelektronických prvků jsou základní dva procesy: • Absorpcí fotonu se může vytvořit pár elektron-díra. Pohyblivé nosiče náboje vzniklé absorpcí mohou měnit elektrické vlastnosti materiálu. Na jednom takovém jevu, fotovodivosti, je založena funkce určitých polovodičových fotodetektorů. • Rekombinace elektronu o díry může vést k emisi fotonu. Na tomto procesu je založena činnost polovodičových zdrojů záření. Spontánní zářivá rekombinace elektronů a děr je základním procesem při generování světla v luminiscenčních diodách. Zdrojem fotonů v polovodičových laserech je stimulovaná rekombinace elektronů a děr. V odstavci 15.1 začneme přehledem vlastností polovodičů, které jsou důležité POLOVODIČE 613 v polovodičové fotonice; očekává se, že čtenář je seznámen se základními principy fyziky polovodičů. Odstavec 15.2 je úvodem do optických vlastností polovodičů. Pomocí teorie zářivých přechodů v atomu uvedené v kapitole 12 je zde probrána zjednodušená teorie absorpce, spontánní emise a stimulované emise. Tuto a následující dvě kapitoly lze považovat za jeden celek. Kapitola 16 pojednává o polovodičových optických zdrojích jako je luminiscenční dioda a laserová dioda. Kapitola 17 je věnována polovodičovým detektorům fotonů. 15.1 POLOVODIČE Polovodič je krystalická nebo amorfní pevná látka, jejíž elektrická vodivost se nachází mezi vodivostí kovů a izolátorů a lze ji podstatně ovlivnit změnou teploty nebo obsahem příměsí v materiálu či dopadajícím světlem. Jedinečná struktura energetických hladin polovodičových materiálů vede ke speciálním elektrickým a optickým vlastnostem, jak je dále popsáno v této kapitole. V elektronických prvcích je jako polovodičový materiál přednostně využíván křemík (Si), ale pro fotoniku jsou nejdůležitější polovodičové sloučeniny jako arsenid galia (GaAs) (viz odst. 15.1B, kde jsou uvedeny údaje o dalších polovodičových materiálech). A. Energetické pásy a nosiče náboje _ Energetické pásy v polovodičích Atomy v pevné látce mají mezi sebou dostatečně silné interakce, takže v ní nelze uvažovat atomy jednotlivě. Valenční elektrony nejsou připoutány k jednotlivým atomům, ale patří k systému atomů jako celek. Řešení Schrodingerovy rovnice pro energii elektronu v periodickém potenciálu vytvořeném souborem atomů v krystalové mříži q eV Si Vodivostní pás (a) i - 1.42 eV Obrázek 15.1-1 T ' 5 -5 10 -10 -15 -15 i i > 1 1 1 1 > T ~_ 1 1 i Vodivostní pás 1.11 eV " i LU 1 Valenční ^ p á s - 5 eV GaAs (b) Energetické pásy: (a) v Si a (6) v GaAs. 614 FOTONY V POLOVODIČÍCH ukazuje, že dochází k rozštěpení atomových energetických hladin a ke vzniku energetických pásů (viz odst. 12.1). Každý pás obsahuje velké množství těsně u sebe ležících diskrétních hladin, které mohou být aproximovány kontinuem. Valenční a vodivostní pás jsou navzájem odděleny pásem „zakázaných" energií šířky Eg (viz obr. 15.1-1), který se krátce nazývá zakázaný pás a hraje významnou roli při určování elektrických a optických vlastností materiálů. Materiály se zaplněným valenčním pásem a širokým zakázaným pásem (> 3eV) jsou elektrickými izolanty; ty materiály, u kterých dochází k podstatnému překryvu mezi valenčním a vodivostním pásem nebo u kterých je vodivostní pás zhruba zpoloviny zaplněn, jsou elektrickými vodiči (viz obr. 12.1-5). Šířka zakázaného pásu polovodičů leží zhruba v rozmezí od 0,1 do 3eV. Elektrony a díry V souladu s Pauliho vylučovacím principem žádné dva elektrony nemohou obsadit stejný kvantový stav. Nejprve se obsazují hladiny s nižší energií. V elementárních polovodičích, jako Si a Ge, připadají na každý atom čtyři valenční elektrony; valenční pás obsahuje takový počet kvantových stavů, že bez tepelných excitací (T = OK) je zcela zaplněn a vodivostní pás je úplně prázdný. V důsledku toho materiál nevede elektrický proud. Při nárůstu teploty některé elektrony budou tepelně excitovány do prázdného vodivostního pásu, ve kterém je dostatek neobsazených stavů (viz obr. 15.1-2). Tam se mohou elektrony uplatnit jako pohyblivé nosiče; mohou se přemisťovat v krystalové mříži pod vlivem přiloženého elektrického pole a tím přispívat k elektrickému proudu. Odchodem elektronu z valenčního pásu vzniká současně prázdný kvantový stav, který dovoluje souboru elektronů zbylých ve valenčním pásu, aby si vlivem přiloženého elektrického pole vyměňovaly mezi sebou místa. Výsledkem je pohyb souboru elektronů zbylých ve valenčním pásu. Tento pohyb můžeme považovat za rovnocenný pohybu díry, zbylé po odešlém elektronu, ale v opačném směru. Díra se proto chová jako by měla kladný náboj +e. Výsledkem každé excitace elektronu přes zakázaný pás je vznik volného elektronu ve vodivostním pásu a volné díry ve valenčním pásu. Dvě nabité částice se mohou působením přiloženého elektrického pole pohybovat a podílet se tak na elektrickém proudu. Polovodivé chování má materiál, jehož vodivost Uj Vodivostní^ pás c o O) Zakázaný pás Eg i? <5 Valenční pás Obrázek 15.1-2 Elektrony ve vodivostním a díry ve valenčním pásu při T > OK. POLOVODIČE 615 ostře vzrůstá s teplotou tak, jak vzrůstá počet tepelně generovaných pohyblivých nosičů. Vztahy mezi energií a hybností Mezi energií E a hybností elektronu p ve vakuu platí vztah £ = p2/2m0 = h2k2/2m0, kde p je velikost hybnosti a A; je velikost vlnového vektoru k = p/ň spojeného 31 s vlnovou funkcí elektronu a mg je hmotnost elektronu (9,1 x 10~ kg). Vztah mezi E a k je parabolický. Pohyb elektronů ve vodivostním pásu a děr ve valenčním pásu se děje s různou dynamikou. Řídí se Schrodingerovou rovnicí, ve které má průběh potenciálu periodu krystalové mříže. Vztahy mezi E a k jsou znázorněny pro Si a GaAs [100] [lil] [100] GaAs Obrázek 15.1-3 Řezy plochou £(k) pro Si a GaAs podél krystalových směrů [111] a [100]. 616 FOTONY V POLOVODIČÍCH E,, £ ř =1.42eV GaAs Obrázek 15.1-4 Aproximace závislosti E na k parabolou u dna vodivostního pásu a u vrcholu valenčního pásu. na obr. 15.1-3. Energie £ je periodickou funkcí složek (Jbj, k2, k3) vektoru k, s periodami (TT/O! , 7r/o2,7r/a3), kde oi, o2, o3 jsou mřížkové konstanty krystalu. Na obr. 15.1-3 jsou znázorněny řezy plochou E(k) ve dvou různých směrech k. Energie elektronu ve vodivostním pásu nezávisí jen na velikosti jeho hybnosti, ale také na směru, ve kterém se pohybuje krystalem. Efektivní hmotnost Blízko dna vodivostního pásu je možno vztah mezi EaJt aproximovat parabolou E=EC h2k2 2mc' (15.1-1) kde Ec je energie dna vodivostního pásu a mc je konstanta představující efektivní hmotnost elektronu ve vodivostním pásu (viz obr. 15.1-4). Podobně blízko vrcholu POLOVODIČE Tabulka 15.1-1 617 Průměrné efektivní hmotnosti elektronů a děr v Si a GaAs Si GaAs 0,33 0,07 0,5 0,5 valenčniho pásu E = Ev - ^ - , 2m.„ (15.1-2) kde Ev = Ec — Eg je energie vrcholu valenčniho pásu a mv je efektivní hmotnost díry ve valenčním pásu. Efektivní hmotnost .obecně závisí na krystalové orientaci a na konkrétních vlastnostech pásu, který uvažujeme. Typické hodnoty poměru střední efektivní hmotnosti ke hmotnosti volného elektronu mo jsou pro Si a GaAs uvedeny v tabulce 15.1-1. Polovodiče s přímým a nepřímým pásem zakázaných energií Polovodiče, u kterých maximu valenčniho pásu a minimu vodivostního pásu odpovídá stejná hybnost (stejné k), se nazývají materiály s přímým zakázaným pásem. Polovodiče, které tuto podmínku nesplňují, jsou známy jako polovodiče s nepřímým zakázaným pásem. Odlišnost je významná; přechod mezi vrcholem valenčniho pásu a dnem vodivostního pásu v polovodiči s nepřímým zakázaným pásem vyžaduje podstatnou změnu hybnosti elektronu. Jak je zřejmé z obr. 15.1-4, Si je polovodičem s nepřímým zakázaným pásem, naproti tomu GaAs je polovodičem s přímým zakázaným pásem. Dále uvidíme, že polovodiče s přímým zakázaným pásem (jako GaAs) mají vysokou účinnost emise fotonů, kdežto polovodiče s nepřímým zakázaným pásem (jako Si) nemohou být používány jako účinné zdroje světla. B. Polovodičové materiály Tabulka 15.1-2 představuje vybranou část periodické tabulky prvků, s některými důležitými prvky pro polovodičovou elektroniku a optoelektroniku. Významné jsou jak elementární polovodiče, tak polovodičové sloučeniny. Tabulka 15.1-2 Část periodické tabulky II zinek kadmium rtuť IV III (Zn) (Cd) (Hg) hliník galium indium (AI) (Ga) (In) křemík germanium V (Si) (Ge) fosfor arsen antimon VI (p) (As) (Sb) síra selen telur (S) (Se) (Te) 618 FOTONY V POLOVODIČÍCH Elementární polovodiče Některé prvky ze IV. skupiny periodické tabulky prvků jsou polovodiče. Nejvýznamnějšími jsou křemík (Si) a germanium (Ge). V současnosti je většina komerčních elektronických prvků a integrovaných obvodů připravována z Si. Oba tyto materiály však nejsou použitelné pro přípravu polovodičových zdrojů záření v důsledku jejich nepřímého zakázaného pásu. Nicméně oba materiály jsou široce využívány pro přípravu detektorů fotonů. Binární polovodiče Sloučeniny vzniklé kombinací prvků III. skupiny, jako je hliník (AI), galium (Ga) nebo indium (In), s prvky V. skupiny, jako je fosfor (P), arsen (As) nebo antimon (Sb), jsou významnými polovodiči. Z výše jmenovaných prvků lze připravit devět binárních sloučenin, které jsou uvedeny v tabulce 15.1-3. Pro každou sloučeninu je uvedena šířka zakázaného pásu Eg, vlnová délka odpovídající zakázanému pásu \g = hco/Eg (což je vlnová délka fotonu o energii Eg ve vakuu) a typ zakázaného pásu (přímý nebo nepřímý). Šířky zakázaných pásů a mřížkové konstanty lze rovněž nalézt na obr. 15.1-5. Řada těchto sloučenin je užívána jako detektory a zdroje fotonů (luminiscenční diody a lasery). Nejvýznamnějším binárním polovodičem pro optoelektronické prvky je arsenid galia (GaAs). Rovněž vzrůstá význam GaAs (ve srovnání s Si) pro přípravu rychlých elektronických prvků a obvodů. Tabulka 15.1-3 Vybrané elementární a binární polovodiče III—V. Jejich šířka zakázaného pásu E,f při T = 300 K, odpovídající vlnová délka Ay = hco/Eg a typ zakázaného pásu (I = nepřímý, D = přímý) Energie zakázaného pásu Ey (eV) Odpovídající vlnová délka A, (/mi) Ge Si 0,66 1,11 1,88 1,15 AIP AlAs AlSb GaP GaAs GaSb InP InAs InSb 2,45 2,16 1,58 2,26 1,42 0,73 1,35 0,36 0,17 0,52 0,57 0,75 0,55 0,87 1,70 0,92 3,5 7,3 Materiál Typ D D D D D POLOVODIČE Vlnová délka odpovídající zakázanému pásu A s ((im) 0.6 2 1.5 1 0.9 0.8 0.7 0.5 10 1.5 2.0 619 0.5 2.5 Šířka zakázaného pásu Es (eV) Obrázek 15.1-5 Mřížkové konstanty, šířky zakázaného pásu a jim odpovídající vlnové délky pro Si, Ge a devět binárních sloučenin III-V. Údaje o ternárních sloučeninách lze získat pomocí spojnice bodů odpovídajících binárním sloučeninám. Např. Al : r Gai_ J : As odpovídají body ležící na spojnici mezi GaAs a AlAs. Při změně x od 0 do 1 se bod pohybuje podél spojnice'od GaAs k AlAs. Protože tato spojnice je téměř horizontální, Al x Gai_ : c As je mřížkou přizpůsoben ke GaAs. Plné čáry označují přímý zakázaný pás, čárkované nepřímý. Materiál může mít pro jednu hodnotu molárního zlomku x přímý zakázaný pás a pro jinou nepřímý zakázaný pás. Kvaternární sloučenina je znázorněna bodem v oblasti vymezené čtyřmi binárními sloučeninami, které ji vytvářejí. Např. sloučenina (Ini_ x Ga :J .)(Asi_. y P. y ) je znázorněna stínovanou plochou s vrcholy InAs, InP, GaP a GaAs; vodorovná čára vycházející z InP znázorňuje sloučeniny, které jsou mřížkou přizpůsobené k tomuto materiálu. Ternární polovodiče 1 -x Sloučeniny vytvořené ze dvou prvků III. skupiny a jednoho prvku V. skupiny (nebo jednoho prvku III. skupiny a dvou prvků V. skupiny) jsou významnými ternárními polovodiči. Např. (Al x .Gai_ : , : )As je ternární sloučenina s vlastnostmi mezi AlAs a GaAs v závislosti na molámím zlomku x (x znamená podíl atomů Ga nahrazených atomy AI v GaAs). Šířka zakázaného pásu Eg se v tomto materiálu mění mezi 1,42 eV pro GaAs a 2,16 eV pro AlAs, podle toho jak se mění x mezi 0 a 1. Tomuto materiálu odpovídá na obr. 15.1-5 čára spojující GaAs a AlAs. Protože tato čára je téměř horizontální, je Al:rGai_:,.As mřížkově přizpůsoben ke GaAs (tzn., 620 FOTONY V POLOVODIČÍCH že mají stejnou mřížkovou konstantu). Znamená to, že vrstva daného složení může narůst na vrstvě jiného složení, aniž by vzniklo v materiálu pnutí. Kombinace AlsGai-xAs/GaAs je nejvýznamnější strukturou pro přípravu běžných luminiscenčních diod (LED) a polovodičových laserů. Další polovodičové sloučeniny III-V různého složení a typu zakázaného pásu (přímý, nepřímý) jsou vyznačeny v diagramu mřížková konstanta — šířka zakázaného pásu na obr. 15.1-5. Kvaternární polovodiče Tyto sloučeniny jsou tvořeny dvěma prvky III. skupiny a dvěma prvky V. skupiny. Kvaternární polovodiče oproti ternárním polovodičům nabízejí více možností pro přípravu materiálů zadaných vlastností, protože poskytují další stupeň volnosti. Za příklad může posloužit kvaternární polovodič (Ini_ I Ga x )(Asi_ ! / P J / ), jehož zakázaný pás se mění mezi 0,36 eV (InAs) a 2,26 eV (GaP) tak, jak se mění molární zlomky x a y mezi 0 a 1. Stínovaná plocha v obr. 15.1-5 ukazuje oblasti Eg realizovatelné s použitím těchto sloučenin. Pro molární zlomky x a y, které vyhovují podmínce y = = 2,16(1 — x), (Ini_ I Ga x )(Asi_ ! / P ! ; ) je velice dobře mřížkou přizpůsoben ke GaP a proto je na něm běžně připravován. Tyto polovodiče se využívají k přípravě polovodičových laserů a detektorů. Sloučeniny obsahující prvky II. skupiny (např. Zn, Cd, Hg) a VI. skupiny periodické tabulky (např. S, Se, Te) vytvářejí rovněž užitečné polovodiče, zvláště pro oblast vlnových délek kratších než 0,5 /mi a delších než 5,0/^m jak je patrné z obr. 15.1-6. Například HgTe a CdTe jsou dobře mřížkově přizpůsobené, takže ternární polovodič Hg^Cdi-^Te je užitečným materiálem pro přípravu detektorů fotonů střední oblasti infračerveného spektra. Pro tuto oblast jsou také užívány sloučeniny typu IV-VI jako Pb x Sni_ a; Te a Pbi-Sni-^Se. Využívají se při nočním vidění, tepelném zobrazování a dlouhovlnných optických komunikacích. Dotované polovodiče Elektrické a optické vlastnosti polovodičů mohou být podstatně ovlivněny dotováním, tj. přidáním malého kontrolovaného množství speciálně vybraných příměsí, které změní koncentraci pohyblivých nosičů náboje v rozmezí až několika řádů. Nahrazením vlastních atomů v krystalové mříži atomy s přebytečnými valenčními elektrony (nazývanými donory) vznikne nadbytek pohyblivých elektronů; materiál se potom nazývá polovodič typu n. Tímto způsobem atomy z V. skupiny (např. P nebo As) nahrazující některé atomy ze IV. skupiny v elementárních polovodičích nebo atomy ze VI. skupiny (např. Se nebo Te) nahrazující některé atomy z V. skupiny v polovodičích typu III-V způsobí, že vznikne materiál typu n. Obdobně může být připraven materiál typu p užitím příměsových atomů s menším počtem valenčních elektronů. Takové příměsi nazýváme akceptory. Výsledkem je nadbytek děr. Nahrazením POLOVODIČE 10 5 b.b 1 '" Vlnová délka odpovídající zakázanému pásu \g (/jm) .5 2 1.5 1 .9.8 .7 .6 i li 11 i | i 1 1 1 iCdTe 621 .4 6.4 - HgTe •x; 6.2 ^ZnTe 6.0 _HgSe ^ ^ 5.8 ZnSe\ 5.6 - 1 1 0 1 1 2 3 Šířka zakázaného pásu EtJ (eV) Obrázek 15.1-6 Mřížkové konstanty, šířky zakázaných pásů a jiní odpovídající vlnové délky některých významných binárních sloučenin typu II-VI. některých atomů IV. skupiny v elementárních polovodičích atomy ze III. skupiny (např. B nebo In) nebo nahrazením některých atomů III. skupiny v binárních polovodičích typu III-V atomy ze II. skupiny (např. Zn nebo Cd) vede ke vzniku materiálu typu p. Atomy ze IV. skupiny se chovají jako donory ve III. skupině a jako akceptory v V. skupině, proto mohou způsobit vznik jak elektronů tak děr v materiálech typu III-V. Polovodiče, které nejsou dotovány (tj. vysoce čisté) se nazývají intrinsické (vlastní), kdežto dotované polovodiče se nazývají extrinsické (nevlastní). V intrinsickém polovodiči jsou koncentrace pohyblivých elektronů a děr totožné, n = p = = n,;, kde n.,; roste s teplotou exponenciálně. V polovodiči typu n je koncentrace pohyblivých elektronů (majoritní nosiče) mnohem větší než koncentrace děr (minoritní nosiče), tj. n ^> p. Opačně je tomu v polovodičích typu p, ve kterých jsou díry majoritními nosiči a p > n . Dotované polovodiče mají při pokojové teplotě koncentraci majoritních nosičů zhruba rovnou koncentraci dotujících příměsi. C. Koncentrace elektronů a děr Ke stanovení koncentrace nosičů (elektronů a děr) jako funkce energie je třeba znát: • Hustotu dovolených energetických hladin (hustotu stavů). • Pravděpodobnost obsazení každé z těchto hladin. 622 FOTONY V POLOVODIČÍCH Hustota stavů Kvantový stav elektronu v polovodičovém materiálu je charakterizován jeho energií £, jeho vlnovým vektorem k [jehož velikost zhruba souvisí s E podle vztahu (15.1-1) nebo (15.1-2)] a jeho spinem. Stav elektronu je popsán vlnovou funkcí vyhovující určitým okrajovým podmínkám. Elektron u dna vodivostního pásu lze přibližně popsat jako částici o hmotnosti mc uzavřenou do trojrozměrné krychlové krabice (o hraně d) s dokonale odrážejícími stěnami, tj. do trojrozměrné nekonečné pravoúhlé potenciálové jámy. Řešení ve tvaru stojaté vlny vyžaduje, aby složky vlnového vektoru k = (kx,ky,kz) nabývaly diskrétních hodnot k = (qiir/d,q2ft/d,q3ir/d), kde modová čísla qi, q?, q$ jsou kladná celá čísla. Tento výsledek je trojrozměrným zobecněním jednorozměrného případu diskutovaného ve cvičení 12.1-1. Koncový bod vektoru k musí ležet v bodech mříže, jejíž kubická jednotková buňka má rozměr n/d. V k-prostoru tedy připadá na jednotkový objem (d/n)3 bodů. Počet stavů, jejichž vlnové vektory mají velikost mezi 0 a k, je určen počtem bodů ležících uvnitř kladného oktantu koule o poloměru k [o objemu =s (|)47rfc3/3 = nk3/6]. V důsledku dvou možných hodnot spinu elektronu odpovídají každému bodu v k-prostoru dva stavy. V objemu d3 je tedy přibližně takových bodů 2(TTk3/'6)/U/d)3 = (k3/Z-K2)d3, čemuž odpovídá (k3/3n2) bodů v jednotce objemu. Z toho vyplývá, že počet stavů s vlnovým číslem elektronu mezi k a k + Ak připadajících na jednotkový objem je g(k)Ak = [(d/dA;)(A:3/37r2)] AA; = = (k2/yr2)Ak, takže pro hustotu stavů platí Hustota stavů (k) = —. e (15.1-3) Toto odvození je shodné s postupem, kterým jsme stanovili počty modů v trojrozměrném elektromagnetickém rezonátoru (viz odst. 9.1C). V případě elektromagnetických modů existují dva stupně volnosti spojené s polarizací pole (tj. dvě hodnoty spinu fotonu), kdežto v případě polovodiče existují dvě hodnoty spinu spojené se stavem elektronu. V rezonátorové optice se dovolená elektromagnetická řešení pro k převedou na dovolené frekvence pomocí lineárního vztahu mezi frekvencí a vlnovým číslem v = ck/2n. Na druhé straně ve fyzice polovodičů se dovolená řešení pro k převedou na dovolené energie pomocí kvadratických vztahů mezi energií a vlnovým číslem (15.1-1) a (15.1-2). Jestliže gc(E)AE představuje počet hladin ve vodivostním pásu ležících mezi E a £ + AE, potom v důsledku jednoznačného vztahu (15.1-1) mezi E a k, hustoty QC(E) a g{k) musí spolu souviset vztahem gc(E)dE = g(k)dk. Hustota dovolených stavů o energii £ ve vodivostním pásu je tedy gc{E) = g(k)/{dE/dk). Podobně hustota dovolených stavů ve valenčním pásuje g„(E) = g(k)/(dE/dk), kde £ je dáno vztahem (15.1-2). Užijeme-li kvadratické vztahy mezi £ a A: (15.1-1) a (15.1-2) platné blízko hran vodivostního a valenčního pásu pro výpočet derivace dE/dk,-dostaneme POLOVODIČE 623 (15.1-4) Hustota stavů u hran pásů (15.1-5) Odmocninova závislost se objeví následkem kvadratického vztahu mezi energií a vlnovým číslem pro elektrony a díry v blízkosti hran pásů. Závislost hustoty stavů na energii je znázorněna na obr. 15.1-7. Je nulová u hrany pásu, vzrůstá od této hodnoty a nárůst závisí na efektivní hmotnosti elektronů a děr. Hodnoty mc a m„ pro Si a GaAs uvedené v tabulce 15.1-1 jsou vlastně střední hodnoty vhodné pro výpočet hustoty stavů. Pravděpodobnost obsazení Jestliže se neuplatňují tepelné excitace (při T = OK), elektrony obsadí nejnižší možné energetické hladiny v souladu s Pauliho vylučovacím principem. Valenční pás je potom zcela zaplněn (neexistují žádné díry) a vodivostní pás je zcela prázdný (neobsahuje žádné elektrony). Při zvýšení teploty jsou některé elektrony excitovány, přeskočí z valenčního do vodivostního pásu a zanechají po sobě neobsazené stavy ve valenčním pásu (díry). Zákony statistické fyziky stanoví, že při teplotě T za podmínky tepelné rovnováhy je pravděpodobnost obsazení daného stavu o energii E elektronem dána Fermiho rozdělovači funkcí f(E) = Fermiho funkce exp[(E-Ef)/kBT}+ť (15.1-6) eAE) ta) Ib) Hustota stavů k) Obrázek 15.1-7 (a) Rez diagramem E — k (např. ve směru složky ki, kdy složky ki a &3 se nemění). (f>) Dovolené hladiny energií (pro všechna k). (c) Hustoty stavů u hran vodivostního a valenčního pásu. g,(E)dE je počet kvantových stavů s energií mezi E a E + dfř, připadajících na jednotkový objem ve vodivostním pasu. Q„ lze analogicky interpretovat pro valenční pás. 624 FOTONY V POLOVODIČÍCH kde kB je Boltzmannova konstanta (při T = 300 K, fcBT = 0,026 eV) a £/ je konstanta známá jako Fermiho energie nebo Fermiho hladina. Této funkci se také říká Fermiho-Diracovo rozdělení. Hladina energie £ je buď obsazena [s pravděpodobností /(£)] neboje prázdná [s pravděpodobností 1 — /(£)]. Pravděpodobnosti /(E) a 1 — /(£) závisí na energii £ v souladu s (15.1-6). Funkce f(E) sama o sobě nepředstavuje rozdělení pravděpodobnosti a její integrací nedostaneme jednotku; je spíše posloupností pravděpodobností obsazení za sebou jdoucích energetických hladin. Protože /(£/) = ÍJ při jakékoli teplotě T, Fermiho hladina představuje energetickou hladinu, pro kterou je pravděpodobnost obsazení 1/2 (jsou-li tam dovolené stavy). Fermiho funkce monotónně klesá s E (obr. 15.1-8). Při T = OK je /(£) = 0 pro E > Ef a £ = 1 pro £ < £/. Z toho je patrný význam Ef. odděluje od sebe obsazené a neobsazené stavy při T = OK. Jelikož /(£) je pravděpodobnost obsazení hladiny s energií £ elektronem, 1 — /(£) je pravděpodobnost, že tato hladina je prázdná, tj. že je obsazena dírou (jestliže £ leží ve valenčním pásu). Takže pro hladinu 0 energii £: /(£) = pravděpodobnost obsazení elektronem, 1 — /(£) = pravděpodobnost obsazení dírou (valenční pás). Tyto funkce jsou symetrické vzhledem k Fermiho hladině. Je-li £ - Ef > JfcBT, /(£) « exp[-(£ - Ef)/kBT], takže výběžek Fermiho funkce v oblasti vysokých energií zasahující do vodivostního pásu exponenciálně klesá s rostoucí energií. Fermiho funkce je potom úměrná Boltzmannovu rozdělení, které popisuje exponenciální závislost podílu atomů excitovaných na danou energetickou hladinu (viz odst. 12.1B). V důsledku symetrie, je-li £ < £/ a £/ — £ > k^T, 1 — /(£) w exp[—(£/ — E)/k#T]; tj. pravděpodobnost obsazení hladiny dírou ve va- T>0K 0 0.5 1 /(£) 0.5 1 /(£) Obrázek 15.1-8 Fermiho funkce f{E) je pravděpodobnost, že hladina o energii E je obsazena elektronem; 1 — f(E) je pravděpodobnost, že je prázdná. Ve valenčním pásu 1 — / ( £ ) je pravděpodobnost, že hladina o energii E je obsazena dírou. Při T = OK / ( £ ) = 1 pro £ < Eg a / ( £ ) = 0 pro £ > Ef, tj. žádné elektrony nejsou ve vodivostním pásu a žádné díry ve valenčním pásu. POLOVODIČE 625 y Ev >(£) Koncentrace nosičů Obrázek 15.1-9 Koncentrace elektronů TI(£) a děr p(E) jako funkce energie E v intrinsickém polovodiči. Celkové koncentrace elektronů a děr jsou n a p . lenčním pásu se exponenciálně zmenšuje, když energie klesá dostatečně hluboko pod Fermiho hladinu. Koncentrace nosičů při tepelné rovnováze Nechť n(£)AE je počet elektronů a p(£)A£ počet děr v jednotkovém objemu s energií mezi £ a £ +A£. Hustoty nosičů n(E) ap(£) získáme vynásobením hustoty stavů pro energetickou hladinu £ pravděpodobností obsazení hladiny elektronem nebo dírou, takže n(£) = gc(E)f(E), p(£) = <?,,(£)/[! - /(£)]. (15.1-7) Koncentrace (počet na jednotkový objem) elektronů ve vodivostním pásu n a děr ve valenčním pásu p obdržíme integrací p= " p(£)d£. (15.1-8) V intrinsickém (čistém) polovodiči při libovolné teplotě platí n = p, protože tepelnou excitací vždy vzniká pár elektron a díra. Fermiho hladina musí proto mít takovou hodnotu, aby n = p. Jestliže m„ = mc, funkce n(£) a p(£) jsou symetrické, Ef musí ležet přesně ve středu zakázaného pásu (obr. 15.1-9). Ve většině intrinsických polovodičů leží Fermiho hladina opravdu v blízkosti středu zakázaného pásu. Schéma pásové struktury, Fermiho funkce a rovnovážné koncentrace elektronů a děr pro dopovaný polovodič typu n je na obr. 15.1-10 a pro dopovaný polovodič typu p na obr. 15.1-11. Nadbytečné elektrony donorů leží na hladině £D, která se nachází těsně pod dnem yodivostního pásu, do kterého mohou snadno přejít. Je-li například ED = 0,01 eV, bude při pokojové teplotě (knT = 0,026 eV) většina elektronů tepelně vybuzena do vodivostního pásu. V důsledku tohoto přerozdělení elektronů se Fermiho hladina [na které /(£/) = | ] posune nad střed zakázaného pásu. V polovodičích typu p leží akceptorová hladina ve vzdálenosti £4 nad vrcholem valenčního 626 FOTONY V POLOVODIČÍCH Donorová hladina Koncentrace nosičů Obrázek 15.1-10 Schéma pásové struktury, Fermiho funkce / ( £ ) a koncentrace pohyblivých elektronů n(£) a děr p(E) v polovodiči typu n. E, i Akceptorová hladina Koncentrace Obrázek 15.1-11 Schéma pásové struktury, Fermiho funkce /(E) a koncentrace pohyblivých elektronů n(F) a děr p(E) v polovodiči typu p. pásu, takže Fermiho hladina se nachází pod středem zakázaného pásu. Naše pozornost je zaměřena na pohyblivé nosiče v dotovaném polovodiči. Tyto materiály jsou samozřejmě elektricky neutrální, což je zajištěno rovnováhou mezi pohyblivými nosiči náboje a nepohyblivými ionizovanými akceptory a donory, takže podmínka elektrické neutrality je tvaru u + NA = P 4- No- NA a Nr> jsou koncentrace ionizovaných akceptorů a donorů. Cvičení 15.1-1 Aproximace Fermiho funkce exponenciálou. Pro E-Ef > kBT je možno Fermiho funkci f(E) aproximovat exponenciální funkcí. Obdobně pro Ej — E 3> A:rjT může být exponenciální funkcí aproximována funkce 1 — f(E). Tyto podmínky jsou splněny, když Fermiho hladina leží uvnitř POLOVODIČE 627 zakázaného pásu nejméně ve vzdálenosti několika hodnot kBT od hran pásů (při pokojové teplotě kBT « 0,026 eV a Eg = 1,11 eV v Si a 1,42 eV v GaAs). Použitím těchto aproximací, které jsou platné jak pro intrinsický tak extrinsický polovodič, ukažte, že z (15.1-8) dostaneme kde Wc = 2{2-KmckBT/h2fl2 a Nv = 2(2Trni,,kBT/h2)3/2. Jestliže Ef je těsně u vodivostního pásu a mc = mv, ověřte, že u > p. Je-li naopak E/ blízko u valenčního pásu, ukažte, že p > n. Zákon působení hmotnosti Z rovnice (15.1-10a) je patrné, že součin (mcm„)3'2 exp ( --£=) (15.1-10b) nezávisí na poloze Fermiho hladiny Ef uvnitř zakázaného pásu ani na poloze příměsových hladin za předpokladu, že platí aproximace Fermiho funkce exponenciálou. Konstantní součin koncentrací se nazývá zákon působení hmotnosti. Pro intrinsický polovodič n = p = n,;. Kombinací tohoto vztahu a (15.1-10a) dostaneme Intrinsicka koncentrace nosicu ^ (/v w } i/2 e (_ ^ x ^ ) v n l -T ' (15.1-11) v ' odkud je patrné, že intrinsicka koncentrace elektronů a děr roste s teplotou exponenciálně. Zákon působení hmotnosti můžeme přepsat do tvaru Zákon působení hmotnosti np = (15.1-12) Hodnoty n.,; pro různé materiály nejsou stejné v důsledku rozdílných šířek zakázaných pásů a různých efektivních hmotností. Pro Si a GaAs jsou hodnoty intrinsické koncentrace nosičů při 300 K uvedeny v tabulce 15.1-4. Zákon působení hmotnosti je výhodný pro stanovení koncentrací elektronů a děr v dotovaných polovodičích. Uvažme např. slabě dotovaný materiál typu n s koncentrací elektronů n přibližně rovnou koncentraci Njr,. Užitím zákona působení hmotnosti je možno stanovit koncentraci děr p = nj/No. Známe-li n a p, můžeme stanovit Fermiho hladinu pomocí (15.1-8). Pokud Fermiho hladina leží uvnitř zakázaného pásu 628 FOTONY V POLOVODIČÍCH Tabulka 15.1-4 Intrinsické koncentrace v Si a GaAs při T = 300 K° 3 n, (cm" ) Si GaAs 10 1,5 x 10 6 1,8 x 10 "Dosazením hodnot mc a mv z tabulky 15.1-1 a hodnot Eg z tabulky 15.1-3 do vztahu (15.1-11) neobdržíme přesně hodnoty n^ uvedené zde, protože vztah (15.1-11) je pouze přibližný. ve vzdálenosti nejméně několika k&T od hran pásů, můžeme k jejímu přímému určení použít přibližný vztah (15.1-9). Jestliže Fermiho hladina leží uvnitř vodivostního (nebo valeiičního) pásu, materiál je označován jako degenerovaný polovodič. V tomto případě aproximace Fermiho funkce exponenciálou není možná, takže np ^ nf. Koncentrace nosičů se v tomto případě musí stanovit numericky. Jestliže je polovodič silně dotován, příměsová hladina se rozšíří v příměsový pás, který se může vnořit do vodivostního (valenčního) pásu a vznikne tak výběžek pásu. Toto vede ke zmenšení efektivní šířky zakázaného pásu. Kvazirovnovážná koncentrace nosičů Pravděpodobnosti obsazení hladin a koncentrace nosičů uváděné v předchozích odstavcích platí pouze pro polovodič, který je v tepelné rovnováze. Když se poruší tepelná rovnováha, přestávají platit. Nicméně existují situace, při kterých jsou elektrony ve vodivostním pásu v tepelné rovnováze samy mezi sebou a stejně tak díry ve valenčním pásu, ale elektrony a díry nejsou ve vzájemné tepelné rovnováze. K takové situaci může např. dojít, když vnějším elektrickým proudem nebo tokem Koncentrace nosičů Obrázek 15.1-12 Polovodič v kvazirovnováze. Pravděpodobnost obsazení vybrané energetické hladiny E ve vodivostním pásu elektronem je dána Fermiho funkcí /<;(£), ve které vystupuje Fermiho hladina Ejc. Pravděpodobnost obsazení vybrané energetické hladiny E ve valenčním pásu dírou je dána funkcí 1 —/„(£), ve které vystupuje Fermiho hladina Ej„. u(£) a p(E) jsou koncentrace elektronů a děr. Obě mohou být velké. POLOVODIČE 629 fotonů dochází s velikou rychlostí k mezipásovým přechodům, takže se nestačí ustavit rovnováha mezi pásy. Tato situace, známá jako kvazirovnováha, nastává, jestliže relaxační doby pro přechody uvnitř každého pásu jsou mnohem kratší než relaxační 12 doba přechodů mezi dvěma pásy. Běžně bývá relaxační doba uvnitř pásu < 10~ s, 9 zatímco pro zářivou rekombinaci elektronu s dírou je relaxační doba w 10~ s. Za takových podmínek je vhodné užít Fermiho funkci odděleně pro každý pás; Fermiho hladiny pro vodivostní pás £/ c a pro valenční pás £/„ se nazývají kvaziFermiho hladinami (obr. 15.1-12). Leží-li Efc uvnitř vodivostního pásu a E/„ uvnitř valenčního, mohou být koncentrace jak elektronů tak děr velmi velké. Cvičení 15.1-2 Určení kvazi-Fermiho hladin ze známé koncentrace elektronů a děr a) Je známa koncentrace elektronů n a děr p v polovodiči při T = OK. Užitím (15.1-7) a (15.1-8) ukažte, že pro kvazi-Fermiho hladiny platí b) Přesvědčte se, že tyto vztahy přibližně platí při libovolné ,teplotě T, jestliže n a p jsou tak velké, že £/ c — Ec 3> k^T a E„ - E/v » k&T, tj. jestliže kvazi-Fermiho hladiny leží hluboko ve vodivostním a valenčním pásu. D. Generování, rekombinace a injekce Generování a rekombinace při tepelné rovnováze Tepelná excitace elektronů z valenčního do vodivostního pásu vede ke generování párů elektron-díra (obr. 15.1-13). Při tepelné rovnováze musí být proces generování Rekombinace Obrázek 15.1-13 Generování a rekombinace páru elektron a díra. 630 FOTONY V POLOVODIČÍCH současně doprovázen opačným procesem. Opačný proces nazýváme rekombinace elektronu a díry a dochází při něm k přechodu elektronu z vodivostního pásu do valenčního, kde se zaplní díra (obr. 15.1-13). Energie uvolněná tímto přechodem může vést k emisi fotonu a potom tento proces nazýváme zářivá rekombinace. Může však dojít i k nezářivé rekombinaci prostřednictvím řady nezávislých, současně probíhajících procesů, kdy dochází k předání energie kmitům mříže (vzniká jeden nebo více fononů) nebo jinému volnému elektronu (Augerova rekombinace). Rekombinace může rovněž probíhat nepřímo přes rekombinační centra a pasti. Uvnitř zakázaného pásu leží totiž hladiny spojené s poruchami mříže, jakými jsou hluboké cizí příměsi, bodové poruchy, dislokace a hranice zrn. Příměsi a defekty se mohou uplatnit buď jako rekombinační centra, jestliže jsou schopné stejně zachycovat jak elektrony tak díry, nebo pasti, jestliže zachycení jednoho typu nosičů je pravděpodobnější (obr. 15.1-14). Nepřímá rekombinace může být jak zářivá tak nezářivá. Protože rekombinačního procesu se účastní společně elektrony a díry, je rychlost rekombinace úměrná součinu koncentrací elektronů a děr rychlost rekombinace = rnp, (15.1-14) kde r (cm3/s) je parametr elektron-děrové rekombinace, který závisí na charakteristikách materiálu včetně jeho složení a defektů a na teplotě; relativně slabě závisí na dotování. Když rychlosti generování a rekombinace jsou v rovnováze, ustaví se rovnovážná koncentrace elektronů no a děr po- V ustáleném stavu musí být rychlost rekombinace rovna rychlosti generování. Jestliže Go je rychlost tepelného generování párů elektrondíra při dané teplotě, potom v tepelné rovnováze je Součin koncentrací elektronů a děr noPo = GQ/T je přibližně stejný, ať je materiál typu n, p či intrinsický. Takto nj = GQ/T vede přímo k zákonu působení hmotnosti no Po = TI? . Na tento zákon lze pohlížet jako na důsledek rovnováhy mezi generováním a rekombinaci nosičů při tepelné rovnováze. Obrázek 15.1-14 Rekombinace elektronu a díry přes poruchové centrum ležící hluboko uvnitř zakázaného pásu. POLOVODIČE 631 Injekce elektronů a děr. Polovodič v tepelné rovnováze s koncentracemi nosičů no a po má stejné rychlosti generování a rekombinace GQ = ruoPo- Nechť dojde k dodatečnému generování párů elektronu a díry ustálenou rychlostí R (počet párů na jednotkový objem za jednotkový čas) nějakým vnějším injekčním (netepelným) mechanismem. Potom se ustaví nový ustálený stav s koncentracemi nosičů n = no + An a p = po + Ap. Samozřejmě An = Ap, protože elektrony a díry jsou generovány v párech. Porovnáním nových vztahů pro rychlost generování a rekombinace dostaneme Go + R = mp. (15.1-15) Dosazení Go = rnoPo do (15.1-15) vede ke vztahu 2 R = r(np - n o po) = r(u 0 An + p 0 An + An ) = rAn(n 0 + Po + An), který můžeme přepsat do tvaru (15.1-16) /?=—, kde T —^ = f 7 Z-T- (15.1-17) r[(n o -f p o ) + A n ] Pro takové injekční rychlosti, při kterých An < % + po, Rekombinačni doba života nadbytečných nosičů 1 . r(n ° + Po) .. (15.1-18) V materiálu typu n, ve kterém n 0 > po, je rekombinačni doba života T SS l/rn 0 nepřímo úměrná koncentraci elektronů. Podobně pro materiál typu p, ve kterém po >• no, dostaneme r « 1/rpo. Takováto jednoduchá formulace problému není možná, jestliže se při rekombinaci podstatným způsobem uplatňují pasťové hladiny. Parametr r je možno považovat za rekombinačni dobu života nadbytečných injektovaných párů elektronů a děr. Toto je hned pochopitelné, uvědomíme-Ii si, že koncentrace injektovaných nosičů se řídí rychlostní rovnicí d(An) _ dí p An r ' která je podobná (13.2-2). V ustáleném stavu, kdy d(An)/dí = 0, platí vztah (15.1-16), který je obdobou vztahu (13.2-10). Jestliže v čase íy je najednou vypnut zdroj injektující nosiče (R klesne na nulu), potom An exponenciálně klesá s časovou konstantou r, tj. Ati(ť) = An(ío)exp[—(t - <O)/T]. Na druhé straně při silné injekci je r samo o sobě závislé na An, jak je zřejmé z (15.1-17), takže rychlostní rovnice je nelineární a pokles An již není exponenciální. 632 FOTONY V POLOVODIČÍCH Jestliže známe rychlost injekce R, můžeme určit ustálenou koncentraci injektovaných nosičů pomocí (15.1-19) A n = RT a následně stanovit celkové koncentrace nosičů n = Ro+An a p = p o +An. V případě kvazirovnováhy lze dále ke stanovení kvazi-Fermiho hladin užít vztah (15.1-8). Kvazirovnováha není v rozporu s vyrovnanými procesy generování a rekombinace, které jsme předpokládali výše; pouze vyžaduje, aby časy nutné pro ustavení rovnováhy uvnitř pásu byly kratší oproti rekombinační době r. Tento způsob rozboru problému bude užitečný pro popis polovodičových luminiscenčních diod a polovodičových laserových diod, jejichž funkce je založena na zvýšené emisi světla injekcí nosičů (viz kapitola 16). Cvičení 15.1-3 Injekce párů elektron-díra v GaAs. Předpokládejme, že páry elektron a díra jsou injektovány do GaAs typu n (Eg « 1,42 eV, mc ~ O,O7mo, mv as 0,5m0) rychlostí R = 1023 ( c m " 3 - s " ' ) . Koncentrace elektronů při tepelné rovnováze je n 0 = 101Gcm~3. Jestliže rekombinační parametr r = 1CT11 cm3/s a T = 300 K, určete: a) rovnovážnou koncentraci děr po, b) rekombinační dobu života T, c) ustálenou koncentraci nadbytečných nosičů Au, d) vzdálenost mezi kvazi-Fermiho hladinami Ejc — E/„ za předpokladu, že Vnitřní kvantová účinnost Vnitřní kvantová účinnost T|.; je v polovodičovém materiálu definována jako poměr rychlosti zářivé rekombinace elektronů a děr k celkové (zářivé i nezářivé) rychlosti rekombinace. Tento parametr je důležitý, protože určuje účinnost generování světla v polovodičových materiálech. Celková rychlost rekombinace je dána (15.1-14). Jestliže parametr r je možno rozdělit na zářivou a nezářivou část r = r,. + r.„,., pro vnitřní kvantovou účinnost platí * = T = dr^- (151 20) - Vnitřní kvantovou účinnost lze také vyjádřit pomocí rekombinačních dob života r, které jsou nepřímo úměrné r [viz (15.1-18)]. Zavedeme-li doby života při zářivé a nezářivé rekombinaci jako r,. a T,„. , můžeme psát i = - +—. T Tr T„.r (15.1-21) POLOVODIČE Vnitřní kvantová účinnost je potom T,./T = (1/TT)/(1/T), T Tli = r— Vnitřní kvantová účinnost r = 633 nebo-li Tnr (15.1-22) TT + rnr Doba života při zářivé rekombinaci je určena rychlostmi absorpce a emise fotonů, jak ukážeme v odst. 15.2B. Její hodnota závisí na koncentraci nosičů a materiálovém parametru r,.. Při nízkých a středních rychlostech injekce 7 r (15.1-23) , Tv(n o +po) v souhlase s (15.1-18). Doba života při nezářivé rekombinaci má podobnou závislost. Jestliže však nezářivá rekombinace probíhá přes poruchy uvnitř zakázaného pásu, potom hodnota r„, je citlivější na koncentraci těchto poruch než na koncentraci elektronů a děr. Přibližné hodnoty rychlostí rekombinace a dob života v Si a GaAs jsou uvedeny v tabulce 15.1-5. Hodnoty pro r r a r,. byly stanoveny pro materiál typu n s koncentrací 17 3 15 3 nosičů 10 cm~ při 300K a r„, pro materiál s koncentrací poruch 10 cm~ . Všechny hodnoty jsou uvedeny s řádovou přesností. V Si je doba života při zářivé rekombinaci o několik řádů větší než celková doba života, protože Si má nepřímý zakázaný pás. To vede k malé hodnotě vnitřní kvantové účinnosti. Na druhé straně se v GaAs více uplatňují zářivé přechody (GaAs má přímý zakázaný pás) a vnitřní kvantová účinnost je tudíž velká. GaAs a další materiály s přímým zakázaným pásem jsou proto vhodné pro přípravu struktur emitujících záření na rozdíl od Si a dalších materiálů s nepřímým zakázaným pásem. E. Přechody Přechody mezi různě dotovanými oblastmi téhož polovodičového materiálu se nazývají homopřechody. Důležitým příkladem je přechod p — n, který probereme nejdříve. O přechodech mezi různými polovodičovými materiály, které se nazývají heteropřechody, pojednáme později. Tabulka 15.1-5 Přibližné hodnoty rychlostí zářivé rekombinace r>, rekombinačních dob života a vnitřních kvantových účinností T)v v Si a GaAs." 3 r, (cm /s) Si GaAs 15 10" ll1 10" T,. 10 ras 100 ns T,,,. T T^ 100 ns 100 ns 100 ns 50 ns ÍO"0 0,5 "Za podmínky, kdy dotování, teplota a koncentrace poruch jsou specifikovány v textu. 