Obrázky k předmětu Technologie získávání vakua

.-
I!;
7:;
g
$ r ~ ft
i:rc
91 e
%
=
$I a3
3
1
B
'9
..
8
' '
- rli--$--I
I,
i it:
-
S
ah??-%%
-".*,z H3,
"""i
gBg?LPBZ
=g3.r l a i p g f
ts" ! fil
2 ZI:
9,D
u s -
1
ii
%.
I
1
sit€ 220 V. Celt u f i e d Itc v a h v t t do'mbkp z bolatntho materiAlu, jak je
naznateno na obr. 125, nLte je pnk lchce pknord. V b a t re wid[ tla, Htkm T.
'.
i iychlJch zrnh claku, jc-li Qdajvrkuomh rbsolutd nebo mud-It sehkuon
ecjchovrt r pod.
Nfkrerk z tkhm v l u w a d jsou ddny pffmo' priadpem vakuomh ((de
je mily m€nit), jh6 tavirl M ieho provedenl r shvu (M pt. pfernort).
K usntdnlnl volby vakuomh uvedunc ptthled nejdUdic€jiIch v b m o
. t k h vakuomM, hen?bylp popshy v pFedddzeildch odapvdcb.
' r) Rtdtov
kom resnl CrkuomCr. Komprrmd~Plkuomtr v
ko~uuktdchtobmUpchj c ' 4 ~ & - v ~ 5 I x ..buom€rcm
n
ve Mo*ht
ratofi. SC fitelem nr jew mzm€ry r prhtip nele,jej Yfill vtdinou pou
k m€tenl tlaLu u &d$ch
v a k u q c h zsitent. NeLe jIm .mUit.tlPk kc
.densl?jldch par. N @ v l n j e t t t sledovat ~ e j l - ~ ~ . ~ ~ ' V
' ~ l c t i - c h h ~-dosPhhoutvelk6 p t a m t i , r*W pH ncjejnltllth mtficehf
.tlacIch je p k n o r t komprrmlho vlkuomCN mrll. HhMi odou kompn
&o vskuomh je m 1.j&o
e
( L ; ~ W ~ zC I-tr
r s h e m se prakticiy &
- *%vem
li
vh&J k echova
i l jinj
vhom8ri1, (stejntho mnrhu). lJdaj komprrmntho M k u o m h n d v k l
d n h u plynu.
..
.Kvbli vysoktmu d h oupcenjch p u rmd mud re rmtovj kompra
vakuomt ptipojovrt k rprokovakuov~urrHzmt fe,
b) V r k u o m b s gregd~k!@ou. V h z G n k C
a ~ l a m m f fIbonmrnlmu
i
m l f a ttku p l p 6 a par. Jcbo Qt
re r h e i n nuntnf, je rbroluml: r nezdvL1 mkt M druhu plynu. Vfrob
ie pom&n€ jednoduchf r nevyLaduje rlofid porn& utltenf. Nchodf
'
,
'
II
20. VOLBA V H O D N ~ H OVAKUOMERU
PricovnR ve v h w t kbontoH n e b kolunukt& ntvrhujld vakubv6
ui[zenl je &to posovcn p k d &I zvolit n d m J c h v h o m i d mko*,
ktcrj by nejltpe vyhovoval dMJm pofadavlnln. PR rllmmd pofadrvkt~.
k m 6 re mohou v p r u l vytkyr.~
. . . - - nout, nevystn&ne obvykle s iedin* vlkuomtrcm, ale m u s t
me pouflt dvou nebo vlce ,
v h o m i d wlenJch tak, aby
u jejich vlumosti vhodn€ doplaovdy.
~gzhoduj~ctm
tinitelem pro'.
. vdbu v h o d r u je rollah tlr- '
IrO, kt& mail bfi meeny.
R o m h t l ~ m U i n l a f c &h
nfnd ~ h o r n * je ptehltdnC
vyzna€canr obr. 126 In
bbr. 12t.Rw m - ~ d .r~~~~1
.
v6lmornirem m€tit
h o m t q . V mzuhu rvpveedm ~ t k o w a m&- h
mu n e b u d t pfnnoet Hril net 10%
v
z
a
n a lo %.
.! t
fdfnnmije
-.
&n ma* v a je p h i m t rrkuomim
pmp.cdeZ+!
u.
~ t a d - % i t e l ~ urhrjlci poutidnost rh,m&u&u: e) p?esnost r rdlost
bdaje@ slotitost v h o m t r u r pomocnw nHt4;'C) tavblat d&jc v h o m&mnn mljllch vlivech (M ccploct okolf, uugncti&&n a dekuidctm poli,
odnech).
i plynu,
& mttl-liZ ttf
Ddlc rnuslmc vM&, &id-li d&j vakuomh na dmhu
dak kondcmujlcich pir, hodl-li sc k dAkovCmu mEfcnl, umoWuje-li slcdovdnl
!
b
I
.
I
r;
I
T
I
!
d?-$ppio_me&rickC
vakuom€ry, hdiometrickC &om&y
jsou pi
strole k ptuntmu mBiiT&:
J ~ vhodnC
U
k m M w w c h labor
mtlch; k technicMmu mltenl re dosd dobk n & d L w n M isau vch
citlivt M ofks Jejich hlavnI ~ h o d o " , ~ : " ~ t i ; s ~
.n
d
~
uM a , .tlak k
tmu m e
thku se neh~dl,u r n o f h j f h k dynulc aledovac
u o h d se ncm€nl 0%
rychle. Radiomettick6 M
r
y
0
,tn
a
E
s I oZl t p o m is l t ufizeni.
~ 1 % t~
-.
-.-- m a p e t i d , a e l A y 5
pole.
d
Z
- karodr
- kokktor
- mtitkr.
-
-.
- 50 V.)
.- .-
'Obr. 107. ~ o i o l o s tioniovtho proudu .
i(+) rn naNtl: s b h d elekvody U,.
( M t h o pii anodovtm napCtl: 215 V, iena pii zdp~rnts&dnl elekdt
a emisa n o d o v e prwdu 2 . d a tWru vzdu- n h proudu
. .
1
...mA; kfivka II pii kladnl ,stfed.
K
kd
hf
Obr. 7-17. IonizaEni manomctr (a) a inwrzni ionizalini
manometr (b)
vody
Obr. 109. Cejchomi Mivka ionisafnn~o
vakuomCru. ~
(nod-n*
d o e proud 2 mA, napEti sb€ncf el&-
-
.
Obr. 7-26. Dra5y elektronu ve vjibojovcrr~
m;lnomctru s magnet~ckfrnpolcnl.
Obr. 7-27a. KalibraEnf kfivky vjbojodho manomclru pro rdznC plyny.
Kt. K.
CerQUe kGodt
A
-mod.
H
htaub nugn&kCho pok.
Obr. 7-25. Penninglv manomctr.
Obr. 5-11. Zavislost ~ r o u d uuvo1fiovanJ;ch molekul z tvrd6ho skla na teplot6 a podil plynu a
vodni plry i a celkov6rn proudu Q,.
I
: Obr. 269. Mnotstvi plyna a par uvoln8i nfch vc vakuu sodn* sklem pii -6
teplorC
1
2
3
4
L Ihodl
5
Obr. 5-10. Zlvislost proudu uvolfiovan);ch molekul z ieleza na Ease pfi rtinfch teplotlch.
1
2
4
5
nduch tvrdfrn sklun
htlium tvrdfm sklem
vodlk paladiem
vodik molybdcnem
6 duslk tcluern
7 vodlk Welcrn.
Obr. 5-8. ZAvislost koeficientu pronikhni u rtiznvch Iltek a pro rdznC plyny na teplote.
-
r
- .--I-*-
y
*
.
b~.A,..rnI
m
u
- (eplola
m€n
-
.,f"~.
KV- kondeonmi &.h
M m o l c n j manMS- nkuovj e.
taplnj
,i
Sf
--I.
daky
~ychlortmolekuly po o d n z u od zahHvan6 tisli duky.
zorneni kondenzahi vjivivy
y.
-
- u h f l n n l Cbr( d o e k o eploit T,
- wzhlolt molekuly pied dopadcm a po o d n t u od nlnici Cisti
pomocnC
&I
Obr.6-36.Schematickt mil-
r.
r.
C
YO
v
l~w
p l u r vwv
-v
ntupnl otvor
PY - k
v-rd
7; - aln)cl
duck o tcplolt norm6lnl
Obr. 6-32SchCma v]ivivy pracujici na principu tepclnk transpirace
.-
K
---
-
nlupnl alvor
fhavl k ~ t o d a .
K'
-$udcrid
ncnsxni k a t o ~
A
pnlmcd& anady
H
inrcmka mapncticktho
pole
PV
k pomocnt v M v t
S,. S. .- .y!enoidy -rdmje ma,
ntlickihd &.
VO
Obr. 6-33.SchCma ~bojo,vk~v]iv€v!
- proslor pro chladivo
ukoafcnl fcrplnl
PO
-
chlzl k wrpei
molekulovt dto, kcaC je v pflmtm kontaktu
r chlatenou stEnou
n r ntm dochid k wlmi
intcnzlvni sotpd.