634 FOTONY V POLOVODIČÍCH Typ p c o Typ n J3 . "Sb E Ol 11 mm Poloha Obrázek 15.1-15 Energetické hladiny a koncentrace nosičů v navzájem oddělených polovodičích typu p a typu n. Přechod p-n Přechod p—n je liomopřechod mezi polovodičem typu p a typu n. Chová se jako dioda, která může v elektronice sloužit jako usměrňovač, logická propust, regulátor napětí (Zenerova dioda) či varaktorová dioda v mikrovlnných obvodech; v optoelektronice jako luminiscenční dioda (LED), laserová dioda, fotodetektor a sluneční článek. Přechod p — n se skládá z oblastí typu p a n vytvořených ve stejném monolitním polovodičovém materiálu. Nejprve si představme obě oblasti odděleně (obr. 15.1-15). Oblast typu p má dostatek pohyblivých děr (majoritní nosiče) a mnohem méně pohyblivých elektronů (minoritní nosiče); oblast typu n má naopak dostatek pohyblivých elektronů a mnohem méně děr. Oba typy nosičů proudu vykonávají nepřetržitě ve všech směrech neuspořádaný tepelný pohyb. Jestliže přivedeme obě tyto oblasti do kontaktu (obr. 15.1-16), v materiálu dojde postupně k vytváření nového stavu: • Elektrony a díry difundují z míst o vysoké koncentraci do míst s nízkou koncentrací. Elektrony tedy difundují z oblasti typu n do oblasti typu p a zanechávají po sobě kladně nabité nepohyblivé donory. V oblasti typu p rekombinují s dírami. Obdobně díry difundují z oblasti typu p do oblasti typu n a zanechají po sobě záporně nabité nepohyblivé akceptory. V oblasti typu n rekombinují s elektrony. Tento difuzní proces nemůže pokračovat neomezeně, protože dochází k porušení nábojové rovnováhy v těchto dvou oblastech. • Výsledkem je vytvoření úzké oblasti na obou stranách přechodu, která je silně ochuzena o pohyblivé nosiče náboje. Tato oblast se nazývá ochuzená vrstva a obsahuje pouze nepohyblivé náboje (kladné donory na straně typu n a záporné akceptory na straně typu p). Tloušťka ochuzené vrstvy je v každé oblasti nepřímo úměrná koncentraci dotujících příměsí. POLOVODIČE 635 -Ochuzená vrstvaP -Z- v; Elektrické pole LU Obrázek 15.1-16 Přechod p — n v tepelné rovnováze při T > 0 K. Ochuzená vrstva, energetické pásové schéma a koncentrace (v logaritmickém měřítku) pohyblivých elektronů n(x) a děr p(z) jako funkce polohy x. Difuznímu napětí VQ odpovídá energie eVb, kde e je velikost náboje elektronu. • Nepohyblivé náboje vytvářejí v ochuzené vrstvě elektrické pole, směřující z oblasti n do oblasti p. Toto vnitrní pole zablokuje difúzi dalších pohyblivých nosičů přes přechod. • Ustavení rovnovážných podmínek vede k vytvoření výsledného potenciálového rozdílu Vo mezi dvěma stranami ochuzené oblasti, přičemž strana n má vyšší potenciál než strana p. • Vnitřní potenciál Vo (též nazývaný difuzní potenciál) způsobí, že elektrony na straně n mají nižší potenciální energii než elektrony na straně p. Výsledkem je zahnutí energetických pásů, které je patrné z obr. 15.1-16. V tepelné rovnováze existuje pouze jedna Fermiho funkce pro celou strukturu, takže Fermiho hladiny v oblasti p a oblasti n se musí navzájem vyrovnat. • Přechodem neteče žádný výsledný proud. Difuzní a driftové proudy se navzájem vykompenzují nezávisle pro elektrony a pro díry. Přechod s přiloženým napětím Potenciálový rozdíl mezi oblastmi typu p a typu n je možno měnit přiložením vnějšího potenciálu. Jeho změnou bude ovlivněn tok majoritních nosičů, takže přechod lze použít jako „hradlo". Přiložíme-li na přechod napětí v přímém směru, tj. kladné napětí V na straně p (obr. 15.1-17), vzroste potenciál na straně n, takže vytvoříme elektrické pole působící proti vnitřnímu poli. Přítomnost vnějšího elektrického pole způsobí odchylku od rovnovážného stavu a poruší se vyrovnám' Fermiho hladin v oblasti p a v oblasti n. Dvě Fermiho hladiny £/,. a Efv V ochuzené vrstvě potom odpovídají kvazirovnovážnému stavu. 636 FOTONY V POLOVODIČÍCH Ji v v. Š? LU n m Nadbytečné elektrony M_ Nadbytečné díry Obrázek 15.1-17 Energetické pásové schéma a koncentrace nosičů v přechodu p — n zapojeném v přímém směru. Výsledkem zapojení přechodu v přímém směru je snížení potenciálového schodu o hodnotu eV. Proud majoritních nosičů se zvýší s exponenciálním faktorem exp(eV/kjjT), takže výsledný proud i = isexp(eV/kBT) — i„, kde i, je konstanta. Nadbytečné majoritní díry, které vstupují do oblasti n, a nadbytečné majoritní elektrony, které vstupují do oblasti p, se tam stávají minoritními nosiči a postupně rekombinují s majoritními. Jejich koncentrace proto klesá se vzdáleností od přechodu, jak je patrné z obr. 15.1-17. Tento proces se nazývá injekce minoritních nosičů. Jestliže na přechod p — n je přiloženo napětí V ve zpětném směru, tj. záporné napětí na straně p a kladné na straně n, výška potenciálového schodu vzroste o hodnotu eV, čímž je omezen tok majoritních nosičů. Odpovídající proud pak obsahuje člen exp(eV/k^T), kde V je záporné; tj. proud se sníží. Pro výsledný proud platí i = i., exp(eV/fcriT) — i,, takže ve zpětném směru protéká jen malý proud velikosti ss i„, je-li | F | > kBT/e. Přechod p — n se tedy chová jako dioda s voltampérovou (i —V) charakteristikou Ideální charakteristika diody (15.1-24) jak je zřejmé z obr. 15.1-18. Informace o odezvě přechodu p - n n a přiložené střídavé napětí můžeme získat řešením soustavy diferenciálních rovnic popisujících procesy difúze elektronů a děr, jejich driftu (vlivem vnitřního a vnějšího elektrického pole) a rekombinace. Tyto procesy jsou důležité pro určení spínacích vlastností diody, tj. rychlosti, s níž může dioda pracovat. Modelově lze tuto situaci obvykle vystihnout pomocí náhradního schématu diody, ve kterém jsou k ideální diodě paralelně připojeny dvě kapacity: POLOVODIČE 637 i / 's 1 \ (a) Ib) 0 0 v (c) Obrázek 15.1-18 (a) Napětí a proud v přechodu p — n. (b) Schematické znázornění obvodu s diodou p — n. (c) Ideální voltampérová charakteristika diody s přechodem p — n. kapacita přechodu a difuzní kapacita. Pro stanovení času potřebného ke změně nepohyblivých kladných a záporných nábojů uložených v ochuzené vrstvě vlivem změn přiloženého napětí je rozhodující kapacita přechodu. Pro tloušťku I ochuzené vrstvy vychází, že je přímo úměrná (Vó — V) 1 / 2 ; narůstá při napětí přiloženém ve zpětném směru (záporné V) a klesá při napětí přiloženém v přímém směru (kladné V). Kapacita přechodu C = eA/l (kde A je plocha přechodu) je proto nepřímo úměrná (Ko - V) 1 / 2 . Kapacita přechodu diody zapojené ve zpětném směru je menší (a doba odezvy RC je tedy kratší) než pro diodu zapojenou v přímém směru. Závislosti C na V se využívá k přípravě napěťově řízených kondenzátorů (varaktorů). Injekci minoritních nosičů v diodě zapojené v přímém směru lze popsat pomocí difuzní kapacity, která závisí na době života minoritních nosičů a na proudu protékajícím diodou. Dioda s přechodem p-i-n Dioda s přechodem p — i — n (obr. 15.1-19) je připravována tak, že mezi oblastí p a oblastí n se vytvoří vrstva intriusického (nebo lehce dotovaného) polovodiče. V důsledku toho na každé straně přechodu dojde k rozšíření ochuzené vrstvy o vzdálenost, která je nepřímo úměrná koncentraci dotujících příměsí. Ochuzená oblast přechodu p — i proniká hluboko do oblasti i. Stejně tak ochuzená vrstva přechodu i — n se značně rozšíří do oblasti i. Výsledkem je, že dioda p — i — n se chová jako přechod p — ns ochuzenou vrstvou zahrnující veškerou intrinsickou oblast. Energie elektronu, hustota nepohyblivých nábojů a elektrické pole v diodě p — i — n při tepelné rovnováze jsou patrné z obr. 15.1-19. Jedna z výhod užití diod s tlustou ochuzenou vrstvou spočívá v malé kapacitě přechodu a tedy rychlé odezvě. Z těchto důvodů jsou jako polovodičové fotodiody výhodnější diody p — i — n oproti diodám p — n. Tlustá ochuzená vrstva rovněž umožňuje zachycení větší části dopadajícího záření, tedy vzrůst fotodetekční účinnosti (viz odst. 17.3B). F. Heteropřechody Přechody mezi různými polovodičovými materiály se nazývají heteropřechody. Jejich vývoj byl umožněn užitím moderních metod pěstování tenkých polovodičových 638 FOTONY V POLOVODIČÍCH Ochuzená vrstva 1 1 1 1 1 o. í + n Elektrické pole Energie elektronu Hustota nepohyblivých nábojů Hodnota elektrického pole u / R \ X , X Obrázek 15.1-19 Energie elektronu, hustota fixních nábojů a velikost intenzity elektrického pole v diodě p — i — n při tepelné rovnováze. vrstev. Heteropřechody se užívají v moderních tranzistorech bipolárních a unipolárních (FET — field-effect transistor) a v optických zdrojích a detektorech. Poskytují rozsáhlé možnosti ke zlepšení a zdokonalení elektronických a optoelektronických prvků. Zvláště ve fotonice může být vrstvení různých polovodičových materiálů na sebe výhodné z několika důvodů: • Na přechodech mezi materiály s různými zakázanými pásy vznikají lokalizované skoky v energetickém pásovém schématu. Bariéry vytvořené nespojitostmi v průběhu potenciální energie zabraňují vstupu buď elektronů nebo děr do určitých vymezených oblastí. Této vlastnosti se využívá např. v přechodu p — n ke snížení podílu minoritních nosičů na proudu a tím ke zvýšení injekční účinnosti (viz obr. 15.1-20). • Nespojitosti v energetickém pásovém schématu vytvořené dvěma heteropřechody mohou být využity k uzavření nosičů náboje v požadovaném prostoru. Např. vrstva materiálu s úzkým zakázaným pásem může být umístěna mezi dvě vrstvy materiálu s širokým zakázaným pásem, jak je patrné ze struktury p — p — n (složené z heteropřechodu p - p a heteropřechodu p - n) na obr. 15.1-20. Tato dvojitá heterostruktura je účinně využívána při přípravě laserových diod jak vysvětlíme v odst. 16.3. • Heteropřechody jsou výhodné pro vytváření nespojitosti v energetickém pásovém schématu, které v určitých oblastech prostoru urychlují nosiče. Dodatečná kinetická energie, která je naráz předána nosiči, může být využita k výraznému zvýšení pravděpodobnosti nárazové ionizace ve vícevrstvé lavinové fotodiodě (viz odst. 17.4A). • Polovodiče s různým typem zakázaného pásu (přímý a nepřímý) mohou být v některých prvcích využity k vymezení oblastí, kde dochází k emisi světla. Pouze POLOVODIČE 6 3 9 p 3 C o p '//////////////. n V////////////, v LU V/////////////, '///////////S, Obrázek 15.1-20 Dvojitá heterostruktura p—p — n. Střední vrstva má užší zakázaný pás oproti vnějším vrstvám. Při rovnováze se Fermiho hladiny navzájem vyrovnají, takže hrana vodivostního pásu ostře poklesne v přechodu p - p a v přechodu p — n ostře poklesne hrana valenčního pásu. Parametrem charakterizujícím heterostrukturu je poměr rozdílu energií vodivostních pásů k rozdílu energií valenčních pásů (v angličtině označovaný jako band offset). Když je prvek zapojen v přímém směru, tyto skoky působí jako bariéry, které uzavřou injektované minoritní nosiče. Např. elektronům Ínjektovaným z oblasti n je zabráněno difundovat za bariéru u přechodu p — p. Podobně dírám Ínjektovaným z oblasti p není umožněno difundovat za bariéru u přechodu p — n. Tato dvojitá heterostruktura tudíž nutí elektrony a díry obsadit úzkou společnou oblast. To je podstatné pro účinnost injekčních laserových diod (viz odst. 16.2 a 16.3). polovodiče s přímým zakázaným pásem mohou účinně emitovat světlo (viz odst. 15.2). Polovodiče lišící se šířkou zakázaného pásu mohou být využity k výběru oblastí ve struktuře jednoho prvku, ve kterých bude docházet k absorpci světla. Polovodičové materiály, jejichž zakázaný pás je větší než energie dopadajících fotonů, budou průhledné a působí jako „okno". Heteropřechody z materiálů s různými indexy lomu mohou být využity k vytvoření optických vlnovodů, které vážou a řídí pohyb fotonů. 640 *G. FOTONY V POLOVODIČÍCH Kvantové jámy a supermřížky Heterostruktury složené z tenkých vrstev polovodičových materiálů se připravují epitaxními technologiemi, tj. mřížkově přizpůsobená vrstva jednoho polovodičového materiálu se připraví na jiném materiálu pomocí technik jako jsou epitaxe z molekulárních svazků (MBE — molecular-beam epitaxy), epitaxe z kapalné fáze (LPE liquid-phase epitaxy) a epitaxe z plynné fáze (VPE — vapor-phase epitaxy), jejíž variantou je nanášení vrstev z metaloorganických komponent (MOCVD — metal-organic chemical vapor deposition). MBE užívá molekulárních svazků prvků, které dopadají na vhodně připravený substrát v ultravysokém vakuu, LPE využívá chlazení taveniny, která je ve styku s podložkou a při MOCVD jsou zaváděny do růstového reaktoru plyny. Při MBE je složení a dopování jednotlivých vrstev určováno a ovlivňováno rychlostí dopadajících molekul a teplotou na povrchu podložky. Vrstvy mohou být tvořené dokonce jedinou atomovou rovinou. Jestliže tloušťka vrstvy je srovnatelná nebo je menší než de Broglieova vlnová délka termalizovaných elektronů (tj. elektronů v pásu při tepelné rovnováze, např. v GaAs je de Broglieova vlnová délka ~ 50nm), nelze dále používat vztah mezi energií a hybností platný pro objemové krystaly. Podstatné výhody při aplikacích ve fotonice přinášejí tři typy struktur: kvantové jámy, kvantové dráty a kvantové tečky. Odpovídající vztahy mezi energií a hybností budou pro tyto struktury odvozeny v následujícím textu. Jejich aplikace jsou uvedeny v dalších kapitolách (viz odst. 16.3B a 17.4A). Kvantové jámy Kvantová jáma je vlastně dvojitý heteropřechod, jehož strukturu vytváří ultratenká (< 50 nm) vrstva polovodičového materiálu se zakázaným pásem menším než jaký má materiál, který ji obklopuje (obr. 15.1-21). Jako příklad může sloužit tenká vrstva GaAs obklopená AlGaAs (viz obr. 12.1-8). Toto uspořádání (sendvič) vede ve vodivostním a valenčním pásu k vytvoření pravoúhlých potenciálových jam, uvnitř kterých jsou uzavřeny elektrony a díry: elektrony v jámách vodivostního pásu a díry v jámách valenčního pásu. Dostatečně hlubokou potenciálovou jámu můžeme aproximovat jámou nekonečně hlubokou (viz obr. 12.1-9). Energetické hladiny E,, částice o hmotnosti m (mc pro elektrony a mv pro díry) uzavřené do jednorozměrné pravoúhlé jámy o šířce d jsou určeny řešením časově nezávislé Schródingerovy rovnice. Ze cvičení 12.1-1 vychází E , , , , , , M Jako příklad uvedeme dovolené hladiny energie elektronů v nekonečně hluboké GaAs jámě (mc = 0,07mo) o šířce d = 10 nm, které nabývají hodnot Eq = 54, 216, 486, ... meV. Připomeňme, že při T = 300 K je k^T = 26meV. Menší šířka jámy vede k většímu odstupu mezi hladinami. Ve struktuře představující kvantovou jámu na obr. 15.1-21 jsou elektrony (a díry) omezeny ve směru osy a; na pohyb uvnitř úseku o délce d\ (šířka jámy). Přitom se POLOVODIČE 641 Objemový krystal (c) (b) (a) Obrázek 15.1-21 (a) Geometrické uspořádání struktury kvantové jámy. (í>) Schéma energetických hladin pro elektrony a díry v kvantové jámě. (c) Závislost energie E na k v rovině /c2 — £3. Energie podpášu jsou označeny jejich kvantovým číslem q\ = 1, 2, .... Vztahu mezi E a t pro objemový polovodič odpovídají čárkované křivky. mohou volně šířit v rovině kolmé k ose x (c^, dz ~S> d\). Takže v rovině y — z se chovají jako by byly v objemovém polovodiči. Vztah mezi energií a hybností je tvaru 2m c 2m,. 2m c kde k\ = qin/di, k2 = q^K / d2, &3 = q^-n/dz a 91, 92, 93 = 1, 2, .... Jelikož </i <C < c/2, c/3, nabývá fci diskrétních od sebe dobře oddělených hodnot, kdežto diskrétní hodnoty k2 a £3 leží těsně u sebe a je možno na ně pohlížet jako na kontinuum. To znamená, že vztah mezi energií a hybností je E=EC n2k2 2mc' = l, 2, 3, (15.1-26) kde k je velikost dvourozměrného vektoru k = (&2, £3) ležícího v rovině y—z. Každému kvantovému číslu 91 odpovídá podpás mající nejnižší energii Ec+Eq\. Podobné vztahy platí pro valenční pás. Vztah mezi energií a hybností v objemovém polovodiči je dán rovnicí (15.1-1), ve které je k velikost třírozměrného vlnového vektoru k = (fci, £2, £3). Základní rozdíl spočívá v tom, že v kvantové jámě nabývá k\ dobře oddělených diskrétních hodnot. Z toho plyne důležitý výsledek, že hustota stavů spojená se strukturou kvantových jam se liší od hustoty stavů pro objemový materiál, která se stanoví z velikosti 642 FOTONY V POLOVODIČÍCH třírozměrného vlnového vektoru o složkách k\ = qiir/d, ki = q2ir/d, k$ — qiir/d pro d\ = di = d3 = d. V tomto případě [viz (15.1-3)] g(k) = k2/TT2 na jednotkový objem, což dává hustotu stavů ve vodivostním pásu [viz (15.1-4) a obr. 15.1-7] 3/2 -{E-Ec)l'\ E>0. (15.1-27) Pro strukturu kvantové jámy získáme hustotu stavů z velikosti dvourozměrného vlnového vektoru (k2, ks). Na každé kvantové číslo q\ proto připadá stavů g(k) = k/n stavů na jednotku plochý v rovině y — z a, tedy k/ndi na jednotkový objem. Hustoty QC(E) a g(k) spolu souvisí vztahem gc{E) d£ = g(k) dk = \k/-Kdi)dk. Nakonec užitím vztahu (15.1-26) mezi E a k dostaneme dE/dk = h2k/mc, ze kterého plyne gc(E)= u E> = l, 2, . . . . (15.1-28) Pro každé kvantové číslo 91 je tedy hustota stavů v jednotkovém objemu konstantní, když £ > Ec + Eq\. Celková hustota stavů je součtem hustot pro každou hodnotu qi, takže získáme schodovitý průběh patrný z obr. 15.1-22. Každý stupeň schodiště odpovídá různým kvantovým číslům q\ a může být považován za podpás uvnitř vodivostního pásu (obr. 15.1-21). Dna těchto podpášu se postupně zvyšují tak, jak rostou jejich kvantová čísla. Pomocí vztahů (15.1-27) a (15.1-25) lze ukázat, že při E = Ec + Eqi je hustota stavů pro kvantové jámy stejná jako hustota stavů v objemovém polovodiči. Hustota stavů ve valenčním pásu má podobný schodovitý průběh. Na rozdíl od objemového polovodiče má struktura kvantové jámy značnou hustotu stavů na nejnižší dovolené hladině ve vodivostním pásu i na nejvyšší dovolené hladině ve valenčním pásu. Tato vlastnost významně ovlivňuje optické vlastnosti, což bude diskutováno v odst. 16.3G. 1 £2 Objemový krystal Hustota stavů g(E) Obrázek 15.1-22 Hustota stavů pro strukturu kvantové jámy (plně) a pro objemový polovodič (čárkovaně). POLOVODIČE 643 Vícenásobné kvantové jámy a supermřížky Vícenásobné vršte vně struktury různých polovodičových materiálů, které se vzájemně střídají, nazýváme vícenásobné kvantové jámy (MQW — multiquantum-well), viz obr. 15.1-23. Mohou být připravovány tak, že šířka zakázaného pásu se mění s polohou různými způsoby (viz např. obr. 12.1-8). Jsou-li energetické bariéry mezi přilehlými jámami dostatečně tenké, mohou jimi elektrony snadno tunelovat (kvantově mechanický průnik), diskrétní energetické hladiny se rozšíří do miniaturních pásů a o takovéto struktuře vícenásobných kvantových jam hovoříme jako o struktuře supermřížky. Vícenásobné struktury kvantových jam se užívají v laserech, fotodetektorech a nelineárních optických prvcích. Typická struktura MQW se může skládat ze 100 vrstev, z nichž každá má tloušťku « lOnm a obsahuje zhruba 40 atomových rovin, takže celková tloušťka struktury je =s 1 um. Takovou strukturu lze vyrobit v aparatuře pro přípravu pomocí molekulárních svazků (MBE) přibližně za 1 hodi- Kvantové dráty a kvantové tečky Polovodičový materiál ve tvaru tenkého drátu o obdélníkovém průřezu obklopený materiálem s větší šířkou zakázaného pásu se nazývá kvantový drát (obr. 15.1-24). Drát se chová jako potenciálová jáma, která omezuje elektrony (a díry) ve dvou směrech (x,y). Za předpokladu, že je průřez drátu d\d2, je vztah mezi energií a hybností ve vodivostním pásu E=EC + Eql t,2- (15.1-29) 2mr: ' kde h2(q2ir/d2)2 2m c 2fTlr = l, 2, ... (15.1-30) a A; je složka vlnového vektoru ve směru osy z (podél osy drátu). Každá dvojice kvantových čísel (91,92) je spojená s energetickým podpásem majícím hustotu stavů g(k) = 1/TT na jednotkovou délku drátu a tudíž \j-nd\d2 Obrázek 15.1-23 a GaAs. Vícenásobná struktura jam připravená střídáním vrstev AlGaAs 644 FOTONY V POLOVODIČÍCH ;— (b) (a) (c) Idl Obrázek 15.1-24 Hustota stavů pro různá uspořádání omezující pohyb elektronů: (a) objemový krystal; (6) kvantová jáma; (c) kvantový drát; (d) kvantová tečka. Vodivostní a valenční pásy se štěpí do překrývajících se podpášu, které se postupně zužují tak, jak je pohyb elektronů omezován ve více dimenzích. na jednotkový objem. Odpovídající hustota stavů (na jednotkový objem) závisí na energii E vztahem E > Ec + Eql + Eq2 QC{E)= všude jinde, 92 = 1 , 2 , .... (15.1-31) Jsou to funkce klesající s hodnotou energie, jak je patrné z obr. 15.1-24(c). Energetické podpasy jsou v kvantovém drátu užší než podpasy v kvantové jámě. Ve struktuře kvantových teček jsou elektrony omezeny ve všech třech směrech uvnitř kvádru o objemu C/1C/2C/3. Energie je proto kvantována do hodnot E = Ec kde INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI ITTÍ,. Eq2 = 645 QITI' ^I) 2mc 2mc 9i> 92, 93 = 1, 2, (15.1-32) Dovolené energetické hladiny jsou diskrétní a dobře od sebe oddělené, takže hustota stavů představuje posloupnost delta funkcí při dovolených energiích, jak je patrné na obr. 15.1-24(c2). Kvantové tečky se často nazývají umělými atomy. I kdyby obsahovaly řádově desítky tisíc silně interagujících skutečných atomů, lze v principu získat předem zvolené diskrétní energetické hladiny kvantových teček vhodným návrhem struktury. 15.2 INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI Nyní budeme vyšetřovat základní optické vlastnosti polovodičů zvláště s ohledem na procesy absorpce a emise, které jsou důležité pro pochopení činnosti zdrojů a detektorů fotonů. Při absorpci a emisi fotonů se může uplatnit řada mechanismů. Mezi nejdůležitější patří: • Přechody mezipásové (pás-pás). Při absorpci fotonů dojde k přechodu elektronů z valenčního pásu do vodivostního pásu a vznikne pár elektron-díra [obr. 15.2-l(a)]. Rekombinace elektronu s dírou vede naopak k emisi fotonu. Mezipásové přechody se mohou uskutečnit i za účasti jednoho nebo více fononů. Fonon je kvazičástice nesoucí kvantum energie tepelných kmitů mříže. • Přechody mezi příměsí a pásem (příměs-pás). Při absorpci fotonu dojde k přechodu elektronu mezi donorovou (nebo akceptorovou) hladinou a vodivostním (nebo valenčním) pásem v dotovaném polovodiči. V materiálu typu p může například nízkoenergetický foton způsobit přechod elektronu z valenčního pásu na r- EA = 0.088 eV Eg 10.66 eV (b) ta) tc) Obrázek 15.2-1 Příklady procesů absorpce a emise fotonů v polovodiči, (a) Mezipásové přechody v GaAs mohou vést k absorpci nebo emisi fotonů o vlnové délce < A,, = = hco/E;l = 0,87 yum. (6) Absorpce fotonu o vlnové délce A^ = hctf/EA — 14 fim vede k přechodu elektronu z valenčního pásu na akceptorovou hladinu v Ge dotovaném Hg (Ge:Hg). (c) Přechody volných nosičů uvnitř vodivostního pásu. 646 FOTONY V POLOVODIČÍCH Vlnová délka (/mi) 10 I 10? 1.0 0.5 0.2 6 10 105 Z 104 O 1O3 _ Mezipásové přechody 102 _ -Q < 10 - 0.01 0.1 1.0 Energie fotonu (eV) Obrázek 15.2-2 Změřený koeficient optické absorpce a v závislosti na energii dopadajících fotonů pro Si a GaAs v tepelné rovnováze při T = 300 K. Šířka zakázaného pásu E;J je 1,11 eV pro Si a 1,42 eV pro GaAs. Si je relativně propustný v oblasti \o ~ 1,1 až 12 /im, kdežto GaAs je relativně propustný v oblasti A„ ss 0,87 až 12 //m (viz obr. 5.5-1). akceptorovou hladinu, kde se zachytí [obr. 15.2-1(6)]. Vznikne tak díra ve valenčním pásu a ionizovaný akceptorový atom. Nebo naopak díra může být zachycena na ionizovaném akceptoru; výsledkem je, že elektron přejde z akceptorové hladiny do valenčního pásu, kde rekombinuje s dírou. Odpovídající energie se může uvolnit buď zářivě (ve formě emitovaného fotonu) nebo nezářivě (ve formě fononů). Mohou se uskutečňovat i jiné typy přechodů spojené s rekombinačními centry a pastmi jak je patrné z obr. 15.1-14. • Přechody volných nosičů (vnitropásové). Absorbovaný foton může předat svou energii elektronu v některém z pásů, což způsobí, že elektron obsadí vyšší neobsazený stav uvnitř téhož pásu. Pro vodivostní pás je tento proces znázorněn na obr. 15.2-l(c). Následuje proces termalizace, při kterém elektron postupně klesá ke dnu vodivostního pásu tak, jak ztrácí svou energii srážkami s fonony (energie se přemění na vibrační energii krystalové mříže). • Fononové přechody. Dlouhovlnné fotony mohou přímo vybudit kmity mříže; tj. vzniknou fonony. INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI 647 • Excitonové přechody. Absorpce fotonu může vést ke vzniku páru elektronu a díry, které jsou od sebe sice vzdálené, ale vzájemně vázané Coulombovskou interakcí. Tato dvojice připomíná vodíkový atom s tím rozdílem, že místo protonu se v něm nachází díra a nazývá se exciton. Při rekombinaci elektronu s dírou může dojít k emisi fotonu a tak k zániku excitonu. Tyto všechny přechody přispívají k celkovému absorpčnímu koeficientu, jehož průběh pro Si a GaAs je na obr. 15.2-2 a ve větším zvětšení pro řadu polovodičových materiálů na obr. 15.2-3. Pro energie fotonů větší než je šířka zakázaného pásu dominují v absorpci mezipásové přechody, na kterých je založena většina fotonických prvků. Spektrální oblast, ve které materiál přechází ze stavu, kdy je relativně dobře propustný {hu < Eg), do stavu, kdy silně absorbuje (hu > E9), se nazývá absorpční hrana. Polovodiče s přímým zakázaným pásem mají absorpční hranu strmější než polovodiče s nepřímým zakázaným pásem, jak je vidět z obr. 15.2-2 a 15.2-3. A. Mezipásová absorpce a emise Nejprve se přehledně seznámíme s jednoduchou teorií přímé mezipásové absorpce a emise, přičemž nebudeme uvažovat vliv ostatních druhů optických přechodů. Vlnová délka 654 3 105 = 111 1 2 1.5 1.1 1.0 0.9 1 0.8 1 1 1 1 0.7 0.6 1 0.5 1 1 InSb^, 10" 103 c >u Q. O r / InP / _ / : 102 r 10 / InAs Si / í 1 , | i | 0.2 0.4 0.6 0.8 i 1.0 ,/ | 1.2 GaA 5 \ 1.4 1 GaP , 1 , 1 1 1 , / , 1 . 1 , 1 1.6 1.8 2.0 2.2 2.4 2.6 2.8 Energie fotonu (eV) Obrázek 15.2-3 Absorpční koeficient v závislosti na energii dopadajících fotonů pro Ge, Si, GaAs a další vybrané binární polovodičové materiály III-V při T = 300 K v okolí absorpční hrany. (Použito závislostí z publikace G. E. Stillman, V. M. Robbins a N. Tabatabaie, III-V Compounds Semiconductor Devices: Optical Detectors, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-31, str. 1643-1655, © 1984 IEEE) : 648 FOTONY V POLOVODIČÍCH 5.0 3.0 2.0 1.5 1.0 0.9 0.8 1 1 1 1 1 1 1 0.7 1 0.5 1 0.6 1 -jG. 1 1 InAs 1 iGaP InP C 1 1 GaAs InAs 1 GaP | AlAs GaAs GaSbl | |Ge 1 0.2 0.4 0.6 1 0.8 | 1.0 1Si 1 1.2 1 1.4 1 1.6 1.8 2.0 1 2.2 1 2.4 Eg (eV) Obrázek 15.2-4 Šířka zakázaného pasu E9 a odpovídající vlnová délka \y pro vybrané elementární polovodiče a binární, ternární a kvaternární polovodiče typu III-V. Stínované oblasti vymezují složení, při kterém má materiál přímý zakázaný pás. Vlnová délka odpovídající šířce zakázaného pásu Přímá mezipásová absorpce a emise se může uplatnit pouze při frekvencích, pro které energie fotonu hv > Eg. Minimální potřebná frekvence je pro tento případ vg = = Eg/h a odpovídají vlnová délka As = co/vg = hco/Eg. Je-li šířka zakázaného pásu zadána v eV (což je obvyklejší než v joulech), je vlnová délka v /mi odpovídající šířce zakázaného pásu dána vztahem Vlnová délka \ odpovídající Eg (eV) (15.2-1) Vlnová délka A9 odpovídající šířce zakázaného pásu se v anglické literatuře označuje bandgap wavelength nebo cutoff wavelength. Její hodnoty jsou uvedeny pro řadu polovodičových materiálů v tab. 15.1-3 a na obr. 15.1-5 a 15.1-6. Xg je možno nastavit na určitou hodnotu v širokém rozsahu vlnových délek (od infračervené po viditelnou oblast spektra) tím, že použijeme ternárních a kvaternárních sloučenin III-V různého složení jak je zřejmé z obr. 15.2-4. Absorpce a emise Při absorpci fotonu s vhodnou energií (hv > Eg) může dojít k excitaci elektronu z valenčního do vodivostního pásu. Vznikem páru elektron-díra [obr. 15.2-5(a)] dojde ke zvýšení koncentrace pohyblivých nosičů náboje v pásech a tím i ke zvýšení elektrické vodivosti. Materiál se chová jako fotovodič s vodivostí úměrnou toku fotonů. Tento jev je užíván k detekci světla, které je věnována kap. 17. Výsledkem deexcitace elektronu z vodivostního do valenčního pásu (rekombinace elektronu a díry) může být spontánní emise fotonu s energií hv > Efl [obr. 15.2-5(6)] INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI 649 :: M/W \ 11 i 1111111 n 111 111 lot Ib) fcl Obrázek 15.2-5 (a) Absorpce fotonu vedoucí ke vzniku páru elektron-díra. Tento proces se užívá při detekci záření. (6) Výsledkem rekombinace páru elektron-díra je spontánní emise fotonu. Na tomto principu pracují luminiscenční diody (LED), (c) Rekombinace elektronu a díry může být vyvolána fotonem při stimulované emisi fotonu se stejnou energií. Stimulovaná emise je základním procesem uplatňujícím se v polovodičových injekčních laserech. nebo stimulovaná emise fotonu (viz odst. 12.2) Druhý případ může nastat za předpokladu, že je přítomný foton s energií hv > EfJ [obr. 15.2-5(c)]. Spontánní emise je základním jevem, na kterém jsou založeny luminiscenční diody (LED), o kterých pojednáme v odst. 16.1. Na stimulované emisi je založena činnost polovodičových zesilovačů a laserů, jak uvidíme v odst. 16.2 a 16.3. Podmínky pro absorpci a emisi • Zachování energie. Aby mohlo dojít k absorpci nebo emisi fotonu s energií hv, musí Existovat dva dovolené stavy E\ a £2, které jsou od sebe vzdáleny právě o hodnotu energie hv (£j leží ve valenčním a £2 ve vodivostním pásu). Například při emisi fotonu následkem rekombinace elektronu s dírou elektron ležící na hladině £2 interaguje s dírou ležící na hladině £1 tak, že se zachová energie, tj. £2 — £1 = hv. (15.2-2) Zachování hybnosti. Při procesu absorpce nebo emise fotonu musí být rovněž zachována hybnost, takže P2 —p\ = hv/c = h/\, neboli 1(2 — ki = 2TT/A. Velikost hybnosti fotonu h/\ je velice malá ve srovnání s oborem hodnot, kterých může nabývat hybnost elektronů a děr. Pro všechny dovolené stavy elektronů a děr v polovodiči leží jejich vlnový vektor v intervalu délky 2TT/a (od —-n/a do 7r/o), 650 FOTONY V POLOVODIČÍCH kde mřížková konstanta o je mnohem menší než vlnová délka A, takže kz — k\ = = 2-K/\ -C 27r/o. Z této nerovnosti je zřejmé, že hybnost elektronu a hybnost díry jsou téměř stejné. Této podmínce kz w k\ říkáme výběrové pravidlo pro vlnový vektor. Přechodům, které vyhovují tomuto výběrovému pravidlu, odpovídají v obr. 15.2-5 vertikální úsečky, kdy změny k jsou při použitém měřítku zanedbatelné. • Energie a hybnost elektronu a díry při interakci s fotonem. Z obr. 15.2-5 je patrné, že zachování energie a hybnosti vyžaduje, aby foton s frekvencí v interagoval jen s elektrony a dírami majícími určité vybrané energie a hybnosti, které spolu navzájem souvisí vztahy (15.1-1) a (15.1-2). Užitím těchto vztahů, kdy aproximujeme závislost £ na k pro vodivostní a valenční pás dvěma parabolami, a při dosazení £c — £„ = Eg, je možno vztah (15.2-2) přepsat do tvaru £2 - £i = h Eg + ZTnlt = hv, (15.2-3) ZTTlc odkud k2 = "^-(hv - Eg), (15.2-4) kde — = — + —. (15.2-5) mT mv mc Dosazením (15.2-4) do (15.1-1) pro energie hladin £i a £2, které se uplatní při interakci s fotonem, dostaneme Energie I ~ elektronu a díry, £2 = Ec + —(hv - Eg), c které mohou m £ E interagovat i = « - ~(hu ~ Ef) = E? ~ hvs fotonem hv I " I (15.2-6) (15.2-7) Ve speciálním případě, kdy mc = m„, obdržíme £2 = Ec + ^(hv — Eg), jak vyžaduje symetrie. • Opticky sdružená hustota stavů. Nejprve za podmínek zachování energie a hybnosti stanovíme v polovodiči s přímým zakázaným pásem hustotu stavů g(v), se kterými může interagovat foton mající energii hv. Tato veličina v sobě zahrnuje hustotu stavů jak ve valenčním tak vodivostnim pásu a nazýváme ji opticky sdružená hustota stavů. Jednoznačný vztah mezi £2 a v vyjádřený rovnicí (15.2-6) nám dovoluje snadno stanovit vztah mezi g(v) a hustotou stavů ^(£2) ve vodivostnim pásu, užijeme-li g(:(£2)d£2 = g(u)áv, z čehož g(v) = iv)pc(E2), takže (u) = ^ec{E2). e (15.2-8) INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI 651 Obrázek 15.2-6 Hustota stavů, se kterými interaguje foton s energií his, která narůstá s hv — E:J podle odmocninového zákona. Užitím (15.1-4) a (15.2-6) konečně získáme počet stavů připadajících na jednotkový objem a jednotkovou frekvenci: Opticky sdružená hustota stavů (15.2-9) který je zachycen na obr. 15.2-6. Jednoznačné přiřazení mezi E\ a v v (15.2-7) spolu s f?„(£i) určeným (15.1-5) vede k výrazu shodnému s (15.2-9). • Emise fotonu je málo pravděpodobná v polovodičích s nepřímým zakázaným pásem. Zářivá rekombinace elektronu a díry je téměř neuskutečnitelná v polovodičích s nepřímým zakázaným pásem. Je to způsobeno tím, že přechody ze dna vodivostniho pásu do vrcholu valenčního pásu (kde se elektrony a díry nejčastěji vyskytují) vyžadují změnu hybnosti, která nemůže být zajištěna emisí fotonu. K zachování hybnosti může dojít pouze za účasti fononu. Fonony mohou mít relativně velkou hybnost, ale jsou pro ně typické malé energie (w 0,01 až 0,1 eV; viz obr. 15.2-2), takže jejich přechody se uskutečňují v diagramu E — k horizontálně (viz obr. 15.2-7). V konečném výsledku se zachovává hybnost, i když není E, Fonon I III I IIII I1 IIII I I III II IIIII III Obrázek 15.2-7 Emise fotonu v polovodiči s nepřímým zakázaným pásem. Rekombinace elektronu ze dna vodivostniho pásu s dírou u vrcholu valenčního pásu vyžaduje změnu energie a hybnosti. Energie se může předat fotonu, ale pro zachování hybnosti je nutná účast jednoho nebo více fononu. Tento typ vícečásticové interakce je málo pravděpodobný. 652 FOTONY V POLOVODIČÍCH splněno výběrové pravidlo pro vlnový vektor. Protože emise za pomoci fononu znamená účast tří částic (elektron, foton, fonon), je její pravděpodobnost nepatrná. Tak Si, který je polovodičem s nepřímým zakázaným pásem, má podstatně nižší rychlost zářivé rekombinace oproti GaAs, který je polovodičem s přímým zakázaným pásem (viz tab. 15.1-5). Si proto vykazuje ve srovnání s GaAs nízkou účinnost emise. • Absorpce fotonu je pravděpodobná i v polovodiči s nepřímým zakázaným pásem. Ačkoli k absorpci fotonu v polovodičích s nepřímým zakázaným pásem je také zapotřebí, aby byla zachována energie a hybnost, lze toho snadno dosáhnout dvoustupňovým procesem (obr. 15.2-8). Elektron je nejprve excitován na vyšší energetickou hladinu uvnitř vodivostního pásu vertikálním přechodem. Následně rychle zrelaxuje ke dnu vodivostního pásu procesem nazývaným termalizace, při kterém se jeho hybnost předává fononům. Díry se chovají obdobně. Jelikož proces probíhá postupně, není třeba současné přítomnosti tří částic a není tedy nepravděpodobný. Si je proto účinným detektorem fotonů stejně jako GaAs. B. Rychlosti absorpce a emise Nyní budeme pokračovat v určení hustot pravděpodobností emise nebo absorpce fotonu s energií hv v polovodičovém materiálu při přímých mezipásových přechodech. Zákony zachování energie a hybnosti ve tvaru (15.2-6), (15.2-7) a (15.2-4) určují energie Ex a £2 a hybnost Tik elektronů a děr, se kterými může foton interagovat. Hustoty pravděpodobnosti emise nebo absorpce závisí na třech faktorech: pravděpodobnosti obsazení, pravděpodobnosti přechodů a hustotě stavů. Postupně je uváPravdepodobnosti obsazení Aby mohlo dojít k emisi nebo absorpci fotonu, jsou obsazovací podmínky při přechodech mezi diskrétními energetickými hladinami £1 a £2 následující: Absorpce fotonu MfWV-»- JI Termalizace 11IIIII1111111II111III Obrázek 15.2-8 Absorpce fotonu v polovodiči s nepřímým zakázaným pásem. Foton generuje vertikálním přechodem excitovaný elektron a díru; nosiče potom rychle přecházejí ke dnu vodivostního pásu a vrcholu valenčního pásu za vzniku fononů. Jelikož proces je postupný, není nepravděpodobný. INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI 653 Podmínka emise: Stav ve vodivostním pásu s energií £2 je zaplněn (elektronem) a stav ve valenčním pásu s energií £1 je prázdný (tj. zaplněn dírou). Podmínka absorpce: Stav ve vodivostním pásu s energií £2 je prázdný a stav ve valenčním pásu s energií £1 je zaplněn. Pravděpodobnosti, že tyto obsazovací podmínky jsou splněny pro různé hodnoty £1 a £2, lze stanovit z odpovídajících Fermiho funkcí / c (£) a /„(£) spojených s vodivostním a valenčním pásem polovodiče, který je v kvazirovnováze. Pravděpodobnost fe{v), že je splněna podmínka pro emisi fotonu s energií hv, je součin pravděpodobností, že horní stav je zaplněn a že dolní stav je prázdný (jsou to nezávislé děje), tj. (15.2-10) £1 a £2 souvisí s v pomocí (15.2-6) a (15.2-7). Podobně pravděpodobnost fa{v), že je splněna podmínka pro absorpci fotonu, je (15.2-11) Cvičení 15.2-1 Za jakých podmínek je rychlost emise větší než rychlost absorpce fotonu a) Ukažte, že v polovodiči, který je v tepelné rovnováze, je vždy fc{v) menší než fa(v), takže rychlost emise fotonu nemůže převýšit rychlost jeho absorpce. b) Ukažte, že v polovodiči, který je v kvazirovnováze (£/ t ^ Ejv), je při zářivých přechodech probíhajících mezi stavem o energii £0 ve vodivostním pásu a stavem £1 ve valenčním pásu o stejném k pravděpodobnější emise oproti absorpci, pokud vzdálenost mezi kvaziFermiho hladinami je větší než energie fotonu, tj. jestliže Podmínka pro převládající emisi . _ r . ^ u„ £/,: - £/,, > hv. r (15.2-12) Co vyplývá z této podmínky pro polohu £/,. vůči £c a £/,, vůči £„? Pravděpodobnosti přechodů Splnění obsazovací podmínky pro emisi nebo absorpci ještě neznamená, že k emisi nebo absorpci skutečně dojde. Tyto procesy se řídí pravděpodobnostními zákony interakce mezi fotony a atomárními systémy probranými v odst. 12.2A až C (viz též cvičení 12.2-1). Jestliže je použijeme pro polovodiče, jsou tyto zákony vyjádřeny v obecné formě pomocí vztahů pro emisi (nebo absorpci) do úzkého pásma frekvencí mezi v a v + dv: 654 FOTONY V POLOVODIČÍCH Zářivý přechod mezi dvěma diskrétními hladinami Ei a E2 je charakterizo2 ván účiaiiým průřezem přechodu o{v) = (\ /8ntsp)g(u), kde v je frekvence, tsp je střední doba spontánní emise a g(v) je funkce tvaru čáry (leží symetricky kolem frekvence přechodu VQ = (E 2 — E\)/h, má šířku A v a jednotkovou plochu). V polovodičích hraje roli tsp střední doba zářivé elektron-děrové rekombinace rT diskutovaná v odst. 15.ID, takže M ^ (15.2-13) ' • Jestliže je splněna obsazovací podmínka pro emisi, hustota pravděpodobnosti (za jednotku času) spontánní emise fotonu do libovolného vhodného zářivého modu v úzkém frekvenčním pásmu mezi v a v + dv je P,p(u)du = —g(u)du. (15.2-14) Tr • Jestliže je splněna obsazovací podmínka pro emise a zároveň je přítomno záření se spektrální hustotou toku fotonů <f>„ (počet fotonů na jednotku plochy, za jednotku času a v jednotkovém intervalu frekvencí) při frekvenci v, hustota pravděpodobnosti (za jednotku času) stimulované emise jednoho fotonu do úzkého frekvenčního pásma mezi v a v + dv je Wi(v)dv = 0„ff(i/)di/ = <j)v OTrr g(u)dv. (15.2-15) Jestliže je splněna obsazovací podmínka pro absorpci a zároveň je přítomno záření se spektrální hustotou toku fotonů 4>v o frekvenci v, hustota pravděpodobnosti absorpce fotonu z úzkého frekvenčního pásma v a i> + di> je také dána vztahem (15.2-15). Protože každý přechod má jinou střední frekvenci i^o a protože uvažujeme soubor takovýchto přechodů, přesně vyznačíme střední frekvenci přechodu tak, že budeme psát g^v) místo g{v)- V polovodičích má homogenní rozšíření funkce tvaru čáry g„o{y) spojené s dvojicí energetických hladin obecně svůj původ ve srážkách elektronů s fonony. Jako typický příklad pro funkci tvaru čáry lze uvést Lorentzovo rozdělení [viz (12.2-27) a (12.2-30)] se šířkou Ai/ « l/7rT2, kde střední doba mezi srážkami elektronu a fononu T2 je řádově pikosekundy. Např. jestliže T2 = 1 ps, potom Au = 318 GHz, čemuž odpovídá energetická šířka tiAv ~ 1,3 meV. Rozšíření hladin související se střední dobou zářivé rekombinace je ve srovnání s rozšířením následkem srážek zanedbatelné. INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI 655 Celkové rychlosti emisních a absorpčních přechodů Rychlosti spontánní emise, stimulované emise a absorpce fotonu s energií hv (počet fotonů za sekundu na 1 Hz a na 1 cm3 polovodiče) mezi dvěma energetickými hladinami vzdálenými od sebe £2 — E\ = IIVQ lze obdržet následovně. Odpovídající hustotu pravděpodobnosti přechodu Psv{u) nebo Wi(v) [viz vztahy (15.2-14) nebo (15.2-15)] vynásobíme odpovídající pravděpodobností obsazení fc{vo) nebo /a(^o) [viz (15.2-10) nebo (15.2-11)] a hustotou stavů, které mohou interagovat s fotonem Q{V0) [viz (15.2-9)]. Celkovou rychlost přechodu pro všechny dovolené frekvence VQ můžeme vypočítat integrací přes v$. Například rychlost spontánní emise při frekvenci v je dána vztahem = / (") = Jestliže rozšíření následkem srážek Au je podstatně menší než šířka funkce _fe(i/o)g(fo), což je obvyklé, může být ^„oM aproximována pomocí 6(1/ — i/0), v důsledku čehož se nám vztah pro rychlost přechodu zjednoduší na rsp(v) = = {^lTr)Q{v)fc{v)- Rychlost stimulované emise a absorpce obdržíme obdobným způsobem, takže platí vztahy: Rychlosti spontánní emise, stimulované emise a absorpce (15.2-16) (15.2-17) (15.2-18) Tyto rovnice společně se vztahy (15.2-9) až (15.2-11) dovolují vypočítat rychlosti spontánní emise, stimulované emise a absorpce při přímých mezipásových přechodech (počet fotonů za sekundu na 1 hertz a na lem 3 ) za přítomnosti záření o střední spektrální hustotě fotonů <f>v (počet fotonů za sekundu na lem 2 a na 1 hertz). Součiny g(u)fe(i/) a g(v)}a{v) jsou obdobou součinů rozdělovači funkce a počtu atomů v jednotce objemu na horní hladině g(v)N2 a dolní hladině g(u)N-í, které jsme používali v kapitolách 12 až 14 při studiu emise a absorpce v atomových systémech. Stanovení pravděpodobností obsazení fd^) a fa(v) vyžaduje znalost kvaziFermiho hladin E/c a E/„. Prostřednictvím kontrolovaných změn těchto dvou parametrů (např. přiložením vnějšího napětí k přechodu p — n) lze měnit emisní a absorpční rychlosti a tím nastavit vhodné podmínky pro funkci různých fotonických prvků. Základním získaným výsledkem je rovnice (15.2-16), která popisuje činnost luminiscenčních diod (LED), tj. polovodičových zdrojů fotonů založených na spontánní emisi (viz odst. 16.1). Rovnice (15.2-17) je použitelná pro polovodičové optické zesilovače a injekční lasery, které pracují na základě stimulované emise (viz odst. 16.2 až 16.3). Rovnice (15.2-18) je vhodná pro polovodičové detektory fotonů, jejichž funkce je založena na absorpci fotonů (viz kap. 17). 656 FOTONY V POLOVODIČÍCH Spektrální hustota spontánní emise při tepelné rovnováze Polovodič v tepelné rovnováze má pouze jednu Fermiho funkci, takže (15.2-10) přejde do tvaru fe(v) = /(E2HI — /(Ei)]. Jestliže Fermiho hladina leží uvnitř zakázaného pásu a je vzdálena od hran pásů alespoň o několik ksT, může být použita aproximace Fermiho funkce exponenciálou, /(E2) ~ exp[—(E2 — a 1 - /(Ei) « exp[-(E/ - Ei)/fcBT], v důsledku čehož fe{y) « exp[-(E2 - «„,.