- fdrl vyplntnl molekulo*Jm d l c m na ntmt do-
KS-
S
TT- topnt tCllrko k ryehltmu vypatcnl c h l r d i n
Ch
tlakem
Kry osorpPni element k ferpini poFiaje atmw
A
I
K
z
- karody titan"
- mtu*ovl anodr
- irollcor
0 - pr~ichadlu
7 - ~ r u b iki chlauni katod.
b) urpoHdinl d l i r e d
a) whled na M r u
6-46. Vjviva sszpcr.?*im t itanu
4
bJ
e-
Ao/&
us
rychlosti
As
o v zividiti
u
na
rdiIeni
Ladavou ~
Obr. 37. Pomtrnt zvt6;eni *okOvt
I
Obr. 36. Tvar trysky C
pm difusnf v+Cvu:
a)-cntnl
trys- .
ka, b) Lavalwa tmh.
Obr. 26. Ptvodn( Gaedcho difusni *Eva: C chLidici plP5i;
K k u i e l o ~dbrus; TteplomEr;
V vamlk; m ferpad JtErbina;
CP Eupanf prostor; R V pkdterpavaci rotahi v+€n,
O h . 38. Lavalow. trpska pro difusnf vfv€vu svislC konccpce
Obr. 25. Princip vysokovakuovt paroproudovi
vhry: a) Gaedcho ,,difusni" vjrtva; b) Langmuirom ,,kondcnsaEnia' *Eva;
CP terpanf prostoc;
R V m t a t d olejovd *Eva
- rotor
-
vffuk; I
- telcso
teleso vfvevy
--
vfvevy; 2
remenica. 3
5
ssnle vfvevy: 6
-
Obr. 37. Slegbahnoud molekuldrna vQveua
--.
vfvevy;
Obr. 23. hlolckul~rnivjvfva s vilcovjm
rotorem (Holveckon)
-.-
.
Obr. 24.MolekuUmi v j v e a s dis,ko*-m-.cotorem . (Siegbahno~).
P&€r rotom 54 &?i?i-i~
at
4000 otlmih, ferpaci rychlost 73 11s
pii tlaku lo-= mm Hg a 3700
ot/min, mezni tlak 5.10-' mm Hg
U
I
I
Als Spezialist fur die Entwicklung und Herstellung von Vakuumpumpen bietet Pfeiffer ein
neues Produkt: die auf der Holweckschen
Theorie basierende Molekular-Drag-Pumpe
TPD 020. Der Rotor, bestehend aus einer
Turboscheibe und einem funfstufigen Molekular-Pumpsystem erreicht trotz des groOen
Spaltes von 0,3 mm und einer Vorvakuumbestandigkeit von 13 mbar einen Enddruck
von lo-' mbar. Die Purnpe ist hochvakuumseitig mit einem dochtgeschmierten Hochgenau-Kugellager ausgestattet.
Ihr Vorteil: Gegenuber vergleichbaren Turbomolekularpumpen besitzt sie ein deutlich hoheres Saugvermogen zwischen
1 und lo-'
mbar, wobei ab
1 mbar im Dauerbetrieb gearbeitet
werden kann. Die mit Hilfe neuer
Materialien und Bearbeitungsverfahren entwickelte Pumpe arbeitet
auflerordentlich zuverlassig und
wirtschaftlich. Bei einem Gewicht
von 3.2 kg und einer Bauhohe
von 166 mm erweist sie sich
als kompakt und wendig.
Die sich daraus ergebende
Flexibilitat und das hohe Leistungspotential der TPD 020
eroffnen dem Anwender eine
Fulle von Einsatzmoglichkeiten.
Die neue Molekular-Drag-Pumpe verfugt uber Anschlusse mit
den Nennweiten ON 40 ISO-KF
und DN 63 ISO-K. Das Nz-Nennsaugvermogen betragt 18 11s.
Der maximale Gasdurchsatz liegt
bei 2 mbar x 11s.
Molekular-Drag-Pumpe TPD 020
.echnische Inlormationen der Balzers HochvakuumGes.m.b.H.
Voda
Body varu vody pFi vyllich tlacich
Kywlina
octova
Ethanol
atm
Benzen
P
Tcnsc nasyccnt pdry nPklrrych kapalin (horni ud;ij v Torr, dolni v kPa)
Kritickg bod
"C
Tabulka X X X I I I .
Tub111kaX X X l I .
10'Pa
Accton
0.56
5.5
67
C12
SO2
5,6
4.9
5.6
5.1
3.6
4.1
4.28
podle van der Waalsovy rovnin.
Obr. 87. Isoteimy reilnlho plynu
0.68
446
0,45
4.4
4,s
0.4 1
CzHz
439
3.8
40
HCI
NHJ
CzH4
0.365
3.60
co2
3.12
4.00
0,134
0.151
1.32
1.49
0 2
CO
3,94
0,140
1,38
2.67
2,36
dmJ.hmol-'
N2
0.0248
0,0034
pa. m6. mol-'
0.245
0,034
atm .dm6. mol-'
Konstanty van der Waalsovy rovnice
Hz
He
Plyn
Tubiilkn .Y.YX.
-; P
3
a
a
J
5
a
a y o
ssu
g @6i
33*
a$:
$35
g ?&
vldm'
plat m