«„(-£). (15.2-19) Dosazením (15.2-9) pro g(v) a (15.2-19) pro fc(u) do (15.2-16) dostaneme (15.2-20) kde (15.2-21) je parametr, který roste s teplotou exponenciálně. Rychlost spontánní emise, která je vynesena v závislosti na hv v obr. 15.2-9, je určena dvěma faktory: odmocninovou závislostí na hv — Eg, která souvisí s hustotou stavů, a exponenciálně klesající funkcí spojenou s Fermiho funkcí. Rychlost spontánní emise může vzrůst, zvětšíme-li fe(v)- V souladu s (15.2-10) je toho možno dosáhnout, když materiál záměrně vychýlíme z tepelné rovnováhy takovým způsobem, že fc(E->) se zvětší a fv{E\) se zmenší. To vyžaduje nadbytek jak elektronů tak děr, což je základním požadavkem pro činnost luminiscenčních diod (LED), jak je diskutováno v odst. 16.1. Obrázek 15.2-9 Spektrální hustota rychlosti přímé mezipásové spontánní emise ^,(1;) (fotony za sekundu na Hz na cm 3 ) polovodiče v tepelné rovnováze v závislosti na hv. Spektrum má nízkofrekvenční mez při v = Ey jh a jeho šířka je zhruba INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI 657 Koeficient zesílení při kvazirovnováze Koeficient zesílení 7o(^) odpovídající rychlostem stimulované emise a absorpce určeným vztahy (15.2-17) a (15.2-18) lze určit tak, že uvážíme válec jednotkového průřezu a délky dz, na který dopadá ve směru osy z záření mající spektrální hustotu toku fotonů <j>„ (jak je patrné z obr. 13.1-1). Jestliže 4>„{z) a <p„{z) + d<f>„(z) jsou spe rální hustoty toku fotonů, které vstupují a vystupují z válce, pak d<j>u{z) musí být spektrální hustota toku záření emitovaného z vnitřku válce. Přírůstek počtu fotonů připadající na jednotkový objem, na jednotkové frekvenční pásmo a za jednotkový čas je počet fotonů získaný za jednotkový čas, v jednotkovém frekvenčním pásmu a z jednotkové plochy [rs«(i') — rai(u)] vynásobený tloušťkou válce dz. Dosazením z (15.2-17) a (15.2-18) dostaneme ^ ^ ^ ( l / ) [ / e ( l / ) " /«(")]*"(*) = -»>(")*.<(*)• (15.2-22) Koeficient zesílení je proto / 7o(* ) = ~—Q{v)fg{v), Koeficient zesílení (15.2-23) kde Fermiho faktor inverze je dán vztahem fy(v) = fc(v) - fa(v) = / C (E 2 ) - /„(EO, (15.2-24) jak je možné nahlédnout z (15.2-10) a (15.2-11), když £i a £2 souvisí s v vztahy (15.2-6) a (15.2-7). Užitím (15.2-9) může být koeficient zesílení vyjádřen ve tvaru 70(1/) = £>i(/i!/- Eg)1'2fg(v), hv > Eg, (15.2-25a) kde i" Tr (15.2-25b) Znaménko a spektrální průběh Fermiho inverzního faktoru fg(y) určují polohy kvazi-Fermiho hladin E/<: a £/„, které jsou závislé na stupni excitace nosičů v polovodiči. Jak bylo ukázáno ve cvičení 15.2-1, tento faktor je kladný (čemuž odpovídá inverze obsazení a dosažení zisku) pouze tehdy, když E/c — Efv > hv. Tato podmínka může být splněna a zesílení dosaženo, když jsou v polovodiči pomoc! vnějšího zdroje energie elektrony dostatečně vybuzeny (viz odst. 16.2). To je fyzikální podstata funkce polovodičových optických zesilovačů a injekčních laserů. 658 FOTONY V POLOVODIČÍCH Vlnová délka Ao( /mi) 1 5. 0.5 xlO 4 0.5 0.4 - 1 Obrázek 15.2-10 Vypočtený absorpční koeficient a(v) (cm" ) pro přímé mezipásové přechody v závislosti na energii dopadajících fotonů hu (eV) a jejich vlnové délce Xo (^m) pro GaAs. Získaný průběh je možno porovnat s experimentálními výsledky uvedenými na obr. 15.2-3, kde jsou patrné všechny mechanizmy absorpce. Absorpční koeficient při tepelné rovnováze Polovodič, který je v tepelné rovnováze, má pouze jednu Fermiho hladinu £/ = Ejc = — Efv, takže fc(E) = /„(£) = f(E) = exp[(E-Ef)/kBT]+ť (15.2-26) Faktor fg(v) = fc(E2) - /„(Ei) = {{E2) - /(^í) < 0, takže koeficient zesíleníu 70(1^) je vždy záporný [jelikož £2 > E\ a /(£) je monotónně klesající funkce £]. Toto platí při libovolné poloze Fermiho hladiny Ef. Polovodič v tepelné rovnováze, ať čistý nebo dotovaný (intrinsický nebo extrinsický), vždy zeslabí procházející světlo. Absorpční koeficient a(v) = —jo{v) je tedy dán vztahem Absorpční koeficient (15.2-27) kde £1 a £ 2 jsou určené vztahy (15.2-7) a (15.2-6) a D\ se stanoví pomocí (15.2-25b). Leží-li Ef uvnitř zakázaného pásu a současně je vzdálena od hran pásů alespoň o několikanásobek JfcB7\ potom /(£i) fs 1, /(E 2 ) « 0 a tedy [/(£i) - /(£ 2 )] « 1. V tomto případě je příspěvek přímých mezipásových přechodů k absorpčnímu koeficientu «(«/) « \/2 c2m3r'2 1 - Eg)1'-. (15.2-28) S rostoucí teplotou klesá rozdíl /(£i) —/(£ 2 ) pod hodnotu jedna, takže absorpční koeficient se zmenšuje. Průběh závislosti daný rovnicí (15.2-28) je znázorněn pro GaAs na obr. 15.2-10, když při výpočtu bylo použito hodnot n = 3,6, mc = O,O7mo, INTERAKCE FOTONŮ S ELEKTRONY A DÍRAMI 659 31 mv = 0,5mo, mo = 9,1 x 10 kg a stupeň dotování byl takový, že T,. = 0,4 ns (tato hodnota se liší od hodnoty uvedené v tab. 15.1-5, která odpovídá jinému stupni dotování), Eg = 1,42eV a teplota byla zvolena tak, aby [/(Ei) — f(E2)] ss 1. Cvičení 15.2-2 Vlnová délka odpovídající maximální mezipásové absorpci. Ze vztahu (15.2-28) stanovte vlnovou délku (ve vakuu) \p, při které absorpční koeficient polovodiče v tepelné rovnováze dosahuje maximální hodnoty. Vypočtěte hodnotu \p pro GaAs. Uvědomte si, že tento výsledek platí pouze pro přímé mezipásové přechody. C. Index lomu Při návrhu mnoha fotonických prvků, zvláště těch, které se užívají jako optické vlnovody, prvky integrované optiky a laserové diody, je důležitá možnost přípravy polovodiče s určitou hodnotou indexu lomu. Polovodičové materiály jsou disperzní, tzn. index lomu závisí na vlnové délce. Index lomu vskutku souvisí s absorpčním koeficientem a(i/), protože reálná a imaginární část susceptibility musí vyhovovat Kramersovým-Krónigovým relacím (viz odst. 5.5B a odst. B.l v dodatku B). Index lomu rovněž závisí na teplotě a stupni dotování, jak je zřejmé z křivek pro GaAs na obr. 15.2-11. Indexy lomu vybraných elementárních a binárních polovodičů při udaných podmínkách a pro vlnovou délku odpovídající zakázanému pásu jsou uvedeny v tabulce 15.2-1. Tabulka 15.2-1 Indexy lomu vybraných polovodičových materiálů při T = 300 K a pro energie fotonu odpovídající zhruba šířce zakázaného pásu těchto materiálů (his ss E,j)a Materiál Elementární polovodiče Ge Si Binární polovodiče III-V AIP AlAs AlSb GaP GaAs GaSb InP InAs InSb Index lomu 4,0 3,5 3,0 3,2 3,8 3,3 3,6 4,0 3,5 3,8 4,2 "Indexy lomu ternárních a kvaternárních polovodičů je možno aproximovat hodnotami získanými lineární interpolací mezi hodnotami indexů lomu jejich složek. 660 FOTONY V POLOVODIČÍCH 3.8 Vlnová délka (/im) 0.9 0.8 1 1 1 0.7 \ i 3.7 - J 3.6 / Vysoce čistý GaAs F 3.5 ' Eg «=1.6xl0 1 9 crn-3 .i =6.7x1018 cm-3 1 1 1 1 1.8 1.7 1.4 1.5 1.6 Energie fotonu (eV) Obrázek 15.2-11 Index lomu vysoce čistého GaAs a GaAs typu p a typu n při 300 K v závislosti na energii fotonů (vlnové délce). Výběžek na křivce vysoce čistého GaAs při energii odpovídající šířce zakázaného pásu souvisí s volnými excitony. (Použito výsledků z H. C. Casey, Jr., and M. B. Panish, Heterostructure Lasers, part A, Fundamentol Principles, Academie Press, New York, 1978.) 3.4 1.2 1 1.3 LITERATURA Knihy o fyzice polovodičů a polovodičových prvcích B. G. Streetman, Solid State Electronic Devices, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 3.vyd. 1990. S. Wang, Fundamentals of Semiconductor Theory and Device Physics, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 1989. E. S. Yang, Microelectronic Devices, McGraw-Hill, New York, 1988. K. Hess, Advanced Theory of Semiconductor Devices, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 1988. C. Kittel, Introduction to Solid State Physics, Wiley, New York, 6.vyd. 1986. D. A. Fraser, The Physics of Semiconductor Devices, Clarendon Press, Oxford, 4.vyd. 1986. S. M. Sze, Semiconductor Devices: Physics and Technology, Wiley, New York, 1985. K. Seeger, Semiconductor Physics, Springer-Verlag, Berlin, 2. vyd. 1982. S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, Wiley, New York, 2. vyd. 1981. O. Madelung, Introduction to Solid State Theory, Springer-Verlag, Berlin, 1978. R. A. Smith, Semiconductors, Cambridge University Press, New York, 2. vyd. 1978. N. W. Ashcroft a N. D. Mermin, Solid State Physics, Holt, Rinehart and Winston, New York, 1976. A. van der Ziel, Solid State Physical Electronics, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 3.vyd. 1976. D. H. Navoň, Electronic Materials and Devices, Houghton Miíflin, Boston, 1975. LITERATURA 661 W. A. Harrison, Solid State Theory, McGraw-Hill, New York, 1970. C. A. Wert a R. M. Thomson, Physics of Solids, McGraw-Hill, New York, 1970. J. M. Ziman, Principles of the Theory of Solids, Wiley, New York, 1968. A. S. Grove, Physics and Technology of Semiconductor Devices, Wiley, New York, 1967. Knihy o optoelektronice J. Wilson a J. F. B. Hawkes, Optoelectronics, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 2. vyd. 1989. M. L. Cohen a J. R. Chelikowski, Electronic Structure and Optical Properties of Semiconductors, Springer-Verlag, New York, 2. vyd. 1989. J. Gowar, Optical Communication Systems, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 1984. H. Kressel, ed., Semiconductor Devices for Optical Communications, Springer-Verlag, New York, 2. vyd. 1982. T. S. Moss, G. J. Burrell aB.EUis, Semiconductor Opto-electronics, Wiley, New York, 1973. J. I. Pánkové, Optical Processes in Semiconductors, Prentice-Hall, Englewood Cliffs, NJ, 1971; Dover, New York, 1975. Knihy o heterostrukturách a kvantových jámách C. Weisbuch a B. Vinter, Quantum Semiconductor Structures, Academie Press, Orlando, FL, 1991. F. Capasso, ed., Physics of Quantum Electron Device, Springer-Verlag, New York, 1990. R. Dingle, Applications of Multiquantum Wells, Selective Doping, and Super-Lattices, Academie Press, New York, 1987. F. Capasso a G. Margaritondo, eds., Heterojunction Band Discontinuities, North-Holland, Amsterdam, 1987. H. C. Casey, Jr. a M. B. Panish, Heterostructure Lasers, part A, Fundamental Principles, Academie Press, New York, 1978. H. C. Casey, Jr. a M. B. Panish, Hetero structure Lasers, part B, Materials and Operating Characteristics, Academie Press, New York, 1978. H. Kressel a J. K. Butler, Semiconductor Lasers and Heterojunction LEDs, Academie Press, New York, 1977. A. G. Milnes a D. L. Feucht, Heterojunctions and Metal-Semiconductor Junctions, Academie Press, New York, 1972. Specializovaná čísla časopisů Speciál issue on quantum -well heterostructures and superlattices, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-24, no. 8, 1988. Speciál issue on semiconductor quantum wells and superlattices: physics and applications, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-22, no. 9, 1986. 662 FOTONY V POLOVODIČÍCH Články E. Corcoran, Diminishing Dimensions, Scientific American, vol. 263, no. 5, pp. 122-131, 1990. D. A. B. Miller, Optoelectronic Applications of Quantum Wells, Optícs and Photonics News, vol. 1, no. 2, pp. 7-15, 1990. S. Schmitt-Rink, D. S. Chemla, a D. A. B. Miller, Linear and Nonlinear Optical Properties of Semiconductor Quantum Wells, Advances in Physics, vol. 38, pp. 89-188, 1989. W. D. Goodhue, Using Molecular-Beam Epitaxy to Fabricate Quantum-Well Devices, Lincoln Laboratory Journal, vol. 2, no. 2, pp. 183-206, 1989. S. R. Forrest, Organic-on-Inorganic Semiconductor Heterojunctions: Building Block for the Next Generation of Optoelectronic Devices?, IEEE Circuits and Devices Magazine, vol. 5, no. 3, pp. 33-37, 41, 1989. A. M. Glass, Optical Materials, Science, vol. 235, pp. 1003-1009, 1987. L. Esaki, A Birďs-Eye View on the Evolution of Semiconductor Superlattices and Quantum Wells, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-22, pp. 1611-1624, 1986. D. S. Chemla, Quantum Wells for Photonics, Physics Today, vol. 38, no. 5, pp. 56-64, 1985. Literatura v českém jazyce C. Kittel, Úvod do fyziky pevných látek, Academia, Praha, 1985. H. Frank, Fyzika a technika polovodičů, SNTL-Nakladatelství technické literatury, Praha, 1990. ÚLOHY 15.1-1 Fermiho hladina v intrinsickém polovodiči. Při tepelné rovnováze platí pro koncentrace nosičů vztahy (15.1-9a) a (15.1-9b): (a) Určete výraz pro Fermiho hladinu Ej intrinsického polovodiče a ukažte, že leží uprostřed zakázaného pásu jen v tom případě, že efektivní hmotnost elektronů me je přesně rovna efektivní hmotnosti děr m„. (b) Určete výraz pro Fermiho hladinu v dotovaném polovodiči jako funkci stupně dotování a Fermiho hladiny určené v části (a). 15.1-2 Rekombinace elektronů a děr při silné injekci. Uvažujte rekombinaci elektronů a děr při tak silné injekci párů nosičů, že doba života nadbytečných . párů elektron-díra může být aproximována vztahem T = 1/rAn, kde r je rekombinační parametr materiálu a An je přebytek koncentrace nosičů generovaných injekcí. Za předpokladu, že zdroj injekce nosičů R je vypnut v čase í = řo, nalezněte analytický výraz pro An(í), který ukazuje, že pokles se řídí mocninnou závislostí a nikoli exponenciální. ÚLOHY 663 *15.1-3 Energetické hladiny v kvantové jámě GaAs/AlGaAs. (a) Nakreslete pásové energetické schéma pro strukturu vícenásobných kvantových jam GaAs/AlGaAs za předpokladu, že AlGaAs má složení Alo.3Gao.7As. Šířka zakázaného pásu GaAs Eg = 1,42 eV; šířka AlGaAs roste nad tuto hodnotu o « 12,47 meV na každé 1%, o které se zvýší koncentrace AI. V důsledku vlastností těchto dvou materiálů je hloubka kvantové jámy ve vodivostním pásu zhruba 60% z celkového rozdílu šířek zakázaných pásů, což je součet hloubek jam ve vodivostním a valenčním pásu. (b) Předpokládejme, že kvantová jáma ve vodivostním pásu má hloubku určenou v části (a) a stejné energetické hladiny jako čtvercová jáma znázorněná na obr. 12.1-9(6), pro kterou (mV0d2/2ti2)1/2 = 4, kde Vo je hloubka jámy. Najděte celkovou šířku jámy d v GaAs. Efektivní hmotnost elektronu ve vodivostním pásu GaAs mc ~ O,O7mo = 0,64 x 10~31 kg. 15.2-1 Platnost aproximace pro rychlost absorpce nebo emise. Aproximace 9vo{v) ~ 6(1/ — VQ) bylo použito pro určení rychlosti spontánní emise pomocí integrálu r„v{v)= j \—g„a{v)\ íc J \Jr J (a) Zakreslením funkcí g„o{v), fd^o) a f?(fo) při T = 300 K a porovnáním jejich šířek ukažte, že tato aproximace je pro GaAs platná. Rozšíření čáry v GaAs je způsobeno srážkami se střední dobou T2 ~ 1 ps. (b) Zopakujte část (a) pro rychlost absorpce při tepelné rovnováze. 15.2-2 Maximální rychlost spontánní emise při tepelné rovnováze, (a) Polovodič je v tepelné rovnováze. Určete energii fotonu huv, pro kterou rychlost spontánní emise při přímých mezipásových přechodech dosahuje maximální hodnoty. Předpokládá se, že Fermiho mez leží uvnitř zakázaného pásu a je vzdálena od hran pásů o několikanásobek k^T. (b) Ukažte, že rychlost spontánní emise v maximu (počet fotonů za sekundu na hertz a cm3) je dána vztahem (c) Jaký vliv na tento výsledek má dotování? (d) Za předpokladu, že TT = 0,4 ns, mc = 0,07mo, m„ = O,5mo a Ea = = 1,42 eV, nalezněte maximální rychlost spontánní emise pro GaAs při T = 300K. 15.2-3 Rychlost zářivé rekombinace při tepelné rovnováze, (a) Ukažte, že integrací rychlosti spontánní emise při přímých mezipásových přechodech přes všechny emisní frekvence (počet fotonů za sekundu a z cm3) dostaneme 664 FOTONY V POLOVODIČÍCH za předpokladu, že Fermiho hladina leží uvnitř zakázaného pásu alespoň několik kBT od hran pásů. [Poznámka: /0°° a ^ e " " * dx = (VTF/2)M" 3 / 2 -] (b) Porovnejte tento výsledek s přibližnou hodnotou rychlosti, kterou obdržíte tak, že vynásobíte hodnotu v maximu získanou v úloze 15.2-2 přibližnou šířkou frekvenčního pásma 2k#T/h, která vyplývá z obr. 15.2-9. (c) Ve vztahu (15.1-10b) položte fenomenologicky stanovenou rychlost rovnovážné zářivé rekombinace rrnp = TVTV2 (počet fotonů za sekundu z cm3) zavedenou v odst. 15. ID rovnou rychlosti odvozené pro přímé mezipásove přechody v části (a). Pro rychlost zářivé rekombinace obdržíte vztah (d) S pomocí výsledku z části (c) spočítejte hodnotu rT pro GaAs při T = 300K, když použijete hodnot mc = O,O7mo, m, = O,5mo a r , = 0,4 ns. Získanou hodnotu porovnejte s hodnotou uvedenou v tabulce 15.1-5 na str. 633 (rT « l(T 1 0 cm 3 /s). K A P I T O L A 16 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ 16.1 LUMINISCENČNÍ DIODY A. Injekční elektroluminiscence B. Charakteristiky luminiscenčních diod 16.2 POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE A. Zesílení B. Čerpání C. Heterostruktury 16.3 POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY A. B. C. D. E. F. *G. Zesílení, zpětná vazba a oscilace Výkon Spektrální složení Prostorové rozložení Selekce modů. Charakteristiky typických laserů Lasery s kvantovými jámami Realizace polovodičových iujekčních laserů byla ohlášena v r. 1962 téměř současně nezávislými výzkumnými týmy ze společností General Electric, IBM a z Lincoln Laboratory Massachusettského technologického institutu. 665 666 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ Polovodičové materiály mohou emitovat záření v důsledku elektron-děrové rekombinace. Materiály schopné emitovat takové záření jej nevysílají při pokojové teplotě, neboť koncentrace tepelně vybuzených elektronů a děr jsou příliš nízké k tomu, aby mohly vyvolat detekovatelný zářivý tok. Lze ovšem použít vnější zdroj energie k vybuzení dostatečného počtu elektron-děrových párů tak, aby mohlo vzniknout relativně intenzivní spontánní rekombinační záření čili luminiscence. Výhodný způsob, jak toho dosáhnout, je zapojit přechod p — n v propustném směru, což má za následek injekci elektronů a děr do téže prostorové oblasti; výsledné rekombinační záření se pak nazývá injekční elektroluminiscence. Luminiscenční dioda (LED, z angl. light-emitting diod) je v propustném směru polovaný přechod p —ra,vyrobený z polovodiče s přímými přechody zakázaného pásu, který emituje záření ve formě injekční elektroluminiscence [obr. 16.0-l(a)]. Jestliže napětí v propustném směru vzroste nad určitou hodnotu, počet elektronů a děr v oblasti přechodu se může zvýšit natolik, že se dosáhne populační inverze, načež stimulovaná emise (tj. emise indukovaná přítomnými fotony) převáží nad absorpcí. Přechod se pak dá použít jako diodový laserový zesilovač [obr. 16.0-1(6)] nebo, s příslušnou zpětnou vazbou, jako injekční laserová dioda [obr. 16.0-l(c)]. Polovodičové fotonové zdroje, ať již ve formě LED či injekčních laserů, slouží jako (a) Ib) Obrázek 16.0-1 Polovodičová dioda s přechodem p — n, polovaná v propustném směru a pracující jako (a) LED, (6) polovodičový optický zesilovač a (c) polovodičový injekční laser. LUMINISCENČNÍ DIODY 667 velmi účinné elektron-fotonové měniče. Jejich výhodou je snadná modulace ovládáním injektovaného proudu. Pro úspěšné užití v mnoha aplikacích jsou důležitými faktory jejich malé rozměry, vysoká účinnost i spolehlivost a kompatibilita s elektronovými systémy. Mezi takové aplikace patří světelné indikátory, displeje, skanovací a čtecí systémy, tiskárny a optické vláknové systémy pro přenos informací/komunikační systémy; optické záznamové systémy jako např. přehrávače kompaktních disků. Tato kapitola je věnována studiu luminiscenčních diod (odst. 16.1), polovodičovým laserovým zesilovačům (odst. 16.2) a polovodičovým injekčním laserům (odst. 16.3). Přitom se vychází z látky vyložené v kap. 15. Při analýze polovodičového laserového zesílení a oscilací se využívá přístupů vypracovaných v kap. 13 a 14. 16.1 A. LUMINISCENČNÍ DIODY Injekční elektroluminiscence Elektroluminiscence při tepelné rovnováze Elektron-děrová zářivá rekombinace má za následek emisi záření z polovodičového materiálu. Za pokojové teploty je však koncentrace tepelně excitovaných elektronů a děr tak malá, že generovaný tok fotonů je velmi malý. Příklad 16.1-1. Emise fotonů z GaAs při tepelné rovnováze. Za pokojové teploty je intrinsická koncentrace elektronů a děr v GaAs n.; ~ ~ 1,8 x 10° cm" 3 (viz tab. 15.1-4). Protože parametr zářivé elektron-děrové rekombinace r,. ~ 10~ 10 cm 3/s (jak je uvedeno pro určité podmínky v tabulce 15.1-5), rychlost elektroluminiscenčních přechodů je r,.np = r,.n| w ~ 324 fotonů/cm3 • s, jak je diskutováno v odst. 15.ID. Použijeme-li pro šířku zakázaného pásu GaAs hodnotu Eg = 1,42 eV = 1,42 x 1,6 x 10~19 J, tato rychlost emise odpovídá optické hustotě výkonu = 324 x 1,42 x 1,6 x x 10~19 ~ 7 x 10~17W/cm3. Tudíž 2 pm silná vrstva GaAs vyzařuje intenzitu / ~ 1,5 x 10~20W/cm2, která je zanedbatelná. Světlo emitované z vrstvy GaAs silnější než asi 2 fim podléhá reabsorpci. Při tepelné rovnováze nelze tuto intenzitu podstatným způsobem zvýšit (či snížit) dotováním materiálu. Podle zákona působení hmotností obsaženého v (15.1-12) je součin np udržován na hodnotě n 2 , pokud materiál není příliš silně dotován, takže rychlost rekombinace r.,.np = r,.n2 závisí na úrovni dotování pouze prostřednictvím r,.. Pro vysokou rychlost rekombinace je požadován hojný výskyt elektronů a také děr; v polovodiči typu n je n veliké, ale p malé, zatímco v polovodiči typu p je tomu naopak. 668 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ Elektroluminiscence při injekci nosičů Rychlost emise fotonu lze značně zvýšit použitím vnějších prostředků k vytvoření nadbytečných elektron-děrových párů. Lze toho dosáhnout např. ozářením materiálu světlem, ale obvykle se toho dosahuje zapojením diody s přechodem p — n v propustném směru, takže dochází k injekci párů nosičů do oblasti přechodu. Tento proces je zobrazen na obr. 15.1-17 a bude vysvětlen v odst. 16.1B. Rychlost emise fotonů 3 lze vypočítat z rychlosti injekce elektron-děrových párů R (pár/cm • s), kde R hraje roli rychlosti laserového čerpání (viz odst. 13.2). Tok fotonů <ř (fotony za sekundu), generovaný v objemu V polovodičového materiálu, je přímo úměrný rychlosti injekce párů nosičů (viz obr. 16.1-1). Označíme rovnovážné koncentrace elektronů a děr v nepřítomnosti čerpání no a po a použijeme n = no + An a p = po + Ap k označení ustálené koncentrace nosičů při čerpání (viz odst. 15.ID). Nadbytečná koncentrace elektronů An je přesně rovna nadbytečné koncentraci děr Ap, protože elektrony a díry jsou vytvářeny v párech. Předpokládáme, že přebytečné elektron-děrové páry rekombinují s pravděpodobností 1/T, kde r je celková doba (zářivá i nezářivá) elektron-děrové rekombinace. V ustáleném stavu musí být rychlost generování (čerpání) rovna přesně rychlosti rekombinace, takže R = An/r. Nadbytečná koncentrace nosičů v ustáleném stavu je tudíž úměrná rychlosti čerpání, tj. (16.1-1) An = RT. Pro dostatečně nízké rychlosti injekce nosičů máme, jak je vysvětleno v odst. 15.ID, r ~ l/r(no + po), kde r je parametr (zářivé a nezářivé) rekombinace, takže R ~ KS rAn(n 0 + Po). Fotony jsou však generované pouze při zářivé rekombinaci a vnitřní kvantová účinnost TI,; = r,/r = T/TT, definovaná v (15.1-20) a (15.1-22) vyjadřuje právě tu skutečnost, že pouze část rekombinačních aktů je svou podstatou zářivá. Injekce RV párů nosičů za sekundu tudíž vede ke generování toku fotonů $ = T|,;/?V (foton/s), (16.1-2) Injektované nosiče (rychlost R) Vyzařované fotony Obrázek 16.1-1 Spontánní emise fotonů při elektron-děrové zářivé rekombinaci, jak se může vyskytnout v zapojení v propustném směru přechodu p — n. LUMINISCENČNÍ DIODY 669 Vnitřní tok fotonů $ je úměrný rychlosti injekce párů nosičů R a tudíž ustálené koncentraci nadbytečných elektron-děrových párů An. Vnitřní kvantová účinnost T|,; je klíčovým faktorem pro stanovení použitelnosti takovéhoto elektron-fotonového měniče. K výrobě LED (a injekčních laserů) se obvykle používají polovodiče s přímým zakázaným pásem, protože mají T|,; podstatně větší než polovodiče s nepřímým zakázaným pásem (např. % =Í 0,5 pro GaAs, zatímco pro Si je T|; R; 10~5, viz. tab. 15.1-5). Vnitřní kvantová účinnost r|; závisí na dotování, na teplotě a na koncentraci defektů v materiálu. Příklad 16.1-2. Injekční elektroluminiscenční emise z GaAs. Za určitých podmínek je pro GaAs r = 50ns a T|,: = 0,5 (viz tab. 15.1-5), takže stacionární nadbytečná koncentrace injektovaných elektron-děrových párů An = 1017 cm""3 dá vzniknout koncentraci fotonového toku T|,;An/r ~ 1024 fotonů/cm3 • s. To odpovídá hustotě optického výkonu RÍ 2,3 x 105W/cm3, jestliže uvažujeme fotony s energií zakázaného pásu Eg = 1,42 eV. Vrstva GaAs silná 2^tm tudíž emituje optickou intenzitu « 46W/cm2, což je 1021 krát větší intenzita nežli intenzita vysílaná při tepelné rovnováze v příkladu 16.1-1. Za těchto podmínek je výkon vyzařovaný ze součástky o ploše 200/xm x 10 fim roven « 0,9 mW. Spektrální hustota elektroluminiscenčních fotonů Spektrální hustotu injekční elektroluminiscence lze stanovit použitím teorie přímé mezipásové emise, vyložené v odst. 15.2. Rychlost spontánní emise ^(u) (počet fotonů za sekundu najeden hertz v jednotkovém objemu) je, jak vyplývá z (15.2-16), 'ipí") = -0(")/c("), (16.1-3) kde ry je doba zářivé elektron-děrové rekombinace. Optická sdružená hustota stavů pro interakci s fotony o frekvenci v je dle (15.2-9) rovna kdeTO,,souvisí s efektivními hmotnostmi děr a elektronů vztahem l/m,. = l/m„ + + l/m c [dáno v (15.2-5)] a Eg je šířka zakázaného pásu. Podmínka emise [daná vztahem (15.2-10)] dává (16.1-4) což je pravděpodobnost toho, že stav vodivostního pásu o energii E2 = E,: + — (hu - E„) (16.1-5) 670 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ je obsazen o současně stav valenčního pásu o energii £1 = E-> — hu (16.1-6) je prázdný, jak vyplývá z (15.2-6) a (15.2-7) a je znázorněno na obr. 16.1-2. Rovnice (16.1-5) a (16.1-6) zaručují splnění zákona zachování energie a hybnosti. Fermiho funkce fc(E) = l/{exp[(£ - Efc)/kBT] + 1} a fv(E) = l/{exp[(E - Efv)/kBT] + + 1}, které vystupují v (16.1-4) s kvazi-Fermiho hladinami Efc a £/„, se vztahují k vodivostnímu a valenčnímu pásu a platí pro případ kvazi-rovnováhy. Spektrální rozložení r sp (t < ) je určeno parametry polovodiče Eg, rT, mv a mc a teplotou T, jestliže jsou zadány kvazi-Fermiho hladiny £/ c a E/„. Ty jsou zase určeny koncentracemi elektronů a děr, danými rovnicemi (15.1-7) a (15.1-8), tj. Qc(E)fc(E) dE = n = no + Au; / E r" (16.1-7) / g„(E)[l - /.„(£)] dE = p = po + An. J — OG Hustoty stavů v blízkosti hran vodivostního a valenčního pásu jsou podle (15.1-4) a (15.1-5) no a po značí koncentrace elektronů a děr v tepelné rovnováze (bez injekce) a An = = Rr je stacionární koncentrace injektovaných nosičů. Pro dostatečně slabou injekci, fa Ec Ev Obrázek 16.1-2 Spontánní emise fotonů jako výsledek rekombinace elektronu o energii £2 s dírou o energii E\ = E2 — hu. Přechod je znázorněn vertikální šipkou, protože hybnost hu/c odnášená fotonem je v měřítku obrázku zanedbatelná. LUMINISCENČNÍ DIODY 671 takovou, že Fermiho hladiny leží v zakázaném pásu a jsou vzdáleny od hran pásů o hodnotu rovnou několika násobkům k^T, lze Fermiho funkce aproximovat jejich exponenciálními výběžky. Pro tok spontánních fotonů (integrovaný přes všechny frekvence) pak dostanenme ze spektrální hustoty rychlosti rsp(u) výraz $ = V r Jo rsp(u) du = V{m ;l; v2ft3/ 3 ň rr (kBT) '* exp kBT který lze snadno obdržet extrapolací výsledku úlohy 15.2-3. Růst čerpací rychlosti R vede k růstu Au a tudíž k posuvu Efc směrem k vodivostnímu pásu (nebo hlouběji do vodivostního pásu) a posuvu £/.„ směrem k valenčnímu pásu (nebo hlouběji do něho). Důsledkem je zvýšení pravděpodobnosti fc{E2) obsazení energetického stavu vodivostního pásu Ei elektronem a zvýšení pravděpodobnosti 1 — /„(£i), že stav E\ valenčního pásu nebude obsazený (čili obsazený dírou). Konečným výsledkem pak je, že pravděpodobnost splnění podmínky emise fe{v) = /c(£2)[l ~~ fv(Ei)] roste s /?, čímž se zvyšuje rychlost spontánní emise (16.1-3) i tok spontánních fotonů $ uvedený výše. Cvičení 16.1-1 Kvazi-Fermiho hladiny čerpaného polovodiče a) Ukažte, že za ideálních podmínek při T = 0 K, kdy neprobíhá tepelné generování elektron-děrových párů [viz obr. 16.1-3(a)], souvisí kvaziFermiho hladiny s koncentrací injektovaných elektron-děrových párů An vztahy Efc = EC + (3* 2 ) 2 / 3 -^-(An) 2 / 3 ÁTTÍQ Efv = £„ - (3^ 2 ) 2 /3^L ( A n ) 2/3 ) takže Efc - Efv = E9 + ( 37 r 2 ) 2 / 3 j H A n ) 2 kde An > no.po- Za těchto podmínek všechny elektrony An obsazují nejnižší dovolené energetické hladiny ve vodivostním pásu a všechny díry Ap obsazují nejvyšší dovolené hladiny ve valenčním pásu. Porovnejte s výsledky cvičení 15.1-2. b) Načrtněte průběh funkcí fc(v) a r s l ) (f) pro dvě hodnoty An. Určete závislost r s p (^) na teplotě, když uvážíte vliv teploty na Fermiho funkce, 672 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ jak je znázorněný na obr. 16.1-3(b). (a) Obrázek 16.1-3 Energetické pásy a Fermiho funkce polovodiče v kvazirovnováze (a) při T = 0 K a (i>) při T > 0 K. Cvičení 16.1-2 Spektrální hustota injekční elektroluminiscence při slabé injekci. Pro dostatečně slabou injekci, kdy Ec — Efc 3> k^T a £/„ — Ev ^> k^T, lze Fermiho funkce aproximovat jejich exponenciálními výběžky. Ukažte, že rychlost luminiscence pak lze vyjádřit vztahem rsp(u) = D{hv - Eg)1'3 exp ( - kde D = exp Efc - Efv - Ea kBT je exponenciálně rostoucí funkce rozdílu kvazi-Fermiho hladin E;c — Ejv. Spektrální hustota rychlosti spontánní emise je znázorněna na obr. 16.1-4; má přesně týž tvar jako spektrální hustota při tepelné rovnováze ukázaná na obr. 15.2-9, ale její amplituda je zvětšena faktorem D/DQ = = exp[(Efc — £/,,)/A;BT], který může při injekci dosahovat značné hodnoty. V tepelné rovnováze platí Ejl: = E/„, takže znovu dostáváme (15.2-20) a (15.2-21). LUMINISCENČNÍ DIODY Obrázek 16.1-4 Spektrální hustota rychlosti rSp(v) (fotony za sekundu na 3 hertz na cm ) injekční elektroluminiscence způsobené přímými mezipásovými přechody v závislosti na hu podle (16.1-9), za podmínky slabé injekce. Cvičení 16.1-3 Šířka spektrálního průběhu elektroluminiscence. a) Ukažte, že spektrální hustota emitovaného záření popsaná pomocí (16.1-9) dosahuje maximální hodnoty na frekvenci vv určené vztahem Frekvence maxima hvv = Eg (16.1-10) b) Ukažte, že plná šířka v polovině maxima (FWHM) spektrální hustoty je Spektrální šířka (Hz) A v •• l,8kBT (16.1-11) c) Ukažte, že této šířce odpovídá rozšíření ve vlnových délkách AA » ~ lfiX^kuT/hc, kde A,, = c/i/v. Vyjádříme-li k&T v eV a vlnovou délku v fim, pak platí A A « l,45A^fcBT. (16.1-12) d) Vypočítejte Au a AA při T = 300 K pro A,, = 0,8/im a A,, = 1,6 fim. 673 674 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ +V p n Bfu Poloha Obrázek 16.1-5 Energetický diagram silně dotovaného přechodu p — n s napětím V přiloženým v propustném směru. Čárkované linie představují kvazi-Fermiho hladiny, vzájemně posunuté následkem přiloženého napětí. Současný hojný výskyt elektronů a děr v oblasti přechodu má za následek intenzivní elektron-děrovou zářivou rekombinaci (injekční elektroluminiscenci). B. Charakteristiky luminiscenčních diod Jak jasně vyplývá z předchozí diskuse, současný výskyt elektronů a děr podstatně zvětšuje tok fotonů, spontánně emitovaných z polovodiče. Koncentrace elektronů je velká v materiálu typu n a děr v typu p, avšak k dosažení intenzivního záření je nutné, aby velké množství elektronů i děr bylo v téže prostorové oblasti. Splnění této podmínky lze snadno dosáhnout v oblasti přechodu propustně polované diody s přechodem p — n (viz odst. 15.1E). Jak je ukázáno na obr. 16.1-5, napětí přiložené v propustném směru vhání díry ze strany p a elektrony ze strany n procesem injekce minoritních nosičů do společné oblasti přechodu, kde rekombinují a dochází k emisi fotonů. Luminiscenční dioda (LED) je přechod p-n zapojený v propustném směru s vysokou pravděpodobností zářivé rekombinace injektovanýcli minoritních nosičů. Obvykle jde o polovodičový materiál s přímým zakázaným pásem, který zajišťuje vysokou kvantovou účinnost. V tomto odstavci stanovíme výstupní výkon, spektrální složení a prostorovou strukturu záření emitovaného z LED a odvodíme výrazy pro účinnost, proudovou citlivost a dobu odezvy. Vnitřní tok fotonů Schematická představa jednoduché diody s přechodem p — n je znázorněna na obr. 16.1-6. Injekční stejnosměrný proud i způsob! vzrůst stacionární koncentrace nosi- LUMINISCENČNÍ DIODY 675 Obrázek 16.1-6 Jednoduchá LED s napětím přiloženým v propustném směru. Z oblasti přechodu jsou spontánně emitovány fotony. čů An a výsledkem je zářivá rekombinace v aktivní oblasti o objemu V. Protože celkový počet nosičů procházejících za sekundu oblastí přechodu je i/e, kde e je elementární náboj elektronu, je rychlost injekce nosičů (čerpání) jednoduše (nosiče za sekundu v 1 cm3) R = ^r- (16.1-13) Rovnice (16.1-1) říká, že An = RT, COŽ vede ke stacionární koncentraci nosičů An = V (16.1-14) Podle (16.1-2) je generovaný tok fotonů $ roven T|.;/?V, COŽ S použitím (16.1-13) dává Vnitřní tok fotonů (16.1-15) Touto jednoduchou a intuitivně pochopitelnou rovnicí se řídí produkce fotonů elektrony v LED: zlomek T|.; injektovaného elektronového toku i/e (elektrony za sekundu) se mění na fotonový tok. Vnitřní kvantová účinnost •% je prostě poměr generovaného toku fotonů k toku injektovaných elektronů. Výstupní tok fotonů a účinnost Tok fotonů generovaný v přechodu je vyzařován izotropně do všech směrů, avšak tok vystupující ze součástky závisí na směru emise. To lze snadno ukázat, budeme-li uva- 676 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ žovat tok fotonů procházející materiálem v jednom ze tří možných směrů, označených v geometrii obr. 16.1-7 jako paprsky A, B a C: • Tok fotonů šířící se ve směru paprsku A je zeslabován faktorem (16.1-16) •ni =exp(-a/i), kde a je absorpční koeficient materiálu typu n a l\ vzdálenost od přechodu k povrchu součástky. Kromě toho odraz při kolmém dopadu na rozhraní polovodičvzduch způsobí, že pouze zlomek záření 2 (n ~ I) (n + 1) 2 4w (n + 1) 2 (16.1-17) prochází do vzduchu, přičemž n je index lomu polovodičového materiálu [viz Fresnelovy vzorce (6.2-14)]. Pro GaAs je n = 3,6, takže T|2 = 0,68. Celková propustnost pro tok fotonů postupující ve směru paprsku A je tudíž r\A = T^T),. Tok fotonů šířící se směrem paprsku B má v materiálu delší dráhu a tudíž je silněji absorbován; má též větší reflexní ztráty. Tedy r\B < i\A. Tok fotonů emitovaný do směrů ležících vně kužele s (kritickým) úhlem 6C = = arcsin(l/n), které jsou reprezentovány paprskem C, se v ideálním materiálu totálně odráží a vůbec nevystupuje ven [viz (1.2-5)]. Část emitovaného záření ležící uvnitř tohoto kužele je /2 (16.1-18) Tedy pro n = 3,6 může projít ven pouze 3,9% celkového generovaného toku fotonů. Pro rovnoběžnostěn s indexem lomu n > \/2 je poměr isotropně generované zářivé energie, která může z materiálu vystoupit, k celkové generované Obrázek 16.1-7 Ne všechno záření generované v LED z ní vystupuje. Paprsek A se částečně odráží. Paprsek B je odrážen silněji. Paprsek C leží vně kritického úhlu a tedy podléhá úplnému vnitřnímu odrazu, takže v ideálním případe nemůže ze struktury uniknout ven. LUMINISCENČNÍ DIODY 677 2 zářivé energii roven 3[1 — (1 — 1/n ) ], jak je ukázáno ve cvičení 1.2-6. Ovšem v reálných LED fotony emitované mimo kritický úhel mohou být absorbovány a reemitovány do směrů uvnitř tohoto úhlu, takže v praxi lze předpokládat, že T|3 bude větší nežli hodnota určená pomocí (16.1-18). Výstupní tok fotonů $o je spojen s vnitřním tokem fotonů výrazem $0 (16.1-19) = kde T\C je celková vyzařovací účinnost s jakou vnitřní fotony vystupují ze struktury LED a T)J dává do spojení vnitřní tok fotonů s tokem injektovaných elektronů. Jediná kvantová účinnost zahrnující oba druhy ztrát je vnější kvantová účinnost T|ex Vnější kvantová účinnost (16.1-20) Výstupní tok fotonů v (16.1-19) lze tedy zapsat jako (16.1-21) Vnější tok fotonů t| e x je jednoduše poměr vnějšího toku fotonů k iiijektovanému toku elektronů. Protože čerpací rychlost v oblasti přechodu se obecně lokálně mění, bude tak činit i generovaný tok fotonů. Výstupní optický výkon Po luminiscenční diody souvisí těsně s výstupním tokem fotonů. Každý foton má energii hv, takže Výstupní výkon (16.1-22) Po = Ačkoliv TI, může v určitých LED dosahovat hodnot blízkých jedné, T)OX je obecně mnohem menší nežli jedna, v zásadě z důvodů reabsorpce záření v součástce a existence vnitřních odrazů na rozhraních. Důsledkem je, že vnější kvantová účinnost běžně dostupných LED, např. takových, které se používají v kapesních kalkulátorech, je typicky menší než 1%. Jiným parametrem kvality je celková kvantová účinnost T) (celková účinnost přeměny energie, také zvaná přístrojová účinnost), která je definována jako poměr vysílaného optického výkonu PQ k dodávanému elektrickému výkonu, hv (16.1-23) kde V je úbytek napětí na součástce. Pro běžné LED je hv ss eV a běžně dostáváme 678 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONU Proudová citlivost Proudová citlivost 3R světelné diody je definována jako poměr vyzářeného optického výkonu k injekčnímu proudu i, tj. 3? = Po/i- S použitím (16.1-22) dostaneme Po hv>$0 (16.1-24) Jestliže Ao vyjádříme v fim, platí pro proudovou citlivost ve W/A vztah Proudová citlivost LED (W/A), (Ao v um) (16.1-25) Například je-li Ao = 1,24/im, je 0? = r\ex v jednotkách W/A; kdyby účinnost T|ex byla rovna jedné, bylo by možné získat z injekčního proudu 1 mA maximální optický výkon 1 mW. Jak je však uvedeno výše, typické hodnoty T|ex pro LED leží v intervalu od 1 do 5%, takže proudové citlivosti LED se pohybují od 10 do 50/iW/mA. Podle (16.1-22) by měl být výstupní výkon Po úměrný injekčnímu proudu i. V praxi však tento vztah platí pouze v omezeném intervalu. Pro konkrétní prvek, jehož charakteristika (vztah mezi optickým výkonem a proudem) je ukázána na obr. 16.1-8, je emitovaný optický výkon úměrný injekčnímu čerpacímu proudu pouze pro proudy menší než asi 75 mA. V tomto intervalu má proudová citlivost konstantní hodnotu okolo 25//W/mA, jak vyplývá ze směrnice křivky. Pro větší čerpací proudy přímá úměrnost přestává platit následkem saturace; proudová citlivost již není konstantní, nýbrž klesá s rostoucím čerpacím proudem. Spektrální složení Spektrální hustota rsp(v) záření spontánně emitovaného z polovodiče v kvazi-rovnováze byla stanovena v závislosti na koncentraci injektovaných nosičů ve cvičeních c o o. o 0 100 200 Čerpací proud i (mA) Obrázek 16.1-8 Optický výstupní výkon konkrétní LED v závislosti na injekčním (čerpacím) proudu. LUMINISCENČNÍ DIODY 679 16.1-2 a 16.1-3. Stejný postup lze aplikovat na elektroluminiscenční záření emitované z LED, v níž jsou vytvořeny kvazi-rovnovážné podmínky injekčním proudem v přechodu p — n. V podmínkách slabého čerpání, kdy kvazi-Fermiho hladiny leží v zakázaném pásu a jsou vzdáleny alespoň o několik násobeků k&T od hran pásů, dosahuje spektrální hustota své maximální hodnoty na frekvenci vp = (Eg+k^T/2)/h (viz cvičení 16.1-3). Podle (16.1-11) a (16.1-12) je šířka FWHM spektrální hustoty Au « l,SkBT/h (Ai/ = = lOTHz pro T = 300 K) a je nezávislá na v. Šířka vyjádřená pomocí vlnové délky závisí na A vztahem Spektrální šířka (/im) (16.1-26) AA « 1,45 Xl kde kuT je vyjádřeno v eV, vlnová délka v fim a Xp = c/up. Úměrnost mezi AA a Xp je zřejmá z obr. 16.1-9, na kterém jsou změřené spektrální hustoty v závislosti na vlnových délkách pro několik LED emitujících ve viditelné a blízké infračervené oblasti. Jestliže např. \p = 1/im při T = 300K, z (16.1-26) plyne AA « 36 nm. Materiály pro LED LED pracují ve spektrálním oboru od blízké ultrafialové do infračervené oblasti, jak dokládá obr. 16.1-9. V blízké infračervené oblasti je mnoho binárních polovodičových materiálů, které slouží, díky svému přímému zakázanému pásu, jako vysoce účinné materiály pro přípravu LED. Mezi binární materiály typu III-V patří (jak ukazuje tab. 15.1-3 a obr. 15.1-5) GaAs (A„ = 0,87//m), GaSb (1,7 /xm), InP (0,9 Zelená GaP:N Fialová GaN- 0.3 Blízká infračervená Žlutá GaAs 1 4 P 8 6 Červena -GaP:ZnO -GaAs.6P.4 \ 0.4 0.5 I) \ In 72Ga.28As.60P.40 Oranžová 0.6 0.7 0.8 GaAs I 0.9 1.0 1.1 1.2 1.3 Vlnová délka Ao {inu) Obrázek 16.1-9 Spektrální hustoty záření polovodičových LED s různou šířkou zakázaného pásu v závislosti na vlnové délce, špičkové intenzity jsou normovány na stejnou hodnotu. Vzrůstající spektrální šířka čáry je důsledkem její úměrnosti \^r (Upraveno podle S. M. Sze, Physics oj Serniconductor Devices, Wiley, New York, 2. vydání 1981.) 680 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ InAs (3,5 /jm) a InSb (7,3 /mi). Také ternární a kvaternární sloučeniny mají přímý zakázaný pás v širokém oboru svého složení (viz obr. 15.1-5). Tyto materiály mají výhodu, že jejich emisní vlnovou délku lze nastavit změnou složení. Mezi sloučeninami typu III-V zasluhují zvláštní pozornost ternární AlxGai_xAs (0,75 až 0,87um) a kvaternární Ini-xGaxAsi-yP,, (1,1 až 1,6/mi). Pro kratší vlnové délky (v ultrafialové oblasti a pro většinu viditelného spektra) jsou typické materiály jako GaN, GaP a GaAsi_xPx, a to navzdory jejich nízké vnitřní kvantové účinnosti. Tyto materiály se často dotují prvky, které zvyšují zářivou rekombinaci tím způsobem, že slouží jako rekombinační centra. LED emitující modré světlo lze také připravit použitím luminoforu, který přeměňuje fotony z blízké infračervené oblasti vysílané LED z GaAs (viz. obr. 12.4-2) na fotony vyšší frekvence. Doba odezvy Doba odezvy LED je v zásadě určena dobou života r injektovaných minoritních nosičů, které jsou odpovědné za zářivou rekombinaci. Pro dostatečně malé injekční rychlosti R lze injekční nebo rekombinační proces popsat lineární diferenciální rovnicí prvního řádu (viz odst. 15.ID) a tudíž odezvou na sinusové signály. Experimentálně se nejvyšší frekvence, při níž lze LED efektivně modulovat, snadno stanoví měřením výstupního světelného výkonu v závislosti na frekvenci sinusového elektrického proudu. Jestliže injekční proud předpokládáme ve tvaru i = io + i\ cos(fiť), kde i\ je dostatečně malé, takže vyzařovaný optický výkon P se mění lineárně s injekčním proudem, chová se vyzařovaný optický výkon jako P = Po + P\ cos(ftí + ip). Příslušnou přenosovou funkci, definovanou jako 7ť(fž) = (Pi/ii)exp(j(p)> předpokládáme ve tvaru ^ (16.1-27) který je charakteristický pro obvod s odporem a kapacitou. Doba odezvy LED je T (sekundy) a její 3-dB šířka pásma je B = 1/2-KT (HZ). Rozšíření lze tudíž dosáhnout snížením doby odezvy T, která podle vztahu 1/T = 1/r,. + 1/TTII. zahrnuje příspěvek jak od zářivé doby rT tak i od nezářivé doby T„„.. Ovšem zkrácení T„, implikuje nežádoucí snížení vnitřní kvantové účinnosti % = r /TT. Je tudíž žádoucí maximalizovat součin vnitřní kvantové účinnosti a šířky pásma i}{B = \/2-KTT místo maximalizace samotné šířky pásma. To vyžaduje zmenšení pouze zářivé doby života T,. aniž by se snižovalo *r n r , čehož lze dosáhnout pečlivým výběrem polovodičového materiálu a úrovně dotování. Typické doby odezvy LED leží v intervalu 1 až 50 ns s odpovídající šířkou pásma řádově stovek MHz. Struktura součástek LED mohou být konstruovány buď v plošně vyzařující nebo hranově vyzařující konfiguraci (obr. 16.1-10). Plošně emitující LED emituje záření z plochy součástky rovnoběžné s rovinou přechodu. Záření emitované z protilehlé plochy je pohlceno substrátem a ztraceno nebo — což je výhodnější — se odráží od kovového kontaktu (to je možné při použití průhledného substrátu). Hranově emitující LED vysílá záření z hrany oblasti přechodu. Tato struktura se také obvykle používá pro diodové lasery, LUMINISCENČNÍ DIODY la) Obrázek 16.1-10 681 (b) (a) Plošně vyzařující LED. (b) Hranově vyzařující LED. ačkoliv se začínají stále více používat plošně emitující laserové diody (SELD — surface-emitting laser diodes). Plošně vyzařující LED jsou obvykle účinnější nežli hranově emitující. LED s heterostrukturami popsanými v odst. 16.2C vykazují nejlepší parametry. Příklady struktur plošně emitujících LED jsou na obr. 16.1-11. Konfigurace ploché diody GaAsi-:,^ na GaAs substrátu je ukázána na obrázku 16.1-ll(a). Vrstva GaAsi-^Py s odstupňovaně se měnícím složením, umístěná mezi substrát a vrstvu typu n, zmenšuje rozdíl mezi mřížkovými konstantami. Zakázaný pás GaAs je menší nežli energie fotonu emitovaného červeného světla, takže záření emitované směrem k substrátu je pohlcováno. Pro zvýšení vnější kvantové účinnosti je možno Kov Kov Kov SiOj Izolátor Vrstva i-/y, s proměnným složením GaAs Obrázek 16.1-11 typu. GaAs Substrát SiO 2 Izolátor (b) (a) LED z GaAsi_.,:P,: v konfiguraci ploché diody. (6) LED Burrusova 682 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ použít transparentního substrátu, např. GaP, ve spojení s reflektujícím kontaktem. Tzv. Burrusova LED, ukázaná na obr. 16.1-ll(ř>), využívá ke směrování záření bezprostředně z oblasti přechodu vyleptané jamky. Tato struktura je specielně vhodná pro účinné navázání emitovaného záření do optického vlákna, které lze umístit do těsné blízkosti aktivní oblasti (viz obr. 22.1-5). Prostorové rozložení emitovaného záření V daleké zóně je prostorové rozložení záření pocházejícího z plošně emitující LED podobné rozložení lambertovského zářiče; intenzita se mění jako cos 6, kde 9 je úhel směru paprsku od normály roviny emise. Intenzita klesá na poloviční hodnotu při 0 = 60°. Na LED se často umísťují čočky z epoxidové pryskyřice, které toto úhlové rozložení snižují. Různě tvarované čočky mění úhlové rozložení emitovaného záření specifickým způsobem, jak je schematicky ukázáno na obr. 16.1-12. Záření vysílané hranově emitujícími LED (a laserovými diodami) má obvykle užší úhlové rozložení. Toto rozložení lze často dobře modelovat funkcí coss(0), kde s > 1. Jestliže např. s = 10, intenzita klesne na poloviční hodnotu pro 6 ~ 21°. Elektronické obvody LED je obvykle napájena proudovým zdrojem, jak je schematicky ukázáno na obr. 16.1-13(o) nebo např. zdrojem konstantního napětí v sérii s odporem, což je znázorněno na obr. 16.1-13(6). Emitované záření lze snadno modulovat (buď analogově nebo digitálně) modulováním injekčního proudu. Příklady takových obvodů jsou analogový obvod na obr. 16.1-13(c) a digitální obvod na obr. 16.1-13(cř). Činnost těchto obvodů lze zlepšit přidáním napěťově řízených proudových regulátorů, impedančním přizpůsobením a obvody nelineární kompenzace. Navíc je možno snížit fluktuace intenzity emitovaného záření pomocí optické zpětné vazby, která řídí injekční proud podle intenzity emitovaného záření. 16.2 POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE Princip činnosti polovodičového laserového zesilovače je stejný jako u jiných laserových zesilovačů: vytvoření populační inverze, která zajistí převahu stimulované emise nad absorpcí. Populační inverze se obvykle realizuje injekčním elektrickým proudem Přechody (o) Přechod Přechod tb) (c) Obrázek 16.1-12 Prostorové rozložení záření plošně vyzařujících LED: (a) lambertovské rozložení plošně vyzařující LED bez použití čoček; (b) rozložení u LED s hemisférickou čočkou; (c) rozložení u LED s parabolickou čočkou. POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE vvww* 683 Vstupní signál (o) Datový vstup Napájení (b) (d) Obrázek 16.1-13 Různé obvody, jichž lze užít k napájení LED. Jsou to (a) ideální ss proudový zdroj; (6) ss proudový zdroj realizovaný zdrojem konstantního napětí v sérii s odporem; (c) tranzistorově řízená proudová injekce do LED pro analogovou modulaci emitovaného záření; (d) tranzistorové spínání proudu injektovaného do LED k digitální modulaci emitovaného záření. v diodě p — n; napětí v propustném směru vyvolá injekci párů nosičů do oblasti přechodu, kde rekombinují při stimulované emisi. Teorie polovodičového laserového zesilovače je poněkud složitější nežli teorie vyložená v kap. 13 pro jiné laserové zesilovače vzhledem k tomu, že dochází k přechodům mezi pásy složenými z velmi těsně uspořádaných energetických hladin, nikoliv k přechodům mezi vzdálenými diskrétními hladinami. Nicméně pro srovnání můžeme pohlížet na polovodičový laserový zesilovač jako na čtyřhladinový laserový systém (viz obr. 13.2-6), ve kterém horní dvě hladiny leží ve vodivostním pásu a dolní dvě hladiny ve valenčním pásu. Teorii laserového zesilovače vypracovanou v kap. 13 lze rozšířit na polovodičové struktury pomocí výsledků uvedených v kap. 15. V tomto odstavci použijeme výsledky odvozené v odst. 15.2, abychom obdrželi výrazy pro zisk a šířku pásma polovodičových laserových zesilovačů. Uvedeme také přehled čerpacích schémat užívaných k dosažení populační inverze a stručně probereme běžně používané polovodičové zesilovací struktury. Teoretické základy polovodičových laserových zesilovačů 684 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ jsou výchozím bodem pro vysvětlení činnosti injekčních laserů v odst. 16.3. Většina polovodičových laserových zesilovačů vyráběných v současné době je konstruována pro optické komunikační systémy v pásmu 1,3-1,55 ^m a to jako neregenerativní opakovače, optické předzesilovače nebo úzkopásmové elektricky laditelné zesilovače. Ve srovnání se zesilovači na křemenných vláknech dotovaných E r 3 + mají polovodičové zesilovače jak výhody, tak i nevýhody. Jsou menší a snadno se zabudují do optoelektronických integrovaných obvodů. Jejich šířka pásma může dosahovat až lOTHz a to je vyšší hodnota nežli u vláknových zesilovačů. Negativním rysem polovodičových zesilovačů je to, že mají často větší vazební ztráty (typicky 3 až 5 dB na jednu vazební plochu) nežli vláknové zesilovače. Kromě toho působí obtíže teplotní nestabilita a citlivost na polarizaci záření. Má-li polovodičový laserový zesilovač pracovat jako jednoprůchodová širokopásmová součástka (tj. jako zesilovač s postupnou vlnou), musí se pečlivě minimalizovat odrazy na výstupních plochách. Pokud se tak nestane, vzniknou mnohonásobné reflexe a profil zisku bude modulován mody rezonátoru; to může také vést k oscilacím, které pak ovšem nepřipustí možnost řízeného zesílení. Doba odezvy je určena složitou dynamikou nosičů; v současnosti je nejkratší doba odezvy ~ 100 ps. A. Zesílení Záření o frekvenci v může interagovat s nosiči v polovodičovém materiálu s přímým zakázaným pásem prostřednictvím mezipásových přechodů za předpokladu, že v > Eg/h. Dopadající fotony mohou být absorbovány a mohou tak generovat elektron-děrové páry, nebo mohou produkovat dodatečné fotony následkem stimulované elektron-děrové rekombinační emise (viz obr. 16.2-1). Je-li emise pravděpodobnější nežli absorpce, výsledkem je čistý optický zisk a materiál může sloužit jako koherenční optický zesilovač. Výrazy pro rychlost absorpce fotonů r.A\^(v) a pro rychlost stimulované emise rst(v) udávají vztahy (15.2-18) a (15.2-17). Tyto veličiny závisí na spektrální hustotě toku fotonů </>„, kvantově mechanické síle přechodu v uvažovaném materiálu (která je implicitně obsažena v hodnotě zářivé doby rr. elektron-děrové rekombinace), optické sdružené hustotě stavů g(v) a na pravděpodobnostech obsazení hladin pro emisi fc(v) a absorpci /<,(")• Optická sdružená hustota stavů g(v) je určena relacemi mezi E a k pro elektrony a pro díry a zachováním energie a hybnosti. S pomocí parabolické aproximace pro závislost E na k v blízkosti hran vodivostního a valenčního pásu bylo ukázáno v (15.2-6) a (15.2-7), že energie elektronů a děr, které interagují s fotonem o energii hv jsou E2 = Ec+7^(hv-Ell), El = E2-hv, (16.2-1) kde mc a m„ jsou jejich efektivní hmotnosti a l/m., = l/m,.. + l/m„. Pro výslednou sdruženou optickou hustotu stavů nosičů interagujících s fotony o energii hv byl odvozen vztah [viz (15.2-9)] e(y) = {2ml\/ (hv - Eu)l'\ hv > E,,. (16.2-2) POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE Stimulovaná emise Absorbce T 685 Ar Eg .1 I III I IIII I III I I IIII 1111111i 1111111111 . (a) (b) Obrázek 16.2-1 (a) Absorpce fotonu vede ke generování elektron-děrového páru. (6) Elektron-děrová rekombinace může být indukována fotonem; výsledkem je stimulovaná emise identického fotonu. Je zřejmé, že g(v) roste s odmocninou přebytku energie fotonu nad šířkou zakázaného pásu. Pravděpodobnosti obsazení fc.{v) a /„(V) jsou určeny čerpací rychlostí prostřednictvím kvazi-Fermiho hladin E/,: a E/„. fc{v) je pravděpodobnost toho, že stav vodivostního pásu o energii £2 je obsazen elektronem a stav valenčnílio pásu o energii Ej je obsazen dírou. Na druhé straně fn{v) je pravděpodobnost toho, že stav vodivostního pásu o energii £3 je prázdný a stav valenčnílio pásu o energii E\ je obsazen elektronem. Fermiho faktor inverze E2) - f„(Ei) (16.2-3) představuje stupeň populační inverze. fu(v) závisí jak na Fermiho funkci pro vodivostní pás /,..(£) = l/{exp[(£ - Ef,.)/kBT] + 1}, tak i na Fermiho funkci pro valenční pás / „ ( £ ) = l/{exp[(£ - Ef„)/kBT] + 1}. Je funkcí teploty a kvazi-Fermiho hladin Efc a Ef„, které jsou zase určeny čerpací rychlostí. Protože principiálně je možno v polovodičovém laserovém zesilovači dosáhnout úplné populační inverze [/(/(f) = 1], chová se zesilovač jako čtyřhladinový systém. Výsledky uvedené výše byly zkombinovány v (15.2-23) do výrazu pro koeficient zesílení 7o(^) = [^tí") — r>\\>(v)]/<l>i/, ve tvaru Koeficient zesílení (16.2-4) Ze srovnání (16.2-4) s (13.1-4) je zřejmé, že veličina pO')/</('•') hraje u polovodičového 686 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ laserového zesilovače roli veličiny Ng{v) u jiných laserových zesilovačů. Šířka pásma zesilovače Podle (16.2-3) a (16.2-4) poskytuje polovodičové prostředí výsledné optické zesílení na frekvenci v pokud / C (E 2 ) > fv{Ei). Naopak je-li / C (E 2 ) < /„(Ei), je výsledkem absorpce. Tedy polovodičový materiál v tepelné rovnováze (nedotovaný či dotovaný) nemůže zesilovat, ať by byla teplota jakákoliv; je to proto, že Fermiho hladiny vodivostního a valenčního pásu mají stejnou hodnotu (E/ c = Efv = Ef). K vzájemnému oddělení Fermiho hladin obou pásů a k dosažení zesílení je zapotřebí vnějšího čerpání. Podmínka / C (E 2 ) > /„(Ei) je ekvivalentní požadavku, aby energie fotonu byla menší nežli vzdálenost mezi kvazi-Fermiho hladinami, tj. hv < E;c — E/„, jak je ukázáno ve cvičení (15.2-1). Samozřejmě energie fotonu musí být větší nežli šířka zakázaného pásu {hv > Eg), má-li dojít k laserovému zesílení pomocí mezipásových přechodů. Jestliže tedy čerpací rychlost je dostatečně vysoká k tomu, aby vzdálenost mezi kvazi-Fermiho hladinami překročila energii zakázaného pásu Eg, může prostředí působit jako zesilovač pro optické frekvence v pásmu Šířka pásma zesilovače ^ h < y < - ^ - ^ h Pro hv < Eg je prostředí transparentní, zatímco pro hv > Efc — Efv jde o útlumový prvek namísto zesilovače. Rovnice (16.2-5) ukazuje, že šířka pásma zesilovače roste s Efc — E/„, tedy s úrovní čerpání. V tomto smyslu se tento zesilovač liší od atomového laserového zesilovače, který má nenasycenou šířku pásma Av nezávislou na úrovni čerpání (viz obr. 13.1-2). Výpočet vlastního zesílení se značně zjednoduší, jestliže lze zanedbat tepelné excitace (tj. T = OK). Fermiho funkce jsou pak jednoduše / C (E 2 ) = 1 pro E2 < E/c a 0 jinde; f„{Ex) = 1 pro E^ < Efv a 0 jinde. V tomto případě je Fermiho faktor inverze Na obr. 16.2-2 jsou schematické závislosti funkcí g(i/), f,,{v) a koeficientu zesílení 7o(i/), ukazující jak 7o(i^) mění znaménko a stává se koeficientem ztrát pro hv > > Efc — E/.„. Závislost 7o(i') na v~2, vyplývající z faktoru A2 v čitateli (16.2-4), je dostatečně pomalá a může být zanedbána. Nenulová teplota vyhlazuje funkce fg(v) a 7o(f), jak ukazují čárkované křivky na obr. 16.2-2. Závislost koeficientu zesílení na čerpání Koeficient zesílení 7o(^) zvětšuje svou šířku i svou velikost s rostoucí čerpací rychlostí R. Podle (16.1-1) konstantní čerpací rychlost R (počet injektovaných nadbytečných elektron-děrových párů v 1 cm 3 za sekundu) vede ke stacionární koncentraci injektovaných elektron-děrových párů A n = Ap = Rr, kde r je doba elektron-děrové rekombinace (která zahrnuje zářivý i nezářivý příspěvek). Znalost celkové stacionární koncentrace elektronů a děr n = no + An a p = po 4 Ap dovoluje určit pomocí POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE Efc-Efv Eg +1 687 hv \ \ \ hv - 1 -- í / Zesílení Ztráty - o Eg ^ \ \ \ hv \ \ \ Obrázek 16.2-2 Závislost sdružené optické hustoty stavů Q(V), Fermiho faktoru inverze fa(v) a koeficientu zesílení 7o(^) na energii při T = 0 K (plné křivky) a při pokojové teplotě (čárkované křivky). U fotonů s energií mezi Eg a Efc — Efv dochází k laserovému zesílení. (16.1-7) Fermiho hladiny Ejc a £/,,. Jakmile známe Fermiho hladiny, můžeme podle (16.2-4) počítat koeficient zesílení. Závislost 7o(i/) na An a tudíž na R je ilustrativně probrána v příkladu 16.2-1. Nástup saturace zisku a šumové vlastnosti polovodičových laserových zesilovačů jsou podobné jako u ostatních zesilovačů, jak bylo probráno v odst. 13.3 a 13.4. Příklad 16.2-1. Laserový zesilovač InCaAsP. Vzorek I1i0.72Ga0.28As0.0P04 s Eg = 0,95 eV pracuje jako polovodičový laserový zesilovač při pokojové teplotě (T = 300 K) na Ao = 1,3/jm. Vzorek není dotován, ale má residuální koncentraci ss 2 x 10 1 7 cm~ 3 donorů a akceptorů, zářivou dobu elektron-děrové rekombinace r r ~ 2,5 ns. Efektivní hmotnost elektronů je m,: « 0,06mo a děr mv w 0,4m o , index lomu je n « 3,5. Při zadané stacionární koncentraci injektovaných nosičů An. (která je určena rychlostí injekce R a celkovou rekombinační dobou r) lze vypočítat koeficient zesílení 7o(i^) pomocí (16.2-4) a (16.1-7). Obr. 16.2-3 ukazuje, že šířka pásma 688 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ zesilovače a špičková hodnota koeficientu zesílení ip rostou s An. Energie, při které nastává maximum zesílení také roste s An, jak můžeme očekávat z chování zobrazeného na obr. 16.2-2. Navíc minimální energie, při které 300 1.0 0.90 0.92 0.94 (a) 0.96 1.5 2.0 hv (eV) (b) Obrázek 16.2-3 (a) Vypočtený koeficient zesílení iu(v) InGaAsP laserového zesilovače jako funkce energie fotonu hv. Parametrem je koncentrace injektovaných nosičů An (T = 300 K). Frekvenční pásmo, v němž dochází k zesílení (lokalizované v okolí 1,3/xin), se s rostoucím An rozšiřuje. Pro největší zobrazenou hodnotu An činí plná šířka pásma zesilovače 15THz, což odpovídá v energi 0,06 eV a ve vlnové délce 75 mu. (Převzato z N. K. Dutta, Calculated Absorption, Emission, and Gain in Ino.72Gao.2sAso.cPo.4, Journal of Applied Physics, vol. 51, str. 6095-6100, 1980.) (6) Vypočtený špičkový koeficient zesílení j r jako funkce An. Pro nejvyšší hodnotu An je špičkový koeficient zesílení R; 270 c m " 1 . (Převzato z N. K. Dutta a R. J. Nelson, The Čase of Auger Recombination in Ini_ : r Ga ; e As,jPi_,j, Journal of Applied Physics, vol. 53, str. 74-92, 1982.) zesílení nastupuje, s rostoucím An mírně klesá v důsledku existence stavů ve výběžcích pásů, které zmenšují šířku zakázaného pásu. Při největší uvedené hodnotě An (An = 1,8 x 10 18 cm~ 3 ) jsou zesilovány fotony s energií mezi 0,91 a 0,97 eV. To odpovídá plné šířce pásma zesilovače 15 THz a intervalu vlnových délek 75 nm, který je velký ve srovnání s většinou atomárních šířek čar (viz tab. 13.2-1). Vypočtená špičková hodnota koeficientu zisku 7;, = 270 cm" 1 při této hodnotě An je taktéž vysoká ve srovnání s většinou POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE 689 atomárních laserových zesilovačů. Přibližný špičkový koeficient zesílení Složitá závislost koeficientu zesílení na koncentraci injektovaných nosičů do jisté míry komplikuje analýzu polovodičového zesilovače (i laseru). Z tohoto důvodu se běžně používá empirický přístup, při kterém se předpokládá, že špičková hodnota koeficientu zisku -yp závisí lineárně na An pro hodnoty An blízké pracovnímu bodu. Jak ukazuje příklad na obr. 16.2-3(6), tato aproximace je rozumná, je-li 7^ velké. Závislost špičkového koeficientu zesílení 7,, na An může pak být modelována lineární rovnicí Špičkový koeficient zesílení (lineární aproximace) (16.2-7) která je zobrazena na obr. 16.2-4. Parametry a a An^ se vybírají tak, aby vyhovovaly následujícím limitním hodnotám: • Když An = 0 je j p = —a, kde a představuje absorpční koeficient polovodiče bez injekčního proudu. • Když An = An^ je j p = 0. Tudíž Anj- je koncentrace injektovaných nosičů proudu, při níž je emise právě v rovnováze s absorpcí a prostředí je tedy transparentní. Příklad 16.2-2. Laserový zesilovač InGaAsP. Závislost špičkového koeficientu zesílení 7y, na An pro InGaAsP, ukázanou na obr. 16.2-3(6), lze aproximovat lineárním vztahem ve tvaru (16.2-7) s parametry An^ ~ 1,25 x 10 1 8 cm" : = 600 cm" 1 . Pro An = l,4An T = 1,75 x 1018 cm Zesílení o Ztráty Obrázek 16.2-4 Špičková hodnota koeficientu zesílení 7Í( jako funkce koncentrace injektovaných nosičů An v aproxiniativním lineárním modelu, a představuje absorpční koeficient bez injekce, zatímco Anp je koncentrace injektovaných nosičů, pfi které jsou emise a absorpce právě v rovnováze. Plně vytažená část přímky souhlasí s realističtějšími výpočty uvažovanými v předchozím odstavci. 690 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ dává tento lineární model hodnotu špičkového zesílení 7 P = 240 cm x. Pro krystal InGaAsP o délce d = 350/um to odpovídá celkovému zisku exp(-ypd) ~ 4447 čili 36,5 dB. Musíme však mít na mysli, že vazební ztráty jsou typicky 3 až 5dB na plošku. Zvyšování koncentrace injektovaných nosičů nad hodnotu ATVT odpovídající optické propustnosti materiálu vede k tomu, že polovodič se mění ze silného absorbéru záření [/9(i^) < 0] v zesilovač záření s vysokým ziskem [fg(v) > 0]. Táž vysoká pravděpodobnost přechodu, která činí polovodič dobrým absorbérem, podmiňuje jeho schopnost být dobrým zesilovačem, jak vyplývá ze srovnání (15.2-17) a (15.2-18). B. Č erpani Optické čerpání Čerpání lze uskutečnit vnějším zářením, což je znázorněno na obr. 16.2-5, za předpokladu, že energie fotonu je dostatečně veliká (> Eg). Čerpací fotony jsou v polovodiči absorbovány a generují páry nosičů. Generované elektrony relaxují ke dnu vodivostního pásu a díry k vrcholku valenčního pásu. Je-li relaxační doba uvnitř pásu mnohem kratší ve srovnání s relaxační mezipásovou dobou, což je obvyklé, může se ustavit stacionární populační inverze mezi pásy podle odst. 13.2. Čerpání elektrickým proudem Praktičtějším způsobem čerpání polovodiče je injekce elektronů a děr v silně dotovaném přechodu p — nv diodě. Stejně jako u LED (viz odst. 16.1) je přechod propustně polován, takže do oblasti přechodu jsou injektovány minoritní nosiče (elektrony do oblasti p a díry do oblasti n). Energetická pásová struktura propustně polovaného silně dotovaného přechodu p — n je na obr. 16.1-5. Kvazi-Fermiho hladiny vodivostního pásu Efc a valenčního pásu £/„ leží uvnitř odpovídajících pásů a v oblasti přechodu Čerpací TOIWV* foton Foton vstupního WWWV*Fotony signálu MAMA/*-VWVWV*- výstupního signálu Obrázek 16.2-5 Optické čerpání polovodičového laserového zesilovače. POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE 691 existuje kvazirovnováha. Kvazi-Fermiho hladiny jsou navzájem dostatečně vzdáleny, takže je dosaženo populační inverze a v pásmu o šířce Eg < hv < Efc — E;v lze obdržet uvnitř aktivní oblasti zesílení. Tloušťka / aktivní oblasti je důležitým parametrem diody, který je určen v zásadě difuzní délkou minoritních nosičů na obou stranách přechodu. Typické hodnoty I pro InGaAsP jsou 1 až 3 fixa.. Jestliže je elektrický proud i injektován plochou A = wd, kde w je šířka a d výška prvku, do objemu IA (obr. 16.2-6), pak stacionární rychlost injekce nosičů je /? = í/elA = Jjel za sekundu v jednotkovém objemu, kde J = i/A je injekční proudová hustota. Výsledná koncentrace injektovanych nosičů je pak elA = —J. el (16.2-8) Koncentrace injektovanych nosičů je tudíž přímo úměrná injekční proudové hustotě a závislosti z obr. 16.2-3 a 16.2-4, kde An je parametrem. Závislosti mohou mít stejně dobře za parametr J. Ze vztahů (16.2-7) a (16.2-8) vyplývá, že v přiblížení lineární aproximace, implicitně obsažené v (16.2-7), je špičkový koeficient zesílení lineárně závislý na injekční proudové hustotě J, tzn. Špičkový koeficient zesílení (16.2-9) Proudová hustota JT nutná k dosažení optické transparentnosti vzorku je dána Výstupní fotony -*— ' • * • p n X Vstupní fotony 1 i i i i i d ' 1 1 < P l o c h a A Obrázek 16.2-6 Geometrické uspořádání jednoduchého laserového zesilovače. Nosiče náboje putují kolmo k přechodu p — n, kdežto fotony se šíří v rovině přechodu. POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ zesí ení 692 cOJ koefici +J Zesílení i- 0 Current density J /JT > o '5. Ztráty —a Obrázek 16.2-7 Špičkový optický koeficient zesílení -yp jako funkce proudové hustoty J v aproximativním lineárním modelu. Když J = JT je materiál opticky transparentní a nevykazuje zisk ani ztráty. vztahem Transparentní proudová hustota JT = el An T , (16.2-10) kde r|,: = T/T.,- představuje opět vnitřní kvantovou účinnost. Je-li J — 0, pak špičkový koeficient zesílení 7,, = —a se stává absorpčním koeficientem, jak je zřejmé z obr. 16.2-7. Je-li J = JT, je 7 = 0 a materiál je transparentní, nezesiluje ani nezeslabuje světlo. Výsledného zesílení lze dosáhnout jen když injekční proudová hustota překročí hodnotu JT- Všimněte si, že JT je přímo úměrné tloušťce přechodu /, takže při užší aktivní oblasti lze dosáhnout nižší hodnoty transparentní proudové hustoty JT- Tato úvaha je důležitá při navrhování polovodičových zesilovačů (a laserů). Příklad 16.2-3. Laserový zesilovač InGaAsP. Diodový zesilovač InGaAsP pracuje při 300 K a má následující parametry: r, = 2,5 ns, r|,: = 0,5, A117 = = 1,25 x 10 1 8 cm" 3 a a = 600C11-T1. Přechod má tloušťku / = 2//m, délku d = 200 fim a šířku w = 10 /íin. Podle (16.2-10) je proudová hustota nutná k dosažení transparentnosti polovodiče JT = 3,2 x 104 A/cm2. Mírně vyšší proudová hustota J = 3,5 x 104 A/cm2 poskytuje podle (16.2-9) špičkový koeficient zesílení fp ~ 56 cm" 1 . Zisk zesilovače je potom G = exp("ird) = = exp(l,12) « 3. Protože však plocha přechodu je A = wd = 2xlO~ 5 cm2, je zapotřebí k vytvoření požadované proudové hustoty dosti silného injekčiiího proudu i = JA — 700 mA. POLOVODIČOVÉ LASEROVÉ ZESILOVAČE 693 Motivace pro heterostruktury Kdyby bylo možno zredukovat tloušťku aktivní oblasti v příkladu 16.2-3 ze 2 fini např. na 0,1 jim, zmenšila by se proudová hustota JT dvacetkrát na mnohem přijatelnější hodnotu 1600A/cm2. Jelikož by byl čerpán úměrně menší objem, zesilovač by mohl poskytnout tentýž zisk s daleko menší injekční proudovou hustotou. Zmenšení tloušťky aktivní oblasti však představuje problém, protože difuzní délky elektronů a děr v InGaAsP činí několik fim; nosiče by měli tudíž tendenci difundovat z takové malé oblasti ven. Existuje způsob jak lze nosiče uzavřít v aktivní oblasti, jejíž tloušťka je menší než jejich difuzní délky? Odpověď zní ano, použijeme-li prvek s heterostrukturou. Takové prvky také umožňují omezit světelný svazek do aktivní oblasti menší nežli je jeho vlnová délka — a to je další podstatná výhoda. C. Heterostruktury Z (16.2-9) a (16.2-10) je zřejmé, že špičkový koeficient zesílení 7 P laserové zesilovací diody se mění nepřímo úměrně s tloušťkou / aktivní oblasti. Je tudíž výhodné použít nejmenší možnou tloušťku. Aktivní oblast je definována difuzní vzdáleností minoritních nosičů na obě strany od přechodu. V uspořádání s dvojitou heterostrukturou jsou vytvořené na obou stranách přechodu p — n heteropřechody s potenciálními bariérami, čímž se vytvoří potenciálová jáma omezující vzdálenost, do které mohou minoritní nosiče difundovat. Bariéry přechodu definují tu oblast prostoru, v níž jsou uzavřeny minoritní nosiče, takže lze dosáhnout aktivní oblasti o tloušťce / až 0,1 /xm. (Ještě tenčí oblasti, okolo 0,01 fim, lze dosáhnout v laserech s kvantovými jámami, které budou diskutovány v odst. 16.3G.) Bude-li materiál aktivní vrstvy mít index lomu mírně větší nežli index lomu vrstev obklopujících přechod, lze současně docílit elektromagnetického prostorového omezení zesilovaného optického svazku — tato struktura bude působit jako optický vlnovod (viz kap. 7). Realizace dvojité heterostruktury tudíž požaduje tři vrstvy různých materiálů s přizpůsobenými mřížkovými konstantami (viz obr. 16.2-8): Vrstva 1: typ p, zakázaný pás Efli, index lomu ni. Vrstva 2: typ p, zakázaný pás Efl2, index lomu n?. Vrstva 3: typ n, zakázaný pás £fl3, index lomu 113. Materiály se vybírají takovým způsobem, že Efl\ a £,,3 jsou větší nežli E,,2, aby bylo dosaženo uzavření nosičů, zatímco ni je větší nežli ni a JI3 k prostorovému omezení záření. Aktivní vrstva (vrstva 2) se připravuje zcela tenká (0,1 až 0,2 pm) pro minimalizaci proudové hustoty transparentnosti JT a maximalizaci špičkového koeficientu zesílení 7,,. Stimulovaná emise nastává v oblasti přechodu p — n mezi vrstvami 2 a 3. Dvojitá heterostruktura má následující výhody: • Vyšší zisk zesilovače při dané proudové hustotě, vyplývající ze zmenšené tloušťky aktivní vrstvy [viz (16.2-9) a (16.2-10)]. Injektované minoritní nosiče zůstávají uvnitř tenké aktivní vrstvy mezi dvěma bariérami heteropřechodu a nemohou difundovat do okolních vrstev • Vyšší zisk zesilovače vyplývá z prostorového omezení záření na aktivní vrstvu následkem jejího vyššího indexu lomu. Aktivní prostředí působí jako optický vlnovod. 694 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ 1 Výstupní fotony Vstupní fotony I I I I Bariéra "I 1_Obrázek 16.2-8 Energetická pásová struktura a index lomu jako funkce souřadnice pro polovodičový laserový zesilovač s dvojitou heterostrukturou. Nižší ztráty plynou z toho, že vrstvy 1 a 3 nepohlcují vedené fotony, protože jejich zakázané pásy jsou širší nežli energie fotonu (tj. hv = Eg2 < Eg\, Egs). Uvedeme dva příklady laserových zesilovačů s dvojitou heterostrukturou: Laserový diodový zesilovač InGaAsP/InP s dvojitou heterostrukturou. Aktivní vrstvou je Ini-^Ga^Asi-yPj,, zatímco obklopující vrstvy jsou InP. Hodnoty poměrného zastoupení x a y se vybírají takovým způsobem, aby materiály měly stejnou mřížkovou konstantu. Tím jsou hodnoty x & y omezeny na interval hodnot, pro které Egi odpovídá pásmu 1,1-1,7/im. Laserový diodový zesilovač GaAs/AlGaAs s dvojitou heterostrukturou. Aktivní vrstva (vrstva 2) je vyrobena z GaAs (£92 = 1,42 eV, 712 = 3,6). Obklopující vrstvy (1 a 3) jsou vyrobeny z Al x Gai_. T As s Eg > 1,43 eV a n < 3,6 (o 5 až 10%). Tento zesilovač pracuje typicky v pásmu vlnových délek 0,82 až 0,88/im při použití AlGaAs s x = 0,35 až 0,5. 16.3 A. POLOVODIČOVÉ INJEKCNI LASERY Zesílení, zpětná vazba a oscilace Polovodičový injekční laser je polovodičový zesilovač opatřený optickou zpětnou vazbou. Jak bylo diskutováno v předcházejícím odstavci, je polovodičový laserový zesilo- POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 695 vač silně dotovaným přechodem p — n, polovaným v propustném směru, vyrobeným z polovodičového materiálu s přímým zakázaným pásem. Injekční proud je dostatečně vysoký k zajištění optického zisku. Zpětná vazba je vytvořena zrcadly, která se obvykle získají štípáním polovodičového materiálu podél krystalových ploch. Velký rozdíl indexu lomu mezi krystalem a vzduchem, který jej obklopuje, působí, že štěpné plochy hrají roli zrcadel. Krystal polovodiče tudíž současně plní funkci zesilujícího prostředí i optického rezonátoru, jak je znázorněno na obr. 16.3-1. Za předpokladu, že je koeficient zesílení dostatečně vysoký, mění zpětná vazba optický zesilovač na optický oscilátor (laser). Prvek se nazývá polovodičový injekční laser či laserová dioda. Laserová dioda (LD) je podobná světelné diodě (LED), probírané v odst. 16.1. V obou součástkách je zdrojem energie elektrický proud injektovaiiý do přechodu p — n . Záření emitované LED je však generováno spontánní emisí, zatímco záření LD vzniká stimulovanou emisí. V porovnání s ostatními typy laserů má injekční laser řadu výhod: malé rozměry, vysokou účinnost, integrovatelnost s elektronickými součástkami a snadné čerpání i modulaci injekčním elektrickým proudem. Spektrální šířka čáry polovodičového laseru je však typicky větší nežli u ostatních laserů. Analýzu podmínek laserových oscilací a vlastností emitovaného záření začneme stručným zopakováním základních výsledků pro polovodičový laserový zesilovač a optický rezonátor. Odrazná plocha (štípaná) Plocha Odrazná plocha (štípaná) Obrázek 16.3-1 Injekční laser je přechod p — n polovaný v propustném směru, se dvěma rovnoběžnými povrchy které působí jako reflektory. 696 POLOVODIČOVÉ^Z-DROJE FOTONŮ Laserový zesilovač Koeficient zesílení 70 {y) polovodičového laserového zesilovače má špičkovou hodnotu 7 P přibližně úměrnou koncentraci injektovaných nosičů, a ta je zase úměrná injekční proudové hustotě J. Tedy podle vztahů (16.2-9) a (16.2-10) znázorněných na obr. 16.2-7, 7, ~ a (-£• - l), JT = — An T , (16.3-1) kde TV je doba zářivé elektron-děrové rekombinace, TI,; = T/TT je vnitřní kvantová účinnost, / je tloušťka aktivní oblasti, a je absorpční koeficient v tepelné rovnováze, ATVT je koncentrace injektovaných nosičů a JT proudová hustota nutná k tomu, aby se polovodič právě stal opticky transparentním. Zpětná vazba Zpětnou vazbu obvykle tvoří štěpné krystalové plochy nebo dva leštěné rovnoběžné povrchy krystalu kolmé k rovině přechodu. Aktivní oblast přechodu p — n zobrazená na obr. 16.3-1 pak také slouží jako optický rezonátor s rovinnými zrcadly, který má délku d a plochu průřezu Iw. Pro polovodičové materiály jsou typické velké hodnoty indexu lomu, takže na rozhání polovodič-vzduch je vysoká reflektivita ,= /n Vra + (16.3-2) [viz (6.2-14) a tab. 15.2-1]. Jestliže je tedy zisk prostředí dostatečně vysoký, může nespojifost indexu lomu sama o sobě zajistit dostatečnou,odrazívost povrchů a není zapotřebí vnějších zrcadel. Např. pro GaAs n = 3,6 dává (16.3-2) J# = 0,32. Ztráty v rezonátoru Základní příčinou rezonátorových ztrát je částečná reflexe na površích krystalu. Tyto ztráty odpovídají výstupnímu užitečnému laserovému záření. Rezonátor délky d má koeficient reflexních ztrát [viz (9.1-18)] a,„. = a, M + a,„ 2 = — ln ^ - ~ - ; (16.3-3) jestliže oba povrchy mají stejnou reflektivitu č#\ — J?2 = &, pak a,„ = (l/c/)ln(l/,#). Celkový koeficient ztrát je aT = as +aln, (16.3-4) kde a, popisuje ostatní mechanizmy ztrát, včetně absorpce na volných nosičích v polovodičovém materiálu (viz obr. 15.2-2) a rozptyl na optických nehomogenitách. as roste s rostoucí koncentrací nečistot a s rostoucí nedokonalostí na rozhraních heterostruktur. Může dosáhnout hodnot od 10 do 100 cm" 1 . Samozřejmě člen —a ve výrazu pro koeficient zesílení (16.3-1), odpovídající absorpci v materiálu, také podstatně přispívá ke ztrátám. Tento příspěvek je však POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 697 započítán v čistém špičkovém koeficientu zesílení -yp vyjádřeném vztahem (16.3-1). To je zřejmé z výrazu (15.2-23) pro 7o(^) , který je úměrný fg{v) = fe{v) — fa{v) (tj. rozdílu stimulované emise a absorpce). Jiný důležitý příspěvek ke ztrátám má původ v úniku optické energie mimo aktivní vrstvu zesilovače (ve směru kolmém k rovině přechodu). Ten může být škodlivý zejména tehdy, je-li tloušťka / aktivní oblasti malá. Záření pak postupuje tenkou zesilující vrstvičkou (aktivní oblastí), která je obklopena ztrátovým prostředím, takže ztráty jsou velmi citelné. Tento problém lze zmírnit použitím dvojité heterostruktury (viz odst. 16.2C a obr. 16.2-8), ve které je střední vrstva vyrobena z materiálu s vyšším indexem lomu, působícím jako vlnovod, do kterého je soustředěna optická energie. Ztráty způsobené bočním únikem optické energie lze fenomenologicky popsat faktorem prostorového omezení F, který představuje podíl optické energie uvnitř aktivní oblasti (obr. 16.3-2). Za předpokladu, že energie mimo aktivní oblast je zcela ztracena, faktorem T se redukuje koeficient zesílení nebo, — což je ekvivalentní — faktorem 1/r se zvětšuje koeficient ztrát. Rovnici (16.3-4) pak musíme přeformulovat tak, aby zahrnovala toto zvětšení, takže (16.3-5) Existují v zásadě tři typy laserových diodových struktur, založené na mechanismu použitém pro zamezení úniku nosičů nebo záření v laterálním směru (tj. omezení energie v rovině přechodu): velkoplošný (v němž není použit žádný mechanismus pro laterální omezení), typ s vedením zesílením (ve kterém je pro omezení pou- Index lomu — * < * * ť i (a) (b) Obrázek 16.3-2 Prostorové rozložení laserového záření ve směru kolmém k rovině přechodu pro (a) homostrukturní a (6) heterostrukturní lasery. 698 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ žito laterálních změn zesílení) a typ s vedením indexem lomu (ve kterém jsou pro omezení využity lateráliií změny indexu lomu). Obecně se dává přednost laserům s vedením indexem lomu, a to z důvodu jejich výborných vlastností. Podmínka zesílení: laserový práh Podmínka nástupu laserových oscilací požaduje, aby zisk převážil nad ztrátami, 7 P > aT, jak udává (14.1-10). Prahový koeficient zesílení je tedy roven aT. Položíme-li v (16.3-1) 7 P = ar a J = Jt, dostaneme prahovou injekční proudovou hustotu Prahová proudová hustota Jt = gT + g JT, (16.3-6) kde tranparentní proudová hustota Transparentní proudová hustota (16.3-7) je proudová hustota která působí, že prostředí se stává opticky transparentním. Prahová proudová hustota souvisí s transparentní proudovou hustotou činitelem (a.,. + a)/o, který je větší než jedna a pro a ^> ar je ssl. Protože proud i = JA, kde A = wd je plochou aktivní oblasti, můžeme definovat proud požadovaný k dosažení transparentnosti prostředí vztahem ÍT = JTA a prahový proud k nasazení laserových oscilací it = JtA. Prahová proudová hustota Jt je klíčovým parametrem charakterizujícím činnost laserové diody; nižší hodnota Jt značí vyšší kvalitu. Podle (16.3-6) a (16.3-7) se Jt minimalizuje maximalizací vnitřní kvantové účinnosti T|,: a minimalizací koeficientu o a. o Homostruktura _c g ,/ Dvojitá heterostruktura Tloušťka aktivní vrstvy Obrázek 16.3-3 Závislost prahové proudové hustoty Jt na tloušťce aktivní vrstvy /. Laser s dvojitou heterostrukturou vykazuje nižší hodnotu Jt nežli homostrukturní laser a jeho provoz je tudíž výhodnější. POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 699 ztrát v rezonátoru ar, koncentrace injektovaných nosičů Ani- nutné k dosažení transparentnosti a tloušťky aktivní oblasti 1. Jakmile však zmenšíme / pod určitou mez, zvětší se koeficient ztrát ar, protože klesne faktor prostorového omezení F [viz (16.3-5)]. Tedy J< klesá se zmenšováním / dokud nedosáhne své minimální hodnoty, a další snižování I působí růst Jt (viz obr. 16.3-3). V laserech s dvojitou heterostrukturou však faktor omezení pro nižší hodnoty I zůstává blízký jedničce, protože se aktivní vrstva chová jako optický vlnovod (viz obr. 16.3-2). Výsledkem je nižší minimální hodnota Jt, což ukazuje obr. 16.3-3, a tudíž lepší parametry činnosti. Snížení J< je názorně ukázáno v následujících příkladech. Protože parametry ATÍT a a v (16.3-1) silně závisí na teplotě, platí totéž pro prahovou proudovou hustotu Jt a frekvenci, na níž zesílení dosahuje špičkové hodnoty. Z toho plyne, že ke stabilizaci laserového výstupu je zapotřebí ovládání teploty. Často se také řízenou změnou provozní teploty provádí frekvenční ladění. Příklad 16.3-1. Prahový proud homostrukturní laserové diody InGaAsP. Uvažujeme homostrukturní polovodičový injekční laser InGaAsP se stejnými materiálovými parametry jako v příkladech 16.2-1 a 16.2-2: ATIT = 18 3 1 = 1,25 x 10 cm- , a = 600cm" , rr = 2,5ns, n = 3,5 a T|,: = 0,5 při T = 300 K. Předpokládejme, že rozměry přechodu jsou d = 200 ^m, w — 10 /im a / = 2 /im. Proudová hustota nutná k dosažení optické propustnosti pak výpočtem vychází JT = 3,2 x 104 A/cm2. Stanovíme nyní prahovou proudovou hustotu pro laserové oscilace. Pomocí (16.3-2) dostáváme, že povrchová reflektivita je & = 0,31. Odpovídající koeficient ztrát na zrcadlech je a,„ = (l/d)ln(l/é?) = 59cm" 1 . Budeme-li předpokládat, že koeficient ztrát způsobených ostatními efekty je stejný, tj. a.s = 59 cm" 1 , a že faktor omezení F « 1, bude koeficient celkových ztrát a, = 118 cm""1. Prahová proudová hustota tedy bude Jt = [(a.,. + a)/a]JT = [(118 + 600)/600] x x [3,2 x 104] = 3,8 x 104 A/cm2. Odpovídající prahová hodnota proudu je it = Jtwd as 760mA, což je hodnota dosti velká. Homostrukturní lasery se již nepoužívají, protože tak vysoké proudy dovolují spojitou činnost jen při ochlazení laserů dosti hluboko pod T = 300 K, aby byl zajištěn odvod tepla. Příklad 16.3-2. Prahový proud pro heterostrukturnf laserové diody InGaAsP. Věnujme nyní pozornost polovodičovému injekčnímu laseru InGaAsP/InP s dvojitou heterostrukturou (viz obr. 16.2-8) s týmiž parametry a rozměry jako v příkladu 16.3-1, s jedinou výjimkou, kterou je tloušťka aktivní vrstvy, která je nyní / = 0,1 (im místo 2 fini. Jestliže budeme předpokládat dokonalé omezení záření (F = 1), můžeme použít stejnou hodnotu koeficientu ztrát v rezonátoru a,.. Transparentní proudová hustota se pak zmenší dvacetkrát na hodnotu JT = 1600 A/cm2 a prahová proudová hustota dosahuje rozumnější hodnoty Jt — 1915 A/cm2. Odpovídající prahový proud je it = 38 mA. Toto výrazné snížení prahového proudu umožňuje spojitou činnost laserové diody s dvojitou heterostruktorou za pokojové teploty. 700 B. POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ Výkon Vnitřní tok fotonů Když proudová hustota laseru vzroste nad prahovou hodnotu (tj. J > Jt), špičkový koeficient zesílení zesilovače 7p překročí koeficient ztrát a,.. Stimulovaná emise pak převáží nad absorpcí a ostatními ztrátami v rezonátoru, takže, vzniknou oscilace a může dojít k růstu toku fotonů $ v rezonátoru. Podobně jako u jiných laserů s homogenním rozšířením při zvyšování toku fotonů nastoupí saturace a populační rozdíl se začne zmenšovat [viz (14.1-2)]. Obr. 14.2-1 ukazuje, že koeficient zesílení pak začne klesat dokud se nevyrovná s koeficientem ztrát, čímž se dosáhne ustáleného stavu. V analogii s vnitřní hustotou toku fotonů a s vnitřní hustotou počtu fotonů u ostatních typů laserů [viz (14.2-2) a (14.2-13)] je ustálený vnitřní tok fotonů $ úměrný rozdílu mezi rychlostí čerpání R a prahovou čerpací rychlostí Rt. Protože podle (16.2-8) je R oc i a Rt oc it, můžeme $ psát jako Ustálený vnitřní tok fotonů v laseru $= r u 1 ' i — p * < it- (16.3-8) Tudíž stacionární vnitřní tok fotonů v laseru (fotony generované uvnitř aktivní oblasti za sekundu) je roven toku elektronů (což je počet injektovaných elektronů za sekundu) převyšujícímu prahový proud, násobenému vnitřní kvantovou účinností T};. Vnitřní laserový nadprahový výkon souvisí jednoduše s vnitřním tokem fotonů $ vztahem P = hu$, takže dostáváme Vnitřní laserový výkon Ao {jaa)i P (W), i (A) (16.3-9) za předpokladu, že AQ je vyjádřeno v ^m, i v ampérech a P ve wattech. Výstupní tok fotonů a účinnost Výstupní tok fotonů z laseru $o J e součinem vnitřního toku fotonů $ s vyzařovací účinností r\e [viz (14.2-16)], která je dána poměrem ztrát způsobených užitečným průchodem světla zrcadly ku celkovým rezonátorovým ztrátám a,.. Jestliže se využije pouze záření propouštěné zrcadlem 1, pak TI,, = a„,i/a,.; jestliže se na druhé straně využije záření prošlého oběma zrcadly, je pak T)C = aln/ar. Pakliže v druhém případě mají obě zrcadla stejnou odrazivost J?, dostaneme TIC = [(l/d) ln(l/^)]/a r . Výstupní laserový fotonový tok je tudíž dán výrazem Výstupní tok fotonů z laseru I - It (16.3-10) POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 701 Z (16.3-10) je zřejmé, že přímá úměrnost mezi výstupním tokem fotonů z laseru a injektovaným nadprahovým tokem elektronů je charakterizována vnější diferenciální kvantovou účinností Vnější diferenciální kvantová účinnost (16.3-11) T|d tedy představuje rychlost, s jakou se mění výstupní fotonový tok při změně nadprahového injektovaného toku elektronů, tj. (16.3-12) T Laserový výstupní nadprahový výkon je Po = hv$0 — \d(i ~ it)(hv/e), což lze tedy zapsat ve tvaru Laserový výstupní výkon Ao ( H . Po (W), i (A) = T) d (i - l ) 1 24 (16.3-13) za předpokladu, že Ao je vyjádřeno v /mi. Výstupní výkon v závislosti na injektovaném (čerpacím) proudu i je zobrazen jako přímka na obr. 16.3-4, s parametry it ~ 21 mA a T)(/ = 0,4. Je to tzv. světelná charakteristika laseru. Plná křivka na obr. 16.3-4 reprezentuje údaje získané z obou výstupních stran polovodičového injekčního laseru InGaAsP pracujícího na vlnové délce 1,3 /um. Shoda mezi výše uvedenou jednoduchou teorií a údaji je velmi dobrá a jasně ukazuje, že emitovaný optický výkon skutečně roste lineárně s čerpacím proudem (v tomto příkladě v intervalu od 23 do 73 mA). 20 40 60 80 Čerpací proud i (mA) Obrázek 16.3-4 Ideální (přímka) a reálná (plná křivka) světelná charakteristika laseru s vnořenou heterostrukturou (viz obr. 16.3-7), která zajišťuje účinné vedení indexem lomu. InGaAsP injekční laser pracoval na vlnové délce 1,3 ^m. Nelinearity, které zde vyložená jednoduchá teorie nebere v úvahu, působí saturaci optického výstupního výkonu pro proudy větší nežli asi 75 mA (nezobrazeno). 702 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ Z (16.3-13) je zřejmé, že směrnice světelné charakteristiky nad prahem je dána výrazem d= ® lír = ^^7 ^° (/Un)> P ° (W)> * (A) ^' (16.3-14) Kd se nazývá diferenciální citlivost laseru (W/A); představuje poměr přírůstku optického výkonu k nadprahovému přírůstku elektrického proudu. Pro údaje z obr. 16.3-4 je dP 0 /di ^ 0,38 W/A. Celková účinnost (výkonová účinnost) r\ je definována jako poměr výkonu záření emitovaného laserem k elektrickému vstupnímu výkonu iV, kde V je propustné napětí přiložené na diodu. Protože Po = r\d(i — it)(hi//e), dostáváme Celková účinnost 'H = ^ 1 - ^ I —. (16.3-15) Při činnosti dostatečně vysoko nad prahem, kdy platí i > i, a pro eV « hu, což je obvykle splněno, dostáváme r\ « r\d. Data zobrazená na obr. 16.3-4 tudíž dávají celkovou účinnost r\ ~ 40%, která je větší nežli pro kterýkoliv jiný typ laseru (viz tab. 14.2-1). Tato hodnota je poněkud nižší nežli k dnešnímu datu uváděná rekordní hodnota činící ~ 65%. Elektrický výkon, který se nepodaří proměnit na záření, se transformuje v teplo. Protože laserové diody ve skutečnosti produkují značné množství tepla, připevňují se obvykle k chladiči, který pomáhá odvádět teplo a stabilizovat teplotu. Shrnutí U polovodičových injekčních laserů rozeznáváme čtyři účinnosti: vnitřní kvantovou účinnost Ti; = rT/r — T/TT, která vyjadřuje skutečnost, že pouze zlomek elektron-děrových rekombinačních aktů je svou podstatou zářivý; vyřazovací účinnost i)c, která bere v úvahu tu skutečnost, že pouze část záření vyšlého z dutiny je využitelná; vnější diferenciální kvantovou účinnost T)d = T^TI,;, která bere v úvahu obě výše uvedené skutečnosti; výkonovou účinnost T), která je celkovou účinností. Mírou kvality laseru je také diferenciální citlivost 3í,/ (W/A). POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 703 Příklad 16.3-3. Laserová dioda InGaAsP s dvojitou heterostrukturou. Uvažujeme opět příklad 16.3-2 pro polovodičový injekční laser s dvojitou 1 1 heterostrukturou InGaAsP/InP; T^ = 0,5, am — 59cm" , ov = 118 cm"" a it = 38mA. Jestliže se využije záření z obou výstupních plošek, je vyzařovací účinnost T)e = dm/otr = 0,5, zatímco vnější diferenciální kvantová účinnost je r\d = T|eT],: = 0,25. Při Ao = 1,3 /xm je diferenciální citlivost tohoto laseru dPo/di = 0,24 W/A. Jestliže např. i — 50mA, dostáváme i — it = 12 mA a Po = 12 x 0,24 = 2,9 mW. Porovnání těchto čísel s výsledkem na obr. 16.3-4 ukazuje, že laser s dvojitou heterostrukturou má vyšší práh, nižší účinnost a diferenciální citlivost nežli laser s vnořenou heterostrukturou. To ilustruje lepší parametry laseru s vnořenou heterostrukturou a s vedením indexem lomu oproti laseru s dvojitou heterostrukturou s vedením zesílením. Porovnání činnosti laserové diody a LED Laserové diody vysílají záření i pod prahem, jak je zřejmé z obr. 16.3-4. Toto záření vzniká spontánní emisí, která byla prostudována v odst. 16.1 v souvislosti s LED, ale která je zanedbávána v uvedené teorii laseru. Při podprahovém provozu pracuje polovodičová laserová dioda jako hranově vyzařující LED. Skutečně většina LED jsou prosté hranově vyzařující prvky s dvojitou heterostrukturou. Laserové diody s injekcí dostatečně silnou k tomu, aby stimulovaná emise převládla nad spontánní emisí, ale se slabou zpětnou vazbou mající za následek vysoký práh laserování, se nazývají superluminiscenční diody. Jak bylo diskutováno v odst. 16.1, u LED existují čtyři účinnosti: vnitřní kvantová účinnost T|,:, která vyjadřuje tu skutečnost, že pouze část elektron-děrových rekombinačních aktů je svou podstatou zářivá; vyzařovací účinnost r\c, která odráží tu skutečnost, že pouze malý zlomek záření generovaného v oblasti přechodu může vystoupit ven z materiálu s vysokou hodnotou indexu lomu; vnější kvantová účinnost •Hei = jn,-'nC! která bere v úvahu obě výše uvedené skutečnosti; a výkonová účinnost r\, která je celkovou účinností. Jako míra kvality LED se používá také citlivost Jř. Existuje jednoznačná korespondence mezi veličinami T|,;, r\e a r\ u LED a laserové diody. Navíc existuje korespondence mezi r\cx a r\d, 9ř a5řj a i a (i — it). Přednosti laseru vyplývají ze skutečnosti, že i\e může být mnohem větší nežli u LED. Důvodem je skutečnost, že laser pracuje na základě stimulované (nikoli spontánní) emise, což má několik důležitých následků. Stimulovaná emise v prvku pracujícím nad prahem směruje laserové paprsky kolmo k povrchu materiálu, přičemž jsou minimální ztráty. To poskytuje tři výhody: zesílení namísto absorpce, vyloučení úplného zpětného odrazu paprsků, jelikož dopadají na vnitřní rozhraní materiálu kolmo (a tudíž pod úhlem menším nežli kritický úhel), a vysokou pravděpodobnost pro paprsky vystoupit ven z výstupní plochy jako užitečné záření, když podstupují mnohonásobné odrazy v dutině. Naproti tomu záření LED je absorbováno a odráženo a má pouze omezenou možnost úniku; pokud neuspěje, je ztraceno. Konečným výsledkem je, že laserová dioda nad, prahem má hodnotu rij (typicky ss 40%) mnohem vyšší, nežli je hodnota T)e.,. (typicky ss 2%) u LED, což je zřejmé ze srovnání obr. 16.3-4 s obr. 16.1-8. 704 C. POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ Spektrální složení Spektrální složení generovaného laserového záření je ovlivňováno třemi faktory, jak vyplývá z diskuse v odst. 14.2.B: • Spektrální šířkou B, uvnitř které má aktivní prostředí koeficient zesílení malého signálu 7o(^) větší nežli koeficient ztrát ar. • Homogenním nebo nehomogenním mechanismem rozšíření čáry (viz odst. 12.2D). • Mody rezonátoru, zejména přibližnou frekvenční vzdáleností mezi podélnými mody vp = c/2d, kde d je délka rezonátoru. Polovodičové lasery mají následující charakteristické vlastnosti: • Spektrální šířka pásma koeficientu zesílení je relativně velká, protože k přechodům dochází mezi dvěma energetickými pásy, nikoli mezi dvěma diskrétními energetickými hladinami. • Protože procesy uvnitř pásu jsou velmi rychlé, mají polovodiče tendenci k homogennímu rozšíření spektrálních přechodů. Nicméně prostorové vypalování děr dovoluje současné oscilace mnoha podélných modů (viz odst. 14.2.B). Prostorové vypalování děr se obvykle uplatňuje v krátkých dutinách, kterým odpovídá několik málo period stojatých vln. To umožní, že pole různých podélných modů, rozložených podél osy rezonátoru, se relativně málo překrývají, takže může dojít k částečnému prostorovému vypalování děr. • Délka polovodičového resonátoru d je podstatně menší, než tomu bývá u většiny jiných laserů. Frekvenční vzdálenost sousedních modů rezonátoru up = c/2d je tudíž relativně velká. Nicméně se jich obecně vejde mnoho do širokého pásu B, v němž zesílení malého signálu překračuje ztráty (počet možných laserových modů je M=B/vp). Příklad 16.3-4. Počet podélných modů v laseru InGaAsP. Krystal InGaAsP (n R; 3,5) o délce d = 400 /un má mody rezonátoru vzdáleny vp = c/2d = co/2nd w 107 GHz. V blízkosti centrální vlnové délky Ao w 1,3/mi této frekvenční vzdálenosti odpovídá vzdálenost ve vlnových délkách ve vakuu XF, kde AF/AO = vpjw, takže \p = \sjVpjv = \%/2nd ss w 0,6 nm. Jestliže je spektrální šířka B = 1,2 THz (odpovídající šířce ve vlnových délkách 7nm), pak může oscilovat přibližně 11 podélných modů. Typické spektrální složení skládající se z jednoho příčného modu a zhruba 11 podélných modů je na obr. 16.3-5. Celková spektrální šířka polovodičových injekčních laserů je větší nežli u většiny ostatních, zejména plynových laserů (viz tab. 13.2-1). Pro zmenšení počtu modů najeden by se délka rezonátoru d musela zmenšit tak, aby platilo B = c/2d, což by vyžadovalo dutinu o délce d « 36 fim. POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 1.29 1.30 Vlnová délka Ao (um) 705 1.31 Obrázek 16.3-5 Spektrální složení záření laseru InGaAsP s vnořenou heterostrukturou a s vedením indexem lomu, pracujícího na vlnové délce 1,3//ni. Toto složení je značně užší a má odlišný tvar ve srovnání s případem LED InGaAsP emitující K 1,3 /tm, ukázaným na obr. 16.1-9. Počet modů klesá se vzrůstem injekčního proudu; mody nejblíže k maximu zesílení zvyšují svůj výkon, zatímco postranní mody se saturují. (Převzato z R. J. Nelson, R. B. Wilson, P. D. Wright, P. A. Barnes a N. K. Dutta, CW Electrooptical Properties of InGaAsP (A = 1,3 pm) Burried-Heterostructure Lasers, IEEE Journal oj Quantum Electronics, vol. QE-17, str. 202-207, ©1981 IEEE.) Přibližná šířka čáry každého podélného modu je ~ 0,01 nm (to odpovídá několika GHz) pro lasery s vedením zesílením, ale obecně je mnohem užší (« 30 MHz) pro lasery s vedením indexem lomu. D. Prostorové rozložení Podobně jako u jiných laserů lze oscilace polovodičových injekčních laserů klasifikovat pomocí příčných a podélných modů. V odst. 14.2C byly použity k charakterizaci prostorového rozložení v příčném směru indexy (/,m), zatímco index q byl použit k popisu změny rozložení pole ve směru postupu vlny či k popisu časového chování. Ve většině jiných laserů leží laserový svazek zcela v aktivním prostředí, takže prostorové rozložení různých modů je určeno tvary zrcadel a jejich vzdáleností. V systémech s kruhovou symetrií mohou být transverzální mody popsány pomocí laguerreovskýchgaussovských nebo výhodněji hermiteovských-gaussovských svazků (viz odst. 9.2D). Situace u polovodičových laserů je rozdílná, protože laserový svazek se šíří i mimo aktivní vrstvu. Příčné mody jsou mody dielektrického vlnovodu tvořeného různými vrstvami polovodičové diody. Příčné mody lze určit pomocí teorie vyložené v odst. 7.3 pro optický vlnovod s pravoúhlým průřezem o rozměrech / a w. Jestliže //Ao je dostatečně malé (což obvykle bývá u laserů s dvojitou heterostrukturou), vlnovod dovolí pouze jeden mod ve směru kolmém k rovině přechodu. Ovšem w je obyčejně větší než Ao, takže vlnovod bude obsahovat několik modů ve směru rovnoběžném s rovinou přechodu, jak je ukázáno na obr. 16.3-6. Mody ve směru rovnoběžném s rovinou přechodu se nazývají laterální mody. Cím větší je poměr W/\Q, tím větší je počet možných laterálních modů. 706 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ 1 4 r> f Obrázek 16.3-6 Schematické znázornění prostorového rozložení optické inenzity různých vlnových modů (Z, m) = (1,1), (1, 2) a (1,3) laseru. Protože laterální mody vyššího řádu mají širší prostorové rozložení, jsou méně omezeny; jejich ztrátový koeficient aT je tudíž větší nežli koeficient modů nižšího řádu. Tedy některé mody nejvyššího řádu nedosáhnou splnění oscilačních podmínek; jiné budou oscilovat s nižším výkonem nežli základní mod (nejnižšího řádu). K dosažení vysokého výkonu na jediném prostorovém modu je nutno zmenšit počet modů vlnovodu zmenšením šířky w aktivní vrstvy. Takto dosažené zmenšení plochy přechodu vede také ke snížení prahového proudu. Příkladem konstrukce využívající laterálně omezené aktivní vrstvy je laser s vnořenou heterostrukturou, ukázaný na obr. 16.3-7. Materiál s nižším indexem lomu na obou stranách aktivní oblasti vytváří v tomto laseru (i v jiných laterálně omezených laserech) laterální omezení a uplatní se vedení indexem lomu. Kov p + -AlGaAs Kontaktní vrstva SiO 2 Izolátor n-GaAs Substrát Obrázek 16.3-7 Schematický náčrt AlGaAs/GaAs polovodičového injekčního laseru s vnořenou heterostrukturou. Šířka přechodu w je typicky I až 3 [J.my takže se uplatňuje účinné vedení indexem lomu. POLOVODIČOVÉ IIMJEKČNÍ LASERY Obrázek 16.3-8 707 Úhlové rozložení optického svazku vyzařovaného laserovou diodou. Rozložení dalekého pole. Laserová dioda s aktivní vrstvou o rozměrech I a w emituje záření, které má ve velké vzdálenosti úhlovou divergenci ss Ao/7 (rad) v rovině kolmé k přechodu a w Ao/w v rovině rovnoběžné s přechodem (viz obr. 16.3-8). (Připomeňme z odst. 3.1B, že např. pro gaussovský svazek o průměru 2WQ je úhel divergence 9 « (2/TT)(AO/2WO) = = AO/TTWO, jestliže 6 <g 1). Úhlová divergence určuje strukturu dalekého pole (viz odst. 4.3). Protože polovodičový injekční laser má malé rozměry aktivní vrstvy, je charakterizován úhlovou divergencí větší nežli má většina ostatních laserů. Jestliže např. / = 2 fim, w = 10 /im a Ao = 0,8/xm, vypočtené úhly divergence jsou ~ 23° a ~ 5°. Záření z laserové diody s jediným transverzálním modem, která má w menší, má dokonce ještě větší divergenci. Prostorové rozložení záření dalekého pole uvnitř úhlu vyzařování závisí na počtu příčných modů a na jejich optických výkonech. Vysoce asymetrické eliptické rozložení záření laserové diody ztěžuje kolimaci svazku. E. Selekce modů. Jednofrekvenční provoz Jak bylo výše naznačeno, polovodičový injekční laser může pracovat v jediném příčném modu při zmenšení rozměrů aktivní vrsrvy (Z a w), která tak funguje jako jednomodový vlnovod. Jednofrekvenčního provozu lze dosáhnout zmenšením délky d rezonátoru na takovou hodnotu, že frekvenční vzdálenost mezi sousedními podélnými mody překročí spektrální šířku zesilujícího prostředí. Jiné metody dosažení jednomodove činnosti zahrnují použití vícezrcadloveho rezonátoru, diskutovaného v odst. 14.2D a ilustrovaného na obr. 14.2-15. Laserová dioda s dvojitým rezonátorem (laser se složeným rezonátorem) může být připravena vyštípnutím mezery kolmé k aktivní vrstvě, jak je ukázáno na. obr. 16.3-9. Tak vzniknou dvě spřažené dutiny, takže struktura je známa jako laser se štípanou zdvojenou dutinou [laser (C3)—cleaved-coupled-cavity laser] Stojaté vlnění v laseru musí splňovat hraniční podmínky na površích obou dutin, takže podléhá přísnějšímu výběru, 708 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ Obrázek 16.3-9 3 Laser se štípanou zdvojenou dutinou (C ). který pak může splňovat pouze jediná frekvence. V praxi je použitelnost této techniky omezena tepelnou stabilitou dutiny. Alternativním přístupem je nahrazení štěpných povrchů, obvykle používaných jako zrcadla, frekvenčně selektivními reflektory jako např. mřížkami rovnoběžnými s rovinou přechodu [obr. 16.3-10(a)]. Mřížka je periodická struktura, která odráží záření pouze tehdy, jestliže mřížková konstanta A splňuje podmínku A = gA/2, kde q je celé číslo (viz odst. 2.4B). Takové mřížky se nazývají rozprostřené Braggovy reflektory a přístroj je znám pod zkratkou laser DBR (angl. distributed Bragg reflector). Další alternativou je umístění mřížky přímo do sousedství aktivní vrstvy. K tomu se používá prostorově modulovaný vlnovod, znázorněný na obr. 16.3-10(6). Mřížka pak působí jako rozprostřený reflektor, nahrazující lokální reflektory tvořené zrcadly p p n \ \ \ p \ Aktivní vrstva / i_ A ' Difrakčnl mřížky p p \ J j n \ \ Tý/ &"i• K Aktivní vrstva Vlnovodná . vrstva Difrakínl - mřížka - Obrázek 16.3-10 (a) Vnější difrakční mřížky slouží jako zrcadla v laseru s rozprostřenými Braggovými reflektory, (b) Laser s rozprostřenou zpětnou vazbou obsahuje periodickou vrstvu působící jako rozprostřený reflektor. POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 709 Fabryova-Perotova rezonátoru laseru. Povrchy krystalu jsou pokryty antireflexními vrstvami pro minimalizaci povrchových odrazů. Tato struktura je známa jako laser s rozprostřenou zpětnou vazbou (laser DFB—distributed-feedback laser). DFB lasery dosahují úzké spektrální šířky až lOMHz (bez modulace) a poskytují modulační šířku pásma hluboko do oblasti GHz. Používají se v mnoha aplikacích včetně komunikací optickými vlákny v oboru vlnových délek 1,3-1,55 /un, F. Charakteristiky typických laserů Polovodičové lasery pracují na vlnových délkách od blízké ultrafialové do vzdálené infračervené oblasti, jak je ukázáno na obr. 16.3-11. Pracují s výstupními výkony dosahujícími 100 mW, ale matice či řetězce laserových diod (s těsně uspořádanými aktivními oblastmi) poskytují úzké koherentní svazky s výkony převyšujícími 10W. Stále častěji se lze setkat s povrchově vyzařujícími laserovými diodami. Laserové diody emitující ve viditelném pásmu se obvykle vyrábějí z Gao.5Ino.5P a generují záření s Ao ~ 670 nm. Používají struktur s vedením zesílením nebo s vedením indexem lomu. Výstupní výkony při spojitém provozu (cw) jsou typicky « 5mW při T = 300 K; běžně dostupná součástka může pracovat při napětí 2,1 V B'1-xSb, 1-í t1-xfcH (AI J C Ga 1 _ J t )ylni_ ) ,Ph—! C d S x S e i _ x h-H 0.1 0.5 1 5 10 50 100 Vlnová délka (/mi) Obrázek 16.3-11 Složené materiály používané pro polovodičové lasery. Obor vlnových délek, na kterých polovodičové lasery pracují, se prostírá od blízké ultrafialové do vzdálené infračervené oblasti. Polovodičové lasery pracující na Ao > 3 /mi vyžadují obvykle chlazení pod T = 300 K. Některé z těchto materiálů musí být čerpané opticky nebo elektronovým svazkem. 710 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ a proudu 85 mA. Při využití indexem lomu řízeného laterálního omezení bylo dosaženo výkonů až 50 mW. Ve srovnání s 5mW He-Ne laserem emitujícím na 633 nm má GalnP laser podstatně vyšší účinnost a značně menší rozměry. Lasery pracující spojitě za pokojové teploty na 584 nm (žlutá oblast) lze připravit z AlInP namísto GalnP. V blízké infračervené oblasti se často používají ternární a kvaternární materiály s přímým zakázaným pásem, neboť u nich lze ladit vlnovou délku volbou složení a je možný provoz za pokojové teploty. Ke konečnému přesnému nastavení výstupní vlnové délky lze použít teplotního ladění. Podobně jako u LED mají obzvláštní důležitost Al^Gai-zAs (Ao = 0,75 až 0,87/an) a Ini-^GaiAsi-^P;, (Ao = 1,1 až 1,6 lim). Laserové diody mohou také pracovat ve střední infračervené oblasti, i když v tom případě je pro účinný provoz nutné chlazení. V širokém intervalu od 3 do 35 /mi se používají sloučeniny typu II-VI s přímým zakázaným pásem jako Hg^Cdi-mTe a materiály IV-VI jako Pb^Siii-xTe. Lasery Bii-^Sbi provozované za velmi nízkých teplot emitují až do « 100 /mi. *G. Lasery s kvantovými ja'mami Již dříve bylo zdůvodněno, že prahovou proudovou hustotu laseru lze snížit zmenšením tloušťky aktivní vrstvy. Probrali jsme princip, který se využívá v heterostrukturách k uzavření elektronů a fotonů v aktivní vrstvě. Když je tloušťka aktivní vrstvy dostatečně malá (tj. menší nežli de Broglieova vlnová délka v tepelné rovnováze elektronů), začínají hrát velmi výraznou roli prostorové kvantové efekty. Protože aktivní vrstva ve dvojité heterostruktuře má menší šířku zakázaného pásu nežli obklopující vrstvy, struktura působí jako kvantová jáma (viz odst. 15.1G) a laser se nazývá laser s jedinou kvantovou jámou (angl. single- quantum well — SQW) nebo jednoduše laser s kvantovou jámou. Pásová struktura a závislost energie na hybnosti (vztah mezi E a k) jsou u kvantové jámy odlišné od objemového materiálu. Vodivostní pás se štěpí na velký počet subpásů značených kvantovými čísly q = 1, 2,..., z nichž každý má svou vlastní relaci mezi energií a impulsem i hustotu stavů. Dna těchto subpásů mají energie Ec + Eq, kde Eq = h'(qn/l)2/2mc, q — 1, 2, ..., jsou energie elektronů s efektivní hmotností mc v jednorozměrné kvantové jámě o šířce / (viz obr. 15.1-21 a 15.1-22; qi a d\ v kap. 15 odpovídají zde q a 1). V každém subpásů závisí energie Eu na k parabolicky a je v něm konstantní hustota stavů nezávislá na energii. Celková hustota stavů vodivostního pásu QC(E) má tudíž stupňovité rozložení [viz (15.1-28)] se skoky při energiích Ec+Eq, q = 1, 2,.... Valenční pás má podobné subpásy u energií E„ — E'q, kde E'q — h2(qir/l)2/2mv jsou energie díry s efektivní hmotností mv v kvantové jámě o šířce 1. Interakce fotonů s elektrony a děrami v kvantové jámě probíhají formou přechodů mezi vodivostními a valenčními pásy, při nichž se zachovává energie a hybnost. Přechody musí také zachovávat kvantové číslo q, jak je znázorněno na obr. 16.3-12; splňují podobná pravidla jako přechody mezi vodivostním a valenčním pásem v objemovém polovodiči. Výrazy pro pravděpodobnosti přechodů a pro koeficient zesílení v objemovém materiálu (viz odst. 15.2) lze použít pro strukturu s kvantovou jámou, nahradíme-li jednoduše energii zakázaného pásu Ea energií mezery mezi subpásy Egq = Eg + Eq + Eq a užijeme-li konstantní hustotu stavů namísto hustoty, která POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY / / 711 / 1 , hv ta) Ib) Obrázek 16.3-12 (o) Závislost £ nafcpro různé subpásy. (6) Optická sdružená hustota stavů pro kvantovou jámu (schodovitá křivka) a pro objemový polovodič (čárkovaná křivka). První skok nastává u energie E9\ = Eg + Ej + £J (kde E\ je nejnižší energie elektronu a E[ díry v kvantové jámě). se mění s odmocninou z energie. Celkový koeficient zesílení je součtem koeficientů zesílení pocházejících ze všech subpásů (5 = 1,2,...). Hustota stavů Uvažujme přechody mezi dvěma subpásy s kvantovým číslem q. Aby byly splněny zákony zachování energie a hybnosti, interaguje foton o energii hv se stavy s energiemi £ = Ec + Eq + (mr/mc)(hi/ — Egq) v horním subpásu a E — hv v dolním subpásu. Optická sdružená hustota stavů Q(V) souvisí s gc(E) vztahem g(v) = (dE/dv)gc(E) = = {hmT/mc)gc(E). Z (15.1-28) vyplývá, že g(v) = 2mr HT' hv > Eg Eq, (16.3-16) jinde. Zahrnutím přechodů mezi všemi subpásy q = 1, 2, ... dospějeme ke schodovitému tvaru g(v) se stupni při energiích rovnajících se energetickým vzdálenostem mezi subpásy s týmž kvantovým číslem (obr. 16.3-12). Koeficient zesílení Koeficient zesílení laseru je dán obvyklým výrazem [viz (15.2-23)] A2 87TT.,. (16.3-17) ve kterém Fermiho inverzní faktor fa{v) závisí na kvazi-Fermiho hladinách a na teplotě a je stejný pro lasery s objemovým materiálem i pro lasery s kvantovou 712 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ jámou. Hustota stavů g(u) se však, jak jsme ukázali, pro oba případy liší. Frekvenční závislosti Q{V), fg(v) a jejich součinu jsou pro kvantovou jámu i pro objemový dvojitý heteropřechod ukázány na obr. 16.3-13. Laser s kvantovou jámou má menší špičkový koeficient zesílení a užší spektrální rozložení. Na obr. 16.3-13 se předpokládá, že při energiích menších nežli E/c — £/„ se vyskytuje na schodovité funkci Q{V) pouze jeden stupeň. Tak je tomu při obvyklých injekčních podmínkách. Maximální koeficient zesílení 7 m pak lze určit dosazením fg(u) = 1 a Q{V) - 2mr/hl do (16.3-17), což dává 7m = X2mT 2TTM ' (16.3-18) Vztah mezi koeficientem zesílení a proudovou hustotou Zvýšení injekční proudové hustoty J vede ke vzrůstu koncentrace nadbytečných elektronů a děr A n a tedy také ke zvětšení vzdálenosti mezi kvazi-Fermiho hladinami Efc — Efv. Vliv tohoto zvětšení na koeficient zesílení 7o(^) můžeme odhadnout z diagramů na obr. 16.3-13. Pro dostatečně malé J je zesílení nulové. Při takovém J , kdy Efc — Ef.„ právě převyšuje mezeru Eg\ mezi subpásy q = 1, začíná prostředí zesilovat. Špičkový koeficient zesílení prudce vzroste a dojde k jeho nasycení na hodnotu 7,,,. Obrázek 16.3-13 Hustota stavů g{v), Permiho inverzní faktor S,,(y) a koeficient zesílení 7o(f) v kvantové jámě (plné křivky) a v objemové struktuře (čárkované křivky). POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 713 -Si 55 v Objemový materiál DH J JT1 JT2 Proudová hustota J Obrázek 16.3-14 Schematické závislosti mezi špičkovým koeficientem zesílení ~fy a proudovou hustotou J v laseru s kvantovou jámou a s objemovou dvojitou heterostrukturou. Další růst J zvětšuje šířku spektrálního průběhu zesílení, nikoli jeho špičkovou hodnotu. Jestliže dále zvyšujeme J až k bodu, kdy E/c — E/„ překročí mezeru £32 mezi subpásy q = 2, špičkový koeficient zesílení zvětší skokem svoji hodnotu atd. Spektrální průběh zesílení tedy může být docela široký, což poskytuje u těchto laserů možnost ladění v širokých mezích. Schematické závislosti -yp na J pro laser s kvantovou jámou a laser s objemovou heterostrukturou jsou na obr. 16.3-14. Laser s kvantovou jámou má mnohem menší hodnotu JT (proudová hustota požadovaná k dosažení optické transparentnosti), ale jeho zesílení se nasytí na nižší hodnotě. Prahová proudová hustota pro nasazení oscilací v laseru s kvantovou jámou (QW—aiigl. quantum-welt) je podstatně nižší nežli u objemového laseru s dvojitou heterostrukturou (DH—angl. double-heterostructure), protože laser QW má užší aktivní vrstvu. Dalšími přednostmi laserů QW jsou užší spektrum koeficientu zesílení, menší šířka čáry laserových modů, možnost dosažení vyšších modulačních frekvencí a menší závislost na teplotě. Porovnejme tloušťku aktivní vrstvy laseru s jedinou QW, která činí typicky 10 nm, s tloušťkou vrstvy 100 nm u laseru DH a s 2 fiia u zastaralých polovodičových laserů s homopřechodem. Prahové proudy u laserů SQW jsou zhruba « 0,5 mA, zatímco u laserů DH činí 20 mA (viz obr. 16.3-4). Spektrální šířka záření emitovaného laserem SQW je obvykle < lOMHz, což je podstatně méně nežli spektrální šířka u laserů DH. Výstupní výkon laseru s jedinou kvantovou jámou je omezen na hodnotu okolo 100 mW, při vyšších hodnotách může dojít k poškození výstupní plochy laseru. Avšak matice AlGaAs/GaAs laserů s kvantovou jámou mohou emitovat až 50W nekoherentního spojitého optického výkonu z linie o rozměrech 1 ^ím x 1 cm, a stávají se výbornými kandidáty pro boční čerpání laserů na pevné fázi, jakými jsou např. Nd 3+ :YAG (viz odst. 13.2). Stojí za zmínku, že celková kvantová účinnost T| takových řetězců je > 50% a diferenciální kvantová účinnost i\d může překročit 80%. Byly vyrobeny také polovodičové lasery v konfiguraci kvantových drátů (viz odst. 15.1G). Pro prvky, u nichž jsou / a w ~ 10 nm, očekáváme prahové proudy < 0,1 mA. Řetězce laserů s kvantovými tečkami by mohly nabídnou ještě nižší prahové proudy. 714 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ Lasery s mnohonásobnými kvantovými jámami Koeficient zesílení lze zvýšit použitím paralelně uspořádaných kvantových jam. Tato struktura, zobrazená na obr. 16.3-15, je známa jako laser s mnohonásobnými kvantovými jámami (laser MQW—aiigl. multiquantum-well). Zisk laseru MQW s TV-jámami je iV-krát větší nežli zesílení každé z jam. Spravedlivé porovnání vlastností laserů QW a MQW ovšem vyžaduje, aby oba typy byly napájeny stejným proudem. Přepokládejme, že do jediné kvantové jámy je injektována hustota nadbytečných nosičů An a jáma má špičkový koeficient zesílení */p. Do každé z N jam ve struktuře mnohonásobných kvantových jam bude pak injektováno pouze An/N nosičů. Protože zesílení závisí na An nelineárně, je koeficient zesílení každé jámy roven £~fp/N, kde £ může být menší či větší nežli 1 v závislosti na provozních podmínkách. Celkové zesílení poskytované laserem MQW je Nfá^p/N) = £"fp. Není zřejmé, která z obou struktur bude vykazovat vyšší zesílení. Ukazuje se, že při nízkých proudových hustotách je lepší struktura s jedinou kvantovou jámou, zatímco při vysokých proudových hustotách je lepší struktura s mnohonásobnými kvantovými jámami (avšak s faktorem menším než N). Lasery s pnutou vrstvou Jakkoliv se to může zdát překvapivé, může mít mechanické napětí příznivý vliv na činnost polovodičových injekčních laserů. Lasery s pnutou vrstvou mohou mít lepší vlastnosti a mohou pracovat na jiných vlnových délkách, než které lze získat kompozičním laděním. Tyto lasery se vyrábějí z polovodičových materiálů typu III-V v konfiguraci s jedinou kvantovou jámou i s mnohonásobnými jámami. Aktivní vrstva se záměrně vybírá takovým způsobem, aby měla odlišnou mřížkovou konstantu než mají obklopující vrstvy; mřížky tedy nejsou vzájemně přizpůsobeny. Je-li aktivní vrstva dostatečně tenká, mohou se v ní přizpůsobit vzdálenosti mezi atomy meziatomovým vzdálenostem v obklopujících vrstvách a tím v ní vznikne mechanické napětí (je-li vrstva příliš silná, nepřizpůsobí se a vytvoří se v ní dislokace). Například aktivní vrstva InGaAs v laseru InGaAs/AlGaAs s pnutou vrstvou má mřížkovou konstantu podstatně větší nežli je mřížková konstanta obklopujících vrstev \ AlGaAs GaAs Obrázek 16.3-15 \ Substrát GaAs AlGaAsP laser s mnohonásobnými kvantovými jámami s / = 10 nm. POLOVODIČOVÉ INJEKČNÍ LASERY 715 AlGaAs. Tenká vrstvička InGaAs tedy podléhá dvouosé kompresi v rovině vrstvičky, zatímco meziatomové vzdálenosti ve směru kolmém k vrstvičce jsou větší ve srovnání s jejich obvyklou hodnotou. Mechanickým napětím se mění pásová struktura třemi výraznými způsoby: (1) zvětšuje se šířka zakázaného pásu Eg; (2) snímá se degenerace pásů těžkých a lehkých děr v bodě k = 0; (3) valenční pás se stává anizotropním, takže ve směru rovnoběžném s rovinou vrstvy má nejvyšší pás malou efektivní hmotnost, zatímco v kolmém směru má nejvyšší pás velkou efektivní hmotnost. To může podstatným způsobem zlepšit činnost laserů, především měnit laserovou vlnovou délku prostřednictvím závislosti Eg na napětí. Za druhé může přítomnost napětí snížit prahovou proudovou hustotu. Dosažení populační inverze požaduje, aby vzdálenost mezi kvazi-Fermiho hladinami byla větší nežli šířka zakázaného pásu, tj. Efc - Efv > Eg. Snížená hmotnost díry vede k posunutí £/,, do valenčního pásu, v důsledku čehož se dosáhne uvedené podmínky při nižším injekčním proudu. InGaAs lasery s pnutou vrstvou se vyrábějí v mnoha různých konfiguracích a s použitím velkého množství omezujících materiálů, včetně AlGaAs a InGaAsP. Pracují v širokém intervalu vlnových délek od 0,9 do 1,55/xm. Jako speciální příklad uveďme laser s konfigurací MQW, skládající se z několika 2nm silných vrstviček kvantových jam I1io.7sGao.22As, vzájemně oddělených 20 nm silnými bariérami a 40 nm silnými vrstvami z InGaAsP zajišťujícími uzavření fotonů a nosičů náboje, který pracuje na Ao = 1,55 /mi se submiliampérovým prahovým proudem. Jiným příkladem je GalnP/InGaAlP laser QW s pnutou vrstvou, který vyzařuje více než 1/2W na 634 nm. Matice plošně emitujících laserových diod s kvantovými jámami Plošně emitující laserové diody (SELD) s kvantovými jámami se setkávají s rostoucím zájmem, neboť je lze připravit s vysokou plošnou hustotou na polovodičové destičce makroskopických rozměrů. Na jediném čipu 1 cm2 GaAs byla připravena matice asi 1 milionu miniaturních elektricky čerpaných plošně emitujících laserových diod QW s vertikálními válcovými dutinami (průměr « 2/xm, výška ~ 5,5 /mi), jejichž emisní 0 Qjj ^J 9§ vy^Ě ÍJljjjř i •j Obrázek 16.3-16 Mikrofotografie malé části matice laserů s kvantovými jámami a vertikálními rezonančními dutinami o průměrech mezi 1 a 5 fim, pořízená skanujícím elektronovým mikroskopem. (Podle J. L. Jewell et a/., Low Threshold Electrically-Pumped Vertical-Cavity Surface-Emitting Micro-Lasers, Optics News, vol. 15, no. 12, str. 10-11, 1989.) 716 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ vlnová délka leží v okolí 970 nm. Tyto unikátní prvky mají pro spojitý provoz při T = 300 K práh it ~ 1,5 mA a vnější diferenciální kvantovou účinnost -nd « 16 % při jediné výstupní ploše. Snímek části takové matice, pořízený elektronovým skanujícím mikroskopem, je na obr. 16.3-16. Výstupní paprsky s kruhovým průřezem lze snadno navázat do optických vláken. V poslední době byl laserový práh prvků tohoto typu snížen na « 0,2 mA. Jejich velmi malý aktivní objem ( « 0,05 fJ.ni3) může v zásadě dovolit snížit práh až na LITERATURA Knihy a články o teorii laseru Viz seznam literatury ke kap. 13. Knihy a články o fyzice polovodičů Viz seznam literatury ke kap. 15. Knihy o luminiscenčních diodách a polovodičových injekčních laserech Y. Yamamoto, ed., Coherence, Amplifications, and Quantum Effects in Semiconductor Lasers, Wiley, New York, 1991. P. K. Cheo, ed., Handbook oj Solid-State Lasers, Marcel Dekker, New York, 1988. G. P. Agrawal a N . K. Dutta, Long-Wavelength Semiconductor Lasers, Van Nostrand Reinhold, New York, 1986. R. K. Willardson a A. C. Beer, eds., Semiconductors and Semimetals, vol. 22, Lightwave Communications Technology, W. T. Tsang, ed., part B, Semiconductor Injection Lasers, I, Academie Press, New York, 1985. R. K. Willardson a A. C. Beer, eds., Semiconductors and Semimetals, vol. 22, Lightwave Communications Technology, W. T. Tsang, ed., part C, Semiconductor Injection Lasers, II and Light Emitting Diodes, Academie Press, New York, 1985. H. Kressel, ed., Semiconductor Devices for Optical Communication, Springer-Verlag, Berlin, 2. vyd. 1982. G. H. B. Thomson, Physics of Semiconductor Lasers, Wiley, New York, 1981. H. C. Casey, Jr., a M. B. Panish, Heterostructure Lasers, part A, Fundemental Principles, Academie Press, New York, 1978. H. C. Casey, Jr., and M. B. Panish, Heterostructure Lasers, part B, Materials and Operating Characteristics, Academie Press, New York, 1978. H. Kressel a J. K. Butler, Semiconductor Lasers and Heterojunction LEDs, Academie Press, New York, 1977. E. W. Williams a R. Halí, Luminescence and the Light Emitting Diodě, Pergamon Press, New York, 1977. A. A.Bergh a P. J. Dean, Light Emitting Diodes, Clarendon Press, Oxford, 1976. C. H. Gooch, Injection Electrolumínescent Devices, Wiley, New York, 1973. R. W. Campbell a F. M. Mims III, Semi-Conductor Diodě Lasers, Howard Sams, Indianapolis, IN, 1972. LITERATURA 717 Zvláštní čísla časopisů Speciál issue on laser technology, Lincoln Labomtory Journal, vol. 3, no. 3, 1990. Speciál issue on semiconductor diodě lasers, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-25, no. 6, 1989. Speciál issue on semiconductor lasers, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-23, no. 6, 1987. Speciál issue on semiconductor quantum wells and superlattices: physics and applications, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-22, no. 9, 1986. Speciál issue on semiconductor lasers, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-21, no. 6, 1985. Speciál issue on optoelectonics, Physics Today, vol. 38, no. 5, 1985. Speciál issue on light emitting diodes and long-wavelength photodetectors, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-30, no. 4, 1983. Speciál issue on optoelectronics devices, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-29, no. 9, 1982. Speciál issue on light sources and detectors, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-28, no. 4, 1981. Speciál issue on quaternary compound semiconductor materials and devices — sources and detectors, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-17, no. 2, 1981. Speciál joint issue on optoelectronic devices and circuits, IEEE Transaction on Electron Devices, vol. ED-25, no. 2, 1978. Speciál issue on semiconductor lasers, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-6, no. 6, 1970. Články J. Jewell, Surface-Emitting Lasers: A New Breed, Physics World, vol. 3, no. 7, pp. 28-30, 1990. R. Baker, Optical Amplification, Physics World, vol. 3, no. 3, pp. 41-44, 1990. D. A. B. Miller, Optoelectronic Applications of Quantum Wells, Optics and Photonics News, vol. 1, no. 2, pp. 7-15, 1990. J. L. Jewell, A. Scherer, S. L. McCall, Y. H. Lee, S. J. Walker, J. P. Harbison a L. T. Florez, Low Threshold Electrically-Pumped Vertical-Cavity Surface-Emitting Micro-Lasers, Optics News, vol. 15, no. 12, pp. 10-11, 1989. A. Yariv, Quantum Well Semiconductor Lasers Are Taking Over, IEEE Circuits and Devices Magazíne, vol. 5, no. 6, pp. 25-28, 1989. G. Eisenstein, Semiconductor Optical Amplifiers, IEEE Circuits and Devices Magazíne, vol. 5, no. 4. pp. 25-30, 1989. D. Welch, W. Streifer a D. Scifres, High Power, Coherent Laser Diodes, Optics News, vol. 15, no. 3, pp. 7-10, 1989. G. P. Agrawal, Single-Longitudinal-Mode Semiconductor Lasers, in Progress in Optics, E. Wolf, ed., vol. 26, North-Holland, Amsterdam, 1988. M. Ohtsu a T.Tako, Coherence in Semiconductor Lasers, in Progress in Optics, E.Wolf, ed., vol. 25, North-Holland, Amsterdam, 1988. 718 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ I. Hayashi, Future Prospects of the Semiconductor Laser, Optics News, vol. 14, no. U), pp. 7-12, 1988. M. Ettenberg, Laser Diodě Systems and Devices, IEEE Circuits and Devices Magazíne, vol. 3, no. 5, pp. 22-26, 1987. G. L. Harnagel, W. Streifer, D. R. Scifres a D. F. Welch, Ultrahigh-Power Semiconductor Diodě Laser Arrays, Science, vol. 237, pp. 1305-1309, 1987. Y. Suematsu, Advances in Semiconductor Lasers, Physics Today, vol. 38, no. 5, pp. 32-39, 1985. D. Botez, Laser Diodes are Power-Packed, IEEE Spectrum, vol. 22, no. 6, pp. 43-53, 1985. A. Mooradian, Laser Linewidth, Physics Today, vol. 38, no. 5, pp. 42-48, 1985. 3 W. T. Tsang, The C Laser, Scientific American, vol. 251, no. 5, pp. 149-161, 1984. S. Kobayashi a T. Kimura, Semiconductor Optical Amplifiers, IEEE Spectrum, vol. 21, no. 5, pp. 26-33, 1984. F. Stern, Semiconductor Lasers: Theory, in Laser Handbook, F. T. Arecchi a E. O. Schultz-Du Bois, ed., North-Holland, Amsterdam, 1972. Z historie R. D. Dupuis, An Introduction to the Development of the Semiconductor Laser, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-23, pp. 651-657, 1987. N. G. Basov, Quantum Electronics at the P. N. Lebedev Physics Institute of the Academy of Sciences of the USSR (FIAN), Soviet Physics-Uspechi, vol. 29, pp. 179-185, 1986 [Uspěchi Fizičeskich Nauk, vol. 148, pp. 313-324, 1986]. J. K. Butler, ed., Semiconductor Injection Lasers, IEEE Press, New York, 1980. N. G. Basov, Semiconductor Lasers, in Nobel Lectures in Physics, 1963-1970, Elsevier, Amsterdam, 1972. T. M. Quist, R. H. Rediker, R. J. Keyes, W. E. Krag, B. Lax, A. L. McWhorter a H. J. Zeiger, Semiconductor Maser of GaAs, Applied Physics Letters, vol. 1, pp. 91-92, 1962. N. Holonyak, Jr. a S. F. Bevacqua, Coherent (Visible) Light Emission from Ga(Asi_ a: P x ) Junctions, Applied Physics Letters, vol. 1, pp. 82-83, 1962. M. I. Nathan, W. P. Dumke, G. Burns, F. H. Dill, Jr. a G. Lasher, Stimulated Emission of Radiation from GaAs p — n Junctions, Applied Physics Letters, vol. 1, pp. 62-64, 1962. R. N. Halí, G. E. Fenner, J. D. Kingsley, T. J. Soltys a R. O. Carlson, Coherent Light Emission from GaAs Junctions, Physical Review Leiters, vol. 9, pp. 366-368, 1962. R. J. Keyes a T. M. Quist, Recombination Radiation Emitted by Gallium Arsenide, Proceedings of the IRE, vol. 50, pp. 1822-1823, 1962. N. G. Basov, O. N. Krokhin a Yu. M. Popov, Production of Negative-Temperature States in p--n Junctions of Degenerate Semiconductors, Soviet Physics—JETP, vol. 13, pp. 1320-1321, 1961 [Žurnál Eksperimentalnoj i Těoretičeskoj Fiziki (SSSR), vol. 40, pp. 1879-1880, 1961]. M. G. A. Bernard a G. Duraffourg, Laser Conditions in Semiconductors, Physica Status Solidi, vol. 1, pp. 699-703, 1961. ÚLOHY 719 J. von Neumann ukázal v nepublikovaných výpočtech, zaslaných v září 1953 E. Tellerovi, že je v zásadě možné narušit rovnovážnou koncentraci nosičů v polovodiči a tak získat zesílení světla stimulovanou emisí, např. rekombinací elektronů a děr injektovaných do přechodu p — n [viz J. von Neumann, Notes on the PhotonDisequilibrium-Amplification Scheme (JvN), Sept. 16, 1953, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-23, pp. 658-673, 1987]. Literatura v českém jazyce J. Ctyroký, I. Hiittel, J. Schrófel a L. Šimánková, Integrovaná optika, SNTL-Nakladatelství technické literatury, Praha, 1986 J. Misek a L. Kratěna, Optoelektronika, Populární přednášky o fyzice, svazek 29, SNTL-Nakladatelství technické literatury, Praha, 1979 ÚLOHY 16.1-1 Spektrální šířky záření LED. Odhadněte spektrální šířky LED vyrobených z Ino.72Gao.28Aso.oPo.4, GaAs a GaAso.6Po.4 ze spekter zobrazených na obr. 16.1-9 v jednotkách nm, Hz a eV. Srovnejte tyto hodnoty s výsledky výpočtů podle vzorců daných ve cvičení 16.1-3. 16.1-2 Vyzařovací kvantová účinnost L E D . Odvoďte vztah pro vyzařovací účinnost TI,, vyvedení vnitřního nepolarizovaného záření z LED, když vezmete v úvahu úhlovou závislost Fresnelovy reflexe na rozhraní polovodičvzduch (viz odst. 6.2). 16.1-3 Navázání záření z LED do optického vlákna. Vypočítejte jaká část optického výkonu emitovaného LED, který se naváže do optického vlákna se skokovým profilem indexu lomu, s numerickou aperturou ve vzduchu NA = 0,1 a indexem lomu jádra n = 1,46 (viz odst. 8.1). Předpokládejte, že LED má rovinný povrch, index lomu n = 3,6 a úhlovou vyzařovací výkonovou charakteristiku úměrnou cos 4 (0). Předpokládejte dále, že LED je v kontaktu s jádrem vlákna a že vyzařovací plocha je menší nežli plocha jádra. 16.2-1 Šířka pásma polovodičového laserového zesilovače. S použitím údajů na obr. 16.2-3(a) vyneste závislost celkové šířky pásma InGaAsP zesilovače na koncentraci injektovaných nosičů An. Nalezněte přibližný lineární výraz pro tuto šířku pásma jako funkci A n a vyneste do grafu koeficient zesílení zesilovače v závislosti na šířce pásma. 16.2-2 Špičkový koeficient zesílení při T = OK. (a) Ukažte, že koeficient zesílení 7o(f/) dosahuje špičkové hodnoty 7 P při T = OK na frekvenci v = = (Efc - Efv)/h. (b) Získejte analytický výraz pro špičkový koeficient zesílení j p v závislosti na koncentraci injektovaných nosičů A n při T = 0 K. (c) Vyneste do grafu závislost 7,, na A n pro InGaAsP zesilovač (Ao = = 1,3/mi, n — 3,5, rr = 2,5 ns, mc = O,O6mo, m„ = O,4TOO) pro hodnoty A n v rozmezí 1 x 10 1 8 až 2 x 1 0 1 8 c m " 3 . (ďj Porovnejte výsledky s údaji na obr. 16.2-3(6). 720 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ - 3 sf 300 •M a • 200 >o — 100 I 0.5 1.0 1.5 2.0 18 Au (10 cm-3) (b) Obrázek P16.2-3 (Převzato z M- B. Peuiish, Heterostructure Injection Lasers, Proceedings oj the IEEE, vol. 64, str. 1512-1540, ©1976 IEEE). *16.2-3 Koeficient zesílení zesilovače GaAs. Laserový zesilovač GaAs typu p (Eg =s l,40eV, mc — O,O7mo, m„ = O,5mo) s indexem lomu n = 3,6 pracující za pokojové teploty (T = 300 K), je dotován (p 0 = 1,2 x 1018 cm" 3 ) tak, že doba zářivé rekombinace r , » 2 ns. (o) Pomocí vztahů (16.2-2)-(16.2-4) vypočítejte koeficient zesílení 7o(^) v závislosti na energii fotonu hv, je-li dána ustálená koncentrace injektovaných nosičů Au (která je určena rychlostí injekce R a celkovou rekombinační dobou T) za, předpokladu, že T = OK. (fe) Proveďte týž výpočet za použití počítače, budete-li předpokládat T = = 300K. (c) Pro oba případy vyneste do grafu závislost špičkového koeficientu zesílení na. An. (d) Za použití aproximativního lineárního modelu stanovte koeficient ztrát a a koncentraci ATVT, která přísluší optické transparentnosti. (e) Pro oba případy vyneste celkovou šířku pásma zesilovače (v Hz, nm a eV) jako funkci An. (/) Porovnejte vaše výsledky s křivkami koeficientu zesílení a špičkového koeficientu zesílení vypočtenými Panishem a zobrazenými na obr. P16.2-3. 16.2-4 Zmenšení šířky zakázaného pásu následkem stavů ve výběžcích pásů. Zmenšení zakázaného pásu A£9 plynoucí z existence stavů ve výběžcích pásů v InGaAsP a GaAs lze empiricky vyjádřit vztahem AE,(eV) » (-1,6 +n1/3), ÚLOHY 721 3 kde n a p jsou koncentrace nosičů (cm ) získané dotováním, injekcí nosičů nebo oběma způsoby současně. (a) Pro typ p InGaAsP a GaAs nalezněte koncentraci p, která vede k redukci zakázaného pásu přibližně o 0,02 eV. (6) Pro dotovaný InGaAsP a GaAs nalezněte hustotu injektovaných nosičů An, která vede k zúžení zakázaného pásu přibližně o 0,02 eV. Předpokládejte, že rii je zanedbatelné. (c) Vypočítejte Eg + AEg a porovnejte výsledek s energií, při níž koeficient zesílení na obr. 16.2-3(a) dosahuje na nízkofrekvenční straně nulové hodnoty. 16.2-5 Zisk a šířka pásma zesilovače. GaAs má intrinsickou koncentraci nosičů n.; = 1,8 x 106 cm" 3 , rekombinační dobu života r = 50 ns, šířku zakázaného pásu Eg = 1,42 eV, efektivní hmotnost elektronu mc = O,O7mo a efektivní hmotnost díry ra„ = O,5mo- Předpokládejte T = OK. (a) Pro zesilovač GaAs o délce d = 200 ^m, šířce w = 10 /mi a tloušťce 1 = 2 /xm stanovte centrální frekvenci, šířku pásma a špičkový koeficient zesílení, jestliže je čepán proudem 1 mA. (b) Určete počet telefonických hovorů, které lze současně přenášet ve výše vypočtené šířce pásma, jestliže každý hovor vyžaduje šířku pásma 4kHz. (c) Určete rychlost přenosu informace (v bit/s) zesilovačem, jestliže každý hovorový kanál vyžaduje 64 kbit/s. 16.2-6 Účinný průřez přechodu. Určete efektivní průřez přechodu o{v) pro GaAs jako funkci An při T = OK. Pravděpodobnost přechodu je 4>a(v), kde <p je hustota toku fotonů. Proč je účinný průřez přechodu pro polovodičový laserový zesilovač užívaný méně než v případě jiných laserových zesilovačů? *16.2-7 Spektrální profil zesílení. Uvažujte zesilovač InGaAsP (n = 3,5) na vlnové délce 1,55 fim v konfiguraci na obr. 16.2-6 s identickými antireflexními vrstvami na vstupní i výstupní ploše. Vypočítejte maximální refiektivitu každé plochy, při níž se bude měnit koeficient zesílení následkem frekvenční závislosti Fabryovy—Perotovy propustnosti maximálně o 10% [viz (9.1-29)]. 16.3-1 Závislost výstupního výkonu na indexu lomu. Ve výstupním toku fotonů $o daném (16.3-10) identifikujte členy, které závisí na indexu lomu krystalu. 16.3-2 Podélné mody. Do diody InGaAsP se zakázaným pásem Eg = 0,91 eV a indexem lomu n = 3,5 je injektován takový proud, že rozdíl mezi Fermiho hladinami je Ejc — £/„ = 0,96 eV. Určete maximální počet longitudinálních modů, které mohou oscilovat, jestliže rezonátor má délku d = 250 /jm a je bezztrátový. 16.3-3 Minimální zesílení nutné k oscilacím laseru. Krystal InGaAsP dlouhý 500 jim pracuje na vlnové délce, jíž přísluší index lomu n = 3,5. Určete koeficient zesílení požadovaný k tomu, aby se vykompenzovaly reflexní ztráty na rozhraních krystalu. Zanedbejte rozptyl a jiné ztráty. *16.3-4 Vzdálenost modů, jestliže index lomu závisí na vlnové délce. Frekvenční vzdálenost modů laserové diody je komplikována tím, že index lomu 722 POLOVODIČOVÉ ZDROJE FOTONŮ závisí na vlnové délce [tj. n = n(Ao)]. Laserová dioda o délce d = 430 ^m osciluje na centrální vlnové délce Ac = 650 nm. Uvnitř emisního pásu můžeme předpokládat, že n(Ao) je lineárně závislý na Ao [tj. n(Ao) — no — a(Ao — Ac), kde no = n(A c ) = 3,4 a a = |dn/dAo|j. (a) Experimentálně bylo zjištěno, že vzdálenost mezi laserovými mody s vlnovou délkou v blízkosti Ac je AA « 0,12 nm. Vysvětlete, proč to neodpovídá obvyklé vzdálenosti modů vp = c/2d. (b) Odhadněte hodnotu koeficientu a. (c) Objasněte jev stahování modů v plynovém laseru a srovnejte jej s výše popsaným efektem v polovodičových laserech. K A P I T O L A 17 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 17.1 VLASTNOSTI POLOVODIČOVÝCH A. Kvantová účinnost B. Citlivost C. Doba odezvy FOTODETEKTORŮ 17.2 FOTOODPORY 17.3 FOTODIODY A. Fotodioda p-n B. Fotodioda p-i-n C. Fotodiody s heterostrukturou D. Matice detektorů 17.4 LAVINOVÉ FOTODIODY A. Princip činnosti B. Zisk a citlivost C. Doba odezvy 17.5 ŠUM FOTODETEKTORŮ A. Fotoelektronový šum B. Šum zesilovacího procesu C. Šum elektrického obvodu detektoru D. Poměr signálu k šumu a citlivost přijímače Heinrich Hertz (1857-1894) objevil v r. 1887 fotoemisi. Siméon Poisson (1781-1840) odvodil pravděpodobnostní rozdělení, popisující šum fotodetektoru. 723 724 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Fotodetektor je zařízení, které měří fotonový tok nebo optický výkon tím způsobem, že přeměňuje energii absorbovaných fotonů do měřitelné formy. Fotografický film je pravděpodobně nejběžnějším fotodetektorem. Obvykle se používají dva základní typy fotodetektorů: tepelné detektory a fotoelektrické detektory: • Tepelné detektory jsou založeny na principu přeměny energie fotonu na teplo. Většina tepelných detektorů je však poměrně málo efektivní a relativně pomalá následkem doby, nutné ke změně jejich teploty. Z tohoto důvodu se nehodí pro většinu aplikací ve fotonice. • Fotoelektrické detektory jsou založeny na fotoefektu, při kterém následkem absorpce fotonů v určité látce dojde přímo k elektronovým přechodům na hladinu vyšší energie a k vytvoření pohyblivých nosičů náboje. Působením elektrického pole se tyto nosiče přemisťují a vytvářejí měřitelný elektrický proud. V této kapitole se budeme zabývat pouze fotoelektrickými detektory. Existují dva typy fotoelektrického jevu: vnější a vnitřní. V prvním případě se jedná o fotoelektronovou emisi, kdy se světlem generované elektrony dostanou z látky ven jako volné elektrony. V případě druhého procesu se jedná o fotovodivost, kdy excitované nosiče zůstávají uvnitř látky, kterou je obvykle polovodič, a zvyšují její vodivost. Vnější fotoefekt: fotoelektronová emise Jestliže je energie fotonů osvětlujících povrch látky ve vakuu dostatečně velká, může se excitovaný elektron dostat přes potenciálovou bariéru na povrchu látky do vakua jako volný elektron. Celý proces, nazývaný fotoelektronová emise, je znázorněn na obr. 17.0-l(a). Foton s energií hv, dopadající na povrch kovu, uvolňuje elektron z částečně zaplněného vodivostního pásu. Zákon zachování energie vyžaduje, aby Volný elektron Volný elektron Hladina vakua. Hladina vakua i£ Vodivostní pás ÍT Foton w hi/ Fermiho mez. Vodivostní pás (a) Obrázek 17.0-1 1 Foton Fermiho mez j hv Valenční pás (bí Fotoelektronová emise (a) z kovu a (6) z polovodiče. i w POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 725 elektrony emitované z hladin pod Fermiho energií, kde je jich mnoho, měly nejvyšší kinetickou energii £,„ax = hv-W, (17.0-1) kde výstupní práce W vyjadřuje energetický rozdíl mezi energií elektronu ve stavu klidu ve vakuu (hladina vakua) a Fermiho energií v látce. Rovnice (17.0-1) je známa jako Einsteinův vztah pro fotoemisi. Nejvyšší energii, danou vztahem (17.0-1), může elektron získat pouze tehdy, jestliže je původně na Fermiho hladině; uvolnění hlouběji ležícího elektronu vyžaduje dodatečnou energii nutnou k dosažení Fermiho meze a snižuje tak kinetickeu energii uvolněného elektronu. Nejnižší výstupní práce kovu (Cs) je asi 2 eV, takže optické detektory založené na vnějším fotoelektrickém jevu v čistých kovech jsou použitelné pouze ve viditelné a ultrafialové spektrální oblasti. Fotoelektrická emise z polovodiče je schematicky znázorněna na obr. 17.0-1(6). Fotoelektrony jsou obvykle uvolňovány ze silně zaplněného valenčního pásu. Obdobně jako ve vztahu (17.0-1) platí Em*x = hu-(Eg + X), (17.0-2) kde Eg je šířka zakázaného pásu a x J e elektronová afinita látky (energetický rozdíl mezi hladinou vakua a dnem vodivostního pásu). Energie En + x může být pro určité materiály až 1,4 eV (např. NaKCsSb, základ fotokatody S-20), takže polovodičové fotoemisní detektory mohou pracovat v blízké infračervené, právě tak jako ve viditelné a ultrafialové spektrální oblasti. Navíc byly vyvinuty polovodičové fotokatody s negativní afinitou, ve kterých leží dno vodivostního pásu v objemu materiálu nad hladinou vakua, takže k dosažení emise stačí, aby hv převyšovalo Eg (na povrchu polovodiče se pásy ohýbají, takže vodivostní pás zde ve skutečnosti leží pod hladinou vakua). Tyto detektory jsou proto citlivé do poněkud delších vlnových délek v infračervené oblasti, vykazují zlepšenou kvantovou účinnost a snížený temný proud. Pro blízkou infračervenou oblast jsou také vhodné fotokatody jako S-l, sestavované z více vrstev nebo z nehomogenních materiálů. Fotodetektory založené na fotoelektrické emisi jsou obyčejně v provedení vakuové trubice nazývané fotonka. Elektrony jsou emitovány s povrchu fotoemisního materiálu (katody) a pohybují se k elektrodě (anodě), která je na vyšším elektrickém potenciálu [obr. 17.0-2(a)]. Výsledkem pohybu elektronů mezi katodou a anodou je elektrický proud v obvodu, úměrný fotonovému toku. Fotoemitované elektrony mohou dopadat na povrch dalších elektrod pokrytých kovem nebo polovodičem, na tzv. dynody, odkud jsou procesem sekundární emise emitovány kaskády elektronů. Výsledkem je násobení původně generovaného elektrického proudu faktorem až 107. Toto zařízení, znázorněné na obr. 17.0-2(6) se nazývá fotonásobič. Moderním zobrazovacím prvkem, který využívá tohoto principu, je mikrokanálková destička. Sestává z milionů kapilár (s vnitřním průměrem ~ 10 /xm) ve skleněné destičce tloušťky ~ 1 mm. Obě čela destičky jsou pokryta tenkou kovovou vrstvou, která má funkci elektrod, na které je přiloženo napětí [obr. 17.0-2(c)]. Vnitřní stěny každé kapiláry jsou pokryty materiálem s vysokým koeficientem sekundární emise a vytvářejí tak spojitou dynodu, která násobí fotoelektronový proud emitovaný v daném místě [obr. 17.0-2(á)]. Lokální fotonový tok v obrazu tak může být rychle 726 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Fotokatoda Fotokatoda Kaskáda A n o d a elektronů Dynody (b) lal Zobrazující fotokatoda Kaskáda elektronů Kapiláry M Id) Obrázek 17.0-2 (a) Fotonka. (6) Fotonásobič s polopropustnou fotokatodou. (c) Průřez mikrokanálkovou destičkou, (d) Jednotlivá kapilára v mikrokanálkové destičce. přeměněn na přímo měřitelný elektronový proud. Navíc může být elektronový proud zpětně přeměněn na (zesílený) optický obraz pokrytím zadní elektrody elektroluminiscenčním materiálem. Výsledkem je zesilovač obrazu. Vnitřní fotoefekt Mnohé moderní fotonové detektory pracují na základě vnitřního fotoefektu, při kterém fotoexcitované nosiče (elektrony nebo díry) zůstávají uvnitř vzorku. Nejvýznamnějším vnitřním fotoefektem je fotovodivost. Fotovodivostní detektory jsou založeny přímo na světlem indukovaném vzrůstu elektrické vodivosti, který se pozoruje téměř na všech polovodičových materiálech. Absorpce fotonu ve vlastním polovodiči má za následek generování volného elektronu, excitovaného z valenčního do vodivostního pásu (obr. 17.0-3). Současně je generována díra ve valenčním pásu. Přiložení elektrického pole na materiál vede k transportu elektronů i děr materiálem a k následnému vzniku elektrického proudu v elektrickém obvodu detektoru. Polovodičová fotodioda jako detektor, představovaná přechodem p — n, je také založena na vnitřním fotoefektu. Fotony absorbované v ochuzené vrstvě generují elektrony a díry, na které působí lokální elektrické pole uvnitř vrstvy. Oba typy nosičů driftují opačným směrem. Takovýto transport vyvolá elektrický proud ve vnějším POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 727 Elektron Foton E, s www-*hv Obrázek 17.0-3 -f-0 J_ Fotogenerování elektron-děrového páru v polovodiči. obvodu. Některé fotodetektory zahrnují vnitřní zesilovací mechanismy, takže fotoelektrický proud může být uvnitř detektoru fyzikálními procesy zesílen a signál tím snadněji detekován. Jestliže je elektrické pole v ochuzené vrstvě fotodiody zvýšeno přiložením dostatečně silného napětí na přechod v závěrném směru, generované elektrony a díry mohou získat energii dostatečnou k tomu, aby v procesu nárazové ionizace uvolnily další elektrony a díry v této vrstvě . Prvky, ve kterých se uplatňuje tento proces vnitřního zesí/emjsou známy jako lavinové fotodiody (APD -avalanche photodiodes). Takové detektory mohou být užívány společně s laserovými zesilovači (viz kap. 13 a 16), ve kterých se optický signál zesílí již před detekcí, anebo místo nich. Každý z těchto zesilovacích mechanismů ovšem zavádí svůj vlastní druh šumu. Stručně shrnuto, polovodičové fotoelektrické detektory s vnitřním ziskem zahrnují následující tři základní procesy: • Generování: Absorbované fotony generují volné nosiče. • Transport: Přiložené elektrické pole vede k pohybu těchto nosičů, jehož výsledkem je elektrický proud v obvodu. • Zesílení: Vysoké elektrické pole v APD dodává nosičům energii dostatečnou k tomu, aby nárazovou ionizací uvolňovaly další nosiče. Tímto vnitřním zesilovacím procesem se zvyšuje citlivost detektoru. Tato kapitola je věnována třem typům polovodičových detektorů: fotoodporům, fotodiodám a lavinovým fotodiodám. Všechny jsou založeny na generování nosičů vnitřním fotoelektrickým jevem. V odst. 17.1 je probráno několik důležitých obecných vlastností těchto detektorů, jako je kvantová účinnost, citlivost a doba odezvy. Vlastnosti fotoodporů jsou probrány v odst. 17.2. Funkce fotodiod a lavinových fotodiod je popsána v odst. 17.3 a 17.4. K tomu, abychom určili výkonnost fotodetektorů v různých aplikacích, je třeba porozumět jejich šumovým vlastnostem, které jsou vyloženy v odst. 17.5. Existuje několik zdrojů šumu ve výstupním obvodu fotoelektrického detektoru: fotonová podstata samotného světla (fotonový šum), proces přeměny fotonů na fotogenerované nosiče (fotoelektronový šum), generování sekundárních nosičů v procesu vnitřního zesílení (šum zesilovacího procesu) a šum elektrického obvodu detektoru. V této kapitole je zařazena stručná diskuse výkonnosti optických přijímačů; v odst. 22.4 se vrátíme k tomuto bodu ve spojení s výkonností optických vláknových sdělovacích systémů. 728 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 17.1 VLASTNOSTI POLOVODIČOVÝCH FOTODETEKTORŮ Určitá základní pravidla se týkají všech polovodičových fotodetektorů. Dříve než se budeme podrobně zabývat konkrétními detektory, které nás zajímají, vyšetříme obecně kvantovou účinnost, citlivost a dobu odezvy fotoelektrických detektorů. Polovodičové fotodetektory a polovodičové zdroje fotonů představují navzájem inverzní zařízení. Detektory přeměňují dopadající fotonový tok na výstupní elektrický proud; zdroje dosahují opaku. Stejný materiál se často používá pro přípravu obou typů zařízení. Parametry výkonnosti detektorů, diskutované v tomto odstavci, mají vždy své protipóly u zdrojů, které byly obsahem kap. 16. A. Kvantová účinnost Kvantová účinnost fotodetektorů T) (0 < T) < 1) je definována jako pravděpodobnost, že jeden foton dopadající na čidlo generuje pár nosičů, které přispívají k proudu detektorem. Jestliže současně dopadá mnoho fotonů, jak je tomu téměř ve všech případech, "n je rovno poměru toku generovaných párů elektron-díra, které přispívají k proudu detektorem, k dopadajícímu toku fotonů. Všechny dopadající fotony nevytvářejí elektron-děrové páry, protože všechny nejsou absorbovány. To je znázorněno na obr. 17.1-1. Některé fotony prostě nejsou pohlceny v důsledku náhodné povahy absorpčního procesu (rychlost absorpce fotonů v polovodiči byla odvozena v odst. 15.2B). Jiné se mohou odrazit od povrchu detektoru a dále tak snížit kvantovou účinnost. Navíc, některé páry elektron-díra, vytvořené v blízkosti povrchu detektoru, rychle rekombinují kvůli velké koncentraci rekombinačních center v těchto místech a nemohou tak přispívat k proudu detektorem. Konečně, jestliže světlo není správně fokusováno na aktivní plochu detektoru, jsou ztraceny další fotony. Tento případ ovšem není obsažen v definici kvantové účinnosti, neboť souvisí spíše s používáním detektoru než s jeho vnitřními vlastnostmi. Kvantovou účinnost je tedy možno vyjádřit vztahem Kvantová účinnost TI = (1 - - exp(-arf)], (17.1-1) Fotony T Fotocitlivá oblast Obrázek 17.1-1 7 Dopadající I fotonový tok Odražený fotonový tok Procházející fotonový tok Vliv absorpce na kvantovou účinnost T|. VLASTNOSTI POLOVODIČOVÝCH FOTODETEKTORŮ 729 kde ž# je optická výkonová odrazivost povrchu, £ je faktor vyjadřující podíl párů elektron-díra, které přispívají k proudu detektorem, a je koeficient absorpce materiálu (cm" 1 ) diskutovaný v odstavci 15.2B a d je tloušťka fotodetektoru. Vztah (17.1-1) je součinem tří faktorů: • První faktor (1 — ^) představuje vliv odrazivosti na povrchu detektoru. Odrazivost může být snížena nanesením antireflexní vrstvy. • Druhý faktor £ udává podíl elektron-děrových párů, které nezrekombinují na povrchu a přispívají k užitečnému fotoproudu. Povrchová rekombinace se dá snížit pečlivou přípravou krystalu a jeho povrchu. • Třetí faktor JQ e~ax dx/ J^° e~°* dx = [1 — exp(—ad)], představuje relativní část fotonového toku absorbovaného v objemu materiálu. Detektor by měl mít dostatečně velkou tloušťku d, aby byl tento faktor maximální. Je třeba poznamenat, že v definici kvantové účinnosti někdy nebývá zahrnuta odrazivost povrchu, takže je nutno ji uvažovat odděleně. Závislost T\ na vlnové délce Kvantová účinnost T| je funkcí vlnové délky v zásadě proto, že koeficient absorpce a závisí na vlnové délce (viz obr. 15.2-2). Pro detekční materiály přicházející v úvahu je T| velké vždy v určité spektrální oblasti, určené charakteristikami materiálu. Pro dostatečně velké Ao je T\ malé, neboť k absorpci nemůže dojít, jestliže je Ao > A9 = hco/Eg (energie fotonu potom nestačí na překonání zakázaného pásu). Vlnová délka A9, odpovídající šířce zakázaného pásu představuje dlouhovlnnou mez citlivosti polovodičového materiálu (viz kap. 15). Reprezentativní hodnoty Eg a A9 vybraných vlastních polovodičů jsou na obr. 15.1-5 a 15.1-6 (viz také tab. 15.1-3). Pro dostatečně nízké hodnoty A(, účinnost T| také klesá, neboť většina fotonů je potom absorbována v blízkosti povrchu čidla (např. pro a = 10 4 cm - 1 je většina světla absorbována na vzdálenosti l/a = 1 /mi). Rekombinační doba života je blízko povrchu velmi krátká, takže fotogenerované nosiče zrekombinují dříve, než jsou odvedeny do obvodu. B. Citlivost Citlivost vyjadřuje vztah mezi elektrickým proudem, protékajícím detektorem a výkonem dopadajícího světla. Kdyby každý foton generoval jeden fotoelektron, pak by fotonový tok $ (počet fotonů za sekundu) vytvořil elektronový tok $, odpovídající fotoelektrickému proudu nakrátko ip — e<ř. Optický výkon P = hv<& (W) na frekvenci v by potom dával elektrický proud ip = eP/hu. Jelikož relativní podíl fotonů, které vytvářejí fotoelektrony je T| a nikoliv jednotka, je elektrický proud dán vztahem : ^ = »P. (171-2) Koeficient úměrnosti 5Fř mezi elektrickým proudem a optickým výkonem se definuje jako citlivost detektoru 3í. 3ř = ip/P se měří v jednotkách A/W a je dána 730 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ vztahem Citlivost fotonového detektoru (A/W) (17.1-3) (A o v jim) 5R roste s Ao, neboť foto elektrické detektory jsou citlivé na fotonový tok, nikoliv na optický výkon. Jak Ao roste, je daný optický výkon přenášen více fotony, a ty vytvářejí více elektronů. Oblast, ve které 3? vzrůstá s Ao je ovšem omezená, jelikož •n závisí na vlnové délce a klesá jak pro krátké, tak pro dlouhé vlny. Na tomto místě definovanou citlivost detektoru (A/W) je důležité rozlišovat od citlivosti luminiscenční fotodiody (W/A), definované v odstavci (16.1-25). Citlivost se může snižovat, jestliže na detektor dopadá příliš velký optický výkon. Je to způsobeno saturací detektoru, která omezuje lineární dynamický rozsah, ve kterém odezva detektoru roste lineárně s dopadajícím optickým výkonem. Řádový odhad velikosti citlivosti se dostane dosazením T| = 1 do (17.1-3), takže 3R = 1 A/W, t.j. 1 nW —> 1 nA pro A„ = 1,24 jim. Lineární růst citlivosti s vlnovou délkou je v závislosti na hodnotě r\ znázorněn na obr. (17.1-2). Je vidět, že Sř také roste lineárně s r\ při pevné vlnové délce Ao. Citlivost S? tepelných detektorů nezávisí na Ao, neboť tyto detektory reagují přímo na optický výkon a nikoliv na fotonový tok. Čidla s vnitřním ziskem Vztahy uvedené výše jsou založeny na předpokladu, že každý nosič přispívá nábojem e do obvodu detektoru. Mnoho zařízení ovšem vytváří v obvodu náboj q odlišný od e. Takováto zařízení se nazývají detektory s vnitřním ziskem. Zisk G se rovná průměrnému počtu elektronů v obvodu, generovanému párem fotogenerovaných 1.2 1.0 0.8 0.6 O 0.4 0.2 I 0.8 I 1.0 I 1 i 1.2 Vlnová délka Ao I (H 1.4 J_ I 1.6 Obrázek 17.1-2 Závislost citlivosti 5ř (A/W) na vlnové délce A„ s kvantovou účinností r| jako parametrem. 3? = 1 A/W při A„ = 1,24 fim, když je TI = 1. VLASTNOSTI POLOVODIČOVÝCH FOTODETEKTORŮ 731 nosičů. G je třeba odlišit od T|, které se rovná pravděpodobnosti, že dopadající foton vytvoří detekovatelný pár nosičů. Zisk, který se definuje vztahem (17.1-4) G= -, e může být, jak se v zápětí ukáže, větší nebo menší než jednotka. Obecnější výrazy pro fotoproud a citlivost jsou tedy 9 Fotoproud Citlivost v případě vnitřního zisku (A/W), (A o v ip -lib — T|( Sř- c Gf\e hv n hv K -Gv ~ G T 1 1,24- (17.1-5) (17.1-6) Další užitečné parametry chování fotodetektorů, jako je poměr signálu k šumu a citlivost zařízení, musíme odložit až za rozbor šumových vlastností detektorů v odst. 17.5. C. Doba odezvy Na první pohled se zdá, že když foton vytvoří elektron-děrový pár v materiálu fotodetektorů, náboj generovaný ve vnějším obvodu bude 2e, neboť se jedná o dva nosiče náboje. Ve skutečnosti se generuje náboj e, jak se v dalším ukáže. Navíc není náboj dodávaný do vnějšího obvodu pohybem nosiče v materiálu detektoru předán okamžitě, ale v průběhu určitého časového intervalu. Vypadá to, jakoby pohyb nabitých nosičů v materiálu vytahoval zvolna náboj z vodiče na jedné straně prvku a strkal ho do vodiče na druhé straně, takže každý náboj procházející vnějším obvodem je rozprostřen v čase. Tento jev je znám jako rozšíření průletové doby. Je to důležitý faktor, omezující operační rychlost všech polovodičových fotodetektorů. Uvažujme elektron-děrový pár generovaný (např. absorpcí fotonu) v libovolném místě x v polovodiči šířky w, na který je přiloženo napětí V, jak je znázorněno na obr. 17.1-3(a). Omezíme se pouze na pohyb ve směru x. Nosič s nábojem Q (díra s nábojem Q = e nebo elektron s nábojem Q = -e), který se pohybuje rychlostí v(t) ve směru x vytvoří ve vnějším obvodu proud daný vztahem Ramoův vztah (17.1-7) Tento důležitý vztah, nazývaný Ramoův teorém, je možno dokázat propočtem energie. Jestliže náboj urazí vzdálenost da; za čas dí vlivem elektrického pole velikosti E = V/w, je vykonaná práce —QEdx = —Q{V/w)dx. Tato práce se musí rovnat energii dodávané vnějším obvodem i(t)V dt. Takže platí i(í)Vdí = —Q(V/w)dx, z čehož plyne i(t) = —(Q/w)(dx/dt) = -(Q/w)v(t), jak bylo uvedeno. 732 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Ut) 1 1 v Ut) ev/,lw evelw Ut) (w-x)/ve (w-x)/ve x v lk (a) (b) Obrázek 17.1-3 (a) Elektron-děrový pár je generován v místě z. Díra se pohybuje doleva rychlostí V)L a elektron doprava rychlostí ve. Proces končí, když nosiče dospějí na okraj materiálu. (6) Děrový proud i}L(t), elektronový proud ie{t) a celkový proud i(t) vyvolaný v obvodu. Celkový náboj v obvodu je e. Jestliže se jedná o rovnoměrně rozložený náboj s hustotou g místo jednoho bodového náboje Q, je celkový náboj gAw, kde A je plocha průřezu vzorku, takže vztah (17.1-7) dává i(t) = -(gAw/w)v{t) = -gAv(t), z čehož dostaneme hustotu proudu ve směru x jako: J(t) = -i(t)/A = gv(t). V elektrickém poli E driftuje v polovodiči nosič náboje se střední rychlostí v = fiE, (17.1-8) kde n je pohyblivost nosiče. Takže J = aE, kde a — fig je vodivost. Předpokládáme-li, že díra se pohybuje s konstantní rychlostí v/, směrem doleva a elektron se pohybuje s konstantní rychlostí ve doprava, bude podle (17.1-7) děrový proud i),. = —e{—vu)/w a elektronový proud ie = —(—e)ve/w, jak je znázorněno na obr. 17.1-3(6). Každý nosič přispívá k proudu, pokud se pohybuje. Jestliže nosiče pokračují ve svém pohybu dokud nedosáhnou okraje vzorku, díra se pohybuje po dobu x/vh a elektron po dobu (w - x)/ve [viz obr. 17.1-3(a)]. V polovodičích je obecně vc větší než v/,, takže celkové rozšíření průletové doby činí x/vi,. Celkový náboj q indukovaný ve vnějším obvodu se rovná součtu plochy pod ic a pod i;, v x v w- x X W — X q =e h 1- e e =e w w W Vh W V e jak bylo uvedeno. Výsledek nezávisí na souřadnici místa x, kde je elektron-děrový pár vytvořen. Jak je vidět z obr. 17.1-4, je rozšíření průletové doby dokonce ještě výraznější, jestliže jsou elektron-děrové páry generovány v materiálu rovnoměrně. Celkové FOTOODPORY Ne(ve+vh)/w Nevjw 0 \ + Nevhlw = \ NeVh/w \ WVL I 733 0 wv. í 0 WV. WVL. 1 Obrázek 17.1-4 Děrový proud ih(t), elektronový proud ie(t) a celkový proud i(t) indukovaný v obvodu elektron-dérovými páry, generovanými N fotony, rovnoměrně rozloženými mezi 0 a w (viz úloha 17.1-4). Výběžek v celkovém proudu je způsoben pohybem děr. Na i(t) je možno pohlížet jako na funkci impulsové odezvy (viz dodatek B) rovnoměrně osvětleného detektoru, ve kterém dochází k rozšíření průletové doby. rozšíření průletové doby je pro ví, < ve rovno w/vi,., nikoliv x/vu- Je to proto, že rovnoměrné osvětlení vytváří páry nosičů všude, včetně místa x — w, odkud musí díry urazit největší vzdálenost, aby mohly rekombinovat v místě x = 0. Jiné omezení rychlosti odezvy detektoru představuje časová konstanta RC, daná odporem R a kapacitou C fotodetektoru a jeho obvodu. Kombinace odporu a kapacity vede k integraci proudu na výstupu detektoru a tím k prodloužení funkce impulsové odezvy. Funkce impulsové odezvy je v případě rozšíření doby průletem a současně časovou konstantou RC určena konvolucí i(t) na obr. 17.1-4 s exponenciální funkcí (1/RC) exp(—t/RC) (viz dodatek B, odst. B.l). Různé typy fotodetektoru mají další specifická omezení rychlosti odezvy; těmi se budeme zabývat na příslušném místě výkladu. Závěrem poznamenejme, že fotodetektory z určitého materiálu a dané struktury vykazují často konstantní součin zisku a šířky pásma. Zvýšení zisku má za následek pokles šířky pásma a naopak. Tato vzájemná souvislost mezi citlivostí a frekvenční odezvou má původ v době, potřebné k rozvinutí procesu zesílení. 17.2 FOTOODPORY Při absorbci fotonů v polovodiči dochází ke generování pohyblivých nosičů náboje (elektron-děrového páru na každý absorbovaný foton). Elektrická vodivost materiálu stoupá úměrně s fotonovým tokem. Elektrické pole vnějšího zdroje napětí, přiložené na materiál, způsobí transport elektronů a děr. To vede k měřitelnému proudu v obvodu, jak je znázorněno na obr. 17.2-1. Fotoodporové detektory pracují tak, že zaznamenávají buď fotoelektrický proud ip, úměrný fotonovému toku $, nebo pokles napětí na zatěžovacím odporu R zapojeném v sérii s detektorem. Polovodičový materiál mívá tvar destičky nebo tenké vrstvy. Přívodní kontakty, anoda i katoda, jsou často umístěny na stejném povrchu materiálu a mají hřebenovité uspořádání, aby byla osvětlena co největší plocha fotovodiče při zachování minimální průletové doby (viz obr. 17.2-1). Jestliže má materiál podložky dostatečnou šířku zakázaného pásu (aby neabsorboval), může světlo dopadat také ze spodní strany detekční struktury. Vzrůst vodivosti vyvolaný fotonovým tokem $ (foton za sekundu), osvětlujícím v polovodiči objem wA (viz obr. 17.2-1), lze vypočítat následovně. Část T| dopadajícího fotonového toku je absorbována, a vede ke vzniku nadbytečných elektron-děrových 734 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Elektrody. Obrázek 17.2-1 Fotoodporový detektor. Fotogenerované páry nosičů se pohybují vlivem přiloženého napětí V a vytvářejí fotoproud ip úměrný dopadajícímu fotonovému toku. Znázorněná struktura prolínajících se elektrod je navržena tak, aby propustila maximum světla na polovodič a detektor měl současně co největší frekvenční šířku pásma (minimalizovanou průletovou dobu). párů. Rychlost vytváření párů R (v jednotce objemu) je tedy R = r$>/wA. Jestliže T značí dobu života nadbytečných nosičů, potom se elektrony ztrácejí s rychlostí An/r, kde An je koncentrace fotoelektronů (viz kap. 15). V ustáleném stavu jsou obě rychlosti stejné, (R = ATI/T), takže An = iyr$/wA. Vzrůst koncentrace nosičů náboje vede k růstu vodivosti podle vztahu (17.2-1) kde nc je elektronová a nu děrová pohyblivost. Zvýšení vodivosti je tedy úměrné fotonovému toku. Jelikož je hustota fotoelektrického proudu rovna Jp = AaE, vc = /j,cE a v>,. = = fii,.E, kde E je elektrické pole, vztah (17.2-1) dává Jp — [er|T(vc + V),)/wA]$, což odpovídá elektrickému proudu ip = AJV = [et|T(vc + v;,)/w]$. Je-li v/, < vc a r c = = w/ve, platí iv w er|—<p. (17.2-2) Jak uvádíme dále, odpovídá poměr T/TC V (17.2-2) zisku fotodetektoru G = T/TC v (17.1-5). Zisk Citlivost fotoodporu je dána vztahem (17.1-6). Detektor vykazuje vnitřní zisk, který je, jednoduše řečeno, výsledkem rozdílných hodnot rekombinační a průletové doby. Předpokládejme, že se elektrony pohybují rychleji než díry (viz obr. 17.2-1) a že rekombinační doba je velmi dlouhá. Jelikož elektrony a díry se přemisťují na opačné strany fotoodporu, urazí elektron svou dráhu dříve než díra. Požadavek spojitosti FOTOODPORY 735 proudu přinutí vnější obvod dodat okamžitě jiný elektron, vstupující do prvku z přívodu na levé straně. Nový elektron se pohybuje rychle doprava a opět urazí svou dráhu dříve, než se díra dostane na levou stranu čidla. Tento proces pokračuje tak dlouho, až elektron rekombinuje s dírou. Absorpce jednoho fotonu tak může vést k tomu, že elektron projde vnějším obvodem několikrát. Je možno očekávat, že počet průchodů elektronu do skončení celého procesu bude G = L, (17.2-3) 'e kde T je doba rekombinace nadbytečných nosičů náboje a re = w/ve je průletová doba elektronu vzorkem. Náboj dodaný do obvodu jediným elektron-děrovým párem je v tomto případě q — Ge > e, takže prvek vykazuje vnitřní zisk. Doba rekombinace nadbytečných nosičů může být ovšem značně krátká, takže nosiče rekombinují dříve než dosáhnou okraje materiálu. To může nastat, když je pro rekombinaci k dispozici dostatek nosičů opačného typu. V tom případě je r < re a zisk je menší než jedna, takže nosiče přispívají do obvodu v průměru pouze zlomkem elektronového náboje e. Náboj se samozřejmě zachovává a množství existujících párů nosičů dodává do obvodu celočíselný počet nábojů elektronu. Zisk fotoodporu G = T/TC je možno si představit jako poměr průměrné vzdálenosti, kterou proběhne excitovaný nosič než dojde k jeho rekombinaci, k délce vzorku. Průletová doba TC závisí na rozměrech prvku a na přiloženém napětí vztahem (17.1-8); typické hodnoty w = 1 mm a ve = 107 cm/s dávají re ~ 10~8 s. Rekombinační doba T může být v závislosti na polovodičovém materiálu a na jeho dotování [viz (15.1-17)] v rozmezí od 10~13s do několika sekund. Zisk G tak může nabývat hodnot menších i větších než jedna ve velmi širokém intervalu, v závislosti na parametrech materiálu, rozměrech detekčního prvku a na přiloženém napětí. Zisk fotoodporu nemůže být v zásadě větší než 106 následkem omezení, která jsou způsobena proudy omezenými prostorovým nábojem, nárazovou ionizací a dielektrickým průrazem. Spektrální odezva Spektrální citlivost fotoodporu je v podstatě určována závislostí r\ na vlnové délce, jak jsme viděli v odst. 17.1A. Různé vlastní polovodiče mají odlišnou dlouhovlnnou mez, jak vyplývá z kap. 15. Užívají se též ternární nebo kvaternární polovodiče. Detektory na principu fotoodporů, využívající mezipásových přechodů, mohou na rozdíl od detektorů založených na vnější fotoemisi pracovat daleko do infračervené oblasti. Užití detektorů na vlnových délkách větších než asi 2 /jm ovšem vyžaduje chlazení čidla, Tabulka 17.2-1 Vybrané nevlastní polovodičové materiály, jejich aktivační energie a dlouhovlnná mez Polovodič : dotující atom Ge:Hg Ge:Cu Ge:Zn Ge:B Si:B EA (eV) 0,088 0,041 0,033 0,010 0,044 \A (/xm) 14 30 38 124 28 736 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ aby se v těchto materiálech s úzkým zakázaným pásem co nejvíce omezila tepelná excitace elektronů do vodivostního pásu. V ještě dlouhovlnnější oblasti je možno využít k detekci nevlastní fotovodiče. Nevlastní fotovodivost využívá přechody na hladiny energie ležící v zakázaném pásu. Dochází k ní, když foton interaguje s elektronem vázaným na donor a vytváří volný elektron a vázanou díru [nebo naopak, když interaguje s dírou vázanou na akceptor a vytváří volnou díru a vázaný elektron, jak je znázorněno na obr. 15.2-l(fc)]. Hladiny donorů a akceptorů v zakázaném pásu dotovaného polovodiče mohou mít velmi nízké aktivační energie EA- V takovém případě činí dlouhovlnná mez A ,4 — KCOJEATyto detektory musí být chlazeny, aby se zamezilo teplotní excitaci; často se chladí na teplotu 4 K kapalným heliem. Vybrané hodnoty EA a A^ jsou uvedeny pro některé nevlastní polovodičové materiály v tab. 17.2-1. Spektrální průběh citlivosti několika nevlastních fotoodporových detektorů je na obr. 17.2-2. Citlivost stoupá téměř lineárně s Ao v souladu s (17.1-6), dosahuje maxima při hodnotě mírně pod dlouhovlnnou mezí A ,4 a potom rychle klesá. Kvantová účinnost těchto detektorů může být dosti vysoká (např. r\ w 0,5 pro Ge:Cu), ačkoliv zisk bývá za normálních pracovních podmínek nízký (např. G ss 0,03 pro Ge:Hg). Doba odezvy Doba odezvy fotoodporu je ovšem omezena průletovou dobou a časovou konstantou RC obvodu, jak bylo uvedeno v odst. 17.ÍC. Doba odezvy daná transportem nosičů se přibližně rovná době rekombinace T, takže frekvenční šířka pásma B je nepřímo úměrná T. Jelikož zisk G je podle (17.2-3) úměrný T, prodloužení r zvyšuje zisk, což je příznivé, ovšem také snižuje šířku pásma, což je nežádoucí. Součin zisku a šířky pásma GB je tak zhruba nezávislý na T a dosahuje typicky hodnot až a; 10°. 17.3 A. FOTODIODY Fotodioda p-n tlivost Jako v případě fotoodporu je i funkce fotodiod založena na fotogenerovaných nosičích náboje. Fotodioda je tvořena přechodem p-n (viz odst. 15.1E), jehož závěrný proud Ge:H(>. -v > \^~\ III Kelat ivni u / 2 / yf\ , / )S \ 1 1 1 VH 1 4 10 ' 1 Ge:Zn \ \ i i 20 i 40 . Vlnová délka Ao (/im) Obrázek 17.2-2 Relativní citlivost v závislosti na vlnové délce \o (^ni) pro tři nevlastní Ge dotované infračervené fotoodporové detektory. FOTODIODY 737 stoupá, když dochází k absorpci fotonů. Ačkoliv jsou fotodiody p — n nebo p — i — n rychlejší než fotoodpory, nevykazují zisk. Uvažujme osvětlený p—n přechod s napětím přiloženým v závěrném směru podle obr. 17.3-1. Fotony jsou všude absorbovány s absorpčním koeficientem a. Kdekoliv se absorbuje foton, je generován elektron-děrový pár. Ovšem pouze tam, kde existuje elektrické pole, mohou být transportovány nosiče náboje v určitém směru. Jelikož je elektrické pole v přechodu p — n pouze v oblasti ochuzené vrstvy, je třeba generovat nosiče právě zde. Existují v zásadě tři oblasti, kde je možno generovat elektron-děrové páry: • Elektrony a díry generované v ochuzené vrstvě (oblast 1) driftují působením elektrického pole rychle v opačných směrech. Jelikož elektrické pole míří vždy ve směru n — p, elektrony se pohybují na stranu n a díry na stranu p. Fotoproud ve vnějším obvodu proto teče vždy v závěrném směru (z n do p oblasti). Každý pár nosičů generuje ve vnějším obvodu elektrický proudový impuls o ploše e (G = 1), neboť v ochuzené vrstvě nedochází k rekombinaci. • Elektrony a díry generované daleko od ochuzené vrstvy (oblast 3) nemohou být transportovány, neboť zde není elektrické pole. Náhodně putují, dokud neanihilují rekombinaci. Nepřispívají k proudu ve vnějším obvodu. • Elektron-děrové páry generované mimo ochuzenou vrstvu, ovšem v její blízkosti (oblast 2), se mohou do této oblasti dostat náhodnou difúzí. Elektron přicházející ze strany p je rychle transportován přes přechod a přispívá tak nábojem e do vnějšího obvodu. Díra přicházející z oblasti n působí obdobně. Fotodiody se vyrábějí z mnoha polovodičových materiálů uvedených v tabulce 15.1-3 a také z terciárních nebo kvaternárních sloučenin jako InGaAs a InGaAsP. často jsou konstruovány tak, že světlo dopadá na přechod p — n kolmo, nikoliv rovnoběžně. Dodatečný difuzní proud nosičů v ochuzené oblasti v takovém případě zvyšuje T|, tento efekt je však kompenzován zmenšenou tloušťkou materiálu, což naopak vede ke snížení r\. Fotony 3 i ď J© f p 2 i 2 3 V _ 7 tó \r /V© n Elektrické pole E Obrázek 17.3-1 Fotony osvětlený idealizovaný přechod p — n s napětím v závěrném směru. 1 - driftová oblast, 2 - difuzní oblast. 738 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 1 *=o- T. Obrázek 17.3-2 Typická fotodioda a její závislost proudu i na napětí V. Doba odezvy Jak vyplývá z rozboru v odst. 17.1C, průletová doba nosičů driftujících skrz ochuzenou vrstvu (wd/ve pro elektrony, w^/vi, pro díry) a časová konstanta RC obvodu se projeví na době odezvy fotodiody. Výsledný proud obvodem je pro elektron-děrový pár generovaný v místě z znázorněn na obr. 17.1-3(6) a pro rovnoměrné generování elektron-děrových párů na obr. 17.1-4. Ve fotodiodách se objevuje navíc další příspěvek k době odezvy, pocházející z difúze. Nosiče generované mimo ochuzenou vrstvu, ale dostatečně blízko ní, potřebují určitý čas, aby se do ní difúzí dostaly. Ve srovnání s driftem to je poměrně pomalý proces. Maximální doby, které jsou pro tento proces k dispozici, jsou ovšem doby života fotonosičů (TP pro elektrony v p oblasti a r„ pro díry v n oblasti). Jak se ukáže v dalším výkladu, vliv difuzni doby je možno snížit použitím diody typu p — i — n. Fotodiody jsou nicméně rychlejší než fotoodpory, neboť silné pole v ochuzené oblasti dodává fotogenerovaným nosičům velkou rychlost. Navíc nejsou ovlivněny mnoha záchytnými procesy, vyskytujícími se ve fotoodporech. Vp[fvp2 WWWr** •i 4-2 Obrázek 17.3-3 Fotodioda v zapojení naprázdno. FOTODIODY 739 iMMMr*- ¥ <l>=0 <t>2 Obrázek 17.3-4 Zapojení fotodiody nakrátko. Zapojení Jako elektronická součástka má fotodioda závislost proudu i na napětí V vyjádřenu vztahem ilustrovaným na obr. 17.3-2. Ten popisuje obvyklou závislost i na V přechodu p — n [viz (15.1-24)], ke které je přidán fotoproud —ip, úměrný fotonovému toku. Fotodiodu je možno zapojit třemi klasickými způsoby: naprázdno (fotonapěťové zapojení), nakrátko a v závěrném směru (fotovodivostní zapojení). V zapojení naprázdno (obr. 17.3-3) generuje světlo v ochuzené vrstvě elektron-děrové páry. Nadbytečné elektrony uvolněné na straně vrstvy n rekombinují s dírami na straně p a naopak. Výsledkem je nárůst elektrického pole, které vede k fotonapětí Vv na detektoru, rostoucímu s růstem fotonového toku. Tak se zapojují na příklad sluneční články. (a) Obrázek 17.3-5 (a) Zapojení fotodiody v závěrném směru bez zatěžovacího odporu a (b) se zatěžovacím odporem. Pracovní bod leží na čárkované přímce. 740 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Citlivost fotovoltaické fotodiody se v tom případě udává ve V/W, místo v A/W. Zapojení nakrátko (V = 0) je znázorněno na obr. 17.3-4. Proud nakrátko je dán prostě fotoproudem ip. Konečně, napětí k fotodiodě může být připojeno v závěrném směru, neboli ve „fotovodivostním" zapojení podle obr. 17.3-5(a). Jestliže je do obvodu sériově zařazen zatěžovací odpor, dostaneme provozní podmínky podle obr. 17.3-5(6). Na fotodiody se obvykle přikládá velké závěrné napětí z následujících důvodů: • Velké závěrné napětí vytváří silné elektrické pole v přechodu, které zvětšuje driftovou rychlost nosičů a tím zkracuje průletovou dobu. • Velké závěrné napětí zvětšuje šířku ochuzené vrstvy, čímž redukuje kapacitu přechodu a zlepšuje časovou odezvu. • Zvětšená šířka ochuzené vrstvy znamená větší fotocitlivou plochu, což umožňuje zachytit více světla. B. Fotodioda p-i-n Fotodioda p — i — n má jako detektor řadu předností oproti fotodiodě p — n. Dioda p — i — n je tvořena přechodem p — n, který má vrstvu s vlastní vodivostí (obvykle slabě dotovanou), uzavřenou mezi vrstvy p a n (viz odst. 15.1E). Může být zapojena různými způsoby, jak bylo vysvětleno v předcházejícím odstavci. Na obr. 17.3-6 je průběh energie, rozložení náboje a elektrické pole při zapojení v závěrném směru. Takováto struktura slouží k rozšíření oblasti s elektrickým polem, vlastně k rozšíření ochuzené vrstvy. Fotodiody s p — i — n strukturou mají následující přednosti: • Rozšíření ochuzené vrstvy součástky (ve které se generované nosiče pohybují driftem) zvětšuje plochu, která slouží k zachycování světla. • Rozšíření ochuzené vrstvy redukuje kapacitu přechodu a tím i časovou konstantu RC. Na druhé straně se šířkou ochuzené vrstvy roste průletová doba. ^^ n i p Energie elektronu Hustota nepohyblivých nábojů Elektrické pole •n z -y X Obrázek 17.3-6 Struktura fotodiody p — i — n, průběh energie elektronu, rozdělení náboje a elektrického pole. Světlo může dopadat na detektor kolmo nebo rovnoběžně s přechodem. FOTODIODY 741 • Snížení poměru mezi délkou difúze a délkou driftu v součástce vede k většímu podílu té složky fotogenerovaného proudu, dané rychlejším procesem driftu. Dosažitelné doby časové odezvy v desítkách ps odpovídají frekvenční šířce pásma ss 50GHz. Na obr. 17.3-7 je citlivost dvou komerčně dostupných křemíkových fotodiod p — i — n ve srovnání s ideální diodou. Všimněte si, že maximum citlivosti nastane pro vlnové délky podstatně kratší, než je vlnová délka odpovídající šířce zakázaného pásu polovodiče. Důvodem je to, že křemík je materiál s nepřímou absorpční hranou. K intenzivním přechodům s absorpcí fotonu vlastně dochází až mezi valenčním pásem a těmi stavy ve vodivostním pásu, které leží dosti vysoko nade dnem vodivostního pásu (viz obr. 15.2-8). C. Fotodiody s heterostrukturou Fotodiody s heterostrukturou, tvořené ze dvou polovodičových materiálů s různou šířkou zakázaného pásu, mohou vykázat přednosti ve srovnání s přechody p — n vyrobenými z jednoho materiálu. Heteropřechody obsahující materiál s velkou šířkou zakázaného pásu (Eg > hv) mohou využít například jeho propustnosti k tomu, aby minimalizovaly optickou absorpci mimo ochuzenou oblast. Materiál s velkou šířkou zakázané zóny se potom nazývá okénkem. Použití různých materiálů také poskytuje větší míruflexibilityv parametrech součástek. Za zmínku stojí zvláště těchto několik materiálů (viz obr. 15.1-5 a 15.1-6): • Al^Gai-^As/GaAs (mřížka AlGaAs je přizpůsobena mřížce substrátu GaAs) se hodí pro oblast vlnových délek 0,7 až 0,87 /zm. • Ino.53Gao.47As/InP pracuje na 1,65/mi v blízké infračervené oblasti (Eg = 0,75 eV). Typické hodnoty citlivosti a kvantové účinnosti detektorů vyrobených z tohoto materiálu jsou 5ř « 0,7 A/W a T) = 0,75. Vlnová délka odpovídající zakázanému pásu může být změnou složení naladěna do oblasti 1,3 — 1,6/mi, důležité pro optické vláknové spoje. 1.0 Ideální křemíková fotodioda 0.8 — Citl IVO 4-» VI ' i i Typické křemík i / i 0.6 y^ i 0.4 \ 0.2 Si ^r i / / / / f i 1 0.5 i ii Vlnová délka 1 X\ i y\ 1.0 . fotodiody / • . • I , 1.5 Ao ( H Obrázek 17.3-7 Citlivost v závislosti na vlnové délce fotodiodu a dvě komerční křemíkové fotodiody p — i — n. pro ideální křemíkovou 742 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ je materiál velmi užitečný pro střední infračervenou oblast spektra. Je to díky tomu, že HgTe i CdTe mají téměř shodnou mřížkovou konstantu a mohou tedy vytvářet směsné krystaly libovolného složení. Na tomto materiálu je možno složením ladit šířku zakázaného pásu ve spektrální oblasti od 3 do 17 /im. • Zvláštní pozornost zaslouží kvaternární materiály jako Ini_ I Ga x Asi_yP 3 ,/InP a Gai_ x Al x As^Sbi-y/GaSb, které se hodí pro oblast 0,92 až 1,7 /xm, neboť čtvrtý prvek přináší další stupeň volnosti, díky kterému je možno dosáhnout souladu mřížkových konstant při různých, složením určených hodnotách Eg. Fotodiody se Schottkyho kontaktem Fotodiody kov-polovodič (nazývané též fotodiody se Schottkyho kontaktem) jsou tvořeny heteropřechodem kov-polovodič. Místo oblasti typu p (nebo typu n) fotodiody s přechodem p—nse použije tenká poloprůhledná kovová vrstva. Tenká vrstva je někdy tvořena sloučeninou kovu s polovodičem, která se chová jako kov. Struktura se Schottkyho kontaktem a její pásové schéma jsou znázorněny na obr. 17.3-8. Fotodiody se Schottkyho kontaktem jsou užitečné z několika důvodů: • Všechny polovodiče nelze připravit jako typ p i typ n. Na těchto materiálech jsou Schottkyho součástky obzvláště zajímavé. • Polovodiče používané pro detekci viditelného a ultrafialového záření, kdy energie fotonů značně přesahuje šířku pásu zakázaných energií, mají vysoký absorpční koeficient. To vede k silné povrchové rekombinaci a ke snížení kvantové účinnosti. V přechodu kov-polovodič je bezprostředně pod kontaktem ochuzená vrstva, vylučující povrchovou rekombinaci. • Rychlost odezvy fotodiod s přechodem p — n a p — i — n je částečně omezována pomalým difuzním proudem, spojeným s fotogenerovanými nosiči, vytvořenými v těsné blízkosti mimo ochuzenou vrstvu. Jednou z možností, jak snížit tuto w-x w •Je -*Q>\_^^ •Ev Polovodič (a) Ib) Obrázek 17.3-8 (a) Struktura a (b) energetické pasové schéma fotodiody se Schottkyho kontaktem, vytvořené nanesením kovu na polovodič typu n. Tyto fotodetektory jsou citlivé na fotony s energií větší než je výška Schottkyho bariéry, hv > W — x- Schottkyho fotodiody je možno připravit z mnoha materiálů, jako je Au na Si typu n (citlivé ve viditelné oblasti) nebo silicid platiny (PtSi) na Si typu p (citlivé ve spektrální oblasti sahající od blízké ultrafialové až po infračervenou). FOTODIODY 743 nežádoucí absorpci, je snížit tloušťku jedné z vrstev přechodu. Toho je ovšem třeba dosáhnout, aniž by se podstatně zvýšil sériový odpor součástky, neboť jeho zvýšení má za nežádoucí následek pokles rychlosti v důsledku vzrůstu časové konstanty RC. Součástka se Schottkyho bariérou toho dosáhne díky nízkému odporu kovu. Struktury se Schottkyho kontaktem jsou navíc součástkami pracujícími s majoritními nosiči a je jim proto vlastní rychlá odezva a velká frekvenční šířka pásma. Snadno lze dosáhnout časové odezvy v oblasti pikosekund, odpovídající šířce pásma « 100 GHz. Reprezentativní hodnoty kvantové účinnosti pro detektory se Schottkyho kontaktem a fotodiody p — i — n jsou uvedeny na obr. 17.3-9; T| se pro pečlivě připravené Si součástky s antireflexní vrstvou může blížit jednotce. D. Matice detektorů Jednotlivý fotodetektor zaznamenává dopadající fotonový tok jako funkci času. Matice obsahující velký počet fotodetektorů může naopak současně zaznamenávat fotonové toky (jako funkce času) v mnoha bodech prostoru. Takové detektory tedy dovolují vytvořit elektronickou verzi optického obrazu. Jeden typ takového detektoru, mikrokanálková destička, již byl popsán [viz obr. 17.0-2(c)]. Moderní mikroelektronické technologie umožňují vyrábět další typy matic, obsahujících velké počty jednotlivých polovodičových fotodetektorů, nazývaných z an1.0 Au-Si 0.8 InSb 0.6 Ag-ZnS O 0.4 c 0.2 0.1 0.2 0.4 0.6 0.8 1 Vlnová délka 2 (H 6 8 10 Obrázek 17.3-9 Kvantová účinnost T) několika fotodiod v závislosti na vlnové délce Ao ( ^ m ) . Fotodiody p — i — n z Si lze vyrábět s téměř jednotkovou kvantovou účinností, jestliže je na povrchu součástky nanesena antireflexní vrstva. Optimální citlivost ternárních a kvaternárních fotodetektorů p — i — n je možno naladit na požadovanou vlnovou délku jejich složením (je zobrazena kvantová účinnost InGaAs v určitém rozsahu vlnových délek). Dlouhovlnné fotodetektory (např. InSb) musí být chlazeny, aby se minimalizovala tepelná excitace. (Převzato z S. M. Sze, Physics of Semiconductor Devices, Wiley, New York, 2. vyd. 1981.) 744 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Odečítací obvod fa) - Řada pixelů Přenosová brána CCD Světelné stínění -SiO2 -Uzávěr kanálu Ochranný kruh Vnořený kanál CCD Obrázek 17.3-10 (a) Rohový úsek matice 160 x 244 PtSi/Si fotodiod se Schottkyho bariérou. Každý pixel má rozměry 40 pm x 80 jim. Částečně jsou vidět odečítací obvody. (Otištěno se svolením W. F. Kosonocky.) (6) Průřez jednotlivým pixelem v radě CCD. Světelné stínění zabraňuje generaci fotonosičů v přenosovém hradle CCD a ve vnořeném kanálu. Ochranný kruh minimalizuje špičky temného proudu a uzávěr kanálu omezuje náboj odpovídající signálu v bočním směru. (Převzato z B.-Y. Tsaur, C. K. Chen a J. P. Mattia: PtSi Schottky-Barrier Focal Plane Arrays for Multispectral Imaging in Ultraviolet, Visible and Infrared Spectral Bands. IEEE Electron Device Letters, vol. 11, str. 162-164, 1990, copyright © IEEE.) gličtiny převzatým slovem pixely. Na obr. 17.3-10 je příklad matice téměř 40000 miniaturních fotodiod se Schottkyho kontaktem PtSi na typu p Si. Detektor je citlivý v širokém spektrálním pásmu, od blízké ultrafialové oblasti do zhruba 6 jum v infračervené oblasti, což odpovídá výšce Schottkyho bariéry asi 0,2 eV. Kvantová účinnost •n se pohybuje v ultrafialové a viditelné oblasti (od Ao = 290 nm do asi 900 nm), ve které energie fotonu převyšuje šířku zakázaného pásu Si, mezi 35% a 60%. Na těchto vlnových délkách vytváří světlo, prošlé vrstvou PtSi, v materiálu Si množství elektron-děrových párů (to je znázorněno na obr. 17.3-8(6) pro Schottkyho kontakt FOTODIODY 745 s polovodičem typu n ). Pro delší vlnové délky, odpovídající energiím fotonů nižším než je šířka zakázaného pásu křemíku, fotogenerované páry vznikají absorpcí ve vrstvě PtSi a T| zvolna klesá z hodnoty asi 3% při 1,5 /im na asi 0,02% při 6/mi. Kvůli nízké výšce Schottkyho bariéry musí být matice na všech vlnových délkách chlazena na 77 K. Podobné matice byly nedávno připraveny z PtSi na Si typu n; ty mají vyšší bariéru a mohou proto pracovat bez chlazení, jsou však citlivé pouze v ultrafialové a viditelné části spektra. Běžně se též užívají detektory s vrstvou IrSi. Vlivem osvětlení se nosiče s dostatečnou energií (díry v případě typu p) dostanou přes Schottkyho bariéru do Si. Zbývající záporný náboj (úměrný počtu fotonů absorbovaných v daném pixelu) se akumuluje na PtSi elektrodě. Elektronická část detekčního procesu se završí přenesením záporného náboje z PtSi elektrody do nábojově vázaných obvodů (CCD - charge-coupled-device), sloužících jako odečítací struktury. Přenosové hradlo CCD [obr. 17.3-10(6)] zajišťuje, aby se náboj v určeném čase přenesl do vnořeného kanálu CCD. Do této doby již bylo vyvinuto mnoho různých struktur elektrod a taktovacich schémat pro periodické odečítání náboje akumulovaného každým pixelem, které tak vytvářejí tok elektronických dat, představujících obraz. Multispektrální zobrazovací schopnosti CCD matice detektorů se Schottkyho kontaktem podobné matici popsané výše jsou ilustrovány na obr. 17.3-11. Je zobrazeno záření šálku kávy částečně naplněného teplou vodou, soustředěné čočkou na matici detektorů. V levé části obrázku je infračervené zobrazení (v rozsahu vlnových délek od 3 do 5/mi), kdežto vpravo je obraz ve viditelném světle, získaný při pokojovém osvětlení na vlnových délkách kratších než ss 2 /mi. Infračervený obraz jasně ukazuje, že vršek šálku a jeho ouško jsou chladnější než zbytek. Fotocitlivými prvky v CCD matici nemusí být pouze diody se Schottkyho kontaktem; užívají se též fotodiody (a) <b) Obrázek 17.3-11 (a) Infračervený a (6) viditelný obraz šálku kávy částečně naplněného teplou vodou, získaný detektorem tvořeným CCD maticí 160 x 244 prvků PtSi/Si se Schottkyho kontaktem chlazeným na pracovní teplotu 77 K a umístěným v ohniskové rovině. (Převzato z B.-Y. Tsaur, C. K. Chen a J. P. Mattia: PtSi Schottky-Bariier Focal Plane Arrays for Multispectral Imaging in Ultraviolet, Visible and Infrared Spectral Bands, IEEE Electron Device Letters, vol. 11, str. 162-164, 1990, copyright © IEEE.) 746 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 17.4 LAVINOVÉ FOTODIODY Lavinová fotodioda (APD - avalanche photodiode) přeměňuje každý detekovaný foton na kaskádu pohybujících se párů nosičů. Slabý světelný signál tak vytvoří dostatečný proud, který lze snadno zaznamenat elektronickým systémem následujícím za APD. Čidlo je tvořeno fotodiodou, na kterou je přiloženo vysoké závěrné napětí, takže v přechodu existuje silné elektrické pole; nosiče náboje jsou urychlovány a získávají energii, postačující k excitaci nových nosičů nárazovou ionizací. A. Princip činnosti Chování typického elektron-děrového páru v ochuzené vrstvě APD je znázorněno na obr. 17.4-1. V místě 1 dojde k absorpci fotonu a vytvoření elektron-děrového páru (elektron ve vodivostním a díra ve valenčním pásu). Elektron je urychlován působením silného elektrického pole a zvyšuje tak svou energii vzhledem ke dnu vodivostního pásu. Urychlovací proces je stále přerušován náhodnými srážkami s mřížkou, při kterých ztrácí část získané energie. Tyto konkurenční procesy způsobí, že elektron dosáhne určité střední saturované rychlosti. Má-li štěstí a získá-li někdy v průběhu tohoto procesu energii větší než Eg, může nárazovou ionizací generovat druhý elektron-děrový pár (řekněme v bodě 2). Tyto dva elektrony jsou potom urychlovány opět elektrickým polem a každý z nich může způsobit další nárazovou ionizaci. Díry generované v místě 1 a 2 jsou také urychlovány a pohybují se doleva. Každá díra, která získá dostatečnou energii, může rovněž generovat nárazovou ionizací elektron-děrový pár, jak je např. znázorněno v místě 3. Ionizační koeficienty Schopnost elektronů a děr ionizovat nárazem se charakterizuje ionizačními koeficienty ac a a i,. Tyto veličiny, představují pravděpodobnost ionizace na jednotkové > o Obrázek 17.4-1 Schematické znázornění procesu lavinového násobení v lavinové fotodiodě. LAVINOVÉ FOTODIODY 747 délce dráhy (počet ionizací na jednotkové délce, cm 1 ) ; převrácené hodnoty l/a c a l/a;,, udávají střední vzdálenost mezi dvěma po sobě následujícími ionizacemi. Ionizační koeficienty rostou s intenzitou elektrického pole v ochuzené vrstvě (neboť ta způsobuje zrychlení) a klesají s rostoucí teplotou součástky. Dochází k tomu, protože s rostoucí teplotou roste četnost srážek a tím se snižuje možnost, že nosič získá energii postačující k ionizaci. V dalším budeme předpokládat jednoduchý případ, že ae a a;, jsou konstanty nezávislé na místě a předcházející historii nosiče. Důležitým parametrem, charakterizujícím výkon APD, je ionizační poměr Jestliže díry dostatečně neionizují [tj. když je au « a t ( i « 1)], je většina ionizací způsobena elektrony. Lavinový proces na obr. 17.4-1 pak postupuje v zásadě zleva doprava, tj. ze strany p na stranu n. Končí poněkud později, než se všechny elektrony dostanou na stranu n ochuzené vrstvy. Jestliže naopak elektrony i díry ionizují srovnatelně často (/£ ~ 1), potom ty díry, které se pohybují doleva, generují elektrony pohybující se doprava, které naopak generují další díry pohybující se doleva atd. v nekonečné smyčce. Ačkoliv tato zpětná vazba zvyšuje zisk detektoru (tj. celkový náboj generovaný v obvodu připadající na pár fotonosičů q/e), je přesto nežádoucí z několika důvodů: • Zabírá čas a tím zužuje frekvenční šířku pásma detektoru. • Jedná se o náhodný proces, zvyšující šum detektoru. • Může to být nestabilní proces, vedoucí k lavinovému průrazu. Proto je vhodné vyrábět APD diody z materiálů, ve kterých může nárazovou ionizaci působit pouze jeden typ nosičů (buď elektrony nebo díry). Mají-li např. elektrony vyšší ionizační koeficient, potom se optimálního stavu dosáhne injekcí elektronu z fotogenerovaného páru nosičů na straně p ochuzené vrstvy v materiálu s co nejnižším &. Jestliže jsou injektovány díry, potom by díra z fotogenerovaného páru nosičů měla být injektována na stranu n ochuzené vrstvy a materiál by měl mít /t co největší. Ideální případ, kdy dojde k násobení jednoho typu nosičů se dosáhne při / = 0 nebo oo. Konstrukce Podobně jako v případě jakékoliv fotodiody, mělo by geometrické uspořádání APD zajistit maximální absorpci fotonů např. provedením ve tvaru struktury p — i — n. Oblast, ve které dochází k násobení, by naopak měla být tenká, aby se co nejvíce omezila možnost vzniku lokalizovaných nekontrolovatelných lavin (nestabilit nebo mikroplazmatu), které vznikají působením silného elektrického pole. Vyšší homogenity elektrického pole se dá dosáhnout v tenké oblasti. Tyto dva protichůdné požadavky vyžadují takovou konstrukci APD, ve které je oblast absorpce oddělena od oblasti násobení [SAM - separate-absorption-multiplication]. Její funkce se dá nejsnadněji pochopit, uvažujeme-li materiál s £ ~ 0 (např. křemík). Fotony jsou absorbovány v široké oblasti s vlastní vodivostí, nebo jen slabě dotované. Fotoelektrony přes tuto oblast driftují vlivem slabého elektrického pole a nakonec vniknou do tenké vrstvy, v níž vlivem silného elektrického pole dochází 748 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Hustota náboje Elektrické pole Obrázek 17.4-2 k lavinovému násobení. Toho se dá dosáhnout v APD se strukturou p+ — ir — p — n+, znázorněnou na obr. 17.4-2. K absorpci fotonů dochází ve velmi široké oblasti n, což je velmi slabě dotovaná oblast p. Elektrony driftují oblastí TT do tenkého přechodu p—n+, kde na ně působí tak silné pole, že dojde k jejich lavinovému násobení. Závěrné napětí přiložené na součástku je tak velké, aby ochuzená oblast pronikla skrz oblast p a n až do kontaktní vrstvy p + . *Vícevrstvé součástky Šum vlastní procesu násobení v diodě APD je možno alespoň v principu zredukovat využitím vícevrstvé lavinové fotodiody. Na obr. 17.4-3 je energetické schéma jedné takové struktury nazývané stupňovitá APD. Třístupňová součástka je zobrazena jak bez přiloženého pole, tak v závěrném zapojení. Šířka zakázaného pásu se změnou složení mění na vzdálenosti ss 10 nm z nižší hodnoty Eg\ (např. GaAs) na vyšší hodnotu E92 (např. AlGaAs). Díky vlastnostem materiálu nedochází k ionizaci indukované dírami, takže je snížena hodnota ionizačního poměru /t. Mezi další potenciální přednosti takových detektorů patří oddělené oblasti násobení (v místech skoků hrany vodivostního pásu), nízké pracovní napětí, které minimalizuje tunelování a rychlá časová odezva jako důsledek zkrácení doby nutné na vytvoření laviny. Součástky tohoto typu se stupňovitou šířkou pásu zakázaných energií se ovšem obtížně vyrábějí. B. Zisk a citlivost Dříve než určíme zisk lavinové fotodiody, ve které oba typy nosičů působí násobení, obrátíme se na jednodušší případ násobení jednoho typu nosičů (elektronů) (a;, = 0, £ = 0). Nechť Jc{x) na obr. 17.4-4 je hustota elektrického proudu přenášeného elektrony v místě x. Na vzdálenosti dx vzroste proud o střední hodnotu dJc(x) = ac Jc(x)dx, LAVINOVÉ FOTODIODY 749 (a) hv mim*- (b) Obrázek 17.4-3 Energetické pasové schéma stupňovité APD (a) bez napětí a (6) s napětím přiloženým v závěrném směru. Stupně ve vodivostním pásu zajišťují, aby k ionizaci elektronů docházelo na vymezených místech. (Podle článku F. Capasso, W. T. Tsang a G. F. Williams: Staircase Solid-State Photoinultipliers and Avalanche Photodiodes with Enhanced Ionization Rates Ratio. IEEE Vransactions on Electron Devices, vol. ED-30, str. 381-390, 1983, copyright © IEEE.) takže dostaneme diferenciální rovnici dJ c — , Tf =aeJe{x), jejímž řešením je exponenciální funkce Jc{x) = J c (0) exp(aca;). Zisk G = potom bude G = exp(aciv). Je(w)/Je(0) (17.4-1) Hustota elektrického proudu roste exponenciálně se součinem ionizačního koeficien- Obrázek 17.4-4 Exponenciální vzrůst hustoty elektrického proudu s jedním typem nosičů. případě APD 750 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Injektovaný elektron Obrázek 17.4-5 Konstantní součet hustot elektronového a děrového proudu v rovině, proložené v libovolném místě x. tu ae a šířky w vrstvy, ve které dochází k násobení. Úloha lavinového násobení obou typů nosičů vyžaduje znát jak hustotu elektronového proudu Je(x), tak i děrového proudu Jh(x). Předpokládá se, že do oblasti násobení jsou vstřikovány pouze elektrony. Jelikož však ionizace dírami také dodává elektrony, je růst Je(x) popsán diferenciální rovnicí dJe —— = ae Je(x) + ahJi,(x). dx (17.4-2) V důsledku elektrické neutrality platí dJe/dx = —dJ/,/dx, takže součet Je(x) + J;,(x) musí zůstat pro všechna x za ustálených podmínek konstantní. To je zřejmé z obr. 17.4-5; celkový počet nosičů náboje, procházejících libovolnou rovinou je nezávisle na poloze konstantní. Na obrázku jsou znázorněné čtyři případy ionizace nárazem a celkem pět průchodů elektronů a děr každou rovinou. Jelikož předpokládáme, že v místě x = w nejsou injektovány žádné díry, máme Jh(w) = 0 a platí Jc(x) + J,,(x) = Je(w), (17.4-3) jak je znázorněno na obr. 17.4-6. V (17.4-2) můžeme tedy J/,_(x) vyloučit a dostaneme Jetw) Obrázek 17.4-6 Růst elektronového a děrového proudu vlivem lavinového násobení. 751 LAVINOVÉ FOTODIODY — - = {oie - ah)Jc(x) + ahJe(w). (17.4-4) Z této diferenciální rovnice prvního řádu snadno spočteme zisk fotodetektoru G — = Je{w)/Je(0). Pro ae ^ ah je výsledkem G = (ae-ak)/{ae exp[-(ae-ah)w]-ah}, což dává Zisk APD (17.4-5) Exponenciální růst (17.4-1), odvozený v případě násobení pouze jednoho typu nosičů, odpovídá /í = 0. Když je /f = oo, bude zisk jednotkový, neboť jsou vstřikovány pouze elektrony a ty se již nenásobí. Pro /í = 1 není výraz (17.4-5) definován a zisk se dostane přímo ze vztahu (17.4-4); výsledek je potom G = 1/(1 — aew). Když je aew = 1, dochází k nestabilitě. Závislost zisku na aew pro několik hodnot ionizačního poměru £ je na obr. 17.4-7. Citlivost 5R se dostane dosazením (17.4-5) do obecného vztahu (17.1-6). Pro přípravu APD přicházejí v úvahu materiály stejné jako pro fotodiody s tou výhradou, že musí mít co možná nejnižší (nebo nejvyšší) hodnotu ionizačního poměru / . Na bázi křemíku byly vyrobeny APD s hodnotami £ sníženými až na 0,006, vykazující vynikající vlastnosti ve spektrální oblasti 0,7 až 0,9 £tm. C. Doba odezvy Vedle průletové doby, difúze a konstanty RC, které určují časovou odezvu fotodiod, se v APD projevuje ještě další jev prodlužující tuto dobu, nazvaný charakteristická doba lavinového násobení. Časová odezva APD s násobením obou typů nosičů je na obr. 17.4-8 zobrazena prostřednictvím sledování dráhy fotoelektronu generovaného na okraji absorbující oblasti (v bodě 1). Elektron driftuje (střední saturovanou) rychlostí vc, takže oblasti, v níž nastává násobení (bod 2), dosáhne za dobu průletu wa/ve. Také v oblasti násobení se elektron pohybuje rychlostí ve. Nárazovou ionizací tvoří elektron-děrové páry. Řekněme, že v místech 3 a 4 generuje další dva elektronděrové páry. Díry se pohybují na opačnou stranu se svou (saturovanou) rychlostí v;,. Také díry mohou vyvolat nárazovou ionizaci vedoucí k vytvoření elektron-děrového páru, jak je na obrázku nakresleno v místech 5 a 6. Výsledné nosiče mohou také Obrázek 17.4-7 Růst zisku G v závislosti na šířce vrstvy, ve které dochází k násobení počtu nosičů, pro několik hodnot ionizačního poměru / a za předpokladu čistě elektronové injekce. hv ;! 1 MM/V -*- Absorpční biast I •° ÍÉ m Oblast násobení I _J (a) Elektronový proud j e (í) Děrový proud t/,(ť) I I T T -H 1 1 1 1 h- (b) Obrázek 17.4-8 (a představují elektrony, páry se tvoří v oblasti * „ . proud ic(t) vyvolaný v obvodu. Každý pár nosičů indukuje v obvodu náboj e. Celkový indukovaný náboj q, určený plochou pod křivkou i<:{t) + 4 ( 0 . J e r o v e n Ge- Tento graf představuje zobecnění obr. 17.1-3, který platí pro jediný elektrou-děrový pár. ŠUM FOTODETEKTORŮ 753 samy způsobit nárazové ionizace a podpořit tak zpětnou vazbu. Celý proces je ukončen, když poslední díra opustí oblast násobení (v místě 7) a přeš driftovou oblast se dostane do bodu 8. Výsledná doba T nutná pro celý proces (mezi body 1 a 8) je rovna součtu doby průletu (z 1 do 2 a ze 7 do 8) a charakteristické doby lavinového násobení v lavinové fotodiodě, označené Tm w±+wi T= Ve ( 1 7 4 .6) Vh Protože nárazová ionizace představuje náhodný proces, nabývá náhodných hodnot i doba lavinového násobení r,„. Ve zvláštním případě / = 0 (kdy díry nevyvolávají ionizaci) se její maximální hodnota snadno odvodí z obr. 17.4-8 jako W "' , T,n = — : H Ve W m Vh • fi-7 A ^ (17.4-7) V případě vysokého zisku G a při elektronové injekci s ionizačním poměrem 0 < < /ř < 1 dostaneme řádový odhad průměrné hodnoty r,„ vynásobením prvního členu v (17.4-7) činitelem G/k: Vh Přesnější teorie je dosti složitá. Příklad 17.4-1. Charakteristický čas lavinového násobení v křemíkové lavinové fotodiodě. Uvažujte Si APD s parametry wj = 50/j.m, wm = = 0,5 /im, ve = 107cm/s, vh = 5 x 106 cm/s, G = 100 a /k = 0,1. Vztah (17.4-7) dává T,„ = 5 + 10 = 15 ps, kdežto (17.4-6) dává r = 1515 ps = = 1,51 ns. Na druhé straně, (17.4-8) dává r,„ = 60 ps, takže ze vztahu (17.4-6) máme r = 1560ps = 1,56ns. Ve fotodiodě p — i — n se stejnými hodnotami Wd, ve a V), je doba průletu Wd/ve + wj/vi, a 1,5 ns. Tyto hodnoty se příliš neliší, neboť r,„. nabývá v křemíkovém detektoru poměrně nízkých hodnot. 17.5 SUM FOTODETEKTORŮ Fotodetektor je zařízení, které měří fotonový tok nebo optický výkon. V ideálním případě reaguje na fotonový tok $ (optický výkon P = hv<&) generováním proudu, úměrného dopadajícímu toku iv = T|e$ = KP [viz (17.1-2)]. Ve skutečnosti detektor generuje náhodný elektrický proud i, jehož velikost kolísá okolo střední hodnoty i = ip = T|e$ = SRP. Tyto náhodné fluktuace, považované za šum, jsou charakterizovány směrodatnou odchylkou a.;., kde of = ((i — i)2}. Proud s nulovou střední hodnotou (i = 0) má směrodatnou odchylku totožnou se střední kvadratickou (rms) Šířkou, tj. Oi = (i2)1'2. 754 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ V procesu detekce fotonů se uplatňuje několik zdrojů šumu: • Fotonový šum. Nejpodstatnější zdroj šumu je spojen s náhodnými fluktuacemi v toku samotných dopadajících fotonů. Jak bylo probráno v odst. 11.2, popisují se obvykle Poissonovým statistickým rozdělením. • Foto elektronový šum. Ve fotonovém detektoru s kvantovou účinností TI < 1 generuje jednotlivý foton s pravděpodobností r\ elektron-děrový pár a s pravděpodobností 1 — TI se mu to nezdaří. Jelikož náhodnost je obsažena již v podstatě procesu generování nosičů, je tento proces zdrojem šumu. • Šum zesilovacího procesu. Proces zesílení, vedoucí k vnitřnímu zisku, ke kterému dochází v některých fotodetektorech (jako je APD), je náhodným procesem. Každý zaznamenaný foton generuje náhodný počet G nosičů, s průměrnou hodnotou G, ale s nejistotou, která závisí na podstatě zesilovacího mechanismu. • Šum elektrického obvodu detektoru. K šumu rovněž přispívají různé součástky v elektrickém obvodu optického detektoru, jako jsou odpory a tranzistory. Tyto čtyři zdroje šumu jsou schematicky znázorněny na obr. 17.5-1. Signál dopadající na detektor (vstupní signál) obsahuje vlastní fotonový šum. Fotoelektrický jev přemění fotony na fotoelektrony. Během tohoto procesu poklesne střední hodnota signálu s činitelem r\. Šum klesá také, ale méně než signál; poměr signálu k šumu pro fotoelektrony je tak nižší než byl pro dopadající fotony. Jestliže detektor pracuje s vnitřnímu ziskem, je zesilován jak signál, tak i fotoelektronový šum. Navíc je tím přidán šum vlastní zesilovacímu procesu. Nakonec elektrický obvod, který na výstupu dává měřený proud, vnáší šum obvodu detektoru. K charakterizování optického přijímače* jako součásti informačního přenosového Obvodový šum Fotoelektronový šum \ Fotonový šum ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ A ^ ^ Obvodový šum Šum zesílení Fotoelektronový šum' Fotonový šum \ Detekovaný signál Vstupní signál Fotoefekt a sběr proudu Fotoefekt Sběr proudu (a) (b) Obrázek 17.5-1 Signál a různé zdroje šumu v případě (a) fotodetektoru bez vnitřního zisku (např. fotodiody p — i — n) a (b) fotodetektoru se ziskem (např. lavinové fotodiody). Pozn. překl.: Autoři zahrnují pod pojeni optický přijímač samotný optický detektor (čidlo), jeho napájecí elektrický obvod a případně i předzesilovač. ŠUM FOTODETEKTORÚ 755 systému se používají následující veličiny: • Poměr signálu k šumu (SNR - signal-to-noise ratío). SNR náhodné proměnné je definován vztahem SNR = (střední hodnota)2/variance; SNR proudu i je tedy I2/CT2, kdežto SNR počtu fotonů je SNR = n 2 /a 2 . • Prahová citlivost, definovaná jako taková střední hodnota signálu, která dává jednotkový poměr signálu k šumu, SNR = 1. • Citlivost přijímače, která je podobně jako prahová citlivost definována jako signál, odpovídající předepsané hodnotě SNR = SNRo. Obvykle se nevybírá SNRo = 1, ale vyšší hodnota, aby se zajistila dostatečná přesnost (např. SNR0 = 10 až 103, což odpovídá 10 až 30dB). Nyní přistoupíme k odvozem výrazu pro poměr signálu k šumu (SNR) v případě optického detektoru s uvedenými zdroji šumu. Další zdroje šumu, které zde nebyly explicitně uvedeny, zahrnují šum pozadí a šum temného proudu. Šum pozadí představuje fotonový šum spojený se světlem, které dopadá na detektor z vnějších zdrojů v okolí vlastního zdroje signálu, jako je např. sluneční světlo nebo světlo hvězd. Šum pozadí je obzvláště omezující při detekci ve střední a vzdálené infračervené oblasti spektra, neboť předměty, které mají pokojovou teplotu, vyzařují v této oblasti značné množství tepelného záření (viz obr. 12.3-4). Fotodetektory také generují šum temného proudu. Ten, jak vyplývá z názvu, se pozoruje i bez přítomnosti světla. Šum temného proudu vzniká náhodnou generací elektron-děrových párů tepelnou excitací nebo tunelováním. Dále též neuvažujeme jevy spojené se svody a proudový šum kontaktů, tzv. šum 1//. A. Fotoelektronový šum Fotonový šum Jak bylo vysvětleno v odst. 11.2, fotonový tok spojený s daným optickým výkonem P není ve své podstatě přesně definovaný. Jeho střední hodnota $ = P/hv (foton/s) náhodně kolísá v souladu se zákony pravděpodobnosti v závislosti na podstatě světelného zdroje. Počet fotonů n zaznamenaných v časovém intervalu 7 je náhodný, se střední hodnotou ň = $ 7 . Počet fotonů světla ideálního laseru nebo tepelného zdroje se spektrální šířkou mnohem větší než je 1/7 splňuje Poissonovo pravděpodobnostní rozdělení, podle něhož a\ = ~ň. Fluktuace spojené s průměrným počtem 100 fotonů tak vedou k tomu, že skutečný počet fotonů leží přibližně v rozsahu 100 ± 10. Poměr signálu k šumu n2/o\2 fotonového toku je tedy Poměr signálu k šumu fotonového toku SNR = 7? (17.5-1) a nejmenší zjistitelný počet fotonů je n = 1. Při době pozorování 7 = 1 fis a vlnové délce \„ = 1,24 /im to odpovídá prahové citlivosti 0,16 pW. Citlivost přijímače, daná velikostí signálu nutného k dosažení poměru SNR = 103 (30dB), je 1000 fotonů. Jestliže časový interval 7 = 10 ns, odpovídá to citlivosti 1011 foton/s, nebo citlivosti přijímače 16 nW (pro A„ = 1,24/xm). 756 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Fotoelektronový šum Foton, dopadající na fotodetektor charakterizovaný kvantovou účinností T|, buď s pravděpodobností T| generuje náboj (tj. uvolní fotoelektron nebo vytvoří fotoelektron-děrový pár), nebo k jeho vytvoření s pravděpodobností 1 — T| nedojde. Předpokládá se, že v proudu fotonů dochází ke generování náhodně, takže střední dopadající fotonový tok $ (foton/s) vyvolá střední fotoelektronový tok T|$ (fotoelektron/s). Počet fotoelektronů zaznamenaných v časovém intervalu T se rovná náhodnému číslu m se střední hodnotou 7ň = T|7J, (17.5-2) kde n = $ T je střední počet fotonů dopadajících ve stejném časovém intervalu T. Jestliže pro fotony platí Poissonovo rozdělení, platí i pro fotoelektrony, jak lze zjistit rozborem podobným jako v odst. 11.2D. Z toho plyne, že variance počtu fotoelektronů je potom přesně rovna Tří, takže 2 <r,„. = m = Tin. (17.5-3) Z tohoto vztahu je zřejmé, že fotoelektronový šum a fotonový šum se nedají sčítat. Náhodnost skrytá v počtu dopadajících fotonů, představující základní zdroj šumu, se kterým se musíme vyrovnat při využití světla k přenosu signálu, má za následek, že poměr signálu k šumu v počtu fotoelektronů je Poměr signálu k šumu fotoelektronů SNR = ní = T)7J. (17.5-4) Prahová citlivost detekce fotoelektronů pro SNR = 1 odpovídá m = r\n = 1 (tj. jeden fotoelektron nebo 1/T| fotonů). Citlivost přijímače pro SNR = 103 činí 1000 fotoelektronů nebo 1000/r| fotonů. Sum fotoproudu Nyní prošetříme vlastnosti elektrického proudu i(t) vyvolaného v obvodu náhodným tokem fotoelektronů se střední hodnotou T|$. DO rozboru zahrneme vliv fotonového šumu, fotoelektronového šumu, charakteristické doby časové odezvy detektoru a odezvy vnějšího obvodu (filtrace). Každý fotoexcitovaný elektron-děrový pár vytváří ve vnějším obvodu fotodetektoru impuls elektrického proudu s nábojem (plochou) e v trvání r p (obr. 17.5-2). Výsledkem fotonového toku dopadajícího na fotodetektor je potom tok elektrických impulsů, které skládáním dohromady vytvářejí elektrický proud i(t). Náhodné kolísání fotonového toku se přeměňuje na fluktuace elektrického proudu. Jestliže dopadající fotony splňují Poissonovo rozdělení, jsou tyto fluktuace známy jako výstřelový šum. V obecnějším případě detektoru se ziskem G je v každém impulsu generován náboj q = Ge. Dříve než nalezneme analytické řešení, ukážeme jednoduchým způsobem, že fotoproud i v obvodu se šířkou pásma B, generovaný fotonovým tokem <ř, může být určen pomocí charakteristického časového intervalu T = 1/(2B) (rozlišovací doba obvodu) a nalezením vztahu mezi náhodným počtem fotoelektronů m připadajících ŠUM FOTODETEKTORŮ 757 Fotony Fotoelektrony Proudové impulsy Elektrický proud (výstřelový šum) Obrázek 17.5-2 Elektrický proud v obvodu fotodetektoru představuje superpozici elektrických impulsů, z nichž každý je spojen s detekovaným fotonem. Impulsy na obrázku mají exponenciální průběh, ale ve skutečnosti mohou mít libovolný tvar (viz např. obr. 17.1-3(6) a 17.1-4). na tento interval a fotoproudem i(t), kde ť je časový okamžik odpovídající konci intervalu T. V případě pravoúhlých proudových impulsů s dobou trvání T je proud spojen s náhodně proměnným počtem fotoelektronů vztahem i = (e/T)m, takže jeho střední hodnota a variance jsou dány vztahy •í-(£ kde Tň = t|$ T = -n$/(2B) je počet fotoelektronů zaznamenaných v časovém intervalu T = 1/(25). Dosazením of„ = Tň do Poissonova zákona dostaneme střední hodnotu a varianci fotoproudu: Střední hodnota fotoproudu i = er|$ (17.5-5) Variance fotoproudu ? = 2eiB. (17.5-6) Z toho plyne, že poměr signálu k šumu SNR = i2/crf pro fotoelektrický proud bude Poměr signálu k šumu pro fotoproud (17.5-7) SNR je přímo úměrný fotonovému toku $ a nepřímo úměrný frekvenční šířce pásma B elektrického obvodu. 758 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Příklad 17.5-1. SNR (poměr signálu k šumu) a citlivost celého přijímače. Pro i = IO11A a B = 100 MHz je tr,; « 0,57 nA, což odpovídá poměru signálu k šumu SNR = 310 nebo 25 dB. V každém časovém intervalu 1/(2B) = 5ns je zaznamenáno v průměru 310 fotoelektronů. Prahová citlivost detekce fotonového toku je $ = 2B/r\ a citlivost celého přijímače 3 U je pro SNR = 10 rovna $ = 1 0 0 0 ( 2 S / T ) ) = 2 X 1 0 / T ) (foton/s). Nyní dokážeme platnost vztahů (17.5-5) a (17.5-6) v případě proudových impulsů libovolného tvaru. Odvození střední hodnoty a variance fotoproudu Předpokládejme, že dopad fotonu v čase í = 0 vyvolá ve vnějším obvodu elektrický impuls h(t) s plochou e. Fotoelektron generovaný v čase íj potom vyvolá posunutý impuls h(t — ti). Jestliže je časová osa rozdělena na krátké časové intervaly Aí, bude pravděpodobnost, že k dopadu fotonu dojde v takovém intervalu rovna p = T|$Aí. Elektrický proud i v čase i lze zapsat ve tvaru i(t) = Y2 Xih(t - /Aí), (17.5-8) i kde Xi má buď hodnotu 1 s pravděpodobností p, nebo 0 s pravděpodobností (1 — p). Proměnné {Xi} jsou nezávislé. Střední hodnota X; je 0 x (1 — p) + 1 x p = p. Její střední kvadratická hodnota je {Xf) = O2 x (1 — p) + I 2 x p = p. Střední hodnota součinu XiXu je p 2 jestliže / ^ k a p jestliže / = k. Střední hodnota proudu i(ť) a jeho střední kvadratická hodnota jsou nyní určeny následovně: ^ (17.5-9) i (i2) = ^ ^ ( X , X A : > / i ( í - lAt)h(t - kAt) Jestliže dosadíme p = T|$Aí a provedeme limitu Aí -+ 0, přejdou součty v integrály a místo (17.5-9) a (17.5-10) dostaneme ,oc i = r\$ Jo h{t) dí = eT|$ (i2) = (eri*) 2 -)- TI* ^ Jo h2(t) dí. (17.5-11) (17.5-12) Dále plyne, že variance i je a2 = (i 2 ) — (i)2, neboli <7?=T)* í Jo h2(t)dt. (17.5-13) ŠUM FOTODETEKTORŮ 759 Jestliže definujeme dostaneme konečně (17.5-5) a (17.5-6). Parametr B definovaný vztahem (17.5-14) představuje frekvenční šířku pásma celého detektorového obvodu. To lze snadno ověřit všimneme-li si, že Fourierova transformace funkce impulsové odezvy lineárního systému h(t) je rovna její přenosové funkci fi^). Plocha pod funkcí h(t) je prostě H(Q) — e. Podle Parsevalova teorému 2 [viz (A. 1-7) v dodatku A] je plocha pod funkcí /i (í) rovna ploše pod symetrickou 2 funkcí \H(v)\ , takže Jo (17.5-15) 7ť(0) Veličina B tedy představuje spektrální šířku ekvivalentního výkonu funkce 1^(^)1 (tj. frekvenční šířku pásma celého detekčního obvodu), v souladu se vztahem (A.2-10) v dodatku A. Tak například, když H(v) = 1 pro —i/c < v < vc a 0 všude jinde, (17.5-15) dává B = vc. Tyto vztahy lze použít pro všechny typy fotoelektrických detektorů bez vnitřního zisku (jako jsou fotonky a polovodičové fotodiody). Použití uvedených vztahů vyžaduje znalost šířky pásma detektoru, jeho elektrického obvodu a zesilovače; B se určí dosazením přenosové funkce celého systému do vztahu (17.5-15). B. Sum zesilovacího procesu Střední hodnota a variance fotoproudu detektoru s daným pevným ziskem G se dostane záměnou e ve vztazích (17.5-5) a (17.5-6) za q = Ge: hv e22G22r\B$. r a\ = 2eGiB = 2e (17.5-16) (17.5-17) Poměr signálu k šumu, daný vztahem á =7fí ?§ ' (175 18) - potom nezávisí na G, neboť jak střední hodnota proudu i, tak jeho směrodatná odchylka cr,; jsou v důsledku vnitřního zesílení vynásobeny součinitelem G. Tento jednoduchý výsledek neplatí, jestliže je zisk sám o sobě náhodnou veličinou, jako je tomu v případě fotonásobiče, fotoodporu a lavinové fotodiody. Odvození střední hodnoty a variance fotoproudu podané v předcházejícím odstavci je třeba 760 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ zobecnit o započtení náhodnosti v G. Elektrický proud ve vztahu (17.5-8) musí být potom zapsán ve tvaru ve kterém — stejně jako dříve — Xi nabývá hodnoty 1 s pravděpodobností p = = T|$AÍ, a nulové hodnoty s pravděpodobností 1 — p. Zavedli jsme veličiny Gi, které jsou nezávislými náhodnými čísly, představujícími zisk příslušný fotoelektronděrovému páru, generovanému v Z-tém časovém intervalu. Celý proces je znázorněn na obr. 17.5-3. Jestliže náhodná proměnná Gi má střední hodnotu (G) — G a střední 2 kvadratickou hodnotu (G ), dává obdobný rozbor, který vedl ke vztahům (17.5-8) až (17.5-14) Střední hodnota fotoproudu (detektor s náhodným ziskem) (17.5-19) i =- eGr\$, Variance fotoproudu (detektor s náhodným ziskem) (17.5-20) = 2eGlBF, ve kterém Faktor zvýšení šumu F <G2) (G) 2 (17.5-21) se nazývá faktor zvýšení šumu. Faktor zvýšení šumu souvisí s variancí vnitřního zisku <JQ vztahem F = = 1 +cr 2 7 /(G) 2 . V případě konstantního zisku je a% = 0 a F = 1, takže (17.5-20) Fotoelektrony • •—• G2 • • >- G4 Náhodně násobené fotoelektrony Uti Elektrický proud -V is=JL^.l._>^_.L^- Ut) Obrázek 17.5-3 Každý fotoelektron-děrový pár v detektoru s vnitřním ziskem generuje náhodný počet G/ elektron-derových párů, z nichž každý vytváří v obvodu detektoru impuls elektrického proudu o ploše eGj. Celkový elektrický proud i(ť) je superpozicí těchto impulsů. ŠUM FOTODETEKTORŮ 761 se vlastně redukuje na (17.5-17). Když je zisk náhodnou veličinou, a^ > 0 a F > 1; obě veličiny rostou s rostoucími fluktuacemi zisku. Výsledný elektrický proud i je potom více zašuměný než pouze při výstřelovém šumu. V případě zisku s náhodnými fluktuacemi dostaneme pro poměr signálu k šumu i2 /a2 vztah Poměr signálu k šumu (detektor s náhodným ziskem) SNR = n - ^ = ^ ^ - = ^, (17.5-22) kde 7ř7 označuje střední počet fotoelektronů zachycených v čase T = 1/(2B). Tento výraz je F krát menší v porovnání s případem konstantního zisku; snížení SNR plyne z náhodnosti procesu vnitřního zesílení. Faktor zvýšení šumu lavinové fotodiody Jestliže jsou fotoelektrony injektovány na okraj ochuzené vrstvy APD, ve které dochází k rovnoměrnému zesilování, je zisk G systému dán vztahem (17.4-5). Závisí na ionizačním koeficientu elektronů a c , na ionizačním poměru diody / =a;,/a,, a také na šířce oblasti w, v níž dochází k násobení nosičů. Úplnější odvození, uvažující náhodnost spojenou s procesem zisku, dává výraz pro střední kvadratickou hodnotu zisku (G2) a tím i pro faktor zvýšení šumu fotodiody F. Toto obecnější odvození vede k výrazu pro střední hodnotu zisku G, který je shodný s výrazem (17.4-5). Jak se ukazuje, faktor zvýšení šumu souvisí se střední hodnotou zisku a ionizačním poměrem vztahem Faktor zvýšení šumu Ar-.r^ pro A P D /.r , a r = £ ( j + vll iW o > — Ar)\Z—=). y -\ ^ ' í l 7 q ,M ' v(l/.b-zj) Tato závislost je na obr. 17.5-4. Výraz (17.5-23) platí, jestliže jsou injektovány elektrony na rozhraní ochuzené vrstvy. Ovšem jak elektrony, tak díry mají schopnost vyvolávat nárazovou ionizaci. Jestliže jsou injektovány pouze díry, platí stejný výraz, avšak £ je nahrazeno faktorem 1//Í. Příspěvek k šumu pocházející od procesu vnitřního zesílení se minimalizuje injektováním typu nosiče s vyšším ionizačním koeficientem a přípravou struktury s co nejnižší možnou hodnotou / v případě injekce elektronů, nebo s co nejvyšší hodnotou £, jsou-li injektovány díry. Ionizační koeficienty obou typů nosičů se tedy musí od sebe co nejvíce lišit. Vztah (17.5-23) platí, když se jedním typem nosičů vyvolává násobení počtu nosičů obou typů, neboť oba typy nosičů mají schopnost nárazové ionizace, i když je injektován pouze jeden z nich. Jestliže jsou současně injektovány elektrony i díry, dostane se celkový výsledek jako součet obou dílčích případů. Šum zesilovacího procesu, který se projevuje v běžných APD, má dva zdroje: náhodnost v místě, kde může dojít k ionizaci a zpětnou vazbu procesu spojenou se skutečností, že oba typy nosičů mohou vyvolávat nárazové ionizace. První zdroj šumu se projevuje i tehdy, kdy může docházet k násobení počtu pouze jednoho typu 762 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 1000 100 - E 5 2 10 100 1000 Střední hodnota zisku G Obrázek 17.5-4 Faktor zvýšení šumu F_lavinové fotodiody v případě injekce elektronů, v závislosti na střední hodnotě zisku G a pro různé hodnoty ionizačního poměru /'. Při injekci děr je třeba zaměnit /• za 1//-. nosičů; to dává minimální hodnotu F = 2 faktoru zvýšení šumu při velkých středních hodnotách zisku G, jak je zřejmé z (17.5-23) dosazením £ = 0, jestliže G konverguje k velkým hodnotám. Druhá příčina šumu (zpětná vazba) je potenciálně škodlivější, protože může vést k mnohem většímu růstu F. Ve fotonásobiči máme pouze jeden typ nosičů (elektrony) a k ionizaci dochází vždy pouze na dynodach, takže zde neexistuje náhodnost v místě procesu. Pro fotonásobiče obecně platí 1 < F < 2. Příklad 17.5-2. Faktor zvýšení šumu v křemíkové lavinové fotodiodě. V křemíkové APD s injekcí elektronů, která má A: w 0,1 a G — 100, je faktor zvýšení šumu F = 11,8. Použití APD tedy zvyšuje střední hodnotu detekovaného proudu lOOx, ovšem současně se snížením poměru signálu k šumu faktorem 11,8. V dalším odstavci ovšem ukážeme, že díky dalšímu příspěvku k šumu pocházejícímu od elektrického obvodu detektoru může použití APD vést ke zlepšení celkového poměru signálu k šumu. *Faktor zvýšení šumu pro vícevrstvou lavinovou fotodiodu Oba zdroje šumu v procesu zesílení (náhodnost v místě a zpětná vazba) mohou být vyloučeny použitím vícevrstvé struktury v konstrukci lavinové fotodiody. Jedním příkladem takové struktury je na obr. 17.4-3 znázorněná stupňovitá struktura s gradientem zakázaného pásu. Elektron ve vodivostním pásu může získat .energii postačující na nárazovou ionizaci pouze na určitých místech (na hranách stupňů), což vylučuje ŠUM FOTODETEKTORŮ 763 náhodnost v lokalizaci generování. Zpětnovazební šum je omezen vlivem nespojitosti okraje valenčního pásu, která je v takovém směru, že nepodporuje nárazovou ionizaci a měla by proto vést k nízké hodnotě / . Teoreticky lze dosáhnout zcela bezšumový proces násobení počtu nosičů (F = 1). Jak již ovšem bylo řečeno, detektory tohoto typu jsou výrobně nesmírně náročné. C. Šum elektrického obvodu detektoru Další šum vnáší elektronický obvod spojený s optickým detektorem. Obvodový šum je výsledkem tepelného pohybu nabitých nosičů v odporech a jiných prvcích, při kterém dochází k dissipaci energie (tepelný šum) a dále je výsledkem fluktuací nosičů náboje v tranzistorech, použitých v zesilovači elektrického signálu z optického detektoru. Tepelný šum Tepelný šum (nazývaný také Johnsonův šum nebo Nyquistův šum) pochází z náhodného pohybu nosičů v odporových elektrických materiálech při konečných teplotách; tento pohyb vyvolává náhodný elektrický proud i(t) dokonce i bez vnějšího zdroje elektrické energie. Tepelný elektrický proud v odporu R je tedy náhodnou funkcí i(t), jejíž střední hodnota (i(í)) = 0, tj. proud teče se stejnou pravděpodobností v obou směrech. Variance proudu o? (která je shodná se střední kvadratickou hodnotou, neboť střední hodnota vymizí) roste s teplotou T. Úvahami založenými na statistické mechanice, které budou vysvětleny v dalším výkladu, lze ukázat, že v odporu R se při teplotě T projevuje náhodný elektrický proud i(t), charakterizovaný výkonovou spektrální hustotou (definovanou v odst. 10.1B) kde / značí frekvenci. V oblasti / -C kBT/h, která má zásadní význam, neboť kBT/h = 6,25 THz při pokojové teplotě, platí exp(hf/kBT) ss 1 + hf/kBT, takže Si(f) » AknT/R. (17.5-25) Variance elektrického proudu je dána integrálem z výkonové spektrální hustoty přes všechny frekvence ležící uvnitř frekvenčního pásma B obvodu, tj.: S,:(/)d/. Když je B -C kBT/h, Variance tepelného proudového šumu odporu R dostáváme • 4kBTB/R. (17.5-26) Jak je znázorněno na obr. 17.5-5, odpor R se při teplotě T v obvodu se šířkou pásma B chová jako bezšumový odpor zapojený paralelně se zdrojem proudového šumu, který má nulovou střední hodnotu a varianci a] určenou vztahem (17.5-26). 764 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Obrázek 17.5-5 Odpor R při teplotě T je ekvivalentní bezšumovému odporu zařazenému 2 paralelně se zdrojem proudového šumu s variancí a"? = (i ) » 4k%TB/R, kde B je šířka frekvenčního pásma obvodu. Příklad 17.5-3. Tepelný šum odporu. Směrodatná odchylka tepelného proudového šumu odporu o velikosti 1 kfi při teplotě T = 300 K v obvodu se šířkou pásma B = 100 MHz činí a; » 41 nA. *Odvození výkonové spektrální hustoty tepelného šumu Nyní odvodíme vztah (17.5-24) a ukážeme, že elektrický výkon spojený s tepelným šumem v odporu se rovná elektromagnetickému výkonu, vyzařovanému jednorozměrným černým tělesem. Ukazuje se, že člen hf/[exp(hf/kjiT) — 1] ve vztahu (17.5-24) je roven střední energii E elektromagnetického modu s frekvencí / (symbol v je rezervován pro optické frekvence) v tepelné rovnováze při teplotě T [viz (12.3-8)]. Tuto rovnici je tedy možno přepsat jako Sj(f)R = 4f. Elektrický výkon, rozptýlený průchodem šumového proudu i v odporu R, je (i2)R = o}R, takže člen Si{f)R představuje hustotu elektrického výkonu (na jeden Hz) rozptýleného tepelným proudovým šumem i(t) v R. V dalším ukážeme, že 4£ je hustota výkonu vyzařovaného jednorozměrným černým tělesem. Jak bylo probráno v odst. 12.3B, systém atomů v dutině v tepelné rovnováze s elektromagnetickými mody vyzařuje záření se spektrální hustotou energie Q(V) = = M(i/)E, kde M(u) = 8nv2/c3 je trojrozměrná hustota modů a spektrální hustota optické intenzity je cg(y). Ačkoliv se nosiče náboje pohybují v odporu všemi směry, pouze pohyb ve směru toku přispívá k proudu obvodem. Hustota modů pro jeden rozměr je M(f) = 4/c modů/m • Hz [viz (9.1-7)], takže příslušná hustota energie je £•(/) — M(f)E = 4E/c a spektrální hustota vyzařované intenzity je cg(f) = 4E, jak bylo řečeno. Parametry obvodového šumu: optické přijímače limitované odporem a zesilovačem Ukazuje se, že je vhodné různé zdroje šumu v obvodu (tepelný šum v odporech, šum v tranzistorech a dalších součástkách) zahrnout do jediného náhodného proudového zdroje iT na vstupu přijímače, dávajícího stejný celkový šum na výstupu přijímače (obr. 17.5-6). Střední hodnota i,, je nulová a variance af je závislá na teplotě, šířce pásma přijímače, parametrech obvodu a typu zařízení. ŠUM FOTODETEKTORŮ 765 • n Obvod se šumem Obrázek 17.5-6 Šum v detekčním obvodu přijímače je možno nahradit jedním náhodným proudovým zdrojem se směrodatnou odchylkou ay. Dále je vhodné zavést bezrozměrný parametr obvodového šumu IBe (17.5-27) ve kterém B je šířka pásma přijímače a 7" = 1/(2.6) je jeho rozlišovací doba. Jelikož o> je směrodatná odchylka elektrického proudového šumu, je crr/e směrodatná odchylka elektronového toku (elektron/s) podmíněná obvodovým šumem a uq = (or/e)T tedy znamená směrodatnou odchylku rozdělení elektronů zaznamenaných za dobu T, odpovídající obvodovému šumu. Jak bude zřejmé z odst. 17.5D, parametr obvodového šumu aq představuje zásadní charakteristiku kvality přijímacího optického obvodu. Optický detekční obvod zahrnující fotodiodu v sérii se zatěžovacím odporem RL a následujícím zesilovačem je znázorněn na obr. 17.5-7. Tento jednoduchý obvod se označuje jako limitovaný odporem, jestliže proudový šum obvodu pocházející z teplotního šumu zatěžovacího odporu podstatně převyšuje příspěvky od jiných zdrojů. Zesilovač je potom možno považovat za bezšumový a variance proudu obvodového šumu je jednoduše aj. = 41CBTB/RL- Bezrozměrný parametr obvodového šumu definovaný vztahem (17.5-27) je tedy \!/2 K bezšumovému ~° zesilovači Obrázek 17.5-7 Optický přijímač limitovaný odporem. (17.5-28) 766 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ a je nepřímo úměrný druhé odmocnině z frekvenční šířky pásma B. Příklad 17.5-4. Parametr obvodového šumu. Odpor Ri = 50 O generuje při pokojové teplotě v obvodu se šířkou pásma B — 100 MHz náhodný proud se směrodatnou odchylkou ov = 0,18/iA. Tomu odpovídá hodnota bezrozměrného parametru obvodového šumu oq ~ 5700. Optické detekční systémy s kvalitním nízkošumovým zesilovačem mohou mít nižší parametry obvodového šumu než vykazují přijímače limitované odporem. Uvažujme přijímač s tranzistorem řízeným elektrickým polem (FET — field effect transistor). Je-li možno zanedbat šum pocházející z vysokého vstupního odporu zesilovače, bude přijímač omezen tepelným šumem kanálu, spojujícího emitor a kolektor FET tranzistoru. Při použití ekvalizéru k vyrovnání vysokých frekvencí, utlumených kapacitní vstupní impedancí obvodu, bude parametr obvodového šumu za pokojové teploty a pro typické součástky v obvodu roven Parametr obvodového šumu (obvod se zesilovačem s FET) ,, a ~ 1 l" u IQ V JJ Z ) (17.5-29) Je-li např. B = 100 MHz, potom je aq = 100. To je podstatně méně, než činí parametr obvodového šumu odporově limitovaného zesilovače s odporem 50 íí se stejnou šířkou pásma. Parametr obvodového šumu aq roste s B následkem vlivu ekvalizéru.t Optické detekční systémy, které používají zesilovače s bipolárními tranzistory mají naopak parametr obvodového šumu aq nezávislý na šířce pásma B v širokém rozsahu frekvencí.t Za předpokladu, že jsou užity vhodné tranzistory v optimálním zapojení, činí aq pro šířky pásma mezi 100 MHz a 2GHz typicky w 500. D. Poměr signálu k šumu a citlivost přijímače Nejjednodušší veličinou k posouzení kvality detekce je poměr signálu k šumu (SNR). SNR proudu na vstupu bezšumového obvodu znázorněného na obr. 17.5-6 je dán jako poměr střední kvadratické hodnoty proudu a součtu variancí jednotlivých zdrojů šumu, tj.: Poměr signálu k šumu optického přijímače SNR= — = 2eG~iBF + a}. 2 2e G~r]B<í>F (17.5-30) První člen v obou jmenovatelích představuje šum fotoelektronového proudu a procesu vnitřního zesílení fotodetektoru [viz (17.5-20)], druhý člen popisuje obvodový šum. Pro detektor bez zisku je G = 1 a F = 1. Bezšumový obvod nezmění poměr signálu k šumu, přestože signál zesílí. Další podrobnosti viz S. D. Personick, Optical Fiber Transmission Systems, Plenům Press, New York, 1981, Sec. 3.4; parametr atJ je v citované práci označen Z/2. ŠUM FOTODETEKTORŮ 767 Cvičení 17.5-1 Poměr signálu k šumu v optickém přijímači limitovaném odporem. Nechť optický přijímač na obr. 17.5-7 používá ideální fotodiodu p — i — n (r\ = 1) a odpor RL je 50 fž za pokojové teploty (T = 300 K). Šířka pásma je B = 100 MHz. Při jaké velikosti fotonového toku $ je variance proudu daná fotoelektronovým šumem rovna varianci proudu dané tepelným šumem odporu? Jaký je příslušný optický výkon pro Ao = 1,55 /mi? Ukazuje se, že je užitečné vyjádřit SNR v (17.5-30) pomocí středního počtu fotonů m, zaznamenaných v průběhu rozlišovací doby T = 1/(2B) přijímače (17.5-31) a parametru obvodového šumu aq = a,/2Be. Výsledný výraz je Poměr signálu k šumu optického přijímače (17.5-32) Rovnici (17.5-32) je možno jednoduše interpretovat. V čitateli je čtverec střední hodnoty počtu násobením zesílených fotoelektronů zaznamenaných během rozlišovací doby přijímače T = 1/(2B). Ve jmenovateli je součet variancí počtu fotoelektronů a počtu elektronů z obvodového šumu, zaznamenaných za dobu T. Pro fotodiodu s nulovým ziskem je G = F = 1, takže (17.5-32) se zjednoduší na Poměr signálu k šumu optického přijímače bez zisku (17.5-33) Vzájemné velikosti m a cr^ určují relativní význam fotoelektronového a obvodového šumu. Nyní je zřejmé, v jakém smyslu charakterizuje parametr aq výkonnost obvodu optického přijímače. Když je např. oq = 100, bude obvodový šum dominovat nad fotoelektronovým šumem, pokud bude střední počet fotoelektronů zaznamenaných během rozlišovací doby nižší než 10000. Nyní dále vyšetříme závislost SNR na fotonovém toku $, frekvenční šířce pásma obvodu B, parametru <Jq obvodového šumu přijímače a zisku G. To nám umožní posoudit, kdy je výhodné použít lavinovou fotodiodu a jak vybrat vhodný předzesilovač pro daný fotonový tok. V tomto rozboru budeme vycházet z výrazů pro SNR daných vztahy (17.5-30), (17.5-32) a (17.5-33). 768 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Závislost SNR na fotonovém toku Závislost SNR na Tň = r\$/2B ukazuje, jak se SNR mění s fotonovým tokem $. Uvažujme nejprve fotodiodu bez zisku, kdy platí vztah (17.5-33). Nastávají dva zajímavé případy: • Limitování obvodovým šumem: Jestliže je $ dostatečně nízký, takže m C ^ ($ <C 2B<7q/r\), je fotonový šum zanedbatelný a převažuje obvodový šum, který dává (17.5-34) Limitování fotonovým šumem: Jestliže je fotonový tok dostatečně silný, takže m > ^ ($ > 2B0q/r\), je možno zanedbat člen s obvodovým šumem, což vede ke vztahu (17.5-35) SNR « Tň. Pro malá m je tedy SNR úměrný m2 a tím i $ 2 , kdežto pro vysoká m je úměrný m a tím i <ř, jak je vidět na obr. 17.5-8. Pro všechny úrovně osvětlení roste SNR s růstem dopadajícího fotonového toku $; více světla zlepšuje výkon optického přijímače. Kdy je výhodné použít lavinovou fotodiodu NyníjDorovnáme dva přijímače shodné až na to, že jeden nezesiluje a druhý má vnitřní zisk G (např. APD), vedoucí k faktoru zvýšení šumu F . Pro dostatečně malé ~m (nebo fotonový tok $) převládá obvodový šum. Zesílení fotoproudu nad úroveň obvodového šumu by mělo zlepšit SNR a přijímač s APD bude potom výhodnější. Pro dostatečně velké Tň (nebo fotonový tok) je obvodový šum zanedbatelný. Zesílení fotoproudu se potom projeví vyšším šumem zesilovacího procesu a tím i snížením SNR. V takovém případě je výhodnější fotodioda. Z porovnání vztahů (17.5-32) a (17.5-33) plyne, 105 SNR Oq= 10 103 100 10 10 103 105 Obrázek 17.5-8 Poměr signálu k šumu (SNR) v závislosti na střední hodnotě počtu fotoelektronů připadajících na rozlišovací dobu přijímače m = T|$/2B. Jsou znázorněny závislosti pro dvě hodnoty parametru obvodového šumu fotodiody a,r ŠUM FOTODETEKTORŮ 769 že SNR přijímače s APD je vyšší než pro přijímač s fotodiodou, když je m < < a2q(l - l/G2)/(F - 1). Pro G > 1 je APD výhodnější, jestliže je m < a2q/(F - 1). Není-li tato podmínka splněna, je použití APD spíše kompromisem, než aby vedlo ke zvýšení výkonnosti přijímače. Když je např. aq velmi malé, je ze vztahu (17.5-32) zřejmé, že poměr signálu k šumu SNR = Tň/F v případě APD je horší než v případě fotodiody, kdy je SNR = Tň. Závislost SNR na m je pro dva typy přijímačů vynesena na obr. 17.5-9. Závislost SNR na zisku lavinové fotodiody APD je výhodné použít v případě dostatečně slabých fotonových toků, kdy je Tň < < o\l{F - 1). Optimální zisk APD se pak určí ze vztahu (17.5-32): G'Tň SNR = (17.5-36) Faktor zvýšení šumu lavinové fotodiody F je podle (17.5-23) sám o sobě funkcí G. Po dosazení dostaneme SNR = G"Tň + (1 - /f)(2G" - G) + (17.5-37) kde /í je ionizační poměr nosičů v APD. Tento vztah je vynesen na obr. 17.5-10 pro Tň = 1000 a aq = 500. V případě APD s násobením jednoho typu nosičů (/ = 0) SNR 105 SNR 103 Fotodioda 10 10 103 105 Obrázek 17.5-9 SNR v závislosti na m = T)$/2_B pro přijímač s fotodiodou (plná čára) a pro přijímač s APD se střední hodnotou zisku G = 100 a faktorem zvýšení šumu F = 2 (čárkovaná křivka), spočítaný podle vztahu (17.5-32). Parametr obvodového šumu je v obou případech a,t = 100. Pro nízké úrovně fotonového toku (limitování obvodovým šumem) dává APD vyšší SNR než fotodioda. Pro vysoké úrovně fotonového toku (limitování fotonovým šumem) převyšuje fotodioda přijímač s APD. Přechod mezi oběma oblastmi je dán hodnotou Tň ~ a\]/(F — 1) = 10 4 . 770 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ 103 102 SNR 10 10 103 102 Obrázek 17.5-10 Závislost SNR na střední hodnotě zisku G lavinové fotodiody pro několik hodnot ionizačního poměru /•, jestliže m = 1000 aCT,= 500. roste s růstem zisku a případně se nasytí. V případě APD s násobením obou typů nosičů {A- > 0) SNR také roste s rostoucím ziskem, ale dosahuje maxima pro optimální hodnotu zisku a potom klesá v důsledku rychlého vzrůstu příspěvku šumu zesilovacího procesu. Obecně tedy existuje optimální hodnota zisku APD. Závislost SNR na frekvenční šířce pásma přijímače Vztah mezi SNR a šířkou pásma B je obsažen implicitně ve výrazu (17.5-30). Je určován závislostí variance obvodového šumu o2r na B. Uvažujme tri typy přijímačů: 1 • Přijímač limitovaný odporem vykazuje a ,, oc B [viz (17.5-26)], takže (17.5-38) SNR oc B~ 1 2 Přijímač se zesilovačem s FET splňuje aq oc B / [viz (17.5-29)], takže aT = = 2eBoq oc B 3 / 2 . To naznačuje, že závislost SNR na B v (17.5-30) nabude tvaru SNRoc(B + s.B3)-1, (17.5-39) kde s je konstanta. • Zesilovač s bipolárním tranzistorem má parametr obvodového šumu aq téměř nezávislý na B. Je tedy aT oc B a (17.5-30) má tvar SNR oc {B + s ' 5 2 ) " 1 , (17.5-40) kde s' je konstanta. Tyto vztahy jsou schematicky znázorněny na obr. 17.5-11. SNR vždy klesá s rostoucím B. Pro dostatečně úzké šířky pásma B se SNR všech typů optických l detekčních systémů mění jako B~ . Pro velké šířky pásma klesá SNR systémů, užívajících FET nebo bipolární tranzistory, se šířkou pásma ostřeji. ŠUM FOTODETEKTORŮ 771 SNR l/B 2 Obrázek 17.5-11 Dvojitá logaritmická závislost SNR na šířce pásma B pro tři typy optických přijímačů. Citlivost přijímače Citlivost přijímače je definována jako minimální fotonový tok <řo a jemu odpovídající optický výkon Po = hv$0 a střední počet fotoelektronů Trio = r\<&o/2B, který je nutný k dosažení stanovené hodnoty SNRo poměru signálu k šumu. Veličina Tňo může být určena řešením vztahu (17.5-32) pro SNR = SNRo- Rozebereme si pouze případ přijímače s jednotkovým ziskem, obecnější řešení ponecháme do cvičení. Řešením kvadratické rovnice (17.5-33) dostaneme pro TŤÍQ: mo = ~ [SNR0 4a 2 SNR 0 ) 1 / 2 ] (17.5-41) Dostáváme dva limitní případy: Citlivost přijímače Limitovaný fotonovým šumem / \ Limitovaný / obvodovým šumem y 2 <J SNRo \ 4 J m0 = SNR 0 , (17.5-42) 2 q SNRo \ 4 J mQ = (SNR 0 ) 1 / 2 a r ; (17.5-43) Příklad 17.5-5. Citlivost přijímače Předpokládejme, že SNRo = 10 4 , což odpovídá přijatelnému poměru signálu k šumu 40 dB. Jestliže je parametr obvodového šumu přijímače o,t <C 50, je přijímač limitován fotonovým šumem a má citlivost Trio = 10000 fotoelektronů na rozlišovací dobu. V pravděpodobnějším případě, kdy je oq ^> 50, je citlivost přijímače ss 100crf/. Když je např. o,s = 500, je citlivost Trio = 50000, což odpovídá 2B7ň0 = 10s£f fotoelektron/s. Citlivost na dopadající optický výkon Po = 2£í7ř>o/ii'/r| = 105f?/i^/r| závisí přímo úměrně na šířce pásma. Je-li B = 100 MHz a T) = 0,8, je na vlnové délce A„ = 1,55 /zm citlivost přijímače Po«l,6/iW. 772 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Bipolární transistor o Omezení fotonovým šumem I I I I I B Obrázek 17.5-12 Dvojitá logaritmická závislost citlivosti přijímače Třío (nejmenší střední počet fotoelektronů připadajících na rozlišovací dobu T = 1/2B, zajišťující minimální stanovený poměr signálu k šumu SNRo) na šířce pásma B pro tři typy přijímačů. Křivky se blíží limitně k fotonovému šumu pro hodnoty B, pro které je a% -c SNRo/4. V limitě fotonového šumu (tj. když je obvodový šum zanedbatelný), platí mo = SNRo ve všech případech. Při používání vztahu (17.5-41) k určení citlivosti přijímače se nesmí zapomínat, že parametr obvodového šumu aq je obecně funkcí šířky pásma B: Přijímač limitovaný odporem: Zesilovač s FET: Zesilovač s bipolárním tranzistorem: aq <x B ~ 1 / / 2 aq oc B1'2 oq nezávisí na B Závislost citlivosti mo na šířce pásma B je pro tyto přijímače na obr. 17.5-12. Optimální výběr systému tedy závisí částečně i na šířce pásma B. Cvičení 17.5-2 Citlivost přijímače s lavinovou fotodiodou Odvoďte výraz analogický (17.5-41) pro citlivost přijímače, ve kterém je zabudována APD vykazující zisk G a faktor zvýšení šumu F. Ukažte, že v limitním případě zanedbatelného obvodového šumu se citlivost přijímače zjednoduší na 7Ť>o = .F • SNR 0 . LITERATURA Knihy Viz též literaturu ke kap. 15. J. D. Vincent, Fundamentals of Jnfrared Detector Operation York, 1990. N. V. Joshi, Photoconductivity, Marcel Dekker, New York, P. N. J. Dennis, Photodetectors, Plenům Press, New York, A. van der Ziel, Noise in Solid State Devices and Circuits, York, 1986. and Testing, Wiley, New 1990. 1986. Wiley-Interscience, New LITERATURA 773 R. K. Willardson a A. C. Beer, eds., Semiconductors and Semimetals, vol. 22, Lightwave Communications Technology, W. T. Tsang, ed., part D, Photodetectors, Academie Press, New York, 1985. E. L. Dereniak a D. G. Crowe, Optical Radiation Detectors, Wiley, New York, 1984. R. W. Boyd, Radiometry and the Detection of Optical Radiation, Wiley, New York, 1983. W. Budde, ed., Physical Detectors of Optical Radiation, Academie Press, New York, 1983. M. J. Buckingham, Noise in Electron Devices and Systems, Wiley, New York, 1983. R. J. Keyes, ed., Optical and Infrared Detectors, vol. 19, Topics in Applied Physics, Springer-Verlag, Berlin, 2. vyd. 1980. D. F. Barbe, ed., Charge Coupled Devices, vol. 39, Topics in Applied Physics, Springer-Verlag, Berlin, 1980. R. W. Engstrom, RCA Photomultiplier Handbook (PMT-62), RCA Electro Optics and Devices, Lancaster, PA, 1980. B. O. Seraphin, ed., Solar Energy Conversion: Solid-State Physics Aspects, vol. 31, Topics in Applied Physics, Springer-Verlag, Berlin, 1979. R. H. Kingston, Detection of Optical and Infrared Radiation, Springer-Verlag, New York, 1978. B. Saleh, Photoelectron Statistics, Springer-Verlag, New York, 1978. A. Rose, Concepts in Photoconductivity and Allied Problems, Wiley-Interscience, New York, 1963; R. E. Krieger, Huntington, NY, 2. vyd. 1978. M. Cardona a L. Ley, eds., Photoemission in Solids, vol. 26, Topics in Applied Physics, Springer-Verlag, Berlin, 1978. R. K. Willardson a A. C. Beer, eds., Semiconductors and Semimetals, vol. 12, Infrared Detectors II, Academie Press, New York, 1977. J. Mort a D. M. Pai, eds., Photoconductivity and Related Phenomena, Elsevier, New York, 1976. R. K. Willardson a A. C. Beer, eds., Semiconductors and Semimetals, vol. 5, Infrared Detectors, R. J. Keyes, ed., Academie Press, New York, 1970. A. H. Sommer, Photoemissive Materials, Wiley, New York, 1968. Zvláštní čísla časopisů Speciál issue on quantum well heterostructures and superlattices, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-24, no. 8, 1988. Speciál issue on semiconductor quantum wells and superlattices: physics and applications, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-22, no. 9, 1986. Speciál issue on light emitting diodes and long-wavelength photodetectors, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-30, no. 4, 1983. Speciál issue on optoelectronic devices, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-29, no. 9, 1982. Speciál issue on light sources and detectors, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-28, no. 4, 1981. Speciál issue on quaternary compound semiconductor materials and devices - sources and detectors, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-17, no. 2, 1981. 774 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ Speciál joint issue on optoelectronic devices and circuits, IEEE Transactions on Electron Devices, vol. ED-25, no. 2, 1978. Speciál joint issue on optical electronics, Proceedings of the IEEE, vol. 54, no. 10, 1966. Články D. Parker, Optical Detectors: Research to Reality, Physics World, vol. 3, no. 3, pp. 52-54, 1990. S. R. Forrest, Optical Detectors for Lightwave Communication, in Optical Fiber Telecommunications II, S. E. Miller a I. P. Kaminow, eds., Academie Press, New York, 1988. G. Margaritondo, 100 Years of Photoemission, Physics Today, vol. 44, no. 4, pp. 66-72, 1988. F. Capasso, Band-Gap Engineering: From Physics and Materials to New Semiconductor Devices, Science, vol. 235, pp. 172-176, 1987. S. R. Forrest, Optical Detectors: Three Contenders, IEEE Spectrum, vol. 23, no. 5, pp. 76-84, 1986. M. C. Teich, K. Matsuo a B. E. A. Saleh, Excess Noise Factors for Conventional and Superlattice Avalanche Photodiodes and Photomultiplier Tubes, IEEE Journal of Quantum Electronics, vol. QE-22, pp. 1184-1193, 1986. D. S. Chemla, Quantum Wells for Photonics, Physics Today, vol. 38, no. 5, pp. 56-64, 1985. F. Capasso, Multilayer Avalanche Photodiodes and Solid-State Photomultipliers, Laser Focus/Electro-Optics, vol. 20, no. 7, pp. 84-101, 1984. P. P. Webb a R. J. Mclntyre, Recent Developments in Silicon Avalanche Photodiodes, RCA Engineer, vol. 27, pp. 96-102, 1982. H. Melchior, Detectors for Lightwave Communication, Physics Today, vol. 30, no. 11, pp. 32-39, 1977. P. P. Webb, R. J. Mclntyre a J. Conradi, Properties of Avalanche Photodiodes, RCA Review, vol. 35, pp. 234-278, 1974. R. J. Keyes a R. H. Kingston, A Look at Photon Detectors, Physics Today, vol. 25, no. 3, pp. 48-54, 1972. H. Melchior, Demodulation and Photodetection Techniques, in F. T. Arecchi a E. O. Schulz-Dubois, eds., Laser Handbook, vol. 1, North-Holland, Amsterdam, 1972, pp. 725-835. W. E. Spicer a F. Wooten, Photoemission and Photomultipliers, Proceedings of the IEEE, vol. 51, pp. 1119-1126, 1963. Literatura v českém jazyce C. Kittel, Úvod do fyziky pevných látek, Academia, Praha, 1985. H. Frank, Fyzika a technika polovodičů, SNTL - Nakladatelství technické literatury, Praha, 1990. J. Šavel a kol., Přenos informací na optických kmitočtech, SNTL - Nakladatelství technické literatury, Praha, 1982. ÚLOHY 775 J. Ctyroký, I. Hiittel, J. Schrófel a L. Šimánková, Integrovaná optika, SNTL Nakladatelství technické literatury, Praha, 1986. ÚLOHY 17.1-1 Vliv odrazivosti na kvantovou účinnost. Určete činitel (1 — 3P) ve výrazu pro kvantovou účinnost v případě nepolarizovaného světelného svazku, dopadajícího ze vzduchu kolmo a pod úhlem 45° k povrchu Si, GaAs a InSb (viz odst. 6.2 a tab. 15.2-1 na str. 659). 17.1-2 Citlivost. Nalezněte největší citlivost ideálního polovodičového detektoru (s jednotkovou kvantovou účinností a jednotkovým ziskem), vyrobeného z materiálu (a) Si; (b) GaAs; (c) InSb. 17.1-3 Průletová doba. Předpokládejte podle obr. 17.1-3, že foton vytvoří elektron-děrový pár v místě x = w/3, že ve = 3vh (v polovodičích je ve obecně větší než v;,.), a že nosiče na kontaktu zrekombinují. Nalezněte pro každý typ nosiče velikosti proudů í/, a ie a doby trvání proudů T;, a TC. Vyjádřete výsledek ve veličinách e, w a ve. Ověřte, že celkový náboj indukovaný v obvodu je e. Načrtněte časový průběh proudů pro ve = 6 x 107 cm/s a w = = 10 fj.m. 17.1-4 Proudová odezva na rovnoměrné osvětlení. Uvažujme polovodičový materiál (jako na obr. 17.1-3), vystavený v í = 0 impulsu světla, který generuje TV elektron-děrových párů rovnoměrně rozdělených mezi 0 a w. Nechť rychlosti elektronů a děr v materiálu jsou ve a v/,.. Ukažte, že pro děrový proud platí ř NeV{t ih{t) = < w2 \ 0, + w - - vh pro jiné hodnoty t, zatímco pro elektronový proud W2 ( 0, W 0 < f < ~ " Ve, pro jiné hodnoty t, a že celkový proud potom je i w i Tyto proudy jsou znázorněny na obr. 17.1-4. Ověřte, že elektrony i díry přispívají k obvodovému proudu každý nábojem Ne/2, takže výsledný generovaný náboj činí Ne. 776 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ *17.1-5 Dvoufotonové detektory. Uvažujte svazek fotonů s energií hv a s hustotou fotonového toku <j> (foton/cm2 • s), dopadající na polovodičový detektor se šířkou pásu zakázaných energií hu < Eg < 2hv, takže jednotlivý foton nemá energii dostatečnou k tomu, aby excitoval elektron z valenčního do vodivostního pásu. Dva fotony mohou ovšem náhodně dodat elektronu potřebnou energii společně. Předpokládejte, že v takovémto detektoru se indukuje proudová hustota Jp = (<f>2, kde C je konstanta. Ukažte, že citlivost dvoufotonového detektoru (A/W) je dána vztahem 5Č = [C,j{hco)2]\2oPIA, kde P je optický výkon a A je osvětlená plocha detektoru. Podejte fyzikální vysvětlení úměrnosti \2O a P/A. 17.2-1 Obvod fotoodporu. Fotoodpor se často zapojuje do série se zatěžovacím odporem R a zdrojem ss napětí V, přičemž se měří napětí Vp na zátěži R. Načrtněte závislost V.p na P, jestliže je vodivost detektoru úměrná optickému výkonu P. Za jakých podmínek bude tato závislost lineární? 17.2-2 Fotovodivost. Koncentrace vlastních nosičů náboje v Si je n; = 1,5 x x 1010 cm" 3 a rekombinační doba fotoexcitovaných nosičů r = 10 ^s. Určete procentuální vzrůst vodivosti vzorku, jestliže se v jednotce objemu vzorku osvětleného světlem s vlnovou délkou Ao = 1 fim absorbuje optický výkon 1 mW/cm3. Kvantová účinnost T) = ^. 17.3-1 Kvantová účinnost fotodiody. Impuls světla obsahující 6 x 1012 fotonů s vlnovou délkou Ao = 1,55//m vytváří na kontaktech fotodiody p — i — n v průměru 2 x 1012 elektronů. Určete kvantovou účinnost T| a citlivost 5ř fotodiody na této vlnové délce. 17.4-1 Kvantová účinnost lavinové fotodiody. Běžná APD se ziskem G = 20 pracuje na vlnové délce \o = 1,55/xm. Vypočítejte její kvantovou účinnost, jestliže je její citlivost na této vlnové délce 3fř = 12 A/W. Jaký je výstupní proud detektoru, jestliže na něj dopadá fotonový tok $ = 1010 foton/s s touto vlnovou délkou? 17.4-2 Zisk lavinové fotodiody. Ukažte, že APD s ionizačním poměrem /(• = 1, jako např. germanium, má zisk daný vztahem G = 1/(1 — aew), kde ae je elektronový ionizační koeficient a w je šířka vrstvy, ve které dochází k lavinovému násobení. [Poznámka: Jestliže je £ = 1, rovnice (17.4-5) nedává správnou hodnotu zisku.] 17.5-1 Faktor zvýšení šumu lavinové fotodiody s jedním typem nosičů. Ukažte, že faktor zvýšení šumu APD, v níž se vstřikují pouze elektrony a nedochází k násobení počtu nosičů dírami (/ů = 0), je F ~ 2 pro všechny hodnoty zisku. Využijte vztah (17.4-5) k důkazu, že střední velikost zisku je potom G = exp(aew). Spočítejte citlivost křemíkové APD pro fotony s energií rovnou šířce zakázaného pásu £fl za předpokladu, že T| = 0,8 a zisk G = 70. Najděte faktor zvýšení šumu pro křemíkovou APD, ve které dochází k lavinové ionizaci oběma typy nosičů, když / = 0,01. Výsledek porovnejte s hodnotou F ~ 2 pro limitní případ násobení jednoho typu nosičů. *17.5-2 Zisk ve vícevrstvé lavinové fotodiodě. Použijte Bernoulliho zákon pravděpodobnosti a ukažte, že střední velikost zisku APD s vícevrstvou strukturou při násobení jednoho typu nosičů je G = (1 + P)', kde P je ÚLOHY 777 pravděpodobnost nárazové ionizace v každém stupni a Z je počet stupňů. Ukažte, že výsledek se pro P —> 0 a Z -+ oo redukuje na výraz odvozený pro běžnou APD. *17.5-3 Faktor zvýšení šumu pro jednostupňový fotonásobič. Odvoďte výraz pro faktor zvýšení šumu F jednostupňového fotonásobiče za předpokladu, že počet sekundárních elektronů emitovaných na jeden dopadající primární elektron splňuje Poissonovo rozdělení se střední hodnotou <5. *17.5-4 Faktor zvýšení šumu pro fotoodpor. Jak jsme viděli v odst. 17.2, zisk fotoodporu G = T/TC, kde T je rekombinační doba nadbytečných elektronděrových párů a r c je průletová doba elektronu vzorkem. G je náhodná veličina, neboť r je možno považovat za náhodné. Ukažte, že exponenciální funkce hustoty pravděpodobnosti pro náhodnou dobu rekombinace P(r) = = (l/f)exp(—r/ř) dává faktor zvýšení šumu F = 2, potvrzující, že generačně-rekombinační šum degraduje SNR faktorem 2. 17.5-5 Šířka pásma RC obvodu. S použitím definice šířky pásma vztahem (17.5-14) ukažte, že obvod s funkcí impulsové odezvy h{ť) = (e/r) exp(—ť/r) má šířku pásma B = l/4r. Jaká je šířka pásma RC obvodu? Určete tepelný proudový šum při T = 300 K odporu R = 1 kfž připojeného ke kondenzátoru s kapacitou C = 5 pF. 17.5-6 Poměr signálu k šumu v přijímači s lavinovou fotodiodou. Kolikrát se změní poměr signálu k šumu v přijímači s lavinovou fotodiodou se středním ziskem G = 100, jestliže se ionizační poměr / zvýší z / = 0,1 na 0,2? Předpokládejte, že obvodový šum je zanedbatelný. Ukažte, že když je střední hodnota zisku G > l a > 2 ( l - •£)/<£, je SNR zhruba nepřímo úměrný G. n.b-1 Šum v přijímači s lavinovou fotodiodou. Optický přijímač s APD má tyto parametry: kvantovou účinnost r\ = 0,8; střední zisk G = 100; ionizační poměr A- = 0,5; zatěžovací odpor Ri = 1 kfž; šířku pásma B = 100 kHz; temný plus svodový proud = 1 nA. Na detektor dopadá optický signál s vlnovou délkou Ao = 0,87jxm a výkonem 10 nW. Určete směrodatnou odchylku různých šumových proudů a SNR. Předpokládejte, že variance šumu temného a svodového proudu splňuje stejný vztah jako šum fotoproudu a že přijímač je odporově limitován. 17.5-8 Optimální zisk lavinové fotodiody. Přijímač s fotodiodou p — i — n má poměr variance obvodového šumu k varianci fotoelektronového šumu rovný 1000. Určete optimální střední hodnotu zisku nutnou k dosažení maximálního poměru signálu k šumu a odpovídající zvýšení SNR, jestliže se místo fotodiody použije APD s ionizačním poměrem / = 0,2. 17.5-9 Citlivost přijímače. Určete citlivost přijímače (tj. optický výkon nutný k dosažení SNR = 103) pro fotodetektor s kvantovou účinností T| = 0,8 při A„ = 1,3 /íiu v obvodu se šířkou pásma B = 100 MHz, jestliže je obvodový šum nulový. Přijímač měří elektrický proud i. 17.5-10 Porovnání šumu tří typů fotodetektorů. Uvažujte tři fotodetektory v sérii se zátěžovým odporem 50 ft při teplotě 77 K (teplota kapalného dusíku), které se mají použít v optickém systému na vlnové délce 1 /um 778 POLOVODIČOVÉ DETEKTORY FOTONŮ s šířkou pásma 1 GHz: (1) fotodiodap — i — ns kvantovou účinností T) = 0,9; (2) APD s kvantovou účinností T) = 0,6, ziskem G = 100 a ionizačním poměrem /ů = 0; (3) 10-stupňový vakuový fotonásobič s kvantovou účinností T) = 0,3, celkovým středním ziskem G = 4 1 0 a celkovou variancí zisku (a) Najděte pro každý detektor SNR pro fotoproud, jestliže je detektor osvětlován fotonovým tokem 10 10 s~ 1 . (b) Kterým z detektorů je signál zjistitelný? *17.5-11 Fotonásobič s jedinou dynodou. Uvažujte fotonásobič s kvantovou účinností r| = 1 a pouze jedinou dynodou. Na katodu dopadá světlo hypotetického fotonového zdroje, jehož pravděpodobnost, že se bude pozorovat n fotonů v časovém intervalu T = 1,3 ns je dána vztahem I 0, v ostatních případech. Když na dynodu dopadne jeden elektron, jsou emitovány dva nebo tři sekundární elektrony, které postupují k anodě. Pravděpodobnostní rozdělení pro koeficient zisku P{G) je ' ! . 0, 0=3 v ostatních případech. Je tedy dvakrát pravděpodobnější, že budou emitovány tři elektrony než dva. (a) Spočítejte SNR vstupujících fotonů a výsledek srovnejte s případem Poissonova rozdělení počtu fotonů se stejnou střední hodnotou. (b) Najděte pravděpodobnostní rozdělení počtu fotoelektronů p(m) a SNR fotoelektronů. (c) Najděte střední hodnotu zisku (G) a střední kvadratickou hodnotu zisku (G2). (d) Najděte faktor zvýšení šumu F. (e) Najděte střední hodnotu anodového proudu i v obvodu s frekvenční šířkou B = 1/2T. (f) Najděte citlivost tohoto fotonásobiče na vlnové délce X„ = 1,5/mi. (g) Vysvětlete, proč nelze pro určení a\ použít vztah (17.5-20). Bahaa E. A. Saleh, Malvin Carl Teich ZÁKLADY FOTONIKY, svazek 3 Podle anglického originálu Fundamentals of Photonics vydaného nakladatestvím John Wiley & Sons, Inc. (New York/Chichester/Brisbane/Toronto/Singapore) přeložili a za jazykovou správnost odpovídají RNDr. Miloslav Dušek (kap. 11), prof. RNDr. Pavel Hóschl, DrSc. (kap. 15) doc. RNDr. Jaroslav Pantoflíček, CSc. (kap. 13 a 14), doc. RNDr. Ivan Pelant, DrSc. (kap. 12 a 16), doc. RNDr. Milan Zvára, CSc. (kap. 17) Vědečtí redaktoři překladu - doc. RNDr. Jaroslav Pantoflíček, CSc. prof. RNDr. Jan Peřina, DrSc. Vydal MATFYZPRESS vydavatelství Matematicko-fyzikální fakulty Univerzity Karlovy Ke Karlovu 3, 121 16 Praha 2 jako svou 10. publikaci. Obálku navrhl Petr Kubát. Z předloh připravených v systému T^X M. Jakubem vytisklo Reprostředisko MFF UK. Vydání první. Praha 1995 ISBN 80-85863-05-7 ISBN 80-85863-00-6 (soubor) ISBN 80-85863-01-4 (1. sv.) ISBN 80-85863-02-2 (2. sv.) Orig.: ISBN 0-471-83965-5 (John Wiley & Sons, Inc. New York/Chichester/Brisbane/Toronto/Singapur) DŮLEŽITÉ KONSTANTY Rychost světla ve vakuu Permitivita vakua Permeabilita vakua Náboj elektronu Hmotnost elektronu Planckova konstanta Boltzmannova konstanta c„ e„ fi„ e m„ h kB 2,9979 x 8,8542 x 1,2566 x 1,6022 x 9,1095 x 6,6262 x 1,3807 x 10" m/s 12 10- F/m lO^H/m 19 10" C 31 10" kg 34 10" J . s 23 10" J/K PŘEDPONY JEDNOTEK kilo mega giga tera (k) (M) (G) (T) = = = = 3 10 6 10 9 10 12 10 milí mikro nano piko femto atto (m) (ju) (n) (P) (f) (a) = = = = = = 3 10" 10"" 9 102 10-' 15 10" 18 ÍO' FREKVENCE, VLNOVÁ DÉLKA A ENERGIE FOTONU hv(J) Energie fotonu hv (eV) Frekvence v —(cm"1) Vlnová délka v (Hz) 105 io-ia 10* 1014 10-20 01 103 10 7" při 300 K [ ""* "~icč Příklad: Foton o frekvenci K = 3 X 1 0 ' 4 H Z má vlnovou délku A„ = 1 fim a energii E= 1,99 x 1 0 " 1 9 J = 1,24 eV= 10 000 cm